【課題】高精度加工を可能とし、そのバネ性能を一定に確保し、製造容易、小型化を実現させた秤及びこの秤の製造方法を提供すること。
【解決手段】固定部７と、可動部１２と、ロバーバル部１６とからなるロバーバル機構２を備えた秤１において、ロバーバル機構２を、一端縁部６ａ（固定部７）と、他端縁部６ｂと、端縁部６ｃ，６ｃとからなるフレーム６と、他端縁部６ｂから延出し、その先端が可動部１２となる中間部１０とを有し、端縁部６ｃ，６ｃの所定箇所が薄厚加工されてバネ部１１が形成された第一の基板３ａと、第一の基板３ａと対面配置され、一端縁部６ａ（固定部７）と、他端縁部６ｂと、端縁部６ｃ，６ｃとからなるフレーム６を有し、端縁部６ｃ，６ｃの所定箇所が薄厚加工されてバネ部１１が形成された第二の基板３ｂと、第一及び第二の基板３ａ，３ｂの一端縁部６ａ，６ａ、他端縁部６ｂ，６ｂを連結させたスペーサ５，５と、から構成した。 （もっと読む）

【課題】質量測定に静電力を利用することで構造を簡素化し、小型で安価な秤を提供すること。
【解決手段】固定部７と、固定部７に対向して設けられる可動部１３と、固定部７と可動部１３の間に設けられ、被計量物の荷重を受けて可動部１３を上下に移動させるロバーバル部１２と、からなるロバーバル機構２と、固定部７に設けられ、可動部１３と対向する面の間の静電容量がこの可動部１３の移動により変化する電極部１５とを備えた。また、可動部１３の先端には固定部７に向けて突出する可動片１４が設けられ、電極部１５は可動片１４の両側面１４ａ，１４ａのそれぞれに内側面１６ａ，１６ａが対向する櫛歯片１６を有する櫛歯電極を用いた。また、電極部（櫛歯電極）１５を可動部１３の可動片１４の数量に応じて複数の部分に分離した。 （もっと読む）

【課題】軽量（グラム）から重量（トン）などの物体の検出が可能でセンサ面の加圧や減圧の重量を均一に容量変化として検出することや物体の微小の動きなどを継続的に検出することで介護予防や物体の動きを監視する用途に適した静電容量重量センサを提供する。
【解決手段】誘電体シート６上に弾性を有するスペーサ４を設けて２枚のアルミ樹脂複合パネルで挟みコンデンサ電極を構成し、このコンデンサ電極Ｓ−３ａ、Ｅ−３ｂの周囲を絶縁体２で覆い、更にその周辺をシールド電極（補強アルミ板）１で覆い、更に防水テープで密閉した構造をアルミ樹脂複合パネル一体板で行い、最外周を伸縮可能な絶縁材料で覆った構造を備えたセンサで、特にスペーサ４は１ｍｍ〜３ｍｍ厚の高摩擦力で圧縮残留歪が非常に小さな高機能ウレタンホーム等を使用して、カバー絶縁体５が外部からの加圧によって伸縮する材料を用い、シールドも加圧により伸縮可能な材料を使用する。 （もっと読む）

半導体ウェハにおいて、大気浮力が補償される重量の力の計測値に対する静電力の影響を修正する半導体ウェハ計測技術である。一局面では、ウェハは、独立して測定されるファラデー遮蔽部において計量される。ファラデー遮蔽部の測定重量の変化は、ウェハの測定重量を修正するよう用いられ得る。別の局面では、直接的な静電測定値が、電荷計によって測定される静電荷と重量誤差力との間の所定の相関を用いて、重量修正値に変換され得る。別の局面では、静電測定値は、非直接的であってよく、たとえば、ウェハと、ウェハに平行な、接地に接続された板との間の距離を変動させて当該接地に接続された板とウェハとの間の静電力を変化させることで導出されてもよい。
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【課題】 電極板の投影面積を増大させることなくコンデンサ容量を大きく設定できる静電容量式秤量装置の荷重計測機構を得る。
【解決手段】 例えば一枚の金属板を側面形状が略「コ」の字形となるよう屈曲形成して電極板本体１及び２を形成し、その上下にそれぞれ電極板部１Ａ、１Ｂ及び２Ａ、２Ｂを一体的に配置し、この電極板本体１及び２を、荷重Ｗが負荷される方向に対して各電極板部１Ａ、１Ｂ及び２Ａ、２Ｂが交互かつ重畳的に位置するよう配置する。これを例えばロバーバル機構Ｒの可動ブロック３及び固定ブロック４に対して支持壁部１Ｃ、２Ｃをねじ止めする等の方法で固定してコンデンサを形成し、荷重Ｗの負荷に対応する電極板部の変位による静電容量の変化から荷重Ｗを計測する。 （もっと読む）