国際特許分類［F16K7/00］の内容
機械工学；照明；加熱；武器；爆破 (654,968) | 機械要素または単位；機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段 (198,328) | 弁；栓；コック；作動のフロート；排気または吸気装置 (15,228) | ダイヤフラム締め切り装置，例．流路を閉鎖するために，全部は動かないが，変形される部材をもつもの (510)
国際特許分類［F16K7/00］の下位に属する分類
管状のダイアフラムをもつもの (118)
膨張できる部材をもつもの (14)
平担，皿状，わん状，のダイヤフラム (357)
片側だけ固定されたダイヤフラム，例．転動により弁座を覆わせるもの (8)
圧縮性の中実の閉鎖部材をもつもの (2)
国際特許分類［F16K7/00］に分類される特許
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流路ブロック構造
【課題】流路上に滞留部がなく、ガス置換を短時間で行うことができる流路ブロック構造を提供すること。
【解決手段】第１流路ブロック６には、取付孔８と、プロセスガス出力流路１１と、第１ポート１２と、プロセスガス入力流路１３と、パージガス入力流路１９とを設ける。パージ弁入力流路１９は、第２流路ブロック７と対向する側面から供給弁２の弁部付近に向かって穿設し、プロセスガス出力流路１１に連通させる。一方、第２流路ブロック７には、取付孔２０と、第２ポート２１と、パージガス出力流路２５と、パージ弁出力流路２４と、第３ポート２７と、出力流路２６とを設ける。第１流路ブロック６と第２流路ブロック７は、パージガス入力流路１９とパージ弁出力流路２４、及び、プロセスガス出力流路１１と共通出力流路２６とを相互に連通させるように連結し、流路ブロック構造５とする。
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