【課題】良好な露光マージン（ＥＬ）で、レジストパターンを形成することができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】樹脂、酸発生剤、式（Ｉ）で表される化合物及び溶剤を含有するレジスト組成物及びレジストパターンの製造方法。


［式中、Ｒ^１は置換基を有していてもよい炭素数１〜３０の脂肪族炭化水素基又は置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基を表す；Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立に、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数１〜３０の脂肪族炭化水素基又は置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基を表すか、あるいは、Ｒ^２又はＲ^３がＲ^１と互いに結合して環を形成している；Ｒ^４は、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数１〜２０の脂肪族炭化水素基又は置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基を表す。］ （もっと読む）

本発明は、保護基−アミノオキシＰＥＧリンカーを得るための合成法において中間体を得るための新規で一層効率的な合成法を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、感光性保護基を含む化合物、及び固体支持体の官能化のためのカップリング剤としてのそれらの使用に関する。本発明はまた、前記化合物により官能化された固体支持体、及び核酸分子のような関心のある生物分子の固定のための同じものの使用に関する。 （もっと読む）