本発明では、ヒーターと一体となった微細電気機械装置のパッケージおよび微細電気機械装置をパッケージする方法が開示される。微細電気機械装置のパッケージは、第１のパッケージ基板および第２のパッケージ基板を備え、それらの間にマイクロミラーアレイ装置などの微細電気機械装置が配置される。第１と第２のパッケージ基板とを接合してその内部に微細電気機械装置をパッケージするため、シーリング媒体層が堆積され、ヒーターによって加熱されて、第１と第２のパッケージ基板とを互いに接合する。
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可変レンズ（１００、２００、３００、４００、５００、６００）を記載する。そのレンズ（１００、２００、３００、４００、５００、６００）は、チャンバー（１２５）を含み、そのチャンバーは、少なくとも一つの側壁によって定義されると共にそのチャンバーを通じて縦に延びる光軸（９０）を有する。チャンバー（１２５）は、光軸（９０）を横断して広がるメニスカス（１５０）にわたって接触している第一の流体（１３０）及び第二の流体（１４０）を含有する。メニスカス（１５０）の周は、側壁（１２５）によって束縛される。流体（１３０、１４０）は、実質的に不混和性であると共に異なる屈折率を有する。少なくとも一つのポンプ（１１０、１１２、１１４、１１６、１５２、４２２）は、チャンバー（１２５）内に含有された流体（１３０、１４０）の各々の相対的な容積を変えることによって、光軸（９０）に沿ってメニスカス（１５０）の位置を制御可能に変えるために、配置される。

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ｎを整数かつｎ≧２とする、ｎ個の流体（８０，８７；２２０，２３０；３２０，３３２；４２０，４２２，４３０，４３２）を含む密封されたキャビティを有する装置（１００；２００；３００；４００）が、記載されている。各流体は、隣接している各流体と、実質的に不混和である。前記キャビティは、ｎ個の連続的な領域６０，１７０；２６０，２７０；３６０，３６２，３７０；４６０，４６２，４７０，４７２）に分割されている内側表面によって規定されており、前記連続的な領域各々は、各々対応する流体と接触している。各領域の濡れ性は、各々対応する流体が、対応する領域に近接している何れの領域よりも、該対応する領域に、優先的に付着する濡れ性である。
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【課題】コンパクトな構成で、高速動作が可能となる光偏向装置、該光偏向装置によって構成した光偏向装置、該光偏向装置によって構成した光スイッチ、光走査装置、および光偏向方法を提供する。
【解決手段】フォトニック結晶部と、前記フォトニック結晶部に光を導入する光導入手段と、前記フォトニック結晶部を機械的外力により変形させ、前記光導入手段により導入された光の前記フォトニック結晶部における屈折角を変化させる外力印加手段と、を有することを特徴とする光偏向装置。コンパクトな構成で、高速動作が可能となる。 （もっと読む）

【課題】色光を切り替える制御が簡単であり、しかも照明効率の良い、薄型で低コストのプロジェクション光学系を提供する。
【解決手段】複数の表示パネルによるマルチ画面の画像をスクリーンに投影するプロジェクション光学系において、光源からの光をＲ，Ｇ，Ｂ各色の光に分離する色分離手段と、前記分離されたＲ，Ｇ，Ｂ各色の光のいずれかを照明光として前記各表示パネルへ導く導光手段と、前記各導光手段に導かれる前記Ｒ，Ｇ，Ｂ各色の光を切り替える色切替手段と、を有する照明光学系と、前記各表示パネルからの投影光をマルチ画面で投影する投影光学系とを備え、前記各表示パネルは前記Ｒ，Ｇ，Ｂ各色の光の切り替えに同調して、前記Ｒ，Ｇ，Ｂ各色に対応した表示を切り替える構成とする。 （もっと読む）

【目的】 小型で単純なティルト・シフト連動機構と、光学装置を提供すること。
【構成】 モータ９の駆動力は出力ギア５ｂからラックギア３ａに伝達され、光学鏡筒１を上下方向にシフトする。同時に、モータユニット５のギア群５ａに駆動力が伝達され、大ギア８（ティルト用）が回転し光学鏡筒１をティルトさせる。 （もっと読む）