圧電アクチュエータ（１０４）を有する構造体を備えたマイクロ電子機械システムについて説明する。各アクチュエータは、ボディ（２００）に支持される圧電アイランドを含む。圧電アイランドは、工程の一部として、圧電材料の厚いレイヤにカット（１４５）を形成し、カットされた圧電レイヤ（１０７）を、エッチング形成構造を持つ前記ボディ（２００）に接着し、圧電レイヤをカット（１４０）の深さより薄い厚さに研磨することによって形成することができる。導電材料（１５８、２１０）を圧電レイヤ上に形成して電極（１０６、１１２）を形成することができる。
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【課題】 圧電アクチュエータの動作不良状態や動作不能状態といった異常状態から容易に且つ確実に脱出する。
【解決手段】 圧電アクチュエータのロッド部２１に対するスライダ部２２の移動速度が所定の速度より小さいか否かを駆動速度判定部１４によって判別し、駆動速度判定部１４により当該移動速度が所定の速度より小さいと判別された場合に、駆動周波数設定部１２に、圧電アクチュエータに対する駆動周波数として該圧電アクチュエータの共振周波数（ｆ３）又は共振周波数近傍の周波数を設定し、駆動周波数設定部１２に設定した共振周波数又は共振周波数近傍の周波数に基づいて駆動部により圧電アクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】複数配置した、超音波モータ相互の力を合わせることで高出力な回転運動が可能な多自由度駆動機構の提供。
【解決手段】多自由度超音波モータαの固定子１１上端と回転子１２とを回転自在に圧接したものを複数台配置し、それぞれの回転子１２の頭頂部に立設した回転子シャフト１３と、それらの回転子シャフト１３に取り付けられた伸縮自在のスライド機構１４を具備することにより、多自由度超音波モータαが回転自在に傾き、その傾きに応じて回転子シャフト１３の長さを調節し、多自由度駆動機構が傾斜方向及び横方向に回転するよう構成される特徴的構成手段の採用。
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【課題】 本発明は振動波駆動装置において、小型化を目論むと振動モードの共振周波数が高くなり、楕円運動の振動振幅を大きくできず、部品精度が性能のばらつき等に大きく影響する等の課題と、振動モードの発生する振動変位を効果的に用い、振動波駆動装置の高出力化する課題を鑑みて、為された発明である。
【解決手段】 電気−機械エネルギ変換素子への駆動信号の供給により振動を発生する振動体２と、この振動体２に接触し、前記振動体２からの振動を受けて駆動される接触体１とを有する振動波駆動装置において、前記振動体２が板状形状を有し、前記振動体２に、節の発生方向が略直交し、且つ、共振周波数の略一致する二つの面外１次曲げの振動モードを励起することにより、振動体２の一部に楕円運動を発生させて、前記振動体２と前記接触体１の相対運動を発生させることを特徴とする振動波駆動装置。 （もっと読む）

【課題】被駆動部材を変位させるための指令値に対する応答性を高め、制御性を向上させることができる磁歪式アクチュエータを提供する。
【解決手段】磁界の変化により伸縮を生じる磁歪特性を持つ磁歪素子および該磁歪素子に磁界を印加するコイルを含む駆動部を有し、駆動部により被駆動部材を変位させる磁歪式アクチュエータにおいて、駆動部を、第１の磁歪素子４および第１のコイル５を含む粗動部２と、第２の磁歪素子１１および第２のコイル１２を含む、高応答性で制御性の高い微動部３とに分割し、粗動部による駆動と微動部による駆動を重ね合わせることによって、前記被駆動部材を外部指令値に従った位置まで変位させる構成にする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で超音波アクチュエータ内の駆動機構への負担を減らし、正確な停止位置を得ることができる精度の良い駆動制御が可能な超音波アクチュエータ駆動装置及びアクチュエータ駆動方法を提供する。
【解決手段】本発明の超音波アクチュエータ駆動装置１は、制御部２、駆動部３、第１及び第２振動情報検出部４、６、超音波振動子５Ａ及び被駆動体５Ｂを有する超音波アクチュエータ５とを備え、前記制御部２は、前記被駆動体５Ｂを起動又は停止するにあたり、前記超音波振動子５Ａの振動状態（例えば屈曲振動モード、楕円振動モード、無給電モードの３つの振動モード）を切り替えることによって、前記被駆動体５Ｂに対する駆動力を徐々に変化させるように制御する。 （もっと読む）

本発明は固定子を有する中空円筒形の発振器の形状の圧電モータを動作させる方法であって、その発振器は定在波の発生器を含み、その発振器は、少なくとも一つの正面は回転子と摩擦接触する方法に関連する。本発明によれば、その中空円筒形は、その円筒形が主に接線および軸方向の振動要素を有するように、連結された接線および軸方向のモードに設定される。接線方向の要素の最大振動速度は、その中空円筒形の正面の上に形成され、軸方向の振動要素の最大振動速度は正面の下に直接形成される。これらの構成要素は円筒形の高さの中央に向かって減少し、円筒形の高さの中央において、正面とほぼ平行に交線が形成され、その交線の上において、軸方向の振動要素はゼロの値を取り、接線方向の要素は最小値を取る。モータは回転子の運動エネルギーが中空の円筒形の正面付近に集中するように動作し、このモータの機械的な付属品は、振動速度の構成要素のゼロの線の中央部に設置することが可能である。
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【課題】超音波アクチュエータの共振点を正確に検出することができるとともに、効率が良い駆動が可能な超音波アクチュエータ駆動装置及び超音波アクチュエータ駆動方法を提供する。
【解決手段】本発明の超音波アクチュエータ駆動装置１は、制御部２、駆動部３、第１及び第２振動情報検出部４、６、超音波振動子５Ａを有する超音波アクチュエータ５とを備え、前記制御部２は、前記超音波振動子５Ａに縦振動と屈曲振動のうちいずれか一方の振動を発生させた状態における前記第１及び第２振動情報検出部４、６から振動情報から前記超音波振動子５Ａの共振周波数を検出し、この共振周波数に基づいて発振部７により発生する交流信号の周波数を設定すると共に、前記超音波振動子５Ａに縦振動と屈曲振動を同時に発生させるように、駆動部９により超音波振動子５Ａに印加される２相の駆動信号の位相差を設定する。 （もっと読む）

【課題】 積層型圧電セラミックス素子を得る製造方法において、安価な内部電極の使用可能な積層型圧電セラミックス素子を提供すること。
【解決手段】 複数の圧電セラミックス層２の相互間に、貴金属もしくは卑金属を主成分とする複数の内部電極層３をそれぞれ配置する。内部電極層の露出部に外部電極４を電気的に接続する。さらに、圧電セラミックス層と内部電極層との間に中間層７を形成し、圧電セラミックス層と内部電極層との反応を緩和する。 （もっと読む）

【課題】湿度の高い環境下にあっても短絡し難い圧電アクチュエータ及びそれを用いた液体吐出装置を提供する。
【解決手段】圧電セラミック層２の表面に銀を含む表面電極３が設けられるとともに、前記圧電セラミック層２の内部に内部電極が設けられ、該内部電極が前記圧電セラミック層の表面に設けられた表面接続端子４に電気的に接続されており、該表面接続端子４と前記表面電極３との間に駆動電圧が印加される圧電アクチュエータ１であって、前記圧電セラミック層２表面の少なくとも前記表面接続端子４と前記表面電極３との間に拡散防止層５が設けられてなることを特徴とする。 （もっと読む）