サスペンション修正装置、サスペンションアームの製造方法、およびサスペンションアーム
【目的】本発明は、サスペンション修正装置、サスペンションアームの製造方法、およびサスペンションアームに関し、サスペンションアームのに両側のビーム部の一方あるいは両者を微小レーザスポットで線上に１あるいは複数、走査して折り曲げ結果としてサスペンションアームをねじりロール角およびピッチ角を修正し、非接触で非機械的かつ折り曲げてロール角およびピッチ角の修正を簡易な操作で確実に実現することを目的とする。
【構成】レーザビームを照射するレーザ照射装置と、サスペンションアームのヘッドを保持するためのヘッド搭載部における２本のビーム部の一方あるいは両方に対して、レーザビームによって線上にレーザ照射を行って折り曲げるにあたり、線上のレーザ照射方向角度を制御してロール角の修正量の調整を行う制御手段とを備える。
【構成】レーザビームを照射するレーザ照射装置と、サスペンションアームのヘッドを保持するためのヘッド搭載部における２本のビーム部の一方あるいは両方に対して、レーザビームによって線上にレーザ照射を行って折り曲げるにあたり、線上のレーザ照射方向角度を制御してロール角の修正量の調整を行う制御手段とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置（ＨＤＤという）のデータを読み書きする磁気ヘッドスライダのロール方向の傾き角となる磁気ヘッド搭載面のロール角と、ピッチ方向の傾き角となる磁気ヘッド搭載面のピッチ角とを適正な角度範囲に修正する、サスペンション修正装置、サスペンションアームの製造方法、およびサスペンションアームに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＨＤＤの磁気ヘッドは記録媒体上を微小に浮上させるため、磁気ヘッド搭載面の要求する位置精度を満足するサスペンショシアームの製造は難しくなっている。サスペンションアームの磁気ヘッド搭載面のロール角は磁気ディスクへのデータの書込み、読み出しにとって重要である浮上時の磁気ヘッドの姿勢に影響する。現在、ロール角およびピッチ角が不良のサスペンションアームは機械的に変位を与えることでロール角およびピッチ角の修正を行なっている。これは、磁気ヘッド搭載面あるいは磁気ヘッドを直接押して機械的に曲げたり、またはねじりを加える方法で、直接触れて動かすため、サスベンションアームや磁気ヘッドを破壊してしまったり、機械的な特性変化や応力至みが発生し、修正後の経時変化や環境変化等により修正前の形状に戻り勝ちであるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明もロール角およびピッチ角の修正は、サスペンションアームを変形させせて磁気ヘッド搭載面のロール各およびピッチ角を修正するが、サスペンションアームの変形をレーザ照射による金属曲げ加工を利用して実現する。レーザを金属に照射して加熱、冷却するとレーザ照射側に収縮が発生し、レーザ照射された方向（側）に曲げが生じることが知られている。この曲げ変形を利用し、ロール角およびピッチ角を修正する方法は、レーザを１点に照射し局部を加熱、冷却して曲げを発生させロール角およびピッチ角を調整する技術がある。
【０００４】
しかし、ＨＤＤの小型化が進むにつれて各部品が小型化し、サスペンションアームもこれまでより薄膜化した。
【０００５】
従来のレーザのビームスポット照射による曲げ加工では、照射部に孔が開いてしまったり、レーザ照射部の熱は容易に照射部の裏面にまで達し所望する曲げ変形が困難である。また、連続波では、レーザにピークがなく曲げ加工を発生させることが困難であった。
【０００６】
本発明は、これらの問題を解決するため、サスペンションアームのに両側のビーム部あるいはその近傍の一方あるいは両者を微小レーザスポットで線上に１あるいは複数、走査して折り曲げ結果としてサスペンションアームをねじりロール角およびピッチ角を修正し、非接触で非機械的かつ折り曲げてロール角およびピッチ角の修正を簡易な操作で確実に実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
図１を参照して課題を解決するための手段を説明する。
図１において、サスペンションアーム１は、両側に図示のようにビーム部９を設けると共にジンバル部５に磁気ヘッドを搭載して保持するものである。
【０００８】
