ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置
【課題】ターレットの周囲に保持した複数のリッドの搬送、姿勢調整、セラミック容器との仮付け、廃棄を略同時に行うことができる、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置を提供する。
【解決手段】ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置において、リッドを保持する吸着ノズル４２ａと、吸着ノズル４２ａの周囲に設けられる電極ローラ２１０と、を有する部品保持ユニット４０が、回転テーブル３０の周方向に複数設けられるようにする。１の部品保持ユニット４０がリッド供給領域３にある場合、他の部品保持ユニット４０は溶接領域４にあるようにして、リッドの供給を溶接を同時に行うようにした。
【解決手段】ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置において、リッドを保持する吸着ノズル４２ａと、吸着ノズル４２ａの周囲に設けられる電極ローラ２１０と、を有する部品保持ユニット４０が、回転テーブル３０の周方向に複数設けられるようにする。１の部品保持ユニット４０がリッド供給領域３にある場合、他の部品保持ユニット４０は溶接領域４にあるようにして、リッドの供給を溶接を同時に行うようにした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品等を溶接する溶接装置、特にセラミック容器にリッドを仮付け溶接する溶接装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、図１３に示されるように、９０°の角度で往復回動する回動部材２１に、９０°の角度で十字に交差する４つのアーム部２１ａ〜２１ｄが設けられたシーム溶接装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この４つのアーム部２１ａ〜２１ｄは、それぞれリッド７を吸引保持する吸引ノズル１８ａ〜１８ｄを備える。その中でも２つのアーム部２１ｃ、２１ｄは、ローラ電極を有する溶接ヘッド１９ａ、１９ｂも備えている。アーム部２１ａ、２１ｂ側に設けられる吸引ノズル１８ａ、１８ｂは、このアーム部２１ａ、２１ｂの垂下部において、リニアガイド（図示省略）を介して垂直方向に摺動自在に装着される。この垂直方向の移動は、カム（図示省略）により行われる。また、アーム部２１ｃ、２１ｄ側では、吸引ノズル１８ｃ、１８ｄと溶接ヘッド１９ａ、１９ｂが、リニアガイドを介して垂直方向に摺動自在に装着される。この垂直方向の移動も、カムによって一体的に行われる。
【０００３】
図１３に示される初期状態に対して、４つのアーム部２１ａ〜２１ｄが反時計回り及び時計回りに９０°の角度で往復回動すると、アーム部２１ａは、リッド供給部１３と第２のリッド位置決め部１２ｂ間を往復動する。この結果、吸引ノズル１８ａはリッド供給部１３のリッド７を吸引保持して第２の位置決め部１２ｂに搬送し、その後、元の位置に戻り、再びリッド供給部１３のリッド７を吸引保持する。
【０００４】
アーム部２１ｂは、第１のリッド位置決め部１２ａとリッド供給部１３間を往復動する。吸引ノズル１８ｂは、リッド供給部１３のリッド７を吸引保持して、第１の位置決め部１２ａに搬送する。
【０００５】
アーム部２１ｃは、リッド仮付け部１１と第１の位置決め部１２ａ間を往復動する。反時計回りの往動作時に、第１のリッド位置決め部１２ａに移動して、吸引ノズル１８ｃによってリッド７を吸引保持し、時計回りの復動作時に、このリッド７をリッド仮付け部１１に搬送してパッケージ３上に載置する。この時、吸着ノズル１８ｃと共に溶接ヘッド１９ａも常に上下動し、パッケージ３上に載置されたリッド７をパッケージ３にスポット溶接する。
【０００６】
アーム部２１ｄは、リッド仮付け部１１と第２のリッド位置決め部１２ｂ間を往復動する。時計回りの往動作時に、第２のリッド位置決め部１２ｂに移動して、吸引ノズル１８ｄによってリッド７を吸引保持し、反時計回りの復動作時に、このリッド７をリッド仮付け部１１に搬送してパッケージ３上に載置する。この時、吸引ノズル１８ｄと共に溶接ヘッド１９ｂも常に上下動し、パッケージ３上に載置されたリッド７をパッケージ３にスポット溶接する。
【０００７】
上記のように、特許文献１に開示されている発明は、４つのアーム部２１ａ〜２１ｄ往復回動することにより、２つのアーム部２１ａ又は２１ｂが、リッド供給部１３から、交互にリッド７を吸引保持して、第１リッド位置決め部１２ａ又は第２リッド位置決め部１２ｂに搬送する。一方、２つのアーム２１ｃ又は２１ｄは、第１リッド位置決め部１２ａ又は第２リッド位置決め部１２ｂのリッド７を交互に吸引保持して、リッド仮付け部１１に搬送し、溶接ヘッド１９ａ又は１９ｂによりリッド７をパッケージ３に対して順次仮止めする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−０４６０１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述した特許文献１に開示されているシーム溶接装置は、リッド７の位置決めのために、アーム部２１ａの吸引ノズル１８ａからリッド７を開放し、開放したリッド７を別のアーム部２１ｂの吸引ノズル１８ｂで吸引保持する。つまり、上記のシーム溶接装置は、リッド７を位置決めするために、その都度、リッド位置決め部１２ａ又は１２ｂにリッド７を載置して位置補正を行い、その後に別のアーム部２１ｃ又は２１ｄで吸引保持して、溶接部まで搬送しなければならない。したがって、リッド７の供給から溶接の間において、リッド７の開放や吸引の回数が多く、開放ミスや吸引ミスが起こり易いという問題があった。
【００１０】
また、このシーム溶接装置におけるアーム部２１ｃ及びアーム部２１ｄは、それぞれに設けられている吸引ノズル１８ｃ、１８ｄと溶接ヘッド１９ａ、１９ｂをカム機構により同時に上下移動させる構造である。したがって、吸引ノズル１８ｃによってリッド７を吸引する際、溶接ヘッド１９ａが邪魔になるという問題があった。また、これを回避するために、吸引ノズル１８ｃと溶接ヘッド１９ａの高さ位置を高精度に調整しなければならないという問題があった。もちろん、吸引ノズル１８ｄと溶接ヘッド１９ｂについても同様の問題がある。
【００１１】
また、アーム部２１ａ、２１ｂは、リッド供給部１３からリッド７を吸引してリッド位置決め部１２ａ、１２ｂに載置するという役割が決められ、アーム部２１ｃ、２１ｄは、リッド位置決め部１２ａ、１２ｂからリッド７を吸引し、パッケージ３にリッド７を仮付け溶接するという役割が決められている。したがって、上記のシーム溶接装置では、各アーム部はそれぞれに役割が決められており、２つの場所を９０°の間隔で往復動を行う以外の動作ができない。この結果、上記シーム溶接装置のアーム部の数は４つに限定され、経路上には、吸引、位置決め、仮付け溶接等の３種類以上の工程を設けることができないという問題があった。例えば、上記シーム溶接装置では、仮付け後の仮付け不良品を廃棄する工程を設けることができず、仮付け不良品は、すべてのリッド７をパッケージ３に溶接した後、別の工程でパッケージ毎に検査しなければならない。更に、上記シーム溶接装置は、役割が決められたアーム部２１ａ〜２１ｄを９０°間隔で往復回動させるのが原則のため、１工程の作業を行うのに必ず９０°の回転を伴う。即ち、本出願時には未公知であるが、回動部材に設けられるアーム部の数量を６個や８個に増やして、アーム部の１工程で移動させる回転角度を小さく（例えば、４５°や３０°）して、リッドの供給や仮付け溶接を高速で行うことができないという問題があった。
【００１２】
また、上記シーム溶接装置は、吸引ノズルや溶接ヘッドを下降移動させるカムを、個々のアーム部２１ａ〜２１ｄに搭載する構造としている。したがって、リッド供給部１３からリッド７を吸引する場合や、リッド位置決め部１２ａ、１２ｂにリッド７を載置する場合、または、リッド溶接部において、パッケージ３にリッド７を仮付け溶接する場合に、吸引ノズルや溶接ローラの高さを微調整するために、全てのカムの回転角度等を高精度に制御しなければならないという問題があった。このため、カムを回転駆動するための制御装置やプログラムが複雑になるという問題があった。また、図示は省略するが、上記シーム溶接装置は、カムを回転するためのモータ等が個々のアーム部２１ａ〜２１ｄに設けられる構造となる。特に、溶接側では、リッド７をパッケージ３に押しつけるための相当の力が必要となるため、モータが大きくなり、アーム部２１ａ〜２１ｄの重量バランスが悪化するという問題があった。
