クリーンブース
【課題】ファン付きフィルタユニットを縦横２列以上設けることができるクリーンブースを提供する。
【解決手段】ファンとフィルタで構成され下面に空気吹出口を有するファン付きフィルタユニット１を取付枠７に取り付けたクリーンブースであって、ファン付きフィルタユニット１を、底面中央が開口し周縁に載置片が形成され側壁の上端縁に沿って外方に延設した係止片を備えたバット形受部材２０を介して取付枠７に取り付けるものであって、ファン付きフィルタユニット１を密封材を介してバット形受部材２０の載置片上に載置すると共にバット形受部材２０の係止片を密封材を介して取付枠７に取り付けると同時に係止片と取付枠７の間に遮蔽材１０を挟持させるようにし、取付枠７を３本以上の長手枠部材８とこれら長手枠部材８間に橋渡される短手枠部材９による格子状取付枠７に構成したことを特徴とする。
【解決手段】ファンとフィルタで構成され下面に空気吹出口を有するファン付きフィルタユニット１を取付枠７に取り付けたクリーンブースであって、ファン付きフィルタユニット１を、底面中央が開口し周縁に載置片が形成され側壁の上端縁に沿って外方に延設した係止片を備えたバット形受部材２０を介して取付枠７に取り付けるものであって、ファン付きフィルタユニット１を密封材を介してバット形受部材２０の載置片上に載置すると共にバット形受部材２０の係止片を密封材を介して取付枠７に取り付けると同時に係止片と取付枠７の間に遮蔽材１０を挟持させるようにし、取付枠７を３本以上の長手枠部材８とこれら長手枠部材８間に橋渡される短手枠部材９による格子状取付枠７に構成したことを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム内で使用されたり、精密機械の部品加工や組立工場、或いは、食品加工工場等でコンベアの一部分の空気清浄を行う場合や、精密機械等の製造用のクリーンルーム内の一部分の空気清浄を行う場合等に用いられる、ファン付フィルタユニットを使用するクリーンブースに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来知られるクリーンブースでは、下面に空気吹出口を有するファン付きフィルタユニットを天井板の開口部を閉塞するように天井枠に溶接したアングルにガスケットを介して載置し、ファン付きフィルタユニットの上面をボルト締めにより締め付け固定し、この天井板の周辺部を支柱で支え、天井板の側辺部と支柱にボルト締めにより遮蔽材としてのビニールカーテンを締め付け固定し、外部と遮蔽するようにしたクリーンブースがある。また、別のクリーンブースとして、天井板を特に設けることなく天井枠に溶接したアングルにガスケットを介してファン付きフィルタユニットを載置し、ファン付きフィルタユニットの外周の天井枠までビニールカーテンを設け、ファン付きフィルタユニットの上流側は前記ファン付きフィルタユニットの外周の天井枠とビニールカーテンの間を現場でシールし、ファン付きフィルタユニットの下流側は天井枠に溶接したアングルと天井枠の間を現場でシールすることで、清浄化されない空気がクリーンブース内に流入しないようにしたクリーンブースがある。
前者のようなクリーンブースでは、現場での締め付け作業による作業工数が多くなり、ファン付きフィルタユニットの取り付けが簡単にできないという不都合があり、また、後者のようなクリーンブースでも、現場でのシール作業が大変でファン付きフィルタユニットの取り付けが簡単にできないという不都合がある。
また、このようなファン付きフィルタユニットをクリーンブースの天井部に設けるタイプのものは、予め天井部の骨組みを溶接で一体化したものを現場に搬入することが一般的あり、このため輸送梱包がコンパクトにできないので、輸送コストが高くなるという不都合を有していた。