ビーム部９は、ジンバル部５を保持するものであって、ここでは、レーザスポットで一方あるいは両方を走査して折り曲げジンバル部５に搭載した磁気ヘッドの媒体に対するロール角およびピッチ角（図１の（ａ）参照）を修正するものである。
【０００９】
次に、動作を説明する。
サスペンションアーム１の磁気ヘッドを保持する一方あるいは両方のビーム部９あるいはその近傍をレーザビームで線上に走査して折り曲げて当該サスペンションアーム１にねじりを与えて保持する磁気ヘッドのロール角およびピッチ角を修正するようにしている。
【００１０】
この際、レーザビームで線上に走査する速度を変えて修正量を調整するようにしている。
【００１１】
また、レーザビームで線上に走査する同じ位置あるいは隣接する位置の回数を変えて修正量を調整するようにしている。
【００１２】
また、レーザビームで線上に走査する位置を変えてロール角の修正量を調整するようにしている（図４参照）。
【００１３】
また、レーザビームで線上に走査する傾きを変えてピッチ角の修正量を調整するようにしている（図５参照）。
【００１４】
また、レーザビームで線上に走査するときにレーザスポット形状が同じになるようにフォーカス制御するようにしている（図６参照）。
【００１５】
従って、サスペンションアーム１のに両側のビーム部９あるいはその近傍の一方あるいは両者を微小レーザスポットで線上に１あるいは複数、走査して折り曲げ結果としてサスペンションアーム１をねじりロール角およびピッチ角を修正することにより、非接触で非機械的かつ折り曲げてロール角およびピッチ角の修正を簡易な操作で確実に行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、サスペンションアーム１の両側のビーム部９あるいはその近傍の一方あるいは両者を微小レーザスポットで線上に１あるいは複数、走査して折り曲げ結果としてサスペンションアーム１をねじりロール角およびピッチ角を修正する構成を採用しているため、非接触で非機械的かつ折り曲げてロール角およびピッチ角の修正を簡易な操作で確実に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明は、サスペンションアーム１の両側のビーム部９あるいはその近傍の一方あるいは両者を微小レーザスポットで線上に１あるいは複数、走査して折り曲げ結果としてサスペンションアーム１をねじりロール角およびピッチ角を修正することを実現できる。
【実施例１】
【００１８】
本発明は、サスペンションアームのロール角およびピッチ角を修正するために、レーザはＱスイッチのような光学機器を使いパルス幅が短くピークがあるレーザを毎秒数千パルス（ピーク値が１０倍位と高く、間隔がｍｓ以下と短いパルス）でサスペンションアーム１のビーム部９の非対称位置に線上に走査することによって初めて実現したものである。特に、板厚が３０μｍ以下の従来技術では不可であったサスペンションアーム１のビーム部９に対して、ピーク値が高い点が有効に作用し、良好なロール角およびピッチ角の修正ができた。レーザヘッドあるいはレーザビームあるいはサスペンションアーム１が移動あるいは鏡を使ってレーザビームを移動させ、レーザビームが線上にビーム部９を走査して照射するようにしている。これにより、サスペンションアーム１を従来の単なる曲げではなく、折り曲げてサスペンションアーム１をねじり、確実に変形を与えてロール角およびピッチ角を修正することが可能となる。
【００１９】
ロール角およびピッチ角を修正させるため、レーザの種別や修正装置の構成、照射方法および照射条件（出力、スポット径、繰り返し回数、照射位置、移動速度、走査位置または角度）がある。本発明ではＱスイッチユニットなどの光学機器によるＹＡＧレーザで、サスペンションアーム１の金属部を直線状に走査し発生した金属部の折り曲げ変形によりロール角およびピッチ角を修正する。必要な変位量の制御はレーザの強度などの設定だけ
でなく、サスペンションアーム１の形状にあわせレーザを走査する方法によって制御、修正する。本発明が提供するロールおよびピッチ角の修正方法および修正装置について以下に例を挙げ順次詳細に脱明する。
【００２０】
図１は、本発明のサスペンションアームの構成図を示す。
図１の（ａ）は、標準的なサスペンションアーム１の構成を示す。サスペンションアーム１は、アクチュエータアーム取付部２、アーム剛性部４、アームばね部３、ジンバル部５、磁気ヘッド搭載部７、磁気ヘッド６、その他電気信号ケーブルなどで構成されている。図中、先端の座標中回転方向は、ロール（ロール角）およびピッチ（ピッチ角）の回転方向をそれぞれ示す。