【００１３】
本発明は、斯かる実情に鑑み、ターレットの周囲に保持した複数のリッドの搬送、姿勢調整、セラミック容器との仮付け、廃棄を略同時に行うことができる、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明者の鋭意研究により、上記目的は以下の手段によって達成される。
【００１５】
即ち、上記目的を達成する本発明は、時計回り又は反時計回りの１方向に回転する回転テーブルと、前記回転テーブルの周方向に複数設けられ、リッドを保持するリッド保持手段、及び前記リッド保持手段に隣接する溶接電極を有する部品保持ユニットと、前記回転テーブルの回転による前記部品保持ユニットの回転経路上に位置するリッド供給領域に対して、溶接前のリッドを搬送するリッド供給装置と、前記部品保持ユニットの回転経路上に位置する溶接領域に対して、溶接前の容器を搬送する容器供給装置と、を備え、前記回転テーブルが回転することにより、１の前記部品保持ユニットの前記リッド保持手段が、前記リッド供給領域の上に位置する際に、少なくとも他の１つの前記部品保持ユニットの前記リッド保持手段は、前記リッドを保持した状態で前記溶接領域の上に位置することを特徴とする、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置である。
【００１６】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記部品保持ユニットは、前記リッド保持手段を回転可能、且つリッド方向にスライド可能に支持するとともに、前記リッド保持手段を回転させるリッド保持手段回転装置を備えることを特徴とする。
【００１７】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記部品保持ユニットは、前記リッド保持手段をスライド可能に支持するリッド保持手段ガイド部材、及び前記リッド保持手段を押し上げ方向に付勢するリッド保持手段付勢部材を備えており、更に、前記リッド供給領域上及び前記溶接領域上には、前記リッド保持手段を押し下げる為の押下装置がそれぞれ固定配置されており、前記リッド保持手段付勢部材の付勢力に抗して、前記押下装置が前記リッド保持手段を押し下げることで、前記リッド供給領域における前記リッドの保持、及び前記溶接領域における前記リッドの前記容器への搭載を行うことを特徴とする。
【００１８】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記部品保持ユニットは、前記溶接電極をスライド可能に支持する溶接電極ガイド部材、及び前記溶接電極を押し上げ方向に付勢する溶接電極付勢部材を備えており、前記部品保持ユニット又は前記溶接領域上の前記押下装置には、前記リッド保持手段と前記溶接電極を同時にスライドさせる連動機構が設けられており、前記溶接領域上の前記押下装置が前記部品保持ユニットに押し下げ力を付与することで、前記リッド保持手段と前記溶接電極が同時に押し下げられることを特徴とする。
【００１９】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記部品保持ユニットの回転経路上に位置する姿勢情報取得領域において、前記部品保持ユニットが保持している前記リッドの姿勢情報を取得する姿勢情報取得手段をさらに備え、少なくとも３つの前記部品保持ユニットが、前記リッド供給領域、前記溶接領域、及び前記姿勢情報取得領域に同時に位置するようになっていることを特徴とする。
【００２０】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記姿勢情報に基づいて、前記リッドの姿勢の良否を判定する姿勢判定手段を更に有し、前記部品保持ユニットの回転経路上には、前記姿勢判定手段により不具合姿勢と判定された前記リッドを廃棄する廃棄領域が設けられており、前記部品保持ユニットは、前記回転テーブルの周方向に一定の間隔で少なくとも４か所に配設されており、４つの前記部品保持ユニットが、前記リッド供給領域、前記姿勢情報取得領域、前記溶接領域、及び前記廃棄領域に同時に位置することを特徴とする。
【００２１】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記リッド供給領域、前記姿勢情報取得領域、前記溶接領域及び前記廃棄領域は、時計回り又は反時計回りの一方向に、この順番で、前記部品保持ユニットの回転経路上に設けられていることを特徴とする。
【００２２】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記部品保持ユニットは、前記リッド保持手段が保持する前記リッドが前記容器に当接した際に、前記溶接電極のみをスライドさせて、前記容器上の前記リッドに前記溶接電極を当接させることを特徴とする。
【００２３】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記リッド保持手段は、前記溶接電極よりも前記容器に近接する位置に設けられ、前記リッド保持手段及び前記溶接電極は、前記リッド保持手段ガイド部材及び前記溶接電極ガイド部材に沿って、それぞれ個別にスライドするように構成され、前記溶接領域において、該溶接領域上に設けられた前記押下装置の連動機構により、前記リッド保持手段及び前記溶接電極が同時に押し下げられた場合、前記リッドが前記容器に当接することによって、前記リッド保持手段が、前記リッド保持手段ガイド部材に沿って前記溶接電極に対して相対的に上方に移動し、前記溶接電極が、前記リッドに当接して前記リッドと前記容器の溶接をすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、リッドの供給、搬送及びセラミック容器との溶接の際の無駄な時間を少なくし、リッドとセラミック容器の仮付け溶接のサイクルタイムを大幅に短縮することができるという優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】第１実施形態に係るターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１の正面図である。
【図２】同ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１の左側面図である。
【図３】同ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１の平面図である。
【図４】（ａ）は、回転テーブル３０および部品保持ユニット４０の平面図であり、（ｂ）は、図４（ａ）における矢視ＡーＡ方向から見た回転テーブル３０および部品保持ユニット４０の断面図である。
【図５】（ａ）（ｂ）は、部品保持ユニット４０の断面構造および外部付勢装置５０を示した図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、図４（ａ）の矢視ＢーＢ方向から見た部品保持ユニット４０が溶接領域４に位置する場合の断面図である。
【図７】（ａ）電極保持装置２２０により電極ローラ２１０を保持している状態を示す側面図であり、（ｂ）電極保持装置２２０から電極ローラ２１０を取り外した状態を示す側面図である。
【図８】同ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１の回転テーブル３０を退避位置まで移動させた状態を示した左側面図である。
【図９】（ａ）〜（ｆ）は、リッド溶接装置１の作動を示した平面図である。
【図１０】（ａ）（ｂ）第２実施形態に係る部品保持ユニットを右側面から見た断面図である。
【図１１】（ａ）〜（ｄ）第３実施形態に係るターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置の平面図である。
【図１２】（ａ）〜（ｄ）第３実施形態に係るターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置の平面図である。
【図１３】従来のシーム溶接装置の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。
【００２７】
