【課題】 振動漏れを減少させ、精度の良い角速度の検出を行う。
【解決手段】 三回対称の圧電材料からエッチングによって素子外形が形成されるＨ型構造の慣性センサ素子で、軸線方向がＸ１軸と平行となる基部１０と、軸線方向が基部１０と直交する方向で基部１０から延出する２つ一対の検出脚部２０と、軸線方向が基部１０と直交する方向であって検出脚部２０とは反対側に基部１０から延出する２つ一対の励振脚部３０と、各励振脚部３０の基部１０側に向く端側において基部１０に近づくにつれて広がるように拡幅するテーパ部４０と、を備え、エッチングで得られるテーパ部４０において、基部１０の＋Ｘ方向を向く辺４１における拡幅開始位置Ｐ１と、基部１０の＋Ｘ方向を向く辺４１とは反対側の辺４２に形成される残渣Ｎの基部１０から離れる先端４３の位置とが、基部１０の軸線方向と平行となる直線Ｌ１上に位置することを特徴とする。 （もっと読む）

本マイクロシステム（１）は、平らな基板に実現されて、懸架バネ（３ａ、３ｂ）によって基板に接続された２つの振動質量体（２ａ、２ｂ）を備える。振動質量体（２ａ、２ｂ）は、振動質量体（２ａ、２ｂ）の励振が予め決められた励振方向（Ｏｘ）で行われたとき、前記振動質量体（２ａ、２ｂ）の逆位相運動を引き起こすように剛体結合バー（１１）によって結合されている。結合バー（１１）は、振動質量体（２ａ、２ｂ）の相対する側（７ａ、７ｂ）に配置された対応する懸架バネ（３ａ、３ｂ）の中間領域に接続されている。中間領域は、対応する振動質量体（２ａ、２ｂ）に固定された懸架バネ（３ａ、３ｂ）の第１の端と、対応する取付け点（４ａ、４ｂ）で基板に固定された懸架バネ（３ａ、３ｂ）の第２の端との間に配置されている。
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【課題】圧電デバイスにおいて、圧電振動片を保持するリード線とパッケージとの接合に
おいて、リード線をフォーミングする必要があった。
【解決手段】本発明の圧電デバイスは、圧電振動片と、前記圧電振動片を保持すべく一端
が前記圧電振動片に接続されたリード線と、前記リード線を支持するための支持基板であ
って、前記振動片に対向する面と表裏の関係にある面に前記リード線の他端近傍が固定さ
れた前記支持基板と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】複数の分解能要求に対して、検出素子部を分解能毎に設けることなく１個とし、小型化、低コスト化が実現できる慣性センサユニットを提供する。
【解決手段】 検出対象物の加速度又は角速度を検出対象物の慣性力として検出し、アナログ信号で出力する検出素子部及び該検出力をデジタル信号に変換する信号処理素子部を有し、対象物に取付けられ、デジタル信号を出力する慣性センサと、該センサの出力側にシリアルラインを介して接続され、デジタル信号を処理する演算部を備えた慣性センサユニットにおいて、信号処理素子部は、検出素子部のアナログ信号レベルの第１の範囲を所定ビットのデジタル信号に変換する第１のデジタル変換処理及び第２の範囲を所定ビットのデジタル信号に変換する第２のデジタル変換処理の少なくとも２種類の変換処理を行うデジタル変換部と、２種類のデジタル信号を時分割多重化して、シリアルラインに出力する多重化部を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子の漏れ振動をレーザーにより調整する加工では、加工時に発生する熱の影響により漏れ信号を正確に検出できず、正しい漏れ振動調整ができないという問題があった。
【解決手段】駆動信号を出力して圧電振動子を定常に振動させ、圧電振動子から発生する出力信号を入力して不要な漏れ振動成分を検出し、漏れ信号を出力する漏れ振動検出手段と、漏れ信号に基づき漏れ振動を低減する調整加工の条件を求める演算を行って、制御信号を出力する漏れ振動制御手段と、制御信号の一つに基づいて圧電振動子の位置決めを行う位置決め手段と、別の制御信号に基づいて圧電振動子の調整部にフェムト秒レーザーを照射するフェムト秒レーザー発生手段とを有し、フェムト秒レーザーで調整部を微少量除去する加工を行う。真空チャンバー中に圧電振動子を収めて加工すれば、調整精度がさらに上がる。 （もっと読む）

