【課題】内部に内面を含む基材上に拡散アルミナイド皮膜を形成するスラリー及びスラリー被覆方法を提供する。
【解決手段】まず、アルミニウムより高い融解温度を有する金属アルミニウム合金を含有する粉末、金属アルミニウムと共に反応性ハロゲン化物蒸気を形成できる活性剤及び有機ポリマーを含有するバインダを含有するスラリーを調製する。このスラリーを基材の表面に塗布し、次いで加熱してバインダを焼失させ、活性剤を蒸発させるとともに金属アルミニウムと反応させてハロゲン化物蒸気を形成し、ハロゲン化物蒸気を基材表面上で反応させて同表面上にアルミニウムを堆積し、さらに堆積アルミニウムを表面内に拡散させて拡散アルミナイド皮膜２０を形成する。本方法は、内方もしくは外方拡散型皮膜を選択的に生成するよう調整することができる。バインダが焼失する際に形成する灰残留物が簡単に除去できる。 （もっと読む）

【課題】コンタクト抵抗を減らし、ギャップフィル特性を向上させることにより、コンタクトプラグ上に低抵抗金属配線を形成する金属配線形成方法を提供する。
【解決手段】金属配線形成方法は、半導体基板の上部の第２の絶縁膜１６にコンタクトホール１８を形成する段階、上記第２の絶縁膜の表面に沿ってＴｉＮ膜を含む第１のバリアメタル膜２０を形成するが、上記ＴｉＮ膜が上記第２の絶縁膜の側壁及び上部の表面より上記コンタクトホールの下部にさらに薄く形成されるように上記第１のバリアメタル膜を形成する段階、上記コンタクトホールを含む上記第１のバリアメタル膜上に第１の金属層を形成する段階、上記第１の金属層がリフローされ平坦化されながら上記コンタクトホールが満たされるように熱処理を行う段階、上記第１の金属層上に第２の金属層を形成する段階及び上記第２の金属層をパターニングして上部金属配線２４ａを形成する段階を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】表面全体にわたる十分な厚さの内部空洞壁のコーティングを得ることを可能にすること。
【解決手段】本発明は、ターボ機械の金属部品の高温での酸化から保護する気相堆積のアルミ被覆方法に関し、上記部品は外側からアクセスすることのできる開口部を備える空洞を含み、
この方法によれば、ハロゲンとアルミニウムを含む金属ドナーとの間の反応によってハロゲン化物が形成され、次いで、ハロゲン化物はキャリアガスによって運ばれて上記金属部品に接触し、上記金属ドナーは少なくとも部分的に上記空洞に置かれ、
金属ドナーは金属粉の混合物の圧力下の高温焼結によって得られるペレットの形である。 （もっと読む）

【課題】表面全体にわたる十分な厚さの内部空洞壁のコーティングを得ることを可能にすること。
【解決手段】本発明は、金属ターボ機械部品の高温酸化保護用の気相堆積によるアルミ被覆プロセスに関し、上記部品（１）は空洞を含み、金属構成要素（９）が上記部品の開口部（５）から導入されて組み立てられる。
このプロセスに従って、ハロゲンとアルミニウムを含む金属ドナーの間の反応によってハロゲン化物が形成され、次いで、ハロゲン化物はキャリアガスによって運ばれて上記金属部品に接触し、金属構成要素（９）はプロセスの実施の前に最初にアルミニウムドナーとして働くためにアルミニウムで表面富化にされている。
本発明は、特にライナーを組み込むノズル案内翼に適用される。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つの内部通路を有する基体、例えばタービンの内部を耐熱性の物質で均一に被覆させる方法と装置を提供する。
【解決手段】反応容器２の反応空間２１に設置した基体、例えばタービン内部について外部供給源７から供給したアルミニウム系加工用ガスを内部発生器４に通して反応性を高め、反応性を高めたガスを各通路につき各々調節した流量で通過させることにより基体１０内部にアルミニウムを蒸気相から化学的蒸着させて均一に被覆する方法および装置。 （もっと読む）

【課題】 成膜が終了した際に残留するハロゲンラジカルの影響を抑制する。
【解決手段】 塩素を含有する作用ガス１７をチャンバ１内に供給し、ＣｌラジカルＣｌ^＊によりＡｌ製の被エッチング部材１１をエッチングして被エッチング部材に含まれるＡｌ成分とハロゲンＣｌとからなる前駆体ＡｌＣｌ_３を生成し、前駆体ＡｌＣｌ_３のＡｌ成分を基板３側に成膜させ、成膜後にプラズマを停止させると共にＨｅガスを流し続け、残留するＣｌラジカルＣｌ^＊を反応させて排出する。 （もっと読む）

【課題】 見栄えがよく製品としての照度を確保した樹脂成形品の提供。
【解決手段】 （１） 蓄光材を含有した樹脂部材２０と、樹脂部材２０の表面に設けられ蓄光材が発光した光を透過可能な厚さの金属膜３０と、を有する樹脂成形品１０。（２）金属膜３０は真空蒸着にて形成される。金属膜３０を有するので昼間等の明るい時に高級感を出すことができる。また、金属膜３０は蓄光材が発光した光を透過可能な厚さであるため、昼間等の明るい時には、光が金属膜３０を透過して樹脂部材２０に至り蓄光材が光を蓄えることができるとともに、夜間等の暗い時には、蓄光材の発光した光が金属膜３０を透過する。 （もっと読む）