図１〜３には、本発明の台１実施形態に係るターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１（以下、リッド溶接装置１という）が示されている。リッド溶接装置１は、このリッドを吸着し、吸着状態におけるリッドの姿勢を判定し、このリッドをセラミック容器に仮付け溶接し、一方で不具合品となるリッドを廃棄するものである。なお、本明細書中の説明における各方向は、特に記載がない限り、原則として運転可能状態のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１を正面から見た場合を基準としている。
【００２８】
図１〜３に示されるように、リッド溶接装置１は、基台２と、基台２上面の左側に配設されたリッド供給装置１０と、基台２に揺動自在に配設されたアーム２０と、アーム２０に回転自在に配設された回転テーブル３０と、回転テーブル３０の外周面に周方向に沿って配設された４つの部品保持ユニット４０と、アーム２０に配設された２つの外部付勢装置５０と、回転テーブル３０を回転させる回転テーブル駆動手段６０と、基台２上面の中央手前側に配設された姿勢情報取得手段７０と、アーム２０を揺動させる揺動手段８０と、リッド溶接装置１全体を制御する中央制御装置９０と、基台２上面の右側に配設されたセラミック容器供給装置１００を有して構成されている。このリッド溶接装置１は、外部からバルク状態でリッド供給装置１０に供給されたリッド３００を、部品保持ユニット４０により吸着してセラミック容器供給装置１００まで搬送し、セラミック容器供給装置１００に整列配置されているセラミック容器４００にシーム溶接するものである。また、本実施形態に係るリッド溶接装置１は、溶接領域４に、セラミック容器４００とリッド３００の溶接状態を撮影できるように配置されたＣＣＤカメラ（図示省略）等により、セラミック容器４００とリッド３００の溶接状態を撮影及び判断し、不合格と判断された溶接部品を所定の廃棄トレイ３５０の中に収容できるようになっている。
【００２９】
基台２は、略直方体状の部材である。基台２の内部には、中央制御装置９０や、特に図示しない電源装置等が配設されている。基台２上面の奥側端部には柱部材２ａが配設されており、この柱部材２ａの上端にはアーム２０を動作可能（揺動自在）に支持するアームブラケット２ｂが配設されている。本実施形態では、基台２上面の左側部分にリッド供給装置１０から部品保持ユニット４０にリッド３００を供給するリッド供給領域３を、基台２上面の右側部分に、部品保持ユニット４０が保持するリッド３００を、セラミック容器供給装置１００に載置されているセラミック容器４００に仮付け溶接する溶接領域４を設定している。また、姿勢情報取得手段７０が配設された基台２上面の中央手前側部分に姿勢情報取得領域５を設定している。なお、基台２上面の中央奥側部分（揺動手段８０側）には、リッド３００とセラミック容器４００を仮付け溶接した後の仮付け部品が不合格と判定された場合、不合格品を廃棄トレイ３５０に廃棄する廃棄領域６が設定されている。
【００３０】
リッド供給装置１０は、バルク状態でタンクに投入されたリッド３００を、姿勢と方向を整えながらリッド供給装置１０のリッド保持位置１１まで搬送する、いわゆるパーツフィーダである。なお、リッド供給装置１０は、バルク状態で投入されたリッド３００の方向や角度を整えながら、リッド３００をリッド保持位置１１まで正確に搬送できるようになっているため、姿勢制御のための特別な検査装置や駆動装置を設ける必要がなく、設備コストを抑えるとともに、工程削減によるサイクルタイムの短縮と製造原価の削減を行うことができる。
【００３１】
アーム２０は、アームブラケット２ｂからリッド供給装置１０の上方を手前に向けて伸びる腕状の部材である。アーム２０には回転テーブル３０が回転自在に保持されると共に、回転テーブル駆動手段６０および外部付勢装置５０が配設されている。外部付勢装置５０は、リッド供給領域３及び溶接領域４側に対応して、それぞれの上方に設けられている。なお、溶接領域４に設けられている外部付勢装置５０は、連動部材２５０（詳細は後述）を有して構成されている。
【００３２】
揺動手段８０は、モータ８２と、モータ８２の出力軸に接続されるねじ軸８４と、アーム２０に配設されるナット８６とから構成されている。モータ８２は、例えばステッピングモータであり、出力軸を上にして柱部材２ａの左側面にモータブラケット８２ａを介して揺動可能に配設されている。ねじ軸８４は、外周面におねじが形成された棒状の部材であり、モータ８２の出力軸に同軸的に接続されている。ナット８６は、ねじ軸８４のおねじと螺合するめねじを備えており、ナットブラケット８８を介してアーム２０の後端上方に回動可能に配設されている。ナット８６はねじ軸８４と螺合しており、ねじ軸８４がモータ８２に駆動されて回転することにより、ねじ軸８４に沿って直線移動する。ナット８６は、アーム２０の揺動中心よりも左側に位置している。従って、図８に示されるように、ナット８６を下方に移動させることで回転テーブル３０を上昇させて「退避位置」としたり、ナット８６を上方に移動させることで回転テーブル３０を下降させて、「運転位置」とすることができる。
【００３３】
回転テーブル３０は、略円盤状の部材であり、外周面に４つの部品保持ユニット４０が等間隔（本実施形態では略９０°間隔）で配設されている。図１〜３では、回転テーブル３０は「運転位置」にある。回転テーブル３０は、運転位置において回転軸が上下方向となるようにアーム２０に保持されている。そして、回転テーブル３０は、時計回り又は反時計回りの１方向に回転し、回転テーブル３０の周囲に配設されている全ての部品保持ユニット４０は、リッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４及び廃棄領域６の上方を順番に通過するように構成されている。また、いずれかの部品保持ユニット４０がリッド供給領域３に対向する位置にある場合に、他の３つの部品保持ユニット４０が、姿勢情報取得領域５、溶接領域４並びに廃棄領域６に対向する位置にあるように構成されている。
【００３４】
２つの外部付勢装置５０における一方は、リッド供給領域３の上方に配置されている。また、他方の外部付勢装置５０は、溶接領域４の上方に配置されている。一方の外部付勢装置５０は、リッド供給領域３上に位置する部品保持ユニット４０に外力を付加して、部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２ａを、リッド供給領域３に近接する方向（下方）に移動させる。他方の外部付勢装置５０は、溶接領域４上に位置する部品保持ユニット４０に外力を付加する。詳細は後述するが、この他方の外部付勢装置５０には連動部材２５０が設けられており、この連動部材２５０を用いて外力を付加することで、吸着ノズル４２ａ及び電極ローラ２１０を略同時に下降させる。
【００３５】
回転テーブル駆動手段６０は、アーム２０の図の下面に固定され、アーム２０と回転テーブル３０の間に位置している。本実施形態では、回転テーブル駆動手段６０は、アーム２０に固定されるステータ、およびステータの外周を回転する筒状のロータから構成される中空ＤＤモータである。ステータの中心部には軸方向に貫通孔が形成されている。回転テーブル３０は、この貫通孔内に中空軸３２を挿通した状態でロータに固定されている。
【００３６】
リッド供給領域３の上方には、リッド確認カメラ１３が配置されている。なお、このリッド確認カメラ１３は、回転テーブル３０との干渉を避けるために、回転テーブル３０よりも上方においてアーム２０側に固定される。このリッド確認カメラ１３は、部品保持ユニット４０がリッド供給領域３上に存在していない間を利用して、リッド供給領域３に供給されるリッド３００を画像認識によって位置確認する。これにより、リッド３００の供給が中断した場合を確認可能となる。また、本実施形態では特に示さないが、多数のリッド３００が搭載された搬送トレイ等によってリッド３００をリッド供給領域３に供給する場合は、この画像認識結果を利用して、搬送トレイをＸ−Ｙ方向に位置決めすることが可能となる。なお、リッド３００をリッド供給領域３へ供給する方法として、複数のリッド３００をランダムに載置するばら撒きトレイや、複数のリッド３００を整列して載置する整列トレイを用いても好ましい。この場合、上述した画像認識結果を利用して、ばら撒きトレイや整列トレイをＸ―Ｙ方向に位置決めすることが可能となる。また、複数のリッド３００をカセット構造のリッド供給装置（リッドカセットと言う）にセットしてリッド供給領域３にリッド３００を供給しても好ましい。リッドカセットは、リッド３００の位置決めを高精度で行うことができ、画像認識による位置決めを省略することもできる。
