【課題】電子源の歪力を軽減しながら、様々な圧力レベルでの動作において、スパッタリングによる損傷を受けることがない電離真空計、そのような電離真空計を使用した圧力測定方法、および真空の気体雰囲気内での各種方法を提供する。
【解決手段】本発明の電離真空計１００は、電子１２５を放出する電子源１０５と、イオン化空間を形成する陽極１２０と、電子とイオン化空間における気体との衝突によって生成されるイオンを収集する収集電極１１０とを備える。なお、コントローラ１０５ａにより、動作時の電子源１０５からの放出電流を、圧力以外の検出パラメータに応答して能動的に制御するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】電離型の第１の測定素子による中真空から高真空領域の圧力の測定と、第２の測定素子の固有測定領域の、双方に及ぶ測定領域を安定して測定できる。
【解決手段】複合型真空計は、測定子容器２と、測定子容器中に設けられ、かつフィラメント３、グリッド４及びイオンコレクタ８を含む構成電極を具える、電離型構造を有する第１測定部と、グリッド４の軸延長上付近に設けられ、水晶振動子１８と該水晶振動子１８を包みこむ構造を有する水晶振動子容器１９を具える、第２の測定部と、前記第１の測定部と前記第２の測定部とを空間的に分離するシールド板１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は感度を高める真空計を提供目的とする。
【解決手段】本発明は陰極ユニットと、陽極環と、遮蔽極と、イオン引出し極と、反射極と、コレクタと、を含む。前記遮蔽極は一端が前記陰極ユニットに対応し、他端が前記イオン引出し極に対応する。前記イオン引出し極の中心にイオン引出し穴を設置する。前記反射極は曲面に構成され、この曲面構成は遮蔽極のイオン引出し極に近い一方側を囲んでいる。前記コレクタは反射極の曲面構成の底部に設置され、かつイオン引出し穴に向ける。前記陽極環は遮蔽極の内部に固定されている。本発明にかかわる真空計はサドルフィールドの真空計と電離真空計の長所を結合し、体積が小さく、エネルギーの消耗が少なく、構成が簡単で、感度が高い特徴がある。 （もっと読む）

真空圧力測定装置は、衝突電離によってイオン（２２）を形成するための反応ゾーン（３０）を備える電子源（１）を含んでおり、電子源（１）は電子（２１）の通過開口部（４０）を介して反応ゾーン（３０）と連通するように接続されている。電子源は、真空室（７）を備える絶縁性ハウジング（６）で取り囲まれており、真空室（７）を外部領域に対して封止するように分離するとともに少なくとも部分的に電子透過性に構成されたナノ膜（５）を少なくとも１つの部分領域で支持する隔膜支持体（４）として壁部が構成されており、この真空室（７）の中には電子（２１）を放出するための陰極（２）が配置されており、ナノ膜（５）の領域および／またはナノ膜の表面には陽極構造（３）が設けられており、それにより電子（２１）がナノ膜（５）に向かって案内されて少なくとも部分的に該ナノ膜を通り抜けるように案内されるようになっており、ナノ膜（５）は真空圧力測定装置の真空室に接している。
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【課題】 通電加熱式グリッドを有する電離真空計及び質量分析計の電流導入端子にかかる電流負荷を小さくし、真空端子部の小型化とコスタダウンを図る。
【解決手段】 真空装置に連通状態で接続された真空容器の内部に、少なくともグリッドと電子源を有する電離真空計及び質量分析計において、該グリッドを抵抗率の高いチタン金属又はチタン合金を用いて形成した。 （もっと読む）

【課題】発生する雑音電流を極めて小さくすることが可能であり、超高真空領域から極高真空領域に亘る全圧の測定を簡単且つ高精度に行うことができる電離真空計を提供する。
【解決手段】電子銃部は、筒状格子型電極Ｌ１の一端側に設けられ、加速させた電子を筒状格子型電極Ｌ１内に入射する。電子収集電極Ｌ３は、筒状格子型電極Ｌ１の他端側に設けられ、筒状格子型電極Ｌ１内を通過してその他端側から出射した電子を収集する。イオン収集電極Ｌ４は、筒状格子型電極Ｌ１の一端側に設けられ、Ｌ１内を飛行する電子によって発生したイオンを収集する。これにより、ほとんど全部の電子を電子収集電極Ｌ３に収集することが可能となり、従来の電離真空計において主要な雑音電流であったＸ線光電子電流や電子衝撃脱離イオン電流などの発生を避けることができる。 （もっと読む）

【課題】 三極管型熱陰極電離真空計において、測定管の内部電極と測定管内壁の脱ガス効果を向上させる。
【解決手段】 三極管型熱陰極電離真空計において、集イオン電極７を螺旋形状にし、電極の両端を導入端子１２、１３に接続する。この導入電極に電力を供給し、集イオン電極を加熱する。 （もっと読む）

【目的】 Ｂ−Ａ型熱陰極電離真空計において、機器の安定化を計り、併せて吸着ガスの放出を短時間で放出させる。
【構成】 一組の熱陰極をもつＢ−Ａ型熱陰極電離真空計において熱陰極と管壁の間に、遮蔽効果と通電時に発熱効果をもたらす螺旋状電極７を置く。 （もっと読む）

【課題】 マグネトロン真空計は一度放電が停止してしまうと再度放電させるまでに長時間を要するという点であり、また、マグネトロン真空計では低真空領域の測定ができず、定電流による測定は陽極を破壊してしまう虞もあり、異常大電流を抑えて単に定電流を流しても非線形となっているため、そのままでの測定はできないという点である。
【解決手段】 熱エネルギーを与え、吸着脱離時間を短縮させ、電子の運動エネルギーを増加させることで放電開始時間を短縮することとし、また、複数種の定電流を切り換えてマグネトロン真空計の両端電圧、周波数及び振幅を測定してその各定電流による測定値データを比較して真空度を表示することとする。 （もっと読む）

電離真空計１１０を少なくとも１つの他の真空センサに組み合わせることによってガス圧を測定するための方法および装置。真空ゲージ１６５に結合された不揮発性メモリ１４０が、工場での較正にもとづく個々のセンサに固有の較正パラメータを含んでいる。この不揮発性メモリ１４０は、電離真空計１１０によって引き起こされる温度勾配を補償するために、熱に影響されやすい真空センサのための較正パラメータを含むことができる。この較正パラメータは、電離真空計１１０がオンまたはオフの両方であるときに割り出された較正データの関数である。不揮発性メモリ１４０は、真空ゲージ１６５の不調または故障の原因の調査に役立つよう、所定の時間間隔で更新され、かつエラー事象などといった事象に応答して更新される真空ゲージ１６５の測定データのウインドウを保存することができる。 （もっと読む）