国際特許分類[G01Q30/12]の内容
物理学 (1,541,580) | 測定;試験 (294,940) | 走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[SPM] (274) | 走査プローブ技術または装置の補助または改良に資する補助的手段,例.表示装置またはデータ処理装置 (46) | サンプルチェンバー内に所望の環境条件を確立し調節するための手段 (20) | 流体環境 (14)
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液体環境 (12)
国際特許分類[G01Q30/12]に分類される特許
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原子間力顕微鏡による絶縁材料の表面分析方法
【課題】 高分子等の絶縁材料表面の形状像や位相像を高分解能で得ることにある。
【解決手段】 高湿度環境下で絶縁材料の静電気による帯電を抑制してAFM測定を行う原子間力顕微鏡による絶縁材料の表面分析方法である。
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大気中または液体中におけるシングルまたは多重プローブ動作に対する干渉または幾何学的制約なしの走査プローブ顕微鏡
ある方法及び装置が、たとえば音叉などが大気中または液体中で使用される非光学的フィードバック機構(1.2)を有する走査プローブ顕微鏡を可能にする。本発明の実施形態は、上側または下側から幾何学的に本質的にレンズ(1.3)を妨害しないで、サンプルと相互に作用する当該プローブとの自由なアクセスを可能にする方法において、非光学的フィードバック機構を一体化できる走査型装置の幾何学的構造を必要とする。1つのそのような実施形態において、x、y及びzでのスキャナー(1.1)は、非光学的フィードバック機構が液体中または大気中いずれかに存在する構造を有するプローブを移動させることができ、カンチレバー型プローブまたは直線プローブを使用できる。当該システムはまた、液体中及び/または大気中で動作できる複数の独立した走査プローブ顕微鏡プローブを用いて構成される。
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