【００３７】
溶接領域４の上方には、容器確認カメラ１４が配置されている。この容器確認カメラ１４は、回転テーブル３０との干渉を避けるために、回転テーブル３０よりも上方においてアーム２０側に固定される。容器確認カメラ１４は、部品保持ユニット４０が溶接領域４上に存在していない間を利用して、セラミック容器供給装置１００上における、仮付け溶接前のセラミック容器４００を画像認識によって位置確認する。これにより、整列トレイ１０１を位置決めすることが可能となる。
【００３８】
なお、このような画像認識が可能なのは、図３に示されるように、回転テーブル３０に対して部品保持ユニット４０が外側に突出するように設けられており、回転テーブル３０が回転すると、部品保持ユニット４０がリッド供給領域３や溶接領域４の上方に存在してない時間を確保していることによる。換言すると、回転テーブル３０の周囲であって、隣接する部品保持ユニット４０の間には、リッド確認カメラ１３や容器確認カメラ１４による撮影を妨げない為の干渉回避空間３０Ａが設けられている。
【００３９】
姿勢情報取得手段７０は、本実施形態ではＣＣＤカメラで構成され、姿勢情報取得領域５に配置される。具体的には、姿勢情報取得手段７０は、姿勢情報取得領域５に位置する部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２ａに保持されたリッド３００を、下方から撮像する。姿勢情報取得手段７０は、中央制御装置９０と電気的に接続されており、撮像して得られた画像情報を中央制御装置９０に送信する。なお、吸着ノズル４２ａに吸着されたリッド３００の姿勢を機械的に修正するようにしても好ましい。例えば、回転テーブル３０の回転途中で、吸着ノズル４２ａで吸着後のリッド３００を、リッドの外形を型取ったセンタリング治具に通すことによって、リッド３００の姿勢を適正な姿勢に修正するようにしても好ましい。また、上記のような機械的な修正を行った上で、さらに姿勢情報取得手段７０で取得した姿勢の画像情報に基づいて、リッド３００の姿勢を修正するようにしても好ましい。このように、機械的な修正の後、画像情報による修正を段階的に行うことによって、姿勢不良を減少させることができる。
【００４０】
中央制御装置９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備えた制御装置であり、リッド供給装置１０、外部付勢装置５０、回転テーブル駆動手段６０および姿勢情報取得手段７０、セラミック容器供給装置１００等を直接制御する。また、中央制御装置９０は、吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２に制御情報を送信して、４つの切替バルブ３７および４つの保持部自転駆動手段４３を個別に制御させる。
【００４１】
セラミック容器供給装置１００は、マトリクス状に配置された複数の凹部１０１Ａが上面に形成された整列トレイ１０１と、ＸーＹテーブルから構成された整列トレイ移動手段１０２を備えて構成されている。整列トレイ１０１の凹部１０１Ａには、仮付け溶接前のセラミック容器４００が載置されている。整列トレイ移動手段１０２は、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されている。本実施形態における整列トレイ移動手段１０２は、図３における上下方向および左右方向に整列トレイ１０１を移動可能となっている。
【００４２】
整列トレイ移動手段１０２は、溶接領域４にある部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２ａの真下に、複数のセラミック容器４００を１つずつ順番に供給する。溶接領域４では、リッド３００を、このセラミック容器４００に仮付け溶接していく。この動作を繰り返すことで、整列トレイ１０１の凹部１０１Ａに載置されている全てのセラミック容器４００に対してリッド３００を仮付けする。全てのセラミック容器４００の仮付けが完了したら、整列トレイ１０１は、例えば次のシーム溶接（本付け）工程等に運ばれる。
【００４３】
次に、回転テーブル３０及び部品保持ユニット４０の構成について図３〜図５等を参照して具体的に説明する。
【００４４】
図４（ａ）に示されるように、部品保持ユニット４０は、略円筒状の回転テーブル３０の外周面に略９０°間隔で外側に向けて突設されている。回転テーブル３０の周囲であって、隣接する部品保持ユニット４０の間には、干渉回避空間３０Ａが形成されている。また、リッド供給領域３の上方には、リッド確認カメラ１３が配置されており、溶接領域４の上方には容器確認カメラ１４が配置されている。部品保持ユニット４０がリッド供給領域３上に存在していない間に、上方のリッド確認カメラ１３が、干渉回避空間３０Ａを介してリッド３００を画像認識して位置確認を行う。これにより、回転テーブル３０の回転によるリッド３００の搬送中に、次に供給されるリッド３００の位置確認が可能となる。なお、部品保持ユニット４０は、特に図示しないボルト等によって容易に着脱可能に回転テーブル３０に配設されている。
【００４５】
回転テーブル３０の上面の中心には、中空軸３２が突設されている。この中空軸３２は回転テーブル３０の回転軸となると共に、アーム２０に回転自在に保持される。また、中空軸３２は、大径の外側パイプ３２ａと小径の内側パイプ３２ｂが同軸的に配設された二重構造となっている。中空軸３２の外側パイプ３２ａと内側パイプ３２ｂの間隙は、低圧源となる真空ポンプ（図示省略）と部品保持ユニット４０を繋ぐ通路の一部を構成する。中空軸３２の上端部には、スイベルジョイント３３を介して真空ポンプに繋がるエア配管３４が接続されている。
【００４６】
回転テーブル３０の内部には、外側パイプ３２ａと内側パイプ３２ｂの間隙と同軸的に接続された環状の中央気室３５が形成されている。さらに、この中央気室３５から４つの吸引通路３６が放射状に形成され、各部品保持ユニット４０に個別に接続される。各吸引通路３６の途中には、部品保持ユニット４０と真空ポンプの連通・遮断を切り替える切替バルブ３７がそれぞれ配設されている。従って、本実施形態では、各部品保持ユニット４０と真空ポンプの連通・遮断を個別に切り替えることが可能となっている。本実施形態における切替バルブ３７は、ソレノイドによって弁体を移動させる電磁弁から構成されている。
【００４７】
回転テーブル３０の内部にはさらに、切替バルブ３７を制御して後述する吸着ノズル４２ａによる部品の吸着・解放を制御する吸着ノズル切替制御装置９１、および、後述する保持部自転駆動手段４３を制御する保持部自転制御装置９２が配設されている。吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備えた制御装置である。吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２は、特に図示しない配線によって、切替バルブ３７および保持部自転駆動手段４３とそれぞれ電気的に接続されると共に、中央制御装置９０に電気的に接続されている。中央制御装置９０と吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２を繋ぐ配線は、中空軸３２先端部に配設されたスリップリング３８を介して接続されている。スリップリング３８と吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２の間の配線は、中空軸３２の内側パイプ３２ｂ内部を通されている。なお、上述した回転テーブル３０をターレットと言うことがある。
【００４８】
図５（ａ）および（ｂ）は、部品保持ユニット４０の断面構造および外部付勢装置５０を示した図である。部品保持ユニット４０は、筺体４１と、筺体４１に自転自在に配設された保持部４２と、保持部４２を自転駆動する保持部自転駆動手段４３と、１対の電極ユニット２００、２００（詳細は後述）を有して構成されている。
【００４９】
筺体４１は、保持部４２および保持部自転駆動手段４３、電極ユニット２００の一部を内部に保持すると共に、回転テーブル３０にボルト等によって着脱可能に固定された部材である。
【００５０】
保持部４２は、図の下方に向けられた先端に吸着ノズル４２ａが配設された細長い円筒状の部材である。保持部４２は、支持部材４１Ａとブラケット４４によって、中心軸周りに回転（自転）自在であると共に、中心軸（自転軸）方向に沿って往復移動自在に筺体４１に保持されている。保持部４２の内部は吸着ノズル４２ａに繋がる吸引通路４２ｂとなっている。保持部４２の吸引通路４２ａは、特に図示しない通路およびコネクタを介して回転テーブル３０に配設された切替バルブ３７に接続される。
