【課題】振動腕に長溝を形成して電界効率を高めても、安定した屈曲振動を実現できる圧
電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された基部５１と、前記基部から延びる複数の振動腕３
５，３６とを備える圧電振動片であって、前記複数の振動腕には、その主面の長手方向に
沿って形成され、内側に駆動電極を備えた長溝３３，３４が設けられており、前記長溝の
先端部において、その幅寸法が先端側に向かって徐々に縮幅する長溝縮幅部３３ａ，３４
ａを備える圧電振動片。 （もっと読む）

【課題】他軸感度を低減した圧電振動片、これを実装した圧電振動子および加速度センサを提供する。
【解決手段】第１の方向に延び、片持ち支持された振動腕１４と、前記振動腕を片持ち支持する基部１２と、前記振動腕１４を前記第１の方向に垂直な第２の方向に屈曲振動させる第１の側面電極膜３６、第２の側面電極膜３８、第１の内面電極膜４０、第２の内面電極膜４２、底面電極膜４４、第１の励振電極膜４６、第２の励振電極膜４８、第３の励振電極膜５０、引出し電極膜５２、接続電極膜５４を有する圧電振動片であって、前記振動腕に、前記第１及び第２の方向に垂直な第３の方向の曲げに対する剛性の調整部を備えることを特徴とする圧電振動片である。前記調整部は、前記振動腕の前記第３の方向を向く面の基部側から前記振動腕１４の自由端方向に沿って設けられた溝２６であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】第１電極と引出電極の導通の信頼性を向上させるとともに、製造工程を簡略化し、コストを低減する。
【解決手段】振動板４０の一表面の中央領域に、拡散防止層４１を形成する。拡散防止層４１の上面全域及び拡散防止層４１の外縁を越えて振動板４０の上面にまたがって共通電極４２を形成する。共通電極４２の表面及び拡散防止層４１が設けられていない振動板４０の上面にまたがって、ＡＤ法により圧電層４３を形成する。圧電層４３を加熱して熱処理を施す。すると、圧電層４３の振動板４０と当接している領域は、振動板４０の金属原子が拡散して高導電領域４３ｂとなり、振動板４０及び共通電極４２と導通する。圧電層４３の平面視で共通電極４２の拡散防止層４１上に形成された領域の一部と重なる領域に個別電極４４を形成するとともに、圧電層４３の平面視で拡散防止層４１と重ならない領域に引出電極４７を形成する。 （もっと読む）

【課題】 櫛型電極が絶縁膜中に拡散することを抑制し、信頼性の高い弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】 本弾性波デバイス１００は、圧電基板１０と、圧電基板１０上に設けられた櫛型電極１８と、櫛型電極１８の電極指間に設けられた第１絶縁膜１２と、櫛型電極１８の側面を覆うように、櫛型電極１８と第１絶縁膜１２との間に設けられた第１拡散防止膜１６と、櫛型電極１８及び第１絶縁膜１２上に設けられた絶縁性の第２拡散防止膜２０と、第２拡散防止膜２０上に設けられた第２絶縁膜２２と、を具備する。本構成によれば、第１拡散防止膜１６が櫛型電極１８と第１絶縁膜１２との間に設けられているため、櫛型電極１８が第１絶縁膜１２中に拡散することを抑制することができる。その結果、弾性波デバイスの信頼性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】生産性の高いプロセスで、信頼性の高い圧電素子を提供することができる、圧電素子の製造方法、および前記製造方法によって製造された圧電素子を有する液滴噴射ヘッドの製造方法、ならびに信頼性の高い液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】圧電素子の製造方法は、第１電極を形成する工程Ｓ１と、第１電極の上に圧電体層を形成する工程Ｓ２と、圧電体層の上に第２電極を形成する工程Ｓ３と、を有し、第１電極および第２電極の少なくとも一方を形成する工程Ｓ１、Ｓ２は、分散剤を用いて導電性材料を分散させた感光性材料を塗布した後に乾燥し、第１の膜を形成する工程Ｓ１１と、第１の膜を、露光処理する工程Ｓ１２と、露光処理された第１の膜を現像処理し、第２の膜を形成する工程Ｓ１３と、を含む。 （もっと読む）

