【課題】低電圧で正確な駆動を実現することができる光学素子を提供する。
【解決手段】この光学素子は、対向配置された電極１１，１２と、電極１１，１２をそれぞれ覆う誘電体膜１３，１４と、誘電体膜１３と誘電体膜１４との間のキャビティ部１５を含む空間に封入され、互いに異なる屈折率を有する極性液体１６および無極性液体１７とを備える。電極１２は、入射光の一部を透過すると共に他の一部を反射するものであり、電極１１は、電極１２を透過した光を反射するものである。 （もっと読む）

【課題】反射膜同士が貼りつき難くする波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】第１基板１０と第２基板２０との間に第１反射膜１４と第２反射膜２４と静電アクチュエーター４０とを含んで密閉された第１空洞部４５と、第２基板２０と第３基板３０との間に密閉された第２空洞部４６と、を備え、第１空洞部４５内および第２空洞部４６内は大気圧より小さい圧力で保持され、第１空洞部４５内の圧力は、第２空洞部４６内の圧力より大きく形成する。 （もっと読む）

【課題】機械的な干渉、過度の湿気、及び損傷を及ぼす可能性がある物質からインターフェロメトリックモジュレータを保護するバックプレートを備えたインターフェロメトリックモジュレータアレイを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳを基本にしたディスプレイデバイス６００であり、インターフェロメトリックモジュレータアレイ６０４が透明基板を通じて光を反射させるように構成されている。透明基板は、シール６０６を介してバックプレート６０８に取り付けられており、バックプレートは、インターフェロメトリックモジュレータアレイを制御するための電子回路を内蔵することができる。バックプレートは、ディスプレイの状態を制御するために使用することができるデバイス構成要素（例えば電子構成要素、等）に関する物理的支持物となることができる。さらに、バックプレートは、デバイスに関する構造上の主支持物として利用することもできる。 （もっと読む）

【課題】迅速に安定状態に移行可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、固定基板５１に接合された可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２に設けられ固定反射膜５４に反射膜間ギャップＧ１を介して対向する可動反射膜５５と、可動基板５２を固定基板５１側に撓ませて反射膜間ギャップＧ１のギャップ量を変化させる静電アクチュエーター５６と、を具備し、固定基板５１及び可動基板５２の間には、反射膜間ギャップＧ１のギャップ量が小さくなった際に、固定反射膜５４及び可動反射膜５５の間の空気が逃げる解放空間５７が設けられ、可動基板５２のバネ定数をｋ_ｖとし、反射膜間ギャップＧ１に存在する空気のバネ定数をｋ_ａｉｒとした場合に、ｋ_ｖ≧２０×ｋ_ａｉｒの関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】内部気密性を良好に維持できる光学フィルターデバイス、及び光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】光学フィルターデバイス６００は、固定基板５１、可動基板５２、固定反射膜、及び可動反射膜を備えた波長可変干渉フィルター５と、波長可変干渉フィルター５を内部に収納する筐体６０１と、を具備する。筐体６０１は、ベース基板６１０と、当該ベース基板６１０に接合され、当該ベース基板６１０との間に内部空間６５０を形成するリッド６２０と、リッド６２０に設けられた光通過孔６２１を閉塞するリッド側ガラス基板６４０とを備える。そして、リッド側ガラス基板６４０は、基板端縁６４１が、光通過孔６２１の外周縁よりも外側に位置し、光通過孔６２１の外周縁から基板端縁６４１までの領域が、リッド６２０に接合される。 （もっと読む）

【課題】エレクトロウェッティングを用いて、高い解像度が得られるとともに、各画素を通過する光の位相を制御可能な空間光変調器を提供する。
【解決手段】入射光を変調する空間光変調器２８は、液体を収容可能な枠状の隔壁部３３ａ及び可変電圧が印加される画素電極３８を有する複数のセル部３４と、複数のセル部３４に収容可能に保持された互いに屈折率及び誘電率が異なる第１及び第２の液体Ｌｑａ，Ｌｑｂと、複数のセル部３４で増減する液体Ｌｑａ，Ｌｑｂを貯蔵可能な貯蔵部３１と、を備え、セル部３４の画素電極３８に印加される電圧によって、隔壁部３３ａ内における液体Ｌｑａ，Ｌｑｂの厚さの比を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でスペックルノイズの低減が可能な走査型表示装置を提供する。
【解決手段】走査素子１１０、走査素子１１２、位相分布変化素子１１１で構成される位相分布変化装置１０９を光ビームの光路に挿入する。走査素子１１０は、位相分布変化素子１１１上に光ビームを走査する。位相分布変化素子１１１は、光ビームが入射する位置によって異なる位相分布を光ビームに付加する。走査素子１１２を走査素子１１０と同期制御させ、光ビームの進行方向の変化を相殺する。即ち、位相分布変化装置１０９は、光ビームの進行方向を保持したまま、その位相分布を動的に変化させる。その結果、レーザ光ビームの干渉現象に起因するスペックルノイズパターンを動的に変化させ、時間的平均化効果により、スペックルノイズを低減する。 （もっと読む）

【課題】基板面に対して大きく傾斜した（或いは垂直に近い）半透過反射面に酸化シリコン膜を均一に形成し得る光学部品の製造方法、並びにこの方法により製造された光学部品を提供する。
【解決手段】光透過性光学部品１２を製造する方法であって、板状部材のシリコン領域１１をエッチングして凹部を形成する第１のエッチング工程と、凹部の内側面を熱酸化させて酸化シリコン膜１４を形成する熱酸化工程と、酸化シリコン膜１４を覆う窒化シリコン膜１６を形成する窒化膜形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】光反射性光学部品と光透過性光学部品とを近づけて配置することができ、基板の特性に関する要求が光学部品によって相反する場合でもそれらの要求を満たすことが可能な光モジュール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光モジュールは、シリコン領域１１をエッチングすることにより形成された光透過性光学部品１２を有する第１の板状部材１０と、光透過性光学部品１２を透過した光を反射する為の光反射性光学部品（鏡２１〜２４）を有する第２の板状部材２０とを備える。第１及び第２の板状部材１０，２０は互いに接合されており、光透過性光学部品１２を透過する光の光路が、第１の板状部材１０の部品形成面及び第２の板状部材２０の主面に沿っている。 （もっと読む）

【課題】 液体の供給機構を必要せず、光の位相変調がより速く行われる位相変調素子を提供することを目的とする。
【解決手段】 位相変調素子（１００）は、二次元に配置され二次元方向の垂直方向で所定の厚さ（Ｗ１）を有する複数のセル（１０）と、光を透過するとともに垂直方向にセル内を第１キャビティ（１１ａ）及び第２キャビティ（１１ｂ）に分け垂直方向に移動可能である可動窓（１３）と、第１キャビティに収納され第１屈折率（ｎ１）を有し光を透過する第１透明媒質（１２ａ）と、第２キャビティに収納され第１屈折率と異なる第２屈折率（ｎ２）を有し光を透過する第２透明媒質（１２ｂ）と、可動窓を移動させて第１キャビティに収納される第１透明媒質及び第２キャビティに収納される第２透明媒質の垂直方向の厚さ（Ｗ２、Ｗ３）を変更させる駆動部（１５）と、を備える。 （もっと読む）