【００５１】
吸着ノズル４２ａは、運転位置においては基台２上面に対向するように設けられている。切替バルブ３７は、真空ポンプと吸着ノズル４２ａの連通・遮断を切り替えると共に、遮断時には、吸着ノズル４２ａを大気開放状態とするように構成されている。すなわち、保持部４２は、切替バルブ３７によって真空ポンプと吸着ノズル４２ａが連通された場合に、吸着ノズル４２ａによってリッド３００を吸引して吸着（保持）し、切替バルブ３７によって真空ポンプと吸着ノズル４２ａが遮断された場合に、吸着ノズル４２ａに保持していたリッド３００を解放するように構成されている。なお、本実施形態における保持部４２、吸着ノズル４２ａは、本発明のリッド保持手段を構成している。
【００５２】
保持部自転駆動手段４３は、筺体４１に固定されたモータ４３ａと、モータ４３ａの回転駆動力を保持部４２に伝達する伝達機構４３ｂから構成されている。本実施形態では、モータ４３ａはステッピングモータから構成されている。モータ４３ａは、特に図示しない配線およびコネクタを介して、保持部自転制御装置９２と電気的に接続される。伝達機構４３ｂは、モータ４３ａの出力軸に固定された駆動歯車４３ｂ１、および保持部４２に同軸的に固定された従動歯車４３ｂ２からなり、モータ４３ａの回転数を所定の減速比で減速するように構成されている。なお、伝達機構４３ｂを３つ以上の歯車列から構成するようにしてもよいし、ベルト伝達機構やチェーン伝達機構等により構成するようにしてもよい。
【００５３】
保持部４２は、この保持部自転駆動手段４３に駆動されて自転する。本実施形態では、このように保持部４２を自転させることによって、吸着ノズル４２ａに吸着保持したリッド３００の姿勢を整えるようになっている。
【００５４】
保持部４２の基端部（上端部）には、ブラケット４４が接続されている。ブラケット４４は、保持部４２の上端部から図の右側（回転テーブル３０の中心側）に向けて配設されている。ブラケット４４は保持部４２に対して、保持部４２の中心軸周りに回転自在であるが保持部４２の中心軸方向には移動不可能に接続されている。すなわち、保持部４２が自転した場合には、ブラケット４４は回転しないが、保持部４２が中心軸（自転軸）方向に往復移動した場合には、ブラケット４４は保持部４２と共に往復移動（前方又は後方へ移動）するようになっている。
【００５５】
ブラケット４４は、内部付勢装置（圧縮バネ）４５によって常に上方（アーム２０側）に向けて付勢されており、通常は筺体４１の内側面に設けられたストッパ４６に当接させた状態で静止している。これにより、保持部４２は、通常は図５（ａ）に示されるように、ブラケット４４と共にアーム２０側に引き寄せられた状態となる。すなわち保持部４２は通常、基台２上面から離隔（上方に位置）した状態となる。ブラケット４４の上面には、受圧部材４４ａが上方（アーム２０側）に向けて突設されている。この受圧部材４４ａは筺体４１の外部に露出しており、外部付勢装置５０は、この受圧部材４４ａに外力を加えて押圧するように構成されている。なお、本実施形態における支持部材４１Ａとブラケット４４は、本発明のリッド保持手段ガイド部材を構成する。また、本実施形態における、支持部材４１Ａ、保持部自転駆動手段４３は、本発明のリッド保持手段回転装置を構成する。
【００５６】
外部付勢装置５０は、アーム２０に鉛直方向に配設された細長い円筒状のガイド部材５１と、ガイド部材５１の内部に挿通された細長い棒状の押圧部材５２と、アーム２０の上面に配設されたモータ５３と、モータ５３の出力軸に固定されたカム５４を有して構成されている。ガイド部材５１は、下端を受圧部材４４ａ側に向けた状態で鉛直方向に配設される。従って、ガイド部材５１の内部に挿入される押圧部材５２は、下端を受圧部材４４ａに向けると共に、上端をカム５４に押圧されるように設けられている。そして、押圧部材５２は、モータ５３に駆動されたカム５４の回転に伴って図の上下（受圧部材４４ａに近接又は離隔する方向）に往復移動する。カム５４のカムプロファイルは、リッド溶接装置１の搬送速度等に応じて適宜に設定すればよい。
【００５７】
押圧部材５２は、内部付勢装置４５の付勢力に勝る外力を受圧部材４４ａに加える。そして、図５（ｂ）に示されるように、ブラケット４４と共に保持部４２を、保持部４２の自転軸に沿ってアーム２０から離隔する方向（下方）に移動させる。その後、カム５４の回転に伴って押圧部材５２が受圧部材４４ａから離隔する方向へ移動すると、ブラケット４４および保持部４２は、内部付勢装置４５の付勢力により、保持部４２の自転軸に沿ってアーム２０に近接する方向（上方）に移動することとなる。なお、本実施形態における外部付勢装置５０は、本発明の押圧装置を構成する。また、本実施形態における内部付勢装置４５は、本発明のリッド保持手段付勢装置を構成する。
【００５８】
図６（ａ）〜（ｃ）は、図４（ａ）の矢視ＢーＢ方向から見た部品保持ユニット４０が、溶接領域４に位置する場合の断面図である。
【００５９】
電極ユニット２００は、棒状の電極受圧部材２０４と、電極受圧部材２０４を上方向に付勢する溶接電極付勢部材２０８と、電極ローラ２１０と、電極保持装置２２０を備えて構成されている。電極受圧部材２０４、電極ローラ２１０、電極保持装置２２０は、１対として、吸着ノズル４２ａに対して左右対称位置に設けられている。また、１対の電極受圧部材２０４、２０４は、連結部材２０６により連結されており、双方の電極受圧部材２０４、２０４が同時に上下方向に移動する。１対の電極受圧部材２０４は、筺体４１の内部に設けられた４つの溶接電極ガイド部材４８により図の上下方向に移動可能に支持されている。なお、吸着ノズル４２ａに上方向（アーム２０方向）の外力を受けていない状態では、１対の電極ローラ２１０、２１０の最下端は、吸着ノズル４２ａの先端（最下端）よりも上側に位置するように設置されている。換言すると、外力を受けていない場合、吸着ノズル４２ａは、１対の電極ローラ２１０、２１０よりも基台２の上面に近接するように設置されている。したがって、一対の電極ローラ２１０、２１０が存在していても、吸着ノズル４２ａは、電極ローラ２１０よりもリッド３００により近接することができ、リッド３００を保持・搬送することが可能となっている。また、溶接領域４では、部品保持ユニット４０は、連動部材２５０により、吸着ノズル４２ａ及び電極ローラ２１０を同時に下降するが、吸着ノズル４２ａが、吸着しているリッド３００をセラミック容器４００に載置した後に、電極ローラ２１０は吸着ノズル４２ａに対してさらに相対的に下降し、リッド３００に当接して、リッド３００とセラミック容器４００を仮付けできるようになっている。
【００６０】
また、溶接領域４側の上方側にある外部付勢装置５０は、押圧部材５２の先端（下端）に連動部材２５０を備えている。この連動部材２５０は、部品保持ユニット４０の筺体４１から上方に露出している受圧部材４４ａ、及び１対の電極受圧部材２０４、２０４と略同時に当接できる。従って、押圧部材５２を押し下げると、連動部材２５０によって、受圧部材４４ａ及び１対の電極受圧部材２０４、２０４の双方が同時に下降する。なお、本実施形態に係る電極ローラ２１０、連動部材２５０は、それぞれ、本発明の溶接電極及び連動機構を構成する。
【００６１】
各電極受圧部材２０４には、ストッパ片２０４Ａが設けられており、溶接電極付勢部材２０８によって、電極受圧部材２０４が上方向（アーム２０方向）に付勢された場合、ストッパ片２０４Ａが筺体４１の内側に設けられたストッパ受け４７に当接するようになっている。これによって、電極受圧部材２０４の上方向への移動が所定の位置に規制される。
【００６２】
なお、本実施形態では、以下に説明するように、溶接によって電極が摩耗した場合に、電極ローラ２１０を容易に取り外して新しい電極ローラに交換したり、または電極ローラ２１０を回転して摩耗していない部分がリッド側になるようにセットし直すことができるようになっている。
【００６３】
電極保持装置２２０は、電極受圧部材２０４の下端に設けられており、電極ローラ２１０を着脱可能に保持するものである。電極保持装置２２０は、図７に示されるように、固定部材２２２と、開閉部材２２４と、回動ピン２２６から構成されている。開閉部材２２４は、回動ピン２２６を回転軸として回動可能に、固定部材２２２に保持されている。
【００６４】
