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国際特許分類[H01L21/66]の内容

国際特許分類[H01L21/66]に分類される特許

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テストシステムまたは半導体パッケージにおいて使用するプローブカード冷却アセンブリには、直接冷却によって冷却される1つまたは複数のダイを備えたパッケージが含まれる。冷却パッケージには、能動電子部品を備えた1つまたは複数のダイおよび少なくとも1つの冷却剤ポートが含まれ、この冷却剤ポートによって、動作中に、冷却剤が、高密度パッケージに入り、ダイの能動電子部品を直接冷却することが可能となる。 (もっと読む)


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