【課題】 共振現象を利用することにより小さな力でも駆動可能である粉体、粒状体、液体等の進行波ポンプ、進行波搬送装置および前記進行波ポンプ、進行波搬送装置における進行波発生方法を提供するものであり、搬送の対象となる物体が液体の場合は、推進装置としても利用できる装置を提供する。
【解決手段】曲げ振動の固有振動モードが正弦波状となるような境界条件で支持された２枚の弾性平板を対向させて、２枚の弾性平板の間には隙間を設け、その対向面の一端に吸込口を他端に吐出口を備え、吸込口と吐出口を除く２枚の弾性平板の端面を密閉し、両弾性平板の外側に弾性平板を振動させる振動子を配し、振動子の加振装置を備え、加振装置には加振力の振幅調整器と位相調整器とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で微少流量を高精度に制御し、しかも製造が簡単な蠕動型圧電マイクロポンプを提供する。
【解決手段】 流入口３０８及び流出口３０９を有する下部基板３０７と、その下部基板３０７に対して外周の環状領域において固定された上部基板３０４と、上部基板３０４の表面に形成された下部電極３０３と、下部電極３０３の表面に固定された圧電体３０２と、圧電体３０２の表面に形成された上部電極３０１ａ〜３０１ｆとから構成され、上部電極３０１ａ〜３０１ｆに所要の電圧を印加することによって、下部基板３０７と上部基板３０４との間にポンプ室を形成する。 （もっと読む）

【課題】薄型化が可能かつ小さい力で作動し、しかもシリコン基板プロセスに比べて比較的製作が容易なエラストマバルブ構造及びそれを用いたポンピングシステムを提供する。
【解決手段】エラストマブロック内に第一フローチャネル３０と直交して積層された第二フローチャネル３２を形成する。第一フローチャネル３０の頂部を形成する膜２５は二つのフローチャネルを分離し、第一フローチャネル３０の頂部であると同時に第二フローチャネル３２の底部を形成している。第二フローチャネル３２の圧力を変動させることにより膜２５は下方への撓みと復帰を繰り返し、それにより第一フローチャネル３０は線形動作のバルブ動作システムを構成することになる。 （もっと読む）

前記蠕動ポンプが、ポンプ本体（３）と可動な圧力要素（７）と駆動手段（８）とを具備し、前記ポンプ本体（３）が、流体密封の導管を形成するような方法で、前記ポンプ本体（３）に固定された可撓性の膜（２）によって覆われる少なくとも一つの第一溝（４）を包含する面を備え、前記膜（２）がさらに、前記導管内に静止流体密封の密閉部分を得るために、前記溝（４）に接して恒久的な接触状態にある密閉畝部（１９）を包含し、前記可動な圧力要素（７）が、前記溝（４）の上の前記膜（２）の一部分を一時的に圧迫し、前記導管に移動する密閉部分を形成するようになっており、前記駆動手段（８）が、前記溝に沿って前記可動な圧力要素（７）を移動するようになっていて、さらに、前記ポンプ本体面に平行な平面に専ら沿って前記可動な圧力要素（７）を移動するようになっていて、前記密閉畝部（１９）を移行する時に、前記密閉畝部（１９）及び／又は前記溝（４）が、前記可動な圧力要素（７）を前記平行な平面内に動かすようになっている、蠕動ポンプにおいて、前記可動な圧力要素（７）が、前記駆動手段（８）の一部分を形成する軸（９）に回転可能に固定され、前記軸（９）が前記膜（２）と平行であることを特徴とする、蠕動ポンプ。
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