固定部材は、円弧状に切り欠かれて形成された固定側保持部２２２Ａを有し、開閉部材２２４も同様に、円弧状に切り欠かれて形成された開閉側保持部２２４Ａを有している。したがって、開閉部材２２４を、電極ローラ２１０を挟持する方向（閉じる方向）に回動させると、電極ローラ２１０は、固定部材２２２の固定側保持部２２２Ａと開閉部材２２４の開閉側保持部２２４Ａに挟持された状態で保持される（同図（ａ）参照）。
【００６５】
また、開閉部材２２４を、電極ローラ２１０を離す方向（開く方向）に回動させると、電極ローラ２１０は、固定部材２２２及び開閉部材２２４から離反する（同図（ｂ）参照）。つまり、電極ローラ２１０は、開閉部材２２４を回動させることによって、電極保持部２２０から容易に着脱することができるようになっている。したがって、電極保持装置２２０は、摩耗した電極ローラ２１０を新しい電極ローラに簡単に交換できるようになっており、または、摩耗した電極ローラ２１０を一旦取り外して、同一電極ローラの摩耗していない電極部分をリッド側になるように回転して再装着することができるようになっている。
【００６６】
次に、溶接領域４における吸着ノズル４２ａと電極ローラ２１０の動きについて詳細に説明する。
【００６７】
まず、図６（ａ）のように、回転テーブル３０を回転することによって、吸着ノズル４２ａに吸着されたリッド３００を、溶接領域４にある任意のセラミック容器４００の真上まで搬送する。
【００６８】
次に、外部付勢装置５０がカム５４を駆動することで、図６（ｂ）に示されるように、押圧部材５２を下方向に移動させる。押圧部材５２の移動とともに、連動部材２５０が下方向（スライド前方）に移動し、受圧部材４４ａ及び電極受圧部材２０４を、内部付勢装置４５及び溶接電極付勢部材２０８に打ち勝つ力で押下する。これにより、連動部材２５０は、受圧部材４４ａと電極受圧部材２０４を略同時に下降することができる。
【００６９】
受圧部材４４ａが、図６（ｂ）の下方向に移動すると、受圧部材４４ａに接続されているブラケット４４及び保持部４２が下方向に移動する。したがって、吸着ノズル４２ａに吸着されているリッド３００は、任意のセラミック容器４００の所定の位置に当接するまで下降する。
【００７０】
リッド３００が下降してセラミック容器４００に当接した後、連動部材２５０が受圧部材４４ａ、２０４をさらに押し下げると、保持部４２は、リッド３００がセラミック容器４００に押し付けられることにより受ける反力を、吸着ノズル４２ａを介してリッド３００から受ける。そして、保持部４２は、この反力を内部付勢装置４５に伝達する。圧縮バネを有して構成される内部付勢装置４５は、保持部４２から伝達された反力により圧縮される。一方、連動部材２５０で受圧部材２０４が押し下げられることによって、電極ローラ２１０は下降する。電極ローラ２１０は、吸着ノズル４２ａに保持されるリッド３００がセラミック容器４００に当接したあと、吸着ノズル４２ａに対して相対的に下降し、リッド３００に接触する。そして、電極ローラ２１０がリッド３００に当接した場合、電極ローラ２１０は、受圧部材２０４及び連結部材２０６を介して電極ローラ２１０に接続されるバネ等の溶接電極付勢部材２０８の弾性によって、リッド３００との当接による衝撃を吸収して、リッド３００に適切な押圧力を与えることができるようになっている。
【００７１】
つまり、連結部材２５０によって、受圧部材４４ａ、２０４が略同時に押し下げられ、リッド３００がセラミック容器４００に当接した場合、吸着ノズル４２ａは、それ以上、下方向へ移動できないが、更に押圧部材５２を押し下げると、図６（ｃ）に示されるように、電極ローラ２１０、２１０のみが、吸着ノズル４２ａに対して下方向に相対的に移動する。この結果、電極ローラ２１０は、セラミック容器４００に載置されるリッド３００の対辺に当接する。この後、電流発生装置（図示省略）により電極ローラ２１０に電流を流すと、ジュール熱によってリッド３００とセラミック容器４００を仮付け溶接することができる。
【００７２】
上記のように、電極ローラ２００と吸着ノズル４２ａは、個別に上下移動できるようになっている。したがって、本実施形態のリッド溶接装置１は、吸着ノズル４２ａによってリッド３００をセラミック容器４００に載置した後、電極ローラ２１０を吸着ノズル４２ａに対して下方向へ相対的に移動させて、リッド３００を仮付け溶接することができる。
【００７３】
また、吸着ノズル４２ａと電極ローラ２１０は、内部付勢装置４５、溶接電極付勢部材２０８によって弾性を有した状態で支持されるようになっている。したがって、内部付勢装置４５、溶接電極付勢部材２０８は、吸着ノズル４２ａ及び電極ローラ２１０を支持するとともに、吸着ノズル４２ａがセラミック容器４００にリッド３００を載置する際、または電極ローラ２１０をリッド３００に当接する際に、リッド３００にかかる衝撃力を吸収し、リッド３００やセラミック容器４００に大きな負荷をかけずに仮付け溶接を行うことができる。
【００７４】
図８は、回転テーブル３０を退避位置まで移動させた状態を示した左側面図である。揺動手段８０は、部品保持モジュール４０がリッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４及び廃棄領域６に対向状態となる運転位置（図２参照）と、部品保持モジュール４０がリッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４及び廃棄領域６に非対向状態となる退避位置との間を、回転テーブル３０を移動可能に構成されている。具体的には、揺動手段８０はアーム２０を略９０度回動させることで、回転テーブル３０を運転位置から退避位置に移動させる。アーム２０の回動に伴ってナット８６およびモータ８２が回動または揺動するため、揺動手段８０は、シンプルな構成でありながらも、アーム２０をスムーズに回動させることができる。本実施形態では、退避位置に移動させることによって、回転テーブル３０を基台２から大きく引き離すと共に、回転テーブル３０の下面および部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２ａ及び電極ユニット２００の先端を側方に向けて開放するようにしている。このようにすることで、吸着ノズル４２ａ及び電極ユニット２００のメンテナンスや、基台２に配設されたリッド供給装置１０、セラミック容器供給装置１００及び姿勢情報取得手段７０等のメンテナンスを容易に行うことができる。
【００７５】
次に、リッド溶接装置１の作動について説明する。図９（ａ）〜（ｆ）は、リッド溶接装置１の作動を示した平面図である。なお、説明を容易にするため、４つの部品保持ユニット４０に部品保持ユニット４０Ａ〜４０Ｄの番号を付することにし、主として、部品保持ユニット４０Ａの動作について説明する。なお、他の部品保持ユニット４０Ｂ〜４０Ｄは、部品保持ユニット４０Ａと同じ動作となるので、説明を省略する。
【００７６】
まず、図９（ａ）に示されるように、リッド供給装置１０は、バルク状態で投入されたリッド３００の方向や姿勢を整えながら、リッド３００をリッド供給装置１０のリッド保持位置１１近傍に設定されたリッド供給領域３まで搬送する。
【００７７】
リッド供給装置１０によって、リッド３００がリッド供給領域３まで搬送された後（又は略同時）に、回転テーブル３０を反時計回りに略９０°回転し、部品保持ユニット４０Ａの吸着ノズル４２ａをリッド供給領域３に搬送されたリッド３００に対向する位置まで移動させる（図９（ｃ）参照）。なお、図９（ｂ）に示されるように、回転テーブル３０が回転している途中では、リッド供給領域３及び溶接領域４の上方が開放されていることから、この間に、リッド確認カメラ１３によってリッド供給領域３上のリッド３００を画像認識し、更に容器確認カメラ１４によって溶接領域４のセラミック容器４００状態を画像認識しておく。このように、吸着前にリッド３００の状態を画像認識することで、吸着ミスを低減することが可能となる。
【００７８】
回転テーブル３０は、略９０度回転した後に、同図（ｃ）に示されるように、所定の時間静止する。回転テーブル３０が静止している間に、外部付勢装置５０が部品保持ユニット４０Ａの受圧部材４４ａを押圧することにより、リッド供給領域３にある部品保持ユニット４０Ａの保持部４２を下降させ、吸着ノズル４２ａをリッド供給領域３に搬送されたリッド３００に近接させる。そして、部品保持ユニット４０Ａに対応する切替バルブ３７が吸着ノズル４２ａと真空ポンプを連通させることにより、吸着ノズル４２ａがリッド３００を吸着して保持する。その後、外部付勢装置５０による受圧部材４４ａの押圧を解除する（若しくは受圧部材４４ａへの押圧力を緩める）ことで、内部付勢装置４５による付勢力により、保持部４２が上昇する。