そこで、本発明者等は、特願平１０ー２１３４７９号において、ファンとフィルタで構成され下面に空気吹出口を有するファン付きフィルタユニットを取付枠に取り付けたクリーンブースであって、前記ファン付きフィルタユニットを、底面中央が開口し周縁に載置片が形成され側壁の上端縁に沿って外方に延設した係止片を備えたバット形受部材を介して取付枠に取り付けるものであって、前記ファン付きフィルタユニットを密封材を介して前記バット形受部材の載置片上に載置すると共に前記バット形受部材の係止片を密封材を介して前記取付枠に取り付けると同時に前記係止片と前記取付枠の間に遮蔽材を挟持させることにより、分解して輸送できてかつ現場で簡単に組立・取付作業が可能なクリーンブースを提案した。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前記クリーンブースの場合、取付枠を３本以上の長手枠部材とこれら長手枠部材間に橋渡される短手枠部材による格子状取付枠に構成し、複数個のファン付きフィルタユニットを取り付けようとする場合、ビニールカーテン等の遮蔽材により覆われない位置においても、前記枠部材の接続部が生じてしまい、また、３本の長手枠部材の内、両端に位置しない長手枠部材と短手枠部材との接続部は締め付けもできないという不都合が生じる。即ち、長手枠部材が２本の場合は、長手枠部材の側面にネジの挿通孔を設け、外側からこの挿通孔にネジを挿通して固定できたところ、ファン付きフィルタユニットを縦横２列以上設けるとなると必然的に長手枠部材が３本以上必要となり、３本の長手枠部材の内、両端に位置しない長手枠部材と短手枠部材との接続部では、従来のネジ固定が不可能となった。
そこで、本発明は、先に提案したバット形受部材を介してファン付きフィルタユニットをクリーンブースの天井部に載置する技術において、ファン付きフィルタユニットを縦横２列以上設けることができるクリーンブースの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明のクリーンブースは、前記課題を解決するべく、請求項１に記載の通り、ファンとフィルタで構成され下面に空気吹出口を有するファン付きフィルタユニットを取付枠に取り付けたクリーンブースであって、前記ファン付きフィルタユニットを、底面中央が開口し周縁に載置片が形成され側壁の上端縁に沿って外方に延設した係止片を備えたバット形受部材を介して取付枠に取り付けるものであって、前記ファン付きフィルタユニットを密封材を介して前記バット形受部材の載置片上に載置すると共に前記バット形受部材の係止片を密封材を介して前記取付枠に取り付けると同時に前記係止片と前記取付枠の間に遮蔽材を挟持させるようにし、前記取付枠を３本以上の長手枠部材とこれら長手枠部材間に橋渡される短手枠部材による格子状取付枠に構成したことを特徴とする。
また、請求項２記載のクリーンブースは、請求項１に記載のクリーンブースにおいて、前記遮蔽材から露出する長手及び短手枠部材間の接続部を密封材を介して接続するようにしたことを特徴とする。
また、請求項３記載のクリーンブースは、請求項１又は２に記載のクリーンブースにおいて、前記３本以上の長手枠部材の内、両端に位置しない長手枠部材と短手枠部材の接続は、長手枠部材に取付ビスを固定し、該取付ビスの頭部を短手枠部材の端部開孔に嵌合して固定するようにしたことを特徴とする。
また、請求項４記載のクリーンブースは、請求項３に記載のクリーンブースにおいて、前記取付ビスを嵌合される短手枠部材の端部に開孔を備えた密封材を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
バット形受部材を用いて天井枠にファン付きフィルタユニットを設けるようにしたクリーンブースにおいて、４個以上のファン付きフィルタユニットの使用を可能にできる。
取付枠を構成する長手枠部材の反り等の変形による寸法誤差を密封材により吸収でき、かつ該寸法誤差による枠部材間の隙間によるリークを防止できる。
１００の超高清浄空間を達成でき、ファン付きフィルタユニット、バット形受部材、天井枠、取付枠、支柱の構成に分解組立できるため、シール作業をすることなく現場で容易に組立可能で、軽量化を達成でき、しかも輸送・保管時の容積の縮小化が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の一実施例によるクリーンブースを図面に基づき説明する。
図１は本発明のクリーンブースの平面図、図２は図１のＩ−Ｉ線断面図、図３はファン付きフィルタユニット取り付け前の平面図、図４は図３のＡ部詳細断面図、図５は図３のＢ部詳細断面図である。
図に示すように、ファン付きフィルタユニット１は、その上面に空気取入口２を、下面に空気吹出口３を有している。このファン付きフィルタユニット１内には、空気取入口２に対向して送風機４が、そして空気吹出口３に対向してフィルタ５が設けられている。尚、図中１４はメディアガードを示す。