【００２１】
図１の（ｂ）は、図１の（ａ）に示すジンバル部５を示す。ジンバル部５は、ジンバルばね部８、サスペンションアーム取付部１０、磁気ヘッド搭載部７、ビーム部９から構成されている。
【００２２】
図１の（ｃ）は、図１の（ｂ）と同様に図１の（ａ）に示すジンバル部５であって、レーザ加工する位置である点線Ｓ１−Ｓ２を示す。点線Ｓ１−Ｓ２で折り曲げ加工することで、アーム先端Ｐ１、磁気ヘッド搭載面先端Ｐ２を変位させる。修正前のジンバル先端部１１の拡大図を図２の（ａ）に示し、Ａ−Ａ断面の拡大図を図２の（ｂ−１），（ｂ−２）に示す。
【００２３】
図２は、本発明の説明図（ロール角修正、その１）を示す。
図２の（ａ）の点線Ｓ１−Ｓ２にレーザを線走査することで折り曲げ変形が発生し先端の一方のＰ１が図２の（ｂ−１）に示す矢印の金属面側に変位することで、磁気ヘッド搭載面先端Ｐ２が図２の（ｂ−１）に示す矢印の媒体面側に変位するように、ねじりが加わり、図２の（ｂ−１）に示すロール角αは図２の（ｂ−２）に示すように修正される。
【００２４】
図３は、本発明の説明図（ロール角修正、その２）を示す。この図３は、図２の（ａ），（ｂ−１），（ｂ−２）で説明したロール角の修正方向を逆にさせたい場合の方法で、磁気ヘッド搭載部７を対称にどちらか一方に加工（修正）することでロール角の修正方向を制御したものである。
【００２５】
一般に、ロール角などの修正は、レーザの出力、繰り返し周波数、パルス数、スポット径などのレーザ発振条件で制御するが、本発明の設定条件は、サスペンションアーム１、修正する角度、修正する角度量に対してレーザ発振条件以外のレーザ走査速度、レーザ走査方向（角度）、レーザ走査繰り返し回数を変えることでロール角の修正量を任意に制御する。
【００２６】
図４は、本発明の説明図（ロール角修正、その３）を示す。ここで、図４の（ａ）は走査線ａから走査線ｂへ段階的に走査角度を変えて加工している。これにより、サスペンションアーム１の折り曲げ変形量に差が生じ、図４の（ｂ）に示すように、走査線ａ，ｂはロール角修正量をＡ０，Ｂ０のように制御できる。また、走査線ａ，ｂの走査する速度をＶ０、Ｖ１、Ｖ２（ここで、Ｖ１＜Ｖ０＜Ｖ２）に変更することで走査線上のレーザ照射エネルギー量を制御し、図４の（ｂ）に示すＡ１，Ｂ１やＡ２，Ｂ２のように修正角度量を制御できる。
【００２７】
図５は、本発明の説明図（ピッチ角修正）を示す。これは、図４のロール角修正に対するピッチ角修正の例を示し、図５の（ａ）のＲ１部のａ１からｂ１の変化ではピッチ角は変化しないが（ロール角のみ変化）、ビーム部９の加工位置を磁気ヘッド搭載部７のＲ１からＲ２のように離すことでピッチ角の修正角度を図５の（ｂ）のＡ１からＡ２のように
減少できる。
【００２８】
また、レーザ加工を繰り返し行う場合、前の加工位置とレーザ照射位置部分をを重ねたり、ずらしたりすることで、ロール角およびピッチ角の変化量を制御することができる。
【００２９】
前述した修正方法は、対象となるサスペンションアーム１や磁気ヘッド搭載面の形状、材料の種類によって同じ加工であってもロール角およびピッチ角の修正量が異なる。修正量を正確に制御するには、条件設定を実験により求めて設定するようにする。
【００３０】
図６は、本発明の全体構成図を示す。図６では、対象となるサスペンションアーム１は数本から数十本のロットでまとめられたもので、本装置にてロール角およびピッチ角の良否判定と修正量を測定して修正できる。修正に使用するレーザ照射装置１３、配置されたサスペンションアーム１のロール角およびピッチ角と加工位置との距離を常に測定している測定部１４、サスペンションアーム１を位置決めする移動部１２とステージ部１５、測定したロール角およびピッチ角の判定、修正角度の算出、予め修正角に必要なレーザ照射条件設定テーブルがあり、その中から条件設定を決める制御部１５で構成され、必要な場合には、前後に他工程との搬送部を配置する。
【００３１】
図６に示すように、ある程度まとまった数で一度に加工あるいは単体でサスペンションアーム１を加工する場合、レーザ加工を安定にさせるため、測定時に加工焦点レンズと加工位置の距離を測定し、加工時にステージ部１５が適正なレーザスポット照射できるように光軸方向にレーザあるいは光学系を配置する。
【００３２】