【課題】駆動モードにおける励振効率を低下させることなく、角速度の検出感度を高めることができる振動片を提供する。
【解決手段】振動片１０は、圧電材料からなり、Ｚ軸方向に厚みを有し、直交するＸ軸及びＹ軸面内に展開される振動片であって、Ｘ軸方向に延在される梁部５０と、梁部５０からＹ軸方向に垂直に延在され駆動電極を有する一対の駆動腕２０，３０と、一対の駆動腕２０，３０の中央に、梁部５０からＹ軸方向に垂直に延在され検出電極を有する検出腕４０と、梁部５０に連続し、主面６０ａに駆動電極及び検出電極それぞれが接続される電極端子が設けられる基部６０と、を備え、静止時において、駆動腕２０，３０がＸ軸方向に屈曲振動し、角速度が加えられた際に、検出腕４０がコリオリ力によりねじれ振動が誘発され、このねじれ振動により発生する電荷を検出する。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロを静止した状態において、面外振動成分による不要検出出力を抑制し、信頼性が高い振動型ジャイロを実現する振動片の調整方法を提供する。
【解決手段】振動片１０の調整方法は、圧電材料からなり、Ｚ軸方向に厚みを有し、直交するＸ軸方向及びＹ軸方向面内に展開される振動片１０の調整方法であって、静止時において、Ｙ軸方向に平行に延在される腕部１ａ（腕部１ｂを含む）をＸ軸方向に屈曲振動させ、振動片１０の形成時に腕部１ａのＸ軸方向側面に発生するヒレ１１１に起因する図心軸の位置がＰ２に移動することにより発生する不要検出出力を検出する工程と、検出された前記不要検出出力のレベルに対応して腕部１ａの稜線部１１３を除去する調整工程と、を含み、稜線部１１３を除去することによって、図心軸位置Ｐ２を図心軸位置Ｐ３に移動させ不要検出出力の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 一つの例示の実施例では、外面を持つ内リング及び内面を持つ外リングを備えた、慣性計測ユニット（ＩＭＵ）用の遮断器を提供する。
【解決手段】 遮断器の内リングは凹所部分を備え、外リングは突出部分を備えて、突出部分は高速回転発生中に凹所部分の少なくとも部分と相互係止し、内リングが外リングに対して過度に回転しないようにする。遮断器は、更に、内リングの少なくとも一部と外リングの少なくとも一部との間に位置決めされたエラストマーを含んでいてもよい。これは、ＩＭＵの作動中の振動及び／又は衝撃の遮断性を高めるため、及び大きな衝撃の発生中における遮断器の底付き中に衝撃を減衰させるためである。 （もっと読む）

【課題】 干渉ノイズの発生を抑えて特性の劣化が少ない、生産性の良い、高性能、低価格の圧電振動ジャイロを提供することを課題とする。
【解決手段】 圧電振動子１１、圧電振動子２１を音叉形状とし、音叉のアーム部１１ａとアーム部２１ａの形状のみが異なる複数の前記圧電振動子を、互いに直交させた軸上に配置し、実装固定方法を同一にする為に、音叉のアーム部以外の形状を同一とする。 （もっと読む）

【課題】感知軸線の移動した超小型電機システム（ＭＥＭＳ）慣性センサを、標準ＳＭＴアタッチメント及びアッセンブリプロセスで処理できる密封ＩＣ型パッケージにおけるＩＲＳＰＣＢに装着することを提供する。
【解決手段】超小型電機システム（ＭＥＭＳ）センサダイ２８の取付け装置１０であって、ほぼ平面状でしかも相互に直交方向に向いたダイ取付け面平面３０及びインターフェース面２２を備えたブラケット１４と；ダイ取付け面平面部とインターフェース面との間に結合し、電力、接地及び動作信号を搬送する電気信号キャリアと；インターフェース面上に位置決めし、印刷回路ボード（ＰＣＢ）に直接取付けできるようにされた電気的インターフェースパッド２４と、を含む。 （もっと読む）