【０００７】
前記ファン付きフィルタユニット１を取り付けるための取付枠７は、長手天井枠部材６ａ，６ａと短手天井枠部材６ｂ，６ｂとで長方形状に形成された天井枠６の前記対向する長手天井枠部材６ａ，６ａ間に互いに平行にかつ等間隔に橋渡される３本の長手枠部材８，８，８と、これら長手枠部材８，８，８間に橋渡される６本の短手枠部材９，９，９，９，９，９とによって格子状に形成されている。そして、これら長手枠部材８，８，８と短手枠部材９，９，９，９，９，９の接続は、図中Ａ部で示される箇所のようにビニールカーテンからなる遮蔽材１０で覆われている部分においては、密封材１１を介さずに接続するようにし、図中Ｂ部で示される箇所のように遮蔽材１０によって全く覆われていない部分においては、密封材１１を介して接続するようにした。
【０００８】
尚、３本の長手枠部材８，８，８の内、両端に位置する長手枠部材８，８と短手枠部材９，９，９，９，９，９との接続は、図４に示すように、長手枠部材８の側面に設けた挿通孔８ａを介して、短手枠部材９の端部に設けたナット１２に取付ビス１３を締め付けることにより連結固定するようにした。また、前記天井枠６の長手天井枠部材６ａ，６ａと長手枠部材８，８，８との接続も前記接続と同様に、長手天井枠部材６ａの側面に設けた図略の挿通孔を介して、長手枠部材９の端部に設けたナット１２に取付ビス１３を締め付けることにより連結固定するようにした。
【０００９】
また、３本の長手枠部材８，８，８の内、真ん中の長手枠部材８と短手枠部材９との接続は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、長手枠部材８の側面に予め設けた取付ビス１３の頭部を短手枠部材９の端部に設けた開孔９ａに挿通することにより接続するようにした。
この場合、前記Ｂ部で示される箇所のように遮蔽材１０によって全く覆われていない部分においては、図５（ａ）に示すように、短手枠部材９の端部に挿通孔１１ａを備えたガスケットからなる密封材１１を取り付けることにより、密封材１１を介した気密な接続を可能とした。また、図５（ｂ）に示すように、密封材１１を取り付けることなく、長手枠部材８の側面に予め設けた取付ビス１３の頭部を短手枠部材９の端部に設けた開孔９ａに挿通することにより接続してもよい。ファン付きフィルタユニット１のファンが駆動すると、通常、クリーンブース内は陽圧となり、密封材１１を特に使用しなくても、Ｂ部で示される接続部から汚染空気がクリーンブース内に浸入することはないためである。
このようにして構成される格子状の取付枠７に、バット形受部材２０を４個取り付けて、これらバット形受部材２０を介して４個のファン付きフィルタユニット１の取付を可能とした。
【００１０】
前記各ファン付きフィルタユニット１はその空気吹出口３を下面に臨ませて、前記各バット形受部材２０を介して、天井枠６に橋渡しされた長手枠部材８と短手枠部材９から構成される格子状の取付枠７に載置されている。
更に詳細には、前記ファン付きフィルタユニット１は、底面２０ａ中央が開口し周縁に載置片２０ｂが形成され側壁２０ｃの上端縁に沿って外方に延設した係止片２０ｄを備えたバット形受部材２０を介して前記取付枠７に取り付けるものであって、前記ファン付きフィルタユニット１を密封材２１を介して前記バット形受部材２０の載置片２０ｂ上に載置すると共に前記バット形受部材２０の係止片２０ｄを密封材２２を介して前記取付枠７に取り付けると同時に前記係止片２０ｄと前記取付枠７の間に遮蔽材１０を挟持させるようにした。
【００１１】
次に、前記クリーンブースについて組立作業を説明する。
先ず、天井枠部材６ａ，６ａ，６ｂ，６ｂを取付ビス１３で締め付け固定して天井枠６を構成し、次に、天井枠６の長手天井枠部材６ａ，６ａに３本の長手枠部材８，８，８の内真ん中に位置する長手枠部材８を橋渡しして取付ビス１３で締め付け固定すると共に真ん中の長手枠部材２１に取付ビス１３，１３，１３，１３，１３，１３を固定する。次に、両端に位置する各長手枠部材８に短手枠部材９，９，９の一方端を取付ビス１３で締め付け固定しておき、これら短手枠部材９，９，９の内、遮蔽材１０に覆われない真ん中に位置する短手枠部材９の他端部に挿通孔１１ａを備えたガスケットからなる密封材１１を貼り付け、前記取付ビス１３，１３，１３の頭部に短手枠部材９，９，９の端部に設けられた開孔９ａ，９ａ（１１ａ），９ａを嵌合させ、この状態で、これら両端の長手枠部材８，８を長手天井枠部材６ａ，６ａ間に端渡して取付ビス１３により連結固定する。
