国際特許分類[G01L21/32]の内容
物理学 (1,541,580) | 測定;試験 (294,940) | 力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定 (8,098) | 真空計 (130) | イオン化効果を利用するもの (58) | 熱陰極放電管を用いるもの (21)
国際特許分類[G01L21/32]に分類される特許
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真空計
【課題】 本発明は感度を高める真空計を提供目的とする。
【解決手段】 本発明は陰極ユニットと、陽極環と、遮蔽極と、イオン引出し極と、反射極と、コレクタと、を含む。前記遮蔽極は一端が前記陰極ユニットに対応し、他端が前記イオン引出し極に対応する。前記イオン引出し極の中心にイオン引出し穴を設置する。前記反射極は曲面に構成され、この曲面構成は遮蔽極のイオン引出し極に近い一方側を囲んでいる。前記コレクタは反射極の曲面構成の底部に設置され、かつイオン引出し穴に向ける。前記陽極環は遮蔽極の内部に固定されている。本発明にかかわる真空計はサドルフィールドの真空計と電離真空計の長所を結合し、体積が小さく、エネルギーの消耗が少なく、構成が簡単で、感度が高い特徴がある。
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