また、図６に示す装置を使って、サスペンションアーム１に対しレーザ設定条件一定で、加工条件設定をビームスポット径φ１５０μｍ，レーザ走査速度１０ｍｍ／ｓｅｃ，加工回数１回にて、図２の（ａ），図３の（ａ）で示す加工位置に図４の（ａ）で示すａからｂまで走査角度を変化させた１個の加工で、ロール角を−０．５０〜０．５０度、ピッチ角を−０．５０〜０度の範囲で制御修正できた。
【００３３】
本実施例の実験の結果、サスペンションアームに熱エネルギー（例えばＱスイッチレーザのピーク値が高くパルス間隔ｍｓ以下のパルス状のレーザ形状）を与えることができれば修正を実現することは可能であるが、Ｑスイッチパルス制御ＹＡＧレーザが良好であり、他のＹＡＧレーザではレーザパルス形状に近づける必要がある（現状では困難である）。
【００３４】
また、本実施例はサスペンションアーム１に磁気ヘッドを搭載あるいは非搭載のいずれでもサスペンションアーム１のロール角およびピッチ角の修正が可能であり、例えばサスペンションアーム１自身のロール角およびピッチ角は正確でも搭載する磁気ヘッドが傾いて接着されてしまっても、当該傾いた磁気ヘッドのロール角およびピッチ角を許容値内に修正できる。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明は、サスペンションアーム１の両側のビーム部９あるいはその近傍の一方あるいは両者を微小レーザスポットで線上に１あるいは複数、走査して折り曲げ結果としてサスペンションアーム１をねじりロール角およびピッチ角を修正する、サスペンション修正装置、サスペンションアームの製造方法、およびサスペンションアームに関するものである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明のサスペンションアーム構成図である。
【図２】本発明の説明図（ロール角修正、その１）である。
【図３】本発明の説明図（ロール角修正、その２）である。
【図４】本発明の説明図（ロール角修正、その３）である。
【図５】本発明の説明図（ピッチ角修正）である。
【図６】本発明の全体構成図である。
【符号の説明】
【００３７】
１：サスペンションアーム
２：アタチュエータアーム取付部
３：アームばね部
４：アーム剛性部
５：ジンバル部
６：磁気ヘッド
７：磁気ヘッド搭載部
８：ジンバルばね部
９：ビーム部
１０：サスペンションアーム取付部
１１：ジンバル先端部
１２：移動部
１３：レーザ照射装置
１４：測定部
１５：ステージ部
１６：制御部
ｐ１：レーザ加工によるアーム先端部変位点
ｐ２：レーザ加工によるアーム先端部変位点
ｐ３：レーザ加工による磁気ヘッド搭載面端部変位点
ｐ４：レーザ加工による磁気ヘッド搭載面端部変位点
Ｓ１−Ｓ２：レーザスポット走査線
Ｓ３−Ｓ４：レーザスポット走査線
ａ：レーザ加工位置
ｂ：レーザ加工位置
Ａ：ロール角変化量
Ｂ：ロール角変化量
α：磁気ヘッドスライダのロール角
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置（ＨＤＤという）のデータを読み書きする磁気ヘッドスライダのロール方向の傾き角となる磁気ヘッド搭載面のロール角と、ピッチ方向の傾き角となる磁気ヘッド搭載面のピッチ角とを適正な角度範囲に修正する、サスペンション修正装置、サスペンションアームの製造方法、およびサスペンションアームに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＨＤＤの磁気ヘッドは記録媒体上を微小に浮上させるため、磁気ヘッド搭載面の要求する位置精度を満足するサスペンショシアームの製造は難しくなっている。サスペンションアームの磁気ヘッド搭載面のロール角は磁気ディスクへのデータの書込み、読み出しにとって重要である浮上時の磁気ヘッドの姿勢に影響する。現在、ロール角およびピッチ角が不良のサスペンションアームは機械的に変位を与えることでロール角およびピッチ角の修正を行なっている。これは、磁気ヘッド搭載面あるいは磁気ヘッドを直接押して機械的に曲げたり、またはねじりを加える方法で、直接触れて動かすため、サスベンションアームや磁気ヘッドを破壊してしまったり、機械的な特性変化や応力至みが発生し、修正後の経時変化や環境変化等により修正前の形状に戻り勝ちであるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明もロール角およびピッチ角の修正は、サスペンションアームを変形させせて磁気ヘッド搭載面のロール各およびピッチ角を修正するが、サスペンションアームの変形をレーザ照射による金属曲げ加工を利用して実現する。レーザを金属に照射して加熱、冷却するとレーザ照射側に収縮が発生し、レーザ照射された方向（側）に曲げが生じることが知られている。この曲げ変形を利用し、ロール角およびピッチ角を修正する方法は、レーザを１点に照射し局部を加熱、冷却して曲げを発生させロール角およびピッチ角を調整する技術がある。
