【課題】摩擦力顕微鏡においてカンチレバーによる定量的な摩擦力の測定を可能とすること。
【解決手段】摩擦力顕微鏡においてカンチレバーの有効な探針高さおよび捻れバネ定数を、それぞれカンチレバーの撓み方向の変位情報から求めた撓み感度および捩れ方向の変位情報から求めた捩れ感度により算定し、該算定値を用いた摩擦力の算定機構を備えた摩擦力顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】材料の重心が検知用の板ばねの中心からずれたり、板ばねが変形した場合にも測定を可能とする。
【解決手段】本発明の走査型プローブ顕微鏡は、第１試料１が先端部に設置された板ばね３と、板ばね３の端部を固定する固定部材１４と、第２試料２が固定される試料台１５と、光源１６からの検出光が板ばね３に当てられ、その反射光を光検出器１７で検出する板ばね３の変位検出光学系１８と、試料台１５又は板ばね３を動かして、第１・第２試料１、２を接近・離隔させるための試料間隔調整機構１９と、第１・第２試料１、２間の摩擦を測定する水平走査機構２０と、第１・第２試料１、２間の吸着、凝着、反発のうち少なくとも一つを測定するための垂直走査機構２１とを備える走査型プローブ顕微鏡Ｓ１であって、検出光ｒ１１の光軸が当てられた板ばね３の傾きを、試料台１５に対して任意の角度で変化させる固定部材１４を回転させる回転機構２２を備える。 （もっと読む）