【００１２】
次いで、支柱３０に補強材３１を設け、天井枠６と支柱３０，３０，３０，３０を取付ビス１３によりビス締めして固定し、その後、ファン付きフィルタユニット１の設置部分が開口したビニールカーテンからなる遮蔽材１０を被覆して、バット形受部材２０を取付枠７にガスケットからなる密封材２２を介して載置すると同時にバット形受部材２０の側壁２０ｃと前記取付枠７の間に遮蔽材１０の開口端部を挟持して、次に、予め送風機４とフィルタ５を内蔵したファン付きフィルタユニット１をガスケット２１を介してバット形受部材２０の載置片２０ｂに載置することで組立が完了し、フィルタユニット１の自重によりファン付きフィルタユニット１とバット形受部材２０の載置片２０ｂの間とバット形受部材２０の側壁２０ｃと取付枠６の間の気密性を持たせることができる。
【００１３】
前記クリーンブースは、送風機４によって空気取入口２からファン付きフィルタユニット１内に吸い込まれた空気は、フィルタ５を通過して清浄化された空気となりクリーンブース内に導かれ、さらに下方向に導かれクリーンブース外へ排出されることになる。
【００１４】
本実施例では、ファン付きフィルタユニット１を４個としたが、これに限定されることなく長手枠部材８を増設することで横方向へ拡大するかあるいは、長手枠部材８を延長して短手枠部材９を増設することで縦方向へ拡大することで所望個数のファン付きフィルタユニット１を載置することができる。
【００１５】
また、清浄化性能に応じて、ファン付きフィルタユニット１を設けることなく塞板（図示しない）を用いてバット形受部材２０の開口を塞ぐようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００１６】
本発明は、先に提案したバット形受部材を介してファン付きフィルタユニットをクリーンブースの天井部に載置する技術において、ファン付きフィルタユニットを縦横２列以上設けることができる点で、産業上の利用可能性を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明のクリーンブースの平面図
【図２】図１のＩ−Ｉ線の断面図
【図３】ファン付きフィルタユニット取り付け前のクリーンブースの平面図
【図４】図３のＡ部詳細断面図
【図５】図３のＢ部詳細断面図であり、密封材を設けた場合（ａ）と密封材を設けない場合（ｂ）のの断面図
【符号の説明】
【００１８】
１ ファン付きフィルタユニット
２ 空気取入口
３ 空気吹出口
４ 送風機
５ フィルタ
６ 天井枠
６ａ 長手天井枠部材
６ｂ 短手天井枠部材
７ 取付枠
８ 長手枠部材
８ａ 挿通孔
９ 短手枠部材
９ａ 開孔
１０ 遮蔽材
１１ 密封材
１１ａ 挿通孔
１２ ナット
１３ 取付ビス
１４ メディアガード
２０ バット形受部材
２０ａ 底面
２０ｂ 載置片
２０ｃ 側壁
２０ｄ 係止片
２１ 密封材
２２ 密封材
３０ 支柱
３１ 補強材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム内で使用されたり、精密機械の部品加工や組立工場、或いは、食品加工工場等でコンベアの一部分の空気清浄を行う場合や、精密機械等の製造用のクリーンルーム内の一部分の空気清浄を行う場合等に用いられる、ファン付フィルタユニットを使用するクリーンブースに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来知られるクリーンブースでは、下面に空気吹出口を有するファン付きフィルタユニットを天井板の開口部を閉塞するように天井枠に溶接したアングルにガスケットを介して載置し、ファン付きフィルタユニットの上面をボルト締めにより締め付け固定し、この天井板の周辺部を支柱で支え、天井板の側辺部と支柱にボルト締めにより遮蔽材としてのビニールカーテンを締め付け固定し、外部と遮蔽するようにしたクリーンブースがある。また、別のクリーンブースとして、天井板を特に設けることなく天井枠に溶接したアングルにガスケットを介してファン付きフィルタユニットを載置し、ファン付きフィルタユニットの外周の天井枠までビニールカーテンを設け、ファン付きフィルタユニットの上流側は前記ファン付きフィルタユニットの外周の天井枠とビニールカーテンの間を現場でシールし、ファン付きフィルタユニットの下流側は天井枠に溶接したアングルと天井枠の間を現場でシールすることで、清浄化されない空気がクリーンブース内に流入しないようにしたクリーンブースがある。