【０００４】
しかし、ＨＤＤの小型化が進むにつれて各部品が小型化し、サスペンションアームもこれまでより薄膜化した。
【０００５】
従来のレーザのビームスポット照射による曲げ加工では、照射部に孔が開いてしまったり、レーザ照射部の熱は容易に照射部の裏面にまで達し所望する曲げ変形が困難である。また、連続波では、レーザにピークがなく曲げ加工を発生させることが困難であった。
【０００６】
本発明は、これらの問題を解決するため、サスペンションアームのに両側のビーム部あるいはその近傍の一方あるいは両者を微小レーザスポットで線上に１あるいは複数、走査して折り曲げ結果としてサスペンションアームをねじりロール角およびピッチ角を修正し、非接触で非機械的かつ折り曲げてロール角およびピッチ角の修正を簡易な操作で確実に実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
図１を参照して課題を解決するための手段を説明する。
図１において、サスペンションアーム１は、両側に図示のようにビーム部９を設けると共にジンバル部５に磁気ヘッドを搭載して保持するものである。
【０００８】
ビーム部９は、ジンバル部５を保持するものであって、ここでは、レーザスポットで一方あるいは両方を走査して折り曲げジンバル部５に搭載した磁気ヘッドの媒体に対するロール角およびピッチ角（図１の（ａ）参照）を修正するものである。
【０００９】
次に、動作を説明する。
サスペンションアーム１の磁気ヘッドを保持する一方あるいは両方のビーム部９あるいはその近傍をレーザビームで線上に走査して折り曲げて当該サスペンションアーム１にねじりを与えて保持する磁気ヘッドのロール角およびピッチ角を修正するようにしている。
【００１０】
この際、レーザビームで線上に走査する速度を変えて修正量を調整するようにしている。
【００１１】
また、レーザビームで線上に走査する同じ位置あるいは隣接する位置の回数を変えて修正量を調整するようにしている。
【００１２】
また、レーザビームで線上に走査する位置を変えてロール角の修正量を調整するようにしている（図４参照）。
【００１３】
また、レーザビームで線上に走査する傾きを変えてピッチ角の修正量を調整するようにしている（図５参照）。
【００１４】
また、レーザビームで線上に走査するときにレーザスポット形状が同じになるようにフォーカス制御するようにしている（図６参照）。
【００１５】
従って、サスペンションアーム１のに両側のビーム部９あるいはその近傍の一方あるいは両者を微小レーザスポットで線上に１あるいは複数、走査して折り曲げ結果としてサスペンションアーム１をねじりロール角およびピッチ角を修正することにより、非接触で非機械的かつ折り曲げてロール角およびピッチ角の修正を簡易な操作で確実に行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、サスペンションアーム１の両側のビーム部９あるいはその近傍の一方あるいは両者を微小レーザスポットで線上に１あるいは複数、走査して折り曲げ結果としてサスペンションアーム１をねじりロール角およびピッチ角を修正する構成を採用しているため、非接触で非機械的かつ折り曲げてロール角およびピッチ角の修正を簡易な操作で確実に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明は、サスペンションアーム１の両側のビーム部９あるいはその近傍の一方あるいは両者を微小レーザスポットで線上に１あるいは複数、走査して折り曲げ結果としてサスペンションアーム１をねじりロール角およびピッチ角を修正することを実現できる。
【実施例１】
【００１８】
本発明は、サスペンションアームのロール角およびピッチ角を修正するために、レーザはＱスイッチのような光学機器を使いパルス幅が短くピークがあるレーザを毎秒数千パルス（ピーク値が１０倍位と高く、間隔がｍｓ以下と短いパルス）でサスペンションアーム１のビーム部９の非対称位置に線上に走査することによって初めて実現したものである。特に、板厚が３０μｍ以下の従来技術では不可であったサスペンションアーム１のビーム部９に対して、ピーク値が高い点が有効に作用し、良好なロール角およびピッチ角の修正ができた。レーザヘッドあるいはレーザビームあるいはサスペンションアーム１が移動あるいは鏡を使ってレーザビームを移動させ、レーザビームが線上にビーム部９を走査して照射するようにしている。これにより、サスペンションアーム１を従来の単なる曲げではなく、折り曲げてサスペンションアーム１をねじり、確実に変形を与えてロール角およびピッチ角を修正することが可能となる。