【００７９】
次に、回転テーブル３０は、再び反時計回りに略９０度回転して、再び所定の時間静止する（同図（ｄ）参照）。これにより、部品保持ユニット４０Ａに保持されたリッド３００は、姿勢情報取得領域５に対向する位置に搬送される。回転テーブル３０が静止している間に、姿勢情報取得手段７０は、部品保持ユニット４０Ａの吸着ノズル４２ａに保持されているリッド３００を撮像する。回転テーブル３０が回転している間には、上記同様に、リッド供給装置１０は、次のリッド３００をリッド供給領域３（部品保持ユニット４０Ｂの吸着ノズル４２ａの真下）に搬送する。そして、回転テーブル３０が静止している間には、上記同様に、リッド供給領域３に対向する位置にある部品保持ユニット４０Ｂの吸着ノズル４２ａが、リッド供給領域３に搬送されたリッド３００を吸着して保持する。
【００８０】
次に、回転テーブル３０は、再び反時計回りに略９０度回転する（同図（ｅ）参照）。回転テーブル３０が回転している間に、部品保持ユニット４０Ａの保持部自転駆動手段４３が、保持姿勢撮像手段７０によって撮像された画像情報に基づいて部品保持ユニット４０Ａの保持部４２を適切な角度だけ自転させ、吸着ノズル４２ａに保持されたリッド３００の姿勢を整える。これにより、溶接領域４のセラミック容器４００にリッド３００を正確に載置できるように整える。
【００８１】
次に、回転テーブル３０が、反時計回りに略９０°回転した後、再び所定の時間静止する（同図（ｅ）参照）。これにより、部品保持ユニット４０Ａに保持されているリッド３００は、溶接領域４に到着する。セラミック容器供給装置１００は、上述した容器確認カメラ１４により撮影した溶接領域４にあるセラミック容器４００の位置認識結果に基づいて、セラミック容器４００をＸ−Ｙ方向に移動して位置補正を行う。セラミック容器４００の位置補正は、容器確認カメラ１４が、溶接領域４にあるセラミック容器４００の位置認識を行った後、連動部材２５０による受圧部材４４ａ、電極受圧部材２０４を下降させる前に行うことが好ましい。そして、回転テーブル３０が静止している間に、外部付勢装置５０の連動部材２５０が、部品保持ユニット４０Ａの受圧部材４４ａ及び電極受圧部材２０４を略同時に押圧する。外部付勢装置５０が、受圧部材４４ａ及び電極受圧部材２０４を略同時に押圧すると、部品保持ユニット４０Ａの保持部４２及び電極ローラ２１０が略同時に下降し、まず初めに、吸着ノズル４２ａで保持したリッド３００を溶接領域４に搬送されたセラミック容器４００に載置する。その後、吸着ノズル４２ａとともに下降する電極ローラ２１０が、リッド３００の対辺に当接する。
【００８２】
電極ローラ２１０が、セラミック容器４００の上に載置されたリッド３００に当接した後、電流発生装置（図示省略）により任意の電流を電極ローラ２１０に流して、セラミック容器４００とリッド３００を仮付け溶接する。なお、この状態では、セラミック容器４００とリッド３００は、当接している２か所をスポット的に溶接されているのみで、いわゆる仮付け溶接の状態となっている。また、上記でリッド３００をセラミック容器４００に仮付け溶接した後、容器確認カメラ１４によりリッド３００とセラミック容器４００の溶接状態を撮影し、溶接状態の良否判断するようにしても好ましい。つまり、容器確認カメラ１４で撮影したリッド３００とセラミック容器４００の画像情報に基づいて、位置ずれなどにより溶接状態が不良と判断した場合、溶接領域４に待機している部品保持ユニット４０Ａは、吸着ノズル４２ａにより、不良判断されたリッド３００とセラミック容器４００を吸着し、回転テーブル３０が、さらに９０°反時計回りに回転した位置に待機している廃棄トレイ３５０側に放出する。
【００８３】
次に、回転テーブル３０は、再び反時計方向に略９０°回転する。なお、保持姿勢撮像手段７０によって撮像された画像情報に基づいて、姿勢の制御が不可能と判断されるリッド３００については、溶接領域４において仮付け溶接を行わずに、この段階でリッド３００を廃棄トレイ３５０側に放出する（同図（ｆ）参照）。
【００８４】
以上、リッド溶接装置１は、上記動作を繰り返すことによって、リッド供給装置１０にバルク状態で供給されたリッド３００をリッド供給領域３で１つずつ取り出して、時計回り又は反時計回りの１方向に回転搬送し、溶接領域４において、セラミック容器４００にリッド３００を仮付け溶接する。このリッド溶接装置１では、吸着ノズル４２ａに保持されたリッド３００の姿勢の調整を回転テーブル３０の回転中に行うため、無駄な待ち時間が発生しないようになっている。このため、リッド溶接装置１は、リッド供給装置１０へバルク状態で供給された複数のリッド３００の中から１つのリッド３００を適切に取り出し、且つ姿勢を整えた上で、高速にセラミック容器４００に仮付けできる。なお、本実施形態における部品保持ユニット４０Ａ〜４０Ｄは、本発明の第１の部品保持ユニット〜第４の部品保持ユニットを構成する。
【００８５】
更にこのリッド溶接装置１は、吸着ノズル４２ａや電極ローラ２１０を有する部品保持ユニット４０が回転テーブル３０の周方向に複数設けられている。したがって、いずれかの部品保持ユニット４０がリッド３００を吸着保持する工程と、他の部品保持ユニット４０がリッド３００とセラミック容器４００を仮付け溶接する工程を同じ静止時間中に同時に行うことができる。
【００８６】
また、このリッド溶接装置１は、いずれかの部品保持ユニット４０が保持するリッド３００の姿勢情報を取得する姿勢情報取得手段７０を備えている。姿勢情報取得手段７０は、姿勢情報取得領域５において、吸着ノズル４２ａに吸着されたリッド３００の方向や角度等の姿勢情報を取得する。この姿勢情報に基づいて、姿勢修正不可能と判断した場合には、廃棄領域６においてこのリッド３００を廃棄する。以上のことから、部品保持ユニット４０は、回転テーブル３０の周方向に９０°間隔で４か所に配設されることで、いずれかの部品保持ユニット４０が、リッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４及び廃棄領域６にそれぞれ位置するように構成されている。したがって、リッド３００を保持する工程と、リッド３００の姿勢情報を判断して姿勢調整を行う工程と、姿勢調整後のリッド３００セラミック容器４００に仮付け溶接する工程と、姿勢不具合と判断したリッド３００の廃棄を行う工程を、同じ静止時間に同時に行うことができる。従って、リッド溶接装置１は、回転テーブル３０を回転することで、リッド３００の供給から仮付け溶接までの動作を極めて速度に実行できる。
【００８７】
また、リッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４、廃棄領域６は、この順番で、部品保持ユニット４０の１方向に回転する回転経路上に順番に設けられている。したがって、リッド溶接装置１は、回転テーブル３０を回転することで、部品保持ユニット４０をリッド供給領域３から廃棄領域６まで順番に搬送することができ、これらの工程を確実に行うことができる。
【００８８】
また、部品保持ユニット４０は、筺体内４１内で上下方向に移動可能で、且つ自転可能に支持される保持部４２と、保持部４２を自転させる保持部自転駆動手段４３と、保持部４２を上方向（アーム２０方向）に付勢する内部付勢装置４５を備えている。さらに、部品保持ユニット４０は、リッド供給領域３及び溶接領域４において、内部付勢装置４５の付勢力に逆らって保持部４２に接続される受圧部材４４ａを押圧する外部付勢装置５０を有している。これによって、外部付勢装置５０は、受圧部材４４ａを押圧することで、保持部４２を下方向（基台２に近接する方向）に押し下げることができる。また、外部付勢装置５０による受圧部材４４ａへの押圧を解除すると、内部付勢装置４５によって、保持部４２は上方向に押し上げられるようになっている。これによって、部品保持ユニット４０は、リッド供給領域３において、外部付勢装置５０を駆動させて吸着ノズル４２ａを下降させてリッド３００を吸着保持し、溶接領域４において、吸着ノズル４２ａを下降させてリッド３００をセラミック容器４００に載置することができる。したがって、各部品保持ユニット４０に、吸着ノズル４２ａの上下移動をさせるためのモータを個別に設ける必要がなく、装置の構造を簡易化するとともに、装置の小型化と設備コストの削減を行うことができる。
【００８９】