前者のようなクリーンブースでは、現場での締め付け作業による作業工数が多くなり、ファン付きフィルタユニットの取り付けが簡単にできないという不都合があり、また、後者のようなクリーンブースでも、現場でのシール作業が大変でファン付きフィルタユニットの取り付けが簡単にできないという不都合がある。
また、このようなファン付きフィルタユニットをクリーンブースの天井部に設けるタイプのものは、予め天井部の骨組みを溶接で一体化したものを現場に搬入することが一般的あり、このため輸送梱包がコンパクトにできないので、輸送コストが高くなるという不都合を有していた。
そこで、本発明者等は、特願平１０ー２１３４７９号において、ファンとフィルタで構成され下面に空気吹出口を有するファン付きフィルタユニットを取付枠に取り付けたクリーンブースであって、前記ファン付きフィルタユニットを、底面中央が開口し周縁に載置片が形成され側壁の上端縁に沿って外方に延設した係止片を備えたバット形受部材を介して取付枠に取り付けるものであって、前記ファン付きフィルタユニットを密封材を介して前記バット形受部材の載置片上に載置すると共に前記バット形受部材の係止片を密封材を介して前記取付枠に取り付けると同時に前記係止片と前記取付枠の間に遮蔽材を挟持させることにより、分解して輸送できてかつ現場で簡単に組立・取付作業が可能なクリーンブースを提案した。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前記クリーンブースの場合、取付枠を３本以上の長手枠部材とこれら長手枠部材間に橋渡される短手枠部材による格子状取付枠に構成し、複数個のファン付きフィルタユニットを取り付けようとする場合、ビニールカーテン等の遮蔽材により覆われない位置においても、前記枠部材の接続部が生じてしまい、また、３本の長手枠部材の内、両端に位置しない長手枠部材と短手枠部材との接続部は締め付けもできないという不都合が生じる。即ち、長手枠部材が２本の場合は、長手枠部材の側面にネジの挿通孔を設け、外側からこの挿通孔にネジを挿通して固定できたところ、ファン付きフィルタユニットを縦横２列以上設けるとなると必然的に長手枠部材が３本以上必要となり、３本の長手枠部材の内、両端に位置しない長手枠部材と短手枠部材との接続部では、従来のネジ固定が不可能となった。
そこで、本発明は、先に提案したバット形受部材を介してファン付きフィルタユニットをクリーンブースの天井部に載置する技術において、ファン付きフィルタユニットを縦横２列以上設けることができるクリーンブースの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明のクリーンブースは、前記課題を解決するべく、請求項１に記載の通り、ファンとフィルタで構成され下面に空気吹出口を有するファン付きフィルタユニットを取付枠に取り付けたクリーンブースであって、前記ファン付きフィルタユニットを、底面中央が開口し周縁に載置片が形成され側壁の上端縁に沿って外方に延設した係止片を備えたバット形受部材を介して取付枠に取り付けるものであって、前記ファン付きフィルタユニットを密封材を介して前記バット形受部材の載置片上に載置すると共に前記バット形受部材の係止片を密封材を介して前記取付枠に取り付けると同時に前記係止片と前記取付枠の間に遮蔽材を挟持させるようにし、前記取付枠を３本以上の長手枠部材とこれら長手枠部材間に橋渡される短手枠部材による格子状取付枠に構成したことを特徴とする。
また、請求項２記載のクリーンブースは、請求項１に記載のクリーンブースにおいて、前記遮蔽材から露出する長手及び短手枠部材間の接続部を密封材を介して接続するようにしたことを特徴とする。
また、請求項３記載のクリーンブースは、請求項１又は２に記載のクリーンブースにおいて、前記３本以上の長手枠部材の内、両端に位置しない長手枠部材と短手枠部材の接続は、長手枠部材に取付ビスを固定し、該取付ビスの頭部を短手枠部材の端部開孔に嵌合して固定するようにしたことを特徴とする。
