【課題】定量の液体金属を切り出し、切り出した液体金属をガスの圧力で吐出し、吐出方向を固定することによって、液体金属を定量吐出するとともに、同一の場所に滴下できる液体金属吐出装置を提供することを目的にする。
【解決手段】液体金属を導入し、導入した液体金属の定量を切り出して吐出流路に導く定量化手段と、前記吐出流路に導かれた定量の液体金属を駆動ガスの圧力により外部に吐出する吐出手段と、吐出する液体金属の吐出方向を固定する固定手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】気体導入の簡便化を図った液体金属リレーを提供する。
【解決手段】２枚の基板を張り合わせて形成された流路と、前記基板の表面から前記流路に導通し所定の間隔を隔てて配置された複数の貫通電極と、前記流路の両端に連通して配置された第１、第２気体室と、前記流路に封入された液体金属と、前記第１、第２気体室に封入された気体を加熱するヒータとを具備する液体金属リレーにおいて、前記流路または第１、第２気体室を構成する空間に薄膜を介して連通する少なくとも一つの穴を設け、前記薄膜を介して前記流路および第１、第２気体室に透過性の高い気体を封入した。 （もっと読む）

【課題】本発明の一実施形態は、作動が速く、衝撃と動きに強い微細液体金属液滴を用いたＲＦＭＥＭＳスイッチを提供することである。
【解決手段】本発明の一実施形態にかかる微細液体金属液滴を用いたＲＦＭＥＭＳスイッチは、信号伝達線を備える第１レイヤ部材と、前記第１レイヤ部材上に配置され、前記信号伝達線に対応して微細液体金属液滴の形状変化を誘導するようにチャンバを形成し、前記チャンバで形状変化する前記微細液体金属液滴を前記信号伝達線に接触／非接触させるように前記チャンバの一側に貫通口を形成する第２レイヤ部材と、前記第２レイヤ部材上に配置され、前記チャンバの開放側を介して前記微細液体金属液滴に形状変化力を提供するように前記チャンバの開放側に備えられる作動部材と、前記作動部材の位置を設定し、前記第１レイヤ部材および前記第２レイヤ部材に結合される第３レイヤ部材とを含む。
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【課題】 導入流路に濡れ性の良い狭い導入流路を追加し、導入する液体金属量を外部からの圧力や導入時間で調節し、適量の液体金属をリレー内部の液体室に導入し、合金化を用いて封止することを実現する。
【解決手段】 液体金属を導入する導入穴と、この導入穴と液体室とを接続する導入流路を具備し、前記液体金属により前記液体室内の複数の電極間のオン・オフ状態を切り替える液体金属リレーにおいて、前記導入流路の断面積を前記液体室の断面積に比べて小さくすることにより、導入する液体金属量を外部からの圧力や導入時間で調節し、適量の液体金属をリレー内部の液体室に導入し、合金化を用いて封止するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い液体金属リレーをマイクロマシン技術により形成するとともに、貫通電極を設けることによって高周波特性が良くかつ抵抗値が低いリレーを実現する。
【解決手段】 液体金属により複数の電極間のオン・オフ状態を切り替えるようにしたリレーにおいて、第１および第２の基板を張り合わせて形成された流路と、この流路の途中に形成された液体室と、この液体室に配置された複数の電極と、前記流路の両端に連通して配置された第１および第２の気体室と、これら第１および第２の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、前記液体室に封入された液体金属と、前記複数の電極および前記加熱手段から前記第１の基板の外側に導出する貫通電極とを具備することにより、高周波特性が良くかつ抵抗値が低いリレーを実現した。 （もっと読む）

【課題】酸素およびその他の不純物との導電性流体の表面の膜状形成物による汚染に対してロバストな構成とし、集積回路サイズに適したスイッチ装置を提供する。
【解決手段】発熱手段（ヒータ）のいずれかを加熱してチャンバ内に充填された気体を膨張させ、その圧力により導電性流体を移動させることで中央部付近に配置された電極と管路の両端付近に配置された電極のうちのいずれかとを導通させるようにしたスイッチ装置において、
中央付近に配置された電極に対向して金属膜を配置するとともに、
中央付近に配置された電極と金属膜は導電性流体に対して濡れる導体材料で形成し、管路の両端側にある電極は導電性流体に対して濡れにくい導体材料で形成した。 （もっと読む）

【課題】電極間を確実に接続することが可能なリレーを実現すること。
【解決手段】液体金属を用いたリレーにおいて、断面の形状が連続する曲線である微小流路を有し、この微小流路内に流路方向に沿って複数の電極が形成される電極部と、前記微小流路の一部に充填される液体金属と、気体が封入されるヒータ室と前記気体を加熱するヒータとを有し、前記気体の気圧を前記微小流路の両端から前記液体金属にそれぞれ加える２つのヒータ部とを備える。 （もっと読む）

【課題】スイッチング技術における欠点を改善し、且つスイッチの性能を制限する酸化物の形成を阻止することを目的とする。
【解決手段】本発明は、水銀に代わるものとして、ガリウムを含有する材料からなる導電性液体の小滴（３１０）を利用する液体金属スイッチ（３００）を提供する。ガリウムを含有する材料を包囲する二次流体（３１３）によって、導電性液体の小滴（３１０）表面における酸化物の形成が阻止される。 （もっと読む）

【課題】導電性流体の注入量を厳密に管理しなくても良い接点開閉装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】接点開閉装置は、一面に溝部２及び液溜め部３が形成されたシリコン基板１と、溝部２の一端部側に存在する非導電性流体５と、溝部２の残部及び液溜め部３に存在する導電性流体６と、シリコン基板１の一面に被着されたガラス基板７と、通電に応じてダイアフラム４を押圧することで液溜め部３内の導電性流体６を溝部２側へ移動させる圧電アクチュエータ８とを備える。ガラス基板７には溝部２内に一部を臨ませて４個の接点１０ａ〜１０ｄが形成されており、導電性流体６を注入し、圧電アクチュエータ８に通電していない状態で、導電性流体６に接触する接点１０ａ，１０ｂと電極パッド１４又は１５の間をそれぞれ電気的に接続する分岐パターン１６ａ，１７ａを切断してある。 （もっと読む）

【課題】導電性流体が収納部に収納しやすい接点開閉装置を提供する。
【解決手段】収納部２は、ダイアフラム部１ｂの変形に伴って容積が減少する空洞部２ａと、導電性流体３の移動方向に直交する断面の面積が空洞部２ａよりも狭く且つ一端側で空洞部２ａに連結するとともに他端側に複数の接点４が露出する溝部２ｂと、導電性流体３の移動方向に直交する断面の面積が空洞部２ａよりも狭く且つ溝部２ｂよりも広く又一端側で空洞部２ａに連結するとともに他端側に導電性流体３を収納部２内に注入するための注入口２ｄが設けられた注入用溝部２ｃとを有する。注入用溝部２ｃの断面積を溝部２ｂの断面積よりも大きくしているため、導電性流体３が収納部２に収納しやすいものである。 （もっと読む）