【００１９】
ロール角およびピッチ角を修正させるため、レーザの種別や修正装置の構成、照射方法および照射条件（出力、スポット径、繰り返し回数、照射位置、移動速度、走査位置または角度）がある。本発明ではＱスイッチユニットなどの光学機器によるＹＡＧレーザで、サスペンションアーム１の金属部を直線状に走査し発生した金属部の折り曲げ変形によりロール角およびピッチ角を修正する。必要な変位量の制御はレーザの強度などの設定だけ
でなく、サスペンションアーム１の形状にあわせレーザを走査する方法によって制御、修正する。本発明が提供するロールおよびピッチ角の修正方法および修正装置について以下に例を挙げ順次詳細に脱明する。
【００２０】
図１は、本発明のサスペンションアームの構成図を示す。
図１の（ａ）は、標準的なサスペンションアーム１の構成を示す。サスペンションアーム１は、アクチュエータアーム取付部２、アーム剛性部４、アームばね部３、ジンバル部５、磁気ヘッド搭載部７、磁気ヘッド６、その他電気信号ケーブルなどで構成されている。図中、先端の座標中回転方向は、ロール（ロール角）およびピッチ（ピッチ角）の回転方向をそれぞれ示す。
【００２１】
図１の（ｂ）は、図１の（ａ）に示すジンバル部５を示す。ジンバル部５は、ジンバルばね部８、サスペンションアーム取付部１０、磁気ヘッド搭載部７、ビーム部９から構成されている。
【００２２】
図１の（ｃ）は、図１の（ｂ）と同様に図１の（ａ）に示すジンバル部５であって、レーザ加工する位置である点線Ｓ１−Ｓ２を示す。点線Ｓ１−Ｓ２で折り曲げ加工することで、アーム先端Ｐ１、磁気ヘッド搭載面先端Ｐ２を変位させる。修正前のジンバル先端部１１の拡大図を図２の（ａ）に示し、Ａ−Ａ断面の拡大図を図２の（ｂ−１），（ｂ−２）に示す。
【００２３】
図２は、本発明の説明図（ロール角修正、その１）を示す。
図２の（ａ）の点線Ｓ１−Ｓ２にレーザを線走査することで折り曲げ変形が発生し先端の一方のＰ１が図２の（ｂ−１）に示す矢印の金属面側に変位することで、磁気ヘッド搭載面先端Ｐ２が図２の（ｂ−１）に示す矢印の媒体面側に変位するように、ねじりが加わり、図２の（ｂ−１）に示すロール角αは図２の（ｂ−２）に示すように修正される。
【００２４】
図３は、本発明の説明図（ロール角修正、その２）を示す。この図３は、図２の（ａ），（ｂ−１），（ｂ−２）で説明したロール角の修正方向を逆にさせたい場合の方法で、磁気ヘッド搭載部７を対称にどちらか一方に加工（修正）することでロール角の修正方向を制御したものである。
【００２５】
一般に、ロール角などの修正は、レーザの出力、繰り返し周波数、パルス数、スポット径などのレーザ発振条件で制御するが、本発明の設定条件は、サスペンションアーム１、修正する角度、修正する角度量に対してレーザ発振条件以外のレーザ走査速度、レーザ走査方向（角度）、レーザ走査繰り返し回数を変えることでロール角の修正量を任意に制御する。
【００２６】
図４は、本発明の説明図（ロール角修正、その３）を示す。ここで、図４の（ａ）は走査線ａから走査線ｂへ段階的に走査角度を変えて加工している。これにより、サスペンションアーム１の折り曲げ変形量に差が生じ、図４の（ｂ）に示すように、走査線ａ，ｂはロール角修正量をＡ０，Ｂ０のように制御できる。また、走査線ａ，ｂの走査する速度をＶ０、Ｖ１、Ｖ２（ここで、Ｖ１＜Ｖ０＜Ｖ２）に変更することで走査線上のレーザ照射エネルギー量を制御し、図４の（ｂ）に示すＡ１，Ｂ１やＡ２，Ｂ２のように修正角度量を制御できる。
【００２７】
図５は、本発明の説明図（ピッチ角修正）を示す。これは、図４のロール角修正に対するピッチ角修正の例を示し、図５の（ａ）のＲ１部のａ１からｂ１の変化ではピッチ角は変化しないが（ロール角のみ変化）、ビーム部９の加工位置を磁気ヘッド搭載部７のＲ１からＲ２のように離すことでピッチ角の修正角度を図５の（ｂ）のＡ１からＡ２のように
減少できる。
【００２８】
また、レーザ加工を繰り返し行う場合、前の加工位置とレーザ照射位置部分をを重ねたり、ずらしたりすることで、ロール角およびピッチ角の変化量を制御することができる。