また、請求項４記載のクリーンブースは、請求項３に記載のクリーンブースにおいて、前記取付ビスを嵌合される短手枠部材の端部に開孔を備えた密封材を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
バット形受部材を用いて天井枠にファン付きフィルタユニットを設けるようにしたクリーンブースにおいて、４個以上のファン付きフィルタユニットの使用を可能にできる。
取付枠を構成する長手枠部材の反り等の変形による寸法誤差を密封材により吸収でき、かつ該寸法誤差による枠部材間の隙間によるリークを防止できる。
１００の超高清浄空間を達成でき、ファン付きフィルタユニット、バット形受部材、天井枠、取付枠、支柱の構成に分解組立できるため、シール作業をすることなく現場で容易に組立可能で、軽量化を達成でき、しかも輸送・保管時の容積の縮小化が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の一実施例によるクリーンブースを図面に基づき説明する。
図１は本発明のクリーンブースの平面図、図２は図１のＩ−Ｉ線断面図、図３はファン付きフィルタユニット取り付け前の平面図、図４は図３のＡ部詳細断面図、図５は図３のＢ部詳細断面図である。
図に示すように、ファン付きフィルタユニット１は、その上面に空気取入口２を、下面に空気吹出口３を有している。このファン付きフィルタユニット１内には、空気取入口２に対向して送風機４が、そして空気吹出口３に対向してフィルタ５が設けられている。尚、図中１４はメディアガードを示す。
【０００７】
前記ファン付きフィルタユニット１を取り付けるための取付枠７は、長手天井枠部材６ａ，６ａと短手天井枠部材６ｂ，６ｂとで長方形状に形成された天井枠６の前記対向する長手天井枠部材６ａ，６ａ間に互いに平行にかつ等間隔に橋渡される３本の長手枠部材８，８，８と、これら長手枠部材８，８，８間に橋渡される６本の短手枠部材９，９，９，９，９，９とによって格子状に形成されている。そして、これら長手枠部材８，８，８と短手枠部材９，９，９，９，９，９の接続は、図中Ａ部で示される箇所のようにビニールカーテンからなる遮蔽材１０で覆われている部分においては、密封材１１を介さずに接続するようにし、図中Ｂ部で示される箇所のように遮蔽材１０によって全く覆われていない部分においては、密封材１１を介して接続するようにした。
【０００８】
尚、３本の長手枠部材８，８，８の内、両端に位置する長手枠部材８，８と短手枠部材９，９，９，９，９，９との接続は、図４に示すように、長手枠部材８の側面に設けた挿通孔８ａを介して、短手枠部材９の端部に設けたナット１２に取付ビス１３を締め付けることにより連結固定するようにした。また、前記天井枠６の長手天井枠部材６ａ，６ａと長手枠部材８，８，８との接続も前記接続と同様に、長手天井枠部材６ａの側面に設けた図略の挿通孔を介して、長手枠部材９の端部に設けたナット１２に取付ビス１３を締め付けることにより連結固定するようにした。
【０００９】
また、３本の長手枠部材８，８，８の内、真ん中の長手枠部材８と短手枠部材９との接続は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、長手枠部材８の側面に予め設けた取付ビス１３の頭部を短手枠部材９の端部に設けた開孔９ａに挿通することにより接続するようにした。
この場合、前記Ｂ部で示される箇所のように遮蔽材１０によって全く覆われていない部分においては、図５（ａ）に示すように、短手枠部材９の端部に挿通孔１１ａを備えたガスケットからなる密封材１１を取り付けることにより、密封材１１を介した気密な接続を可能とした。また、図５（ｂ）に示すように、密封材１１を取り付けることなく、長手枠部材８の側面に予め設けた取付ビス１３の頭部を短手枠部材９の端部に設けた開孔９ａに挿通することにより接続してもよい。ファン付きフィルタユニット１のファンが駆動すると、通常、クリーンブース内は陽圧となり、密封材１１を特に使用しなくても、Ｂ部で示される接続部から汚染空気がクリーンブース内に浸入することはないためである。
このようにして構成される格子状の取付枠７に、バット形受部材２０を４個取り付けて、これらバット形受部材２０を介して４個のファン付きフィルタユニット１の取付を可能とした。
【００１０】
