【課題】磁気ディスクをホルダーに供給する際の位置決め精度を向上させる。
【解決手段】磁気ディスク(20)をチャック手段（60）でチャッキングした後、予め定められた所定の測定位置に当該磁気ディスク(20)を移動させ、ディスク面に対して垂直方向から、少なくともディスク孔のエッジを照明し得る光束断面の光を照射し、ディスク孔を通過した光を撮像手段によって撮像することにより、当該通過光束の画像データを取得し、該画像データからディスク孔の中心位置を測定し、予め設定されている基準点に対する偏移量を求め、該偏移量に基づいてディスクの位置を修正し、該磁気ディスクをホルダーに供給する。チャック手段(60)の内部に、照明用の光源(112)と、導光板(114)と、その一部を遮光する遮光板（118）を配設する。或いは、同軸落射照明を用い、チャック手段に反射面を形成することにより、ディスク孔を通過する反射光を撮像する、 （もっと読む）

【課題】 円盤状モールド構造体の検査方法の提供。
【解決手段】本発明の円盤状モールド構造体の検査方法は、円盤状の基板と、所望の設計パターンに基づいて該基板の表面に形成される凹凸パターンであり、該基板の半径方向に配置するサーボ領域用凹凸パターンと、該サーボ情報用凹凸パターンの間に、周方向に配置するデータ領域用凹凸パターンと、を有する円盤状モールド構造体の検査方法であって、該円盤状モールド構造体のサーボ領域用凹凸パターンに応じた磁気信号を、垂直磁気記録媒体に磁気転写する磁気転写工程（Ｓ１）と、垂直磁気記録媒体から磁気信号を電気的に再生して再生信号を取得する再生信号取得工程（Ｓ２）と、前記再生信号に基づいて、円盤状モールド構造体の性能を評価する評価工程（Ｓ３及びＳ４）とを備える。 （もっと読む）

【課題】転写装置内に塵埃が混入することなくマスターディスクをホルダーユニットに脱着させることができ、ホルダーユニットの位置精度について再現性を維持しつつ転写部に配置することができ、また、マスターディスクの交換する際にマスターディスクと被転写用ディスクの位置関係を合わせることができること。
【解決手段】被転写用ディスクに転写するための情報を備えたマスターディスクを保持するためのホルダーユニットと、前記ホルダーユニットに前記マスターディスクを保持させた状態で前記被転写用ディスクに前記情報を転写させる転写動作を行う転写手段と、前記転写手段が配置される空間である転写部と、前記ホルダーユニットに前記マスターディスクを保持させるための作業空間であって前記転写部と遮断可能なマスターセット部と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ディスクホルダの閉時においてディスクの位置ずれの発生を防止し、ディスクホルダの開時においてスレーブディスクが可動側のディスクホルダに持って行かれることを防止する。
【解決手段】本発明の転写装置は、第１ディスクホルダと第２ディスクホルダにより形成される密閉空間内であって被転写用ディスクの第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給する気体供給路と、密閉空間内で第１マスターディスクと第２マスターディスクにより被転写用ディスクを密着狭持させる密着狭持工程または密閉空間を開放する密閉空間開放工程の少なくともいずれか一方の工程において、気体供給路からディスク面空間へ気体を供給するように制御する制御手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】処理後のワークの品質維持を図り、装置タクトの短縮化を図ることができること。
【解決手段】本発明の処理装置は、ワークに対して処理を行う処理手段と、ワークを前記処理手段に供給する供給時または前記処理手段から回収する回収時にワークを保持する保持手段と、前記保持手段を移動させる移動手段と、前記保持手段を清掃する清掃手段と、を有し、前記供給時または前記回収時に前記保持手段が前記移動手段により移動させられる範囲を供給回収時移動範囲とするときに、前記清掃手段は当該供給回収時移動範囲の範囲外にある他の位置に配置されていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁気異方性エネルギーが高く、転写磁界によって発生する反磁界の影響が少ない磁性層を備えることで、信号線幅が狭い場合（８０ｎｍ未満）であっても信号出力を増大して、良好な磁気記録を行うことができる磁気転写用マスター担体、及びこれを用いた磁気転写方法の提供。
【解決手段】本発明の磁気転写用マスター担体は、垂直磁気記録方式の磁気記録媒体上に配置され、磁場を印加して該磁気記録媒体に磁気情報を転写するために用いられる磁気転写用マスター担体であって、転写用磁気情報に対応した磁性層が形成された転写部と、該磁性層を有する転写部に対して相対的に低い凹形状を成す非転写部と、を備え、該磁性層は垂直磁気異方性を有し、該磁性層の磁気異方性エネルギーが４×１０^６ｅｒｇ／ｃｍ^３以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、磁気転写用マスタを用いて磁気記録媒体に磁化パターンを形成した際に、磁気記録媒体に転写された磁化部の形状が所望の形状となるような凹凸パターンを有する磁気転写用マスタ及びそのような気転写用マスタを製造するための原盤の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】磁気転写用マスタ１０は、磁気記憶媒体２を部分的に磁化して磁化パターンを形成する。磁気転写用マスタ１０は、磁気記憶媒体２に接触する複数の凸部１０ｂを有する。凸部１０ｂのうち角部で互いに対向する２つの凸部１０ｂの当該角部の少なくとも一方を所定の大きさだけ除去する。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク媒体に形成する微細パターンの内外周描画で半径位置に応じた制御を簡易に高精度に行い、基板全体で一定の照射線量で高精度かつ高速に描画可能とする。
【解決手段】レジスト11が塗布された基板10上に電子ビームEBを走査して、微細パターン12のエレメント13の形状を塗りつぶすように描画する際に、回転ステージ41の回転速度を描画位置の半径に反比例して内周トラック描画で速く外周トラック描画で遅くなるように回転制御する一方、電子ビームの描画制御信号を回転ステージ41の回転に連係して生起する描画クロック信号に基づいて作成するもので、該描画クロック信号は回転ステージの１回転におけるクロック数を描画位置の半径によらず各トラックで一定値とする。 （もっと読む）

【課題】磁性層を有する凹凸パターンの形状安定性に優れた磁気転写用マスターディスクを得る。
【解決手段】微細な凹凸状パターンが形成された原盤(26)の表面に、導電膜による初期層(16)を形成し、次いでこの初期層(16)の上に磁性層（主層)（14)を形成した後、電鋳法により金属層(28)を形成する。初期層(16)と磁性層(14)及び金属層(28)が一体となった複版(30)を原盤(26)から剥離し、金属層(28)の凹凸面に磁性層(14)と初期層(16)とが積層形成された複版(30)である磁気転写用マスターディスクを得る。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク媒体に形成する微細パターンの電子ビームによる走査描画における照射線量調整の自由度をさらに高めて、微細パターンの複雑な形状の描画を高精度に行い、基板全体で一定の照射線量で高精度かつ高速に描画可能とする。
【解決手段】レジスト11が塗布された基板10上に電子ビームEBを走査して、微細パターン12のエレメント13を描画する際に、電子ビームEBを周方向と直交する方向Ｙへ高速に往復振動させると同時に、半径方向と直交する方向Ｘに、回転ステージ41の回転速度より速い速度で偏向させて、エレメントの形状を塗りつぶすように走査制御し、順次エレメントを描画する。 （もっと読む）