【課題】真空度の悪い雰囲気および／または活性ガスの雰囲気においても、荷電粒子の平均自由行程を正確かつ簡便に測定可能な平均自由行程を測定する装置、真空計、および平均自由行程を測定する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る装置1007は、雰囲気ガスから真空的に隔離されたフィラメント111と、真空紫外光330を透過させるＵＶ透明型真空隔壁700と、雰囲気ガス内に設置され真空紫外光330を受けて光電子340を放出する光/電子変換電極610とを有した真空紫外光源600を備える。また、装置1007は、真空紫外光源600からの飛行距離が０以上の距離である荷電粒子の第１の荷電粒子数を検出する第１のコレクタと、上記距離よりも長い距離の荷電粒子の第２の荷電粒子数を検出する第２のコレクタとを備える。上記装置1007の制御部1000は、第１、第２の荷電粒子数の比率から平均自由行程を算出する。 （もっと読む）

本発明は、テストガス入口（１８）を有する気密のケーシング（１２）を備え、該ケーシング（１２）に陽極（１４）および陰極（１６，１７）を備えかつ冷陰極放電の点弧のための、該陰極に配向されている放射源（２０）を備えている冷陰極圧力センサ（１０）に関する。ケーシング（１２）は少なくとも部分的にガラスから形成されている。放射源（２０）はケーシング（１２）の外部に配置されておりかつケーシングのガラスを通って陰極（１６，１７）を放射する。放射源（２０）は実質的に、３５０ｎｍより長くかつ１４００ｎｍより短い波長の放射を放射する。
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