前記各ファン付きフィルタユニット１はその空気吹出口３を下面に臨ませて、前記各バット形受部材２０を介して、天井枠６に橋渡しされた長手枠部材８と短手枠部材９から構成される格子状の取付枠７に載置されている。
更に詳細には、前記ファン付きフィルタユニット１は、底面２０ａ中央が開口し周縁に載置片２０ｂが形成され側壁２０ｃの上端縁に沿って外方に延設した係止片２０ｄを備えたバット形受部材２０を介して前記取付枠７に取り付けるものであって、前記ファン付きフィルタユニット１を密封材２１を介して前記バット形受部材２０の載置片２０ｂ上に載置すると共に前記バット形受部材２０の係止片２０ｄを密封材２２を介して前記取付枠７に取り付けると同時に前記係止片２０ｄと前記取付枠７の間に遮蔽材１０を挟持させるようにした。
【００１１】
次に、前記クリーンブースについて組立作業を説明する。
先ず、天井枠部材６ａ，６ａ，６ｂ，６ｂを取付ビス１３で締め付け固定して天井枠６を構成し、次に、天井枠６の長手天井枠部材６ａ，６ａに３本の長手枠部材８，８，８の内真ん中に位置する長手枠部材８を橋渡しして取付ビス１３で締め付け固定すると共に真ん中の長手枠部材２１に取付ビス１３，１３，１３，１３，１３，１３を固定する。次に、両端に位置する各長手枠部材８に短手枠部材９，９，９の一方端を取付ビス１３で締め付け固定しておき、これら短手枠部材９，９，９の内、遮蔽材１０に覆われない真ん中に位置する短手枠部材９の他端部に挿通孔１１ａを備えたガスケットからなる密封材１１を貼り付け、前記取付ビス１３，１３，１３の頭部に短手枠部材９，９，９の端部に設けられた開孔９ａ，９ａ（１１ａ），９ａを嵌合させ、この状態で、これら両端の長手枠部材８，８を長手天井枠部材６ａ，６ａ間に端渡して取付ビス１３により連結固定する。
【００１２】
次いで、支柱３０に補強材３１を設け、天井枠６と支柱３０，３０，３０，３０を取付ビス１３によりビス締めして固定し、その後、ファン付きフィルタユニット１の設置部分が開口したビニールカーテンからなる遮蔽材１０を被覆して、バット形受部材２０を取付枠７にガスケットからなる密封材２２を介して載置すると同時にバット形受部材２０の側壁２０ｃと前記取付枠７の間に遮蔽材１０の開口端部を挟持して、次に、予め送風機４とフィルタ５を内蔵したファン付きフィルタユニット１をガスケット２１を介してバット形受部材２０の載置片２０ｂに載置することで組立が完了し、フィルタユニット１の自重によりファン付きフィルタユニット１とバット形受部材２０の載置片２０ｂの間とバット形受部材２０の側壁２０ｃと取付枠６の間の気密性を持たせることができる。
【００１３】
前記クリーンブースは、送風機４によって空気取入口２からファン付きフィルタユニット１内に吸い込まれた空気は、フィルタ５を通過して清浄化された空気となりクリーンブース内に導かれ、さらに下方向に導かれクリーンブース外へ排出されることになる。
【００１４】
本実施例では、ファン付きフィルタユニット１を４個としたが、これに限定されることなく長手枠部材８を増設することで横方向へ拡大するかあるいは、長手枠部材８を延長して短手枠部材９を増設することで縦方向へ拡大することで所望個数のファン付きフィルタユニット１を載置することができる。
【００１５】
また、清浄化性能に応じて、ファン付きフィルタユニット１を設けることなく塞板（図示しない）を用いてバット形受部材２０の開口を塞ぐようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００１６】
本発明は、先に提案したバット形受部材を介してファン付きフィルタユニットをクリーンブースの天井部に載置する技術において、ファン付きフィルタユニットを縦横２列以上設けることができる点で、産業上の利用可能性を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明のクリーンブースの平面図
【図２】図１のＩ−Ｉ線の断面図
【図３】ファン付きフィルタユニット取り付け前のクリーンブースの平面図
【図４】図３のＡ部詳細断面図
【図５】図３のＢ部詳細断面図であり、密封材を設けた場合（ａ）と密封材を設けない場合（ｂ）のの断面図
【符号の説明】
【００１８】
１ ファン付きフィルタユニット
２ 空気取入口
３ 空気吹出口
４ 送風機
５ フィルタ
６ 天井枠
６ａ 長手天井枠部材
６ｂ 短手天井枠部材
７ 取付枠
８ 長手枠部材
８ａ 挿通孔
９ 短手枠部材
９ａ 開孔
１０ 遮蔽材