【課題】多軸加速度センサー、多軸加速度検出方法を提供する。
【解決手段】支持部１２と、前記支持部１２にそれぞれヒンジ結合された一対のウエイト２４、２６と、各ウエイトと前記支持部１２とをそれぞれ連結し、力の方向を検出軸とする一対の感圧素子２８、３０と、を有し、前記一対のウエイト２４、２６は、第１の加速度４０が印加されて共に同一方向に回動し、かつ前記第１の加速度４０に垂直な第２の加速度４２が印加されて互いに反対方向に回動する位置でそれぞれヒンジ結合され、印加された加速度によりそれぞれ回動して前記一対の感圧素子２８、３０に前記力をそれぞれ印加するとともに、前記力から前記第１の加速度４０及び前記第２の加速度４２を検出可能としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期信頼性に優れ、温度特性改善効果が高い弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】少なくとも、圧電基板２と、該圧電基板２に接着層４を介して貼り合わされた支持基板３と、前記圧電基板２の接着面と反対側の面に形成された弾性表面波を励振する櫛形電極５とを備え、前記接着層４のガラス転移点Ｔｇが２００℃以下である弾性表面波素子１。 （もっと読む）

【課題】強誘電体デバイスの基板材料によらず強誘電体膜の結晶性および性能の向上が可能な強誘電体デバイス（発電デバイスまたは焦電デバイス）の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電層（強誘電体膜）２４ｂを素子形成基板（第１の基板）２０ａに比べて当該圧電層２４ｂとの格子整合性の良い圧電層形成用基板（第２の基板）４０の一表面側に形成し、その後、圧電層２４ｂ上に下部電極２４ａを形成し、続いて、圧電層形成基板４０の上記一表面側の下部電極２４ａと素子形成基板２０とを接合層５１を介して接合してから圧電層形成基板４０を除去することで下部電極２４ａおよび圧電層２４ｂを素子形成基板２０ａに転写する。その後、素子形成基板２０ａの上記一表面側に上部電極２４ｃを形成することで発電部２４を形成してから、素子形成基板２０ａを加工してフレーム部２１、カンチレバー部２２および錘部２３を有するカンチレバー形成基板２０を形成する。 （もっと読む）

【課題】圧電定数ｄ_３１が良好であると共に、圧電特性の温度上昇に伴う特性の劣化の小さい圧電薄膜付基板、圧電薄膜素子、アクチュエータ、及びセンサを提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電薄膜付基板１は、基板１０と、基板１０の上方に設けられる下部電極２０と、下部電極２０上に設けられ、一般式（Ｋ_１−ｘＮａ_ｘ）ＮｂＯ_３（０．４≦ｘ≦０．７）で表されるアルカリニオブ酸化物系化合物からなる圧電薄膜３０とを備え、圧電薄膜３０は、膜面内方向の内部応力をσ、温度をＴとした場合における温度変化ΔＴに対する内部応力の変化Δσの比Δσ／ΔＴが負の傾きを有し、２０℃以上２５０℃以下におけるΔσ／ΔＴの平均値が−０．２５×１０^６から−０．６８×１０^６（Ｐａ／℃）の範囲内である。 （もっと読む）

【課題】環境に優しく、リーク電流が低減された圧電素子等を提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴噴射ヘッドは、ノズル孔に連通する圧力室と、セラミックスおよび前記セラミックスに設けられた電極を有する圧電素子と、を備えた液滴噴射ヘッドであって、前記セラミックスは、鉄酸ビスマスと、チタン酸ビスマスカリウムと、マンガン酸ビスマスと、を含む固溶体からなる。 （もっと読む）