【課題】姿勢が変化しても、オフセット値を自動補正することで、姿勢に影響しない圧力測定装置を実現する。
【解決手段】中央部にセンターダイヤフラムが形成された本体と、該本体の両側面にすり鉢状の凹部が形成され該凹部を覆うと共に周縁が固定された接液ダイヤフラムと、前記本体内または本体の近傍に形成された圧力検出部と、前記凹部と圧力検出部を連結して形成された導圧路と、前記凹部および導圧路に封入された封入液からなる圧力測定装置において、前記本体内または本体の近傍に該本体の傾きを検出する傾斜検出手段を設け、前記圧力検出部と傾斜検出手段の出力に基づいて前記圧力検出部の出力を補正する補正演算手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】力伝達部材の構造を簡素化することにより小型化し、高精度で温度衝撃に強く、
測定装置の設置角度が変化する場合でも、正確な測定値が得られる圧力センサーを得る。
【解決手段】圧力感知ユニット１は、ハウジング５と、ハウジング５内部に配置されてい
る圧力検出部とからなる。圧力検出部は、第１、第２ダイアフラム１０、１１を夫々の中
央領域で連結して一体化し力の伝達を可能としたセンターシャフト１３と、センターシャ
フト１３に固定された可動受け台１５と天板７の先端部に設けた固定受け台７ａとに両端
部が取り付けられ検出軸をセンターシャフトと平行に設定された力感応部１７と、を有し
ている。力感応部１７は、検出軸方向の圧力を検出する圧力感応素子３０と、圧力感応素
子３０の一端に一方の端部が連結され重力方向からの傾きを検出する重力感応素子３４と
、重力感応素子の両端部に連結された重み部３８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】温度変化に伴う圧力測定値の誤差を減少させた圧力センサーを提供する。
【解決手段】ハウジング１２と、前記ハウジングの開口部２２を封止し、外部の圧力を前記ハウジング１２内部に伝達する受圧手段（ダイアフラム２４）と、感圧部（振動腕）４０ｃと前記感圧部の両端に接続される一対の基部（第１の基部４０ａ、第２の基部４０ｂ）とを有する感圧素子４０と、を有する圧力センサー１０であって、力の検出方向を検出軸とし、前記一対の基部を結ぶ直線と前記受圧手段の変位方向とが平行に配置されるとともに、前記基部の一方（第１の基部４０ａ）は、前記圧力により変位する前記受圧手段の中央領域２４ａに接続され、前記基部の他方（第２の基部４０ｂ）は、接続部材４２を介して前記受圧手段の固定側の周縁領域２４ｃに接続されてなる。 （もっと読む）

【課題】センサ部のトリミング処理に必要な精度を確保しつつ面積を低減する。
【解決手段】圧力センサなどのセンサチップで、製造工程や組み立て後に必要な特性値のずれを調整するトリミング処理について、レーザトリミング処理と電気トリミング処理を併用する構成を採用する。製造工程でウエハ状態でレーザトリミング処理Ｓ２を行い、センサ部の概略的なトリミングを行う。組み立て後に電気トリミング処理Ｓ５により、微調整をすることで精度を高めたトリミングを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】設置角度が変化するような場合でも、正確な測定を行うことのできる管路内流体の測定装置を提供する。また、装置設置後の校正工程を省くことのできる管路内流体の測定装置および測定システムを提供する。
【解決手段】ダイアフラム１２，１２の一面側に封入液１５，１５が充填され、この封入液が圧力センサ２１に導かれるように構成された検出カプセル１０を有し、ダイアフラム１２，１２の他面側に管路内流体を導いて封入液１５の圧力を検出することで、管路内流体の圧力または管路内流体の二点間の差圧を測定する管路内流体の測定装置である。そして、検出カプセル１０に設置角度を検出する角度検出センサ２２を設け、この角度検出センサ２２の出力に応じて圧力センサ２１の出力を補正する補正手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】コモンレール内の燃料圧の検出誤差を低減し、しかも検出誤差が生じた場合においてそれに起因する不都合の発生を抑制する。
【解決手段】コモンレール１２には２つのコモンレール圧センサ１６，１７が設けられており、それら各センサ１６，１７の検出信号はＥＣＵ２０に各々取り込まれる。ＥＣＵ２０は、前記検出信号に基づく圧力検出値について平均化処理を行うとともに、該平均化した結果を、センサ単体の特性ばらつきの範囲内においてオフセットさせる。そして、オフセット後における圧力検出値に基づいてコモンレール圧を算出する。 （もっと読む）