１１ 密封材
１１ａ 挿通孔
１２ ナット
１３ 取付ビス
１４ メディアガード
２０ バット形受部材
２０ａ 底面
２０ｂ 載置片
２０ｃ 側壁
２０ｄ 係止片
２１ 密封材
２２ 密封材
３０ 支柱
３１ 補強材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとフィルタで構成され下面に空気吹出口を有するファン付きフィルタユニットを取付枠に取り付けたクリーンブースであって、前記ファン付きフィルタユニットを、底面中央が開口し周縁に載置片が形成され側壁の上端縁に沿って外方に延設した係止片を備えたバット形受部材を介して取付枠に取り付けるものであって、前記ファン付きフィルタユニットを密封材を介して前記バット形受部材の載置片上に載置すると共に前記バット形受部材の係止片を密封材を介して前記取付枠に取り付けると同時に前記係止片と前記取付枠の間に遮蔽材を挟持させるようにし、前記取付枠を３本以上の長手枠部材とこれら長手枠部材間に橋渡される短手枠部材による格子状取付枠に構成したことを特徴とするクリーンブース。
【請求項２】
前記遮蔽材から露出する長手及び短手枠部材間の接続部を密封材を介して接続するようにしたことを特徴とする請求項１に記載のクリーンブース。
【請求項３】
前記３本以上の長手枠部材の内、両端に位置しない長手枠部材と短手枠部材の接続は、長手枠部材に取付ビスを固定し、該取付ビスの頭部を短手枠部材の端部開孔に嵌合して固定するようにしたことを特徴とする請求項１又は２に記載のクリーンブース。
【請求項４】
前記取付ビスを嵌合される短手枠部材の端部に開孔を備えた密封材を設けたことを特徴とする請求項３に記載のクリーンブース。
【請求項１】
ファンとフィルタで構成され下面に空気吹出口を有するファン付きフィルタユニットを取付枠に取り付けたクリーンブースであって、前記ファン付きフィルタユニットを、底面中央が開口し周縁に載置片が形成され側壁の上端縁に沿って外方に延設した係止片を備えたバット形受部材を介して取付枠に取り付けるものであって、前記ファン付きフィルタユニットを密封材を介して前記バット形受部材の載置片上に載置すると共に前記バット形受部材の係止片を密封材を介して前記取付枠に取り付けると同時に前記係止片と前記取付枠の間に遮蔽材を挟持させるようにし、前記取付枠を３本以上の長手枠部材とこれら長手枠部材間に橋渡される短手枠部材による格子状取付枠に構成したことを特徴とするクリーンブース。
【請求項２】
前記遮蔽材から露出する長手及び短手枠部材間の接続部を密封材を介して接続するようにしたことを特徴とする請求項１に記載のクリーンブース。
【請求項３】
前記３本以上の長手枠部材の内、両端に位置しない長手枠部材と短手枠部材の接続は、長手枠部材に取付ビスを固定し、該取付ビスの頭部を短手枠部材の端部開孔に嵌合して固定するようにしたことを特徴とする請求項１又は２に記載のクリーンブース。
【請求項４】
前記取付ビスを嵌合される短手枠部材の端部に開孔を備えた密封材を設けたことを特徴とする請求項３に記載のクリーンブース。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００６−２６６６８１（Ｐ２００６−２６６６８１Ａ）
【公開日】平成１８年１０月５日（２００６．１０．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１８２１３４（Ｐ２００６−１８２１３４）
【出願日】平成１８年６月３０日（２００６．６．３０）
【分割の表示】特願平１０−２８３３６６の分割
【原出願日】平成１０年９月１７日（１９９８．９．１７）
【出願人】（０００２３２７６０）日本無機株式会社 (104)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１０月５日（２００６．１０．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年６月３０日（２００６．６．３０）
【分割の表示】特願平１０−２８３３６６の分割
【原出願日】平成１０年９月１７日（１９９８．９．１７）
【出願人】（０００２３２７６０）日本無機株式会社 (104)
【Ｆターム（参考）】
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