【００２９】
前述した修正方法は、対象となるサスペンションアーム１や磁気ヘッド搭載面の形状、材料の種類によって同じ加工であってもロール角およびピッチ角の修正量が異なる。修正量を正確に制御するには、条件設定を実験により求めて設定するようにする。
【００３０】
図６は、本発明の全体構成図を示す。図６では、対象となるサスペンションアーム１は数本から数十本のロットでまとめられたもので、本装置にてロール角およびピッチ角の良否判定と修正量を測定して修正できる。修正に使用するレーザ照射装置１３、配置されたサスペンションアーム１のロール角およびピッチ角と加工位置との距離を常に測定している測定部１４、サスペンションアーム１を位置決めする移動部１２とステージ部１５、測定したロール角およびピッチ角の判定、修正角度の算出、予め修正角に必要なレーザ照射条件設定テーブルがあり、その中から条件設定を決める制御部１５で構成され、必要な場合には、前後に他工程との搬送部を配置する。
【００３１】
図６に示すように、ある程度まとまった数で一度に加工あるいは単体でサスペンションアーム１を加工する場合、レーザ加工を安定にさせるため、測定時に加工焦点レンズと加工位置の距離を測定し、加工時にステージ部１５が適正なレーザスポット照射できるように光軸方向にレーザあるいは光学系を配置する。
【００３２】
また、図６に示す装置を使って、サスペンションアーム１に対しレーザ設定条件一定で、加工条件設定をビームスポット径φ１５０μｍ，レーザ走査速度１０ｍｍ／ｓｅｃ，加工回数１回にて、図２の（ａ），図３の（ａ）で示す加工位置に図４の（ａ）で示すａからｂまで走査角度を変化させた１個の加工で、ロール角を−０．５０〜０．５０度、ピッチ角を−０．５０〜０度の範囲で制御修正できた。
【００３３】
本実施例の実験の結果、サスペンションアームに熱エネルギー（例えばＱスイッチレーザのピーク値が高くパルス間隔ｍｓ以下のパルス状のレーザ形状）を与えることができれば修正を実現することは可能であるが、Ｑスイッチパルス制御ＹＡＧレーザが良好であり、他のＹＡＧレーザではレーザパルス形状に近づける必要がある（現状では困難である）。
【００３４】
また、本実施例はサスペンションアーム１に磁気ヘッドを搭載あるいは非搭載のいずれでもサスペンションアーム１のロール角およびピッチ角の修正が可能であり、例えばサスペンションアーム１自身のロール角およびピッチ角は正確でも搭載する磁気ヘッドが傾いて接着されてしまっても、当該傾いた磁気ヘッドのロール角およびピッチ角を許容値内に修正できる。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明は、サスペンションアーム１の両側のビーム部９あるいはその近傍の一方あるいは両者を微小レーザスポットで線上に１あるいは複数、走査して折り曲げ結果としてサスペンションアーム１をねじりロール角およびピッチ角を修正する、サスペンション修正装置、サスペンションアームの製造方法、およびサスペンションアームに関するものである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明のサスペンションアーム構成図である。
【図２】本発明の説明図（ロール角修正、その１）である。
【図３】本発明の説明図（ロール角修正、その２）である。
【図４】本発明の説明図（ロール角修正、その３）である。
【図５】本発明の説明図（ピッチ角修正）である。
【図６】本発明の全体構成図である。
【符号の説明】
【００３７】
１：サスペンションアーム
２：アタチュエータアーム取付部
３：アームばね部
４：アーム剛性部
５：ジンバル部
６：磁気ヘッド
７：磁気ヘッド搭載部
８：ジンバルばね部
９：ビーム部
１０：サスペンションアーム取付部
１１：ジンバル先端部
１２：移動部
１３：レーザ照射装置
１４：測定部
１５：ステージ部
１６：制御部
ｐ１：レーザ加工によるアーム先端部変位点
ｐ２：レーザ加工によるアーム先端部変位点
ｐ３：レーザ加工による磁気ヘッド搭載面端部変位点
ｐ４：レーザ加工による磁気ヘッド搭載面端部変位点
Ｓ１−Ｓ２：レーザスポット走査線
Ｓ３−Ｓ４：レーザスポット走査線
ａ：レーザ加工位置
ｂ：レーザ加工位置
Ａ：ロール角変化量
Ｂ：ロール角変化量
α：磁気ヘッドスライダのロール角
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サスペンションアームのロール角を修正するサスペンション修正装置において、
