【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性が良好で、また、エッチング装置内のプラズマの発光状態が正常かどうかを容易にモニタできる安価な分光器を提供する。
【解決手段】固定形の回折格子３０で分光された分光光に対応した複数のスリットを有する固定形のスリット部３を設置するとともに、特定波長の分光光のみ透過可能なマスクをスリット部３の入射側前面に設置し、さらに複数の前記分光光のすべての検出が可能な大きさを有する検出器を備える。また、回折格子で反射されたゼロ次光を検出するゼロ次光検出器を設置することにより、ゼロ次光の信号出力がプラズマの発光状態と対応しているという性質を利用して、取得したゼロ次光の信号出力から、プラズマの発光状態をモニタする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光モジュール１では、分光部４に進行する光Ｌ１が光通過孔５０を通過するに際し、分光部４側に向かって先細りとなる光入射側部５１を抜け、光入射側部５１の底面５１ｂと対向するように形成された光出射側部５２に入射した光のみが光出射開口５２ａから出射される。このため、光入射側部５１の側面５１ｃや底面５１ｂに入射した迷光Ｍは、光出射側部５２と反対側に反射されるので、光出射側部５２に迷光が入射することを抑制することができる。従って、分光モジュール１の信頼性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】顕微領域およびマクロ領域それぞれの分光データを一括取得する。
【解決手段】分光計測装置は、測定対象光を２つに分離するビームスプリッター（３）と、スリットに入射した光を分光する分散素子及びこの分散素子によって分光された光を受光する２次元ＣＣＤアレイからなる分光器（１０）と、第１の光を導くシングルモードファイバー（５）と、第２の光を導くマルチモードファイバー（８）と、ファイバー（５，８）の出射側の端面から出射する２つの測定対象光を分光器（１０）のスリットに集光するファイバー集光光学系（９）とを備える。ファイバー集光光学系（９）は、ファイバー（５，８）の出射側の端面を、２つの測定対象光による干渉の影響を受けない間隔であって、かつ２つの測定対象光を２次元ＣＣＤアレイの受光面上の別々の位置に独立に集光可能な間隔で並べて配置する。 （もっと読む）

【課題】サイズと、重量と、コストとに関して、大幅に簡素化された、気体の検出用の３チャネルの分光計を提供する。
【解決手段】３チャネル分光計１００は、入射放射線１０１を受け取って、入射放射線の第１の部分と、第２の部分と、第３の部分とを透過するビームスプリッタ要素１０５と、第１の部分を受け取って、第１の波長の範囲の第１のスリット出力放射線を透過する第１のスリットと、第２の部分を受け取って、第２の波長の範囲の第２のスリット出力放射線を透過する第２のスリットと、入射放射線の第３の部分を受け取って、第３の波長の範囲の第３のスリット出力放射線を透過する第３のスリットと、第１と、第２と、第３のスリット出力放射線を受け取って、平行にする共通の光学フォーム１１１と、共通の光学フォームから、平行にされた第１と、第２と、第３のスリット出力放射線を受け取って、反射する分散要素１１３とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光モジュール１では、分光部４に進行する光Ｌ１が光通過孔５０を通過するに際し、分光部４側に向かって先細りとなる光入射側部５１を抜け、光入射側部５１の底面５１ｂと対向するように形成された光出射側部５２に入射した光のみが光出射開口５２ａから出射される。このため、光入射側部５１の側面５１ｃや底面５１ｂに入射した迷光Ｍは、光出射側部５２と反対側に反射されるので、光出射側部５２に迷光が入射することを抑制することができる。従って、分光モジュール１の信頼性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 小型化及び検出精度の向上の両立を図ることができる分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、光を透過させる本体部２と、本体部２の所定の面から本体部２に入射した光を分光すると共に所定の面側に反射する分光部と、所定の面に配置され、分光部によって分光されると共に反射された光を検出する光検出素子４と、所定の面に設けられ、分光部に進行する光が通過する第１の光通過孔６ａ、及び分光部から光検出素子４に進行する光が通過する第２の光通過孔６ｂを有する遮光層６と、光検出素子４を所定の面に固定する遮光性の樹脂部材１０と、を備えている。樹脂部材１０は、光の入射方向から見た場合に、光検出素子４の外縁から突出する突出部１５ａを複数有し、第１の光通過孔６ａの少なくとも一部は、光の入射方向から見た場合に、隣り合う突出部１５ａ，１５ａの間に位置している。 （もっと読む）

【課題】スペクトル形状が未知の試料を測定対象とする場合、測定者の経験と知識に基づいて、試料の真のスペクトルピークを検出可能な波長分解能が選択される。
【解決手段】波長分解能の設定作業を、測定スペクトルに応じて自動的に設定できるようにする。このため、隙間幅が異なる複数のスリットを用意し、個々のスリットを通過する単色光の波長を所定の波長範囲内で走査させることにより、スリットの隙間幅別のスペクトルを測定する。この後、隙間幅が異なるスリットについて測定された複数のスペクトルの比較結果に基づいて、試料の測定に使用する少なくとも１つのスリットの隙間幅と当該スリットの隙間幅を適用する少なくとも１つの波長範囲の関係を規定するスリット条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】高波長分解能と高速測定とが両立可能な光強度スペクトル測定方法および装置を提供する。
【解決手段】入力光を波長成分ごとに空間分解し波長成分ごとに空間分解された分解光を生成する波長成分分解素子（１００３）と、分解光を複数の分岐光に分岐するハーフミラー（１００４）と、複数の分岐光をそれぞれ別個に受光する複数のスリット付き受光素子アレイ（１００７，１００５；１００８，１００６）と、複数のスリット付き受光素子アレイでそれぞれ検出された波長成分ごとの光強度信号から前記入力光の光強度スペクトル情報を生成する光強度スペクトル構成部（１００９）と、を有し、複数のスリット付き受光素子アレイの各々は、受光する分岐光の波長成分変化方向と受光素子のアレイ方向とが一致し、前記アレイ方向において各受光素子の受光面に対する当該受光面より狭いスリット透光部の位置がスリット付き受光素子アレイごとに異なる。 （もっと読む）

【課題】読み取り対象物の全幅に対して分光特性を高速に計測することが可能な分光特性取得装置、画像評価装置、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光を照射する光照射手段１１と光照射手段から対象物９０に照射された光の拡散反射光の一部を取り込む遮光部材１３に複数個の開口部が一列に並んだホールアレイ１４と、ホールアレイ上の像を結像する結像手段１５と、結像手段によって取り込まれる光を波長に応じて異なる方向へ伝播せしめる回折手段１６と、回折された拡散反射光を取得する受光手段１７で構成される分光特性取得装置１０であって、受光手段は分光センサが一方向に複数個配列された分光センサアレイを構成し、分光センサは、一方向に配列された互いに分光特性の異なる光を受光する所定数の画素を有しており、ホールアレイを構成する複数個の開口部は結像手段によって受光手段上に結像される像の像高に応じて形状が異なっている。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュールは、光を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、前面２ａ上に支持され、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出素子４と、前面２ａに形成され、光検出素子４の外部端子が電気的に接続された複数のパッド部９ａ、光検出素子４の出力信号を外部に取り出すための複数のパッド部９ｂ、及び対応するパッド部９ａとパッド部９ｂとを接続する複数の接続部９ｃを有する配線９と、接続部９ｃを覆い且つパッド部９ａ，９ｂを露出させるように前面２ａに形成され、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔６ａ、及び光検出素子４に進行する光Ｌ２が通過する光通過孔６ｂを有する光吸収層６と、を備える。 （もっと読む）