【課題】浮遊坩堝法で単結晶体を引き上げる際に、内坩堝を効率的かつ簡便に回転できる単結晶引き上げ装置を提供する。
【解決手段】内坩堝２を、所定の位置よりは下方へ移動させないが、上方へは浮力によって離脱可能に支持する垂直位置支持機構と、内坩堝２を外坩堝１の回転に同期して回転させるが、外坩堝１と内坩堝２の垂直方向の相対的な位置変化は妨げない回転伝達機構と、内坩堝２の中心軸を結晶引き上げ軸と同じ軸上に保持する水平位置保持機構とを備える引き上げ装置とする。代表的態様では、回転伝達機構兼水平位置保持機構として、内坩堝２外壁に、外端縁が外坩堝１内壁とわずかに隙間を有する位置まで延び、かつ外端縁に上下に貫通した溝部１９を有する円環板状の突出部２０、外坩堝１内壁に、突出部２０の有する溝部２１と嵌合することにより、外坩堝１の回転に同期して内坩堝２を回転させる突起部２１を設ける。 （もっと読む）

【課題】支持装置による粒子の発生を確実に回避する。
【解決手段】支持装置１は、載着装置１２１と結合エレメント１３１，１３２，１３３，１３４と一種のケージ構造体を形成し、載着装置１２１の下側の端部から固定エレメント１４の上側の端部にまで一貫して延びる鉛直な開口を有していない。支持装置１は、一貫して延びる鉛直な開口が不足しているため、結晶引上げプロセスの間に側方で瘤に接近運動させられ得ず、たとえば旋回させられ得ず、これによって、瘤が載着装置１２１によって支持される。支持装置１は、自体運動不能である。 （もっと読む）

【課題】 引上時工程中、単結晶を常時把持するのではなく、単結晶の揺れを検出した際、単結晶を保持するようになすと共に、支持手段の構成を簡略化し、応力集中を抑制した単結晶引上装置を提供する。
【解決手段】 単結晶を引上げる引上手段６と、引上げられた単結晶の落下を防止する単結晶保持手段１０を含み、前記単結晶保持手段１０は、単結晶５のくびれ部５ｃを中心位置になるように配置されて円形形状のキャッチワイヤー１１と、前記キャッチワイヤーを保持する保持体１２と、前記保持体１２を前記引上手段の速度と同一速度で上昇させる保持体引上手段１３と、前記キャッチワイヤーの径を小さくする縮径手段１４とを備え、前記縮径手段１４によってキャッチワイヤー１１の径を小さくし、前記キャッチワイヤー１１で前記単結晶のくびれ部５ｃを保持する。 （もっと読む）

【課題】地震などによる突発的なトラブルでも大きな影響を受けることがないシリコン単結晶引上装置を提供する。
【解決手段】本シリコン単結晶引上装置は、ワイヤーを非接触状態で貫通して配置されたワイヤー揺動抑制リングと、ワイヤー揺動抑制リングを保持する複数のワイヤー揺動抑制ワイヤーと、ワイヤー揺動抑制ワイヤーの張力を検知するワイヤー張力検知手段を有し、ワイヤー張力検知手段により検知された張力を調整するワイヤー張力調整手段を備える。 （もっと読む）