レーザビームを照射するレーザ照射装置と、
前記サスペンションアームのヘッドを保持するためのヘッド搭載部における２本のビーム部の一方あるいは両方に対して、レーザビームによって線上にレーザ照射を行って折り曲げるにあたり、前記線上のレーザ照射方向角度を制御して前記ロール角の修正量の調整を行う制御手段と
を備えたことを特徴とするサスペンション修正装置。
【請求項２】
サスペンションアームの製造方法において、
前記サスペンションアームのヘッド搭載部における２本のビーム部の一方あるいは両方に対して、レーザビームによって線上にレーザ照射を行って折り曲げるにあたり、前記線上のレーザ照射方向角度を制御して前記ロール角の修正量の調整を行う工程を備え、
サスペンションアームのロール角を修正することを特徴とするサスペンションアームの製造方法。
【請求項３】
前記工程において、レーザ照射の傾きを変えてレーザ照射を行うことを特徴とする請求項２記載のサスペンションアームの製造方法。
【請求項４】
アクチュエータアーム取付部と、アームばね部と、ヘッドを保持するためのヘッド搭載部が設けられたサスペンションアームにおいて、
前記ヘッド搭載部における２本のビーム部のうち一方に対して、複数の異なる位置の線上に照射方向角度を制御してレーザ照射を行なって形成された複数の線の折り曲げを有することを特徴とするサスペンションアーム。
【請求項５】
前記ヘッド搭載部における２本のビーム部の他方に対して、線上にレーザ照射を行なって形成された折り曲げをさらに有することを特徴とする請求項４に記載のサスペンションアーム。
【請求項１】
サスペンションアームのロール角を修正するサスペンション修正装置において、
レーザビームを照射するレーザ照射装置と、
前記サスペンションアームのヘッドを保持するためのヘッド搭載部における２本のビーム部の一方あるいは両方に対して、レーザビームによって線上にレーザ照射を行って折り曲げるにあたり、前記線上のレーザ照射方向角度を制御して前記ロール角の修正量の調整を行う制御手段と
を備えたことを特徴とするサスペンション修正装置。
【請求項２】
サスペンションアームの製造方法において、
前記サスペンションアームのヘッド搭載部における２本のビーム部の一方あるいは両方に対して、レーザビームによって線上にレーザ照射を行って折り曲げるにあたり、前記線上のレーザ照射方向角度を制御して前記ロール角の修正量の調整を行う工程を備え、
サスペンションアームのロール角を修正することを特徴とするサスペンションアームの製造方法。
【請求項３】
前記工程において、レーザ照射の傾きを変えてレーザ照射を行うことを特徴とする請求項２記載のサスペンションアームの製造方法。
【請求項４】
アクチュエータアーム取付部と、アームばね部と、ヘッドを保持するためのヘッド搭載部が設けられたサスペンションアームにおいて、
前記ヘッド搭載部における２本のビーム部のうち一方に対して、複数の異なる位置の線上に照射方向角度を制御してレーザ照射を行なって形成された複数の線の折り曲げを有することを特徴とするサスペンションアーム。
【請求項５】
前記ヘッド搭載部における２本のビーム部の他方に対して、線上にレーザ照射を行なって形成された折り曲げをさらに有することを特徴とする請求項４に記載のサスペンションアーム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００８−１７６９１９（Ｐ２００８−１７６９１９Ａ）
【公開日】平成２０年７月３１日（２００８．７．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−３３７８３（Ｐ２００８−３３７８３）
【出願日】平成２０年２月１４日（２００８．２．１４）
【分割の表示】特願平１１−１４５５８５の分割
【原出願日】平成１１年５月２５日（１９９９．５．２５）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年７月３１日（２００８．７．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年２月１４日（２００８．２．１４）
【分割の表示】特願平１１−１４５５８５の分割
【原出願日】平成１１年５月２５日（１９９９．５．２５）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
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