【解決手段】 マイクロ波によってレーザガスを励起させてレーザ光Ｌを発振させるようにしたレーザ発振装置１は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管３と、フロントミラーとリヤミラーとから構成された共振器を有するレーザ発振器３１Ａ、３１Ｂと、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生器１５と、このマイクロ波発生器によって発生されたマイクロ波を上記放電管に導波する導波管１７とを備えている。上記導波管１７は、放電管３の外周面に螺旋状に配置してあり、この導波管に複数のスリットを設けてある。
【効果】 上記放電管３の外周面の略全体から放電管３の半径方向内方に向かってマイクロ波を放射して放電管３内に収容されるレーザガスを励起させることができるので、該レーザガスを効率的に励起することができる。 （もっと読む）

【課題】高出力レーザであっても微小なレーザを安定して出力する。
【解決手段】レーザ装置（１）は、互いに直列に配置された第一および第二のレーザ励起領域（２１、２２）と、第一のレーザ励起領域に第一のエネルギを注入する第一電源ユニット（ＰＳＵ１）と、第二のレーザ励起領域に第二のエネルギを注入する第二電源ユニット（ＰＳＵ２）と、を具備し、第一電源ユニットは、レーザ発振が開始される臨界注入エネルギ以上の所定の励起エネルギを第一のエネルギとして第一のレーザ励起領域に注入し、第二電源ユニットは、放電管が予備放電するのに必要とされる予備励起エネルギと臨界注入エネルギとの間で第二のレーザ励起領域に注入されるエネルギを第二のエネルギとして第二のレーザ励起領域に注入し、それにより、レーザ出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】送風機によるガス循環冷却を行わずにガスレーザの大出力化を実現し、且つ高品質なレーザビームを得る。
【解決手段】チャンバー２ａ，２ｂの形状として、放電手段（電極６ａ、７ａ、６ｂ，７ｂ、電源８）により励起したレーザガスのレーザビームの出力方向に対する直角な断面が円となる形状とし、前記レーザガスの流れの方向に沿って複数のチャンバー２ａ，２ｂの間に熱交換器３，４をそれぞれ配置し、レーザガスの流れの方向に沿って熱交換器３，４からチャンバー２ａ，２ｂへの間にレーザガス流路を開閉する弁１４ａ、１４ｂをそれぞれ設け、放電手段は交互に放電を行い、放電を行うチャンバーのレーザガス流路の上流側の弁を閉鎖し、且つ放電を行うチャンバーのレーザガス流路の下流側の弁を開放する。 （もっと読む）

【課題】ガスレーザ発振器の出力を増加させ、かつ、発振器筐体の気密性を確保する。
【解決手段】ガスレーザ発振器の構成機器を搭載する発振器筐体１０１と、発振器筐体１０１の機密性を保つための部材であって、発振器筐体１０１の内部側または外部側に膨出する曲面部２０１と端辺に形成されて発振器筐体１０１の内部側または外部側に突出した側壁２０３とを有する蓋部材２００と、発振器筐体１０１と蓋部材２００の間に配置され、形成された開口部３０４によってレーザ媒介ガスの流路幅を拡張するガス流路幅拡張部材３００と、ガス流路幅拡張部材３００を挟んで蓋部材２００を発振器筐体１０１に固定する蓋押さえ部材４００を備えている。 （もっと読む）

【課題】同一共振器内に複数組の電極対を配置して交互発振するパルスガスレーザ装置において、フロントミラー側の放電によるレーザ光とリアミラー側の放電によるレーザ光の放電方向のビームダイバージェンスを同等にすること。
【解決手段】レーザガスが封入されたチャンバ３０内に複数組の一対の電極３０ａ〜３０ｄを設け、電極３０ａ〜３０ｄへパルス状の電圧を順次印加して放電を発生させ、リアミラー３６とフロントミラー３７で構成される共振器で共振させて、発振段レーザ１００から注入されるレーザ光を増幅して出力する。レーザ光の出射側であるフロントミラー３７側に、スリット５０を設け、その放電方向のサイズを、電極３０ａ，３０ｂ間での放電により出力されるレーザ光の放電方向のビームサイズと同じか、それより小さくする。 （もっと読む）

【課題】放電管の放電負荷の異常を簡易かつ安全に検出する。
【解決手段】レーザ電源（４）により放電管（７）内のレーザガスを励起してレーザ光を発生するガスレーザ発振器（１）の異常を検出するガスレーザ発振器（１）は、ガスレーザ発振器の通常運転時における出力指令とレーザ電源のＤＣ電流の関係を記憶する記憶手段（１２）と、出力指令とＤＣ電流の関係における電流のピーク値に対応する出力指令を作成する出力指令作成手段（１３）と、ガスレーザ発振器の待機運転時に出力指令に基づいてレーザ電源を動作させたときの電流を検出する電流検出手段（１９）と、電流検出手段により検出された検出電流と出力指令とＤＣ電流の関係における電流のピーク値とに基づいて、ガスレーザ発振器の放電負荷に異常があると判定する異常判定手段（１５）とを含む。さらに、異常判定された場合に、ガスレーザ発振器を停止させる停止手段（１６）を具備するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の位置ずれの発生が防止され、安定したレーザを発振可能なレーザ発振器を得ること。
【解決手段】レーザ媒質ガスと、レーザ光の光軸方向に分割されて対向して配置される少なくとも２対の放電電極対と、レーザ媒体ガスを対向する放電電極対の間を通して循環させる手段と、放電電極対ごとにそれぞれ独立に設けられて独立に交流電力を発生させる交流電源と、交流電源における交流電力の発生をそれぞれ独立に制御する制御手段と、出力されたレーザ光の光軸位置を検出する測定手段と、を有し、制御手段が、測定手段での測定の結果に基づいて交流電源における放電電極対ごとの交流電力を調整して放電電極対ごとの放電電力を調整し、レーザ光の光軸位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】 レンズ材料やその表面への負荷が少なく、かつ、ミラーもしくはレンズスキャンの制御系を簡略にすることができ、かつエキシマレーザ の寿命が十分長くなって量産の使用に耐えるエキシマレーザ 発振装置及び発振方法並びに露光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 Ｋｒ，Ａｒ，Ｎｅから選ばれた１種以上の不活性ガスとＦ₂ガスとの混合ガスからなるレーザガスを収納するためのレーザ管２からなるレーザチャンバ２０と、該レーザチャンバ２０を挟んで設けられた一対の反射鏡５，６からなる光共振器とを有するエキシマレーザ 発振装置において、レーザガスを収容するためのレーザチャンバ２０の内面を、２４８ｎｍ，１９３ｎｍ，１５７ｎｍといった所望の波長の光に対する無反射面とするとともに、該内面の最表面をフッ化物で構成し、レーザチャンバ２０内のレーザガスを励起するためのマイクロ波の導入手段（導波管１）を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、モジュール式高繰返し率２放電室紫外線放電ガスレーザの制御システムを提供する。好適な実施形態においては、このレーザは、第２の放電室で増幅される超狭帯域シードビームを生成する主発振器を有する製造ライン設備である。特に２室放電ガスレーザシステムに適する新規な制御上の特徴としては、（１）ナノ秒のタイミング精度をもつパルスエネルギー制御、（２）高速及び極速度波長調整による精密なパルス間波長制御、（３）高速応答ガス温度制御、及び（４）新規な学習アルゴリズムによるＦ₂注入制御が含まれる。
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