また、電極ユニット２００は、電極受圧部材２０４と、溶接電極付勢部材２０８と、電極ローラ２１０を有して構成され、電極受圧部材２０４は、筺体４１に配設されている溶接電極ガイド部材４８によって上下方向に移動可能に支持されるとともに、溶接電極付勢部材２０８によって上方向に付勢されている。また、溶接領域４における外部付勢装置５０は、受圧部材４４ａと電極受圧部材２０４を略同時に押圧する連動部材２５０を有している。この結果、外部付勢装置５０は、連動部材２５０を用いて吸着ノズル４２ａと電極ローラ２１０を略同時に下降することができるので、吸着ノズル４２ａと電極ローラ２１０を上下移動させる為のモータ等の駆動手段を、個別に設ける必要がなく、部品保持ユニット４０の構造を簡易化することができるとともに、装置の小型化及び低コスト化を実現することができる。
【００９０】
また、吸着ノズル４２ａに外力が働いていない場合、吸着ノズル４２ａは、電極ローラ２１０よりも下方向（基台２に近接する方向）に突出している。これにより、リッド供給領域３において、リッド供給装置１０からリッド３００を吸着する場合、電極ローラ２１０が邪魔にならないで済む。更に、リッド３００をセラミック容器４００に仮付け溶接する場合、先に、吸着ノズル４２ａを下降させてリッド３００をセラミック容器４００上に固定し、その状態を維持したまま、電極ローラ２１０を相対的に更に下降させてリッド３００に当接するようになっている。したがって、本実施形態の部品保持ユニット４０は、吸着ノズル４２ａと電極ローラ２１０の下降順序は機構的に決められており、複雑な制御を行うための装置を必要としない。
【００９１】
また、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１は、リッド供給領域３に次のリッド３００を搬送するリッド供給装置１０と、溶接領域４に溶接前のセラミック容器４００を搬送するセラミック容器供給装置１００と、をさらに備えている。従って、回転テーブル３０が回転して、任意の部品保持ユニット４０がリッド供給領域３に停止する前に、次のリッド３００をリッド保持位置１１に供給するようになっている。また、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１は、回転テーブル３０が回転して、部品保持ユニット４０が溶接領域４に停止する前に、セラミック容器供給装置１００が次のセラミック容器４００を溶接領域４に移動させるようになっている。したがって、無駄な時間を排除し、動作を高速にすることができる。
【００９２】
なお、本実施形態に係る搬送装置１は、４つの部品保持ユニット４０を備えているが、本発明はこれに限定されるものではなく、その他の個数の部品保持ユニット４０を備えるようにしてもよい。
【００９３】
また、保持部４２は、吸着ノズル４２ａを下方に向けているが、これに限定されるものではなく、吸着ノズル４２ａを側方や上方に向けるものであってもよい。さらに、保持部４２は、吸着ノズル４２ａを備えるものに限定されるものではなく、例えば部品をチャックによって把持する構造のものであってもよい。
【００９４】
また、回転テーブル３０は、運転位置において回転の中心軸が上下方向となるように配設されているが、これに限定されるものではなく、運転位置における回転の中心軸が水平方向や斜め方向となるように配設されるものであってもよい。また、回転テーブル３０は、本実施形態に示される形状以外の形状であってもよい。
【００９５】
また、切替バルブ３７は、真空ポンプと吸着ノズル４２ａを遮断すると同時に、吸着ノズルを大気開放状態とするものを示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、真空ポンプと吸着ノズル４２ａを遮断すると共に、吸着ノズル４２ａをコンプレッサ等の高圧源と連通させるものであってもよい。このようにすることで、吸着ノズル４２ａからの部品の解放をより高速に行うことができる場合がある。
【００９６】
また、本実施形態では、切替バルブ３７として電磁弁を採用しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の切替構造を採用することも可能である。
【００９７】
また、整列トレイ移動手段１０２、姿勢情報取得手段７０および溶接検査装置１１０は、中央制御装置９０によって直接制御されるものに限定されるものではなく、それぞれに専用の制御装置を設けるようにしてもよい。
【００９８】
また、アーム２０は、基台２に配設されるものに限定されるものではなく、他の部材に配設されるものや、独立して設置されるものであってもよい。さらに、アーム２０は、揺動以外の動作を可能に構成されるものであってもよい。例えば、上下方向のみの移動であっても良く、また、上下方向に直線移動した後に揺動するようにしても良い。更に、または複数の異なる回転軸を中心に揺動もしくは回動するようにアーム２０を構成してもよい。
【００９９】
また、リッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４および廃棄領域６の位置は、本実施形態において示した位置に限定されるものではなく、他の位置に配置するようにしてもよい。さらに、部品の加工組立や検査等を行う領域を搬送途中に設けるようにしてもよい。
【０１００】
また、回転テーブル３０の回転は、９０°回転するごとに静止する間欠回転に限定されるものではなく、部品保持ユニット４０がリッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４および廃棄領域６に対向する位置にある場合にも、回転テーブル３０を低速で回転させ続けるようにしてもよい。この場合、リッド供給装置とセラミック容器供給装置は、回転テーブル３０と反対方向で、且つ同速度で回転する回転テーブルとすることが好ましい。つまり、リッド供給領域３では、回転テーブル３０に配置される吸着ノズル４２ａは、自身と同じ方向、且つ同じ速度で移動（回転テーブル３０と反対方向に回転）するリッド供給装置に供給されるリッドを回転中に吸着することができる。また、溶接領域４では、部品保持ユニット４０は、吸着ノズル４２ａに吸着しているリッド３００を、リッド３００と同じ方向、且つ同速度で移動（回転テーブル３０と反対方向に回転）するセラミック容器供給装置に供給されるセラミック容器に、回転中に溶接することができる。
【０１０１】
また、回転テーブル３０の間欠的な回転を、カムにより行っても好ましい。この場合、カムによる回転テーブル３０の回転静止位置を、リッド供給領域３、溶接領域４となるようにカムのプロファイルを決定する。
【０１０２】
なお、吸着ノズル４２ａに上下方向の弾性を持たせるようにしても好ましい。例えば、第２実施形態の吸着ノズル４２ａは、下側ノズル部材４２ａ１と上側ノズル部材４２ａ２と、バネ等の弾性部材４２ａ３を有して構成されている（図１０参照）。下側ノズル部材４２ａ１の一部は、上側ノズル部材４２ａ２に対してスライド可能に構成されている。そして、下側ノズル部材４２ａ１と上側ノズル部材４２ａ２の間には、弾性部材４２ａ３が設けられている。また、下側ノズル部材４２ａ１の外径と上側ノズル部材４２ａ２の内径の間には、パッキン４２ａ４が設けられている。パッキン４２ａ４は、空気の漏れを防止し、リッド３００を吸着するための負圧が逃げないようになっている。
【０１０３】
弾性部材４２ａ３は、圧縮バネであり、下側ノズル部材４２ａ１は、上側ノズル部材４２ａ２に対して、吸着方向に付勢されるようになっている。
【０１０４】
上記の構成により、部品保持ユニット４０がリッド３００をセラミック容器４００に溶接する場合、リッド３００がセラミック容器４００に当接することにより、吸着ノズル４２ａの下側ノズル部材４２ａ１がリッド３００から衝撃を受ける。この際、下側ノズル部材４２ａ１は、上側ノズル部材４２ａ２に対して相対に上側にスライドするとともに、弾性部材４２ａ３によりその衝撃が吸収される。前述の第１実施形態では、吸着ノズル４２ａは、内部付勢装置４５によって弾性を持たせて支持されている。しかし、内部付勢装置４５は、質量の大きい保持部４２やブラケット４４を支持するために、バネ係数が大きく、堅いバネを使用しなければならない。したがって、細くて長い吸着ノズル４２ａを十分変形させることができる程度の比較的小さい衝撃力が吸着ノズル４２ａに加わった場合、内部付勢装置４５の弾性が機能する前に、吸着ノズル４２ａが変形してしまう可能性がある。
【０１０５】
したがって、上記のように吸着ノズル４２ａ自体に弾性を持たせることによって、リッド３００とセラミック容器４００を溶接する際、吸着ノズル４２ａが受ける比較的小さな衝撃力は、弾性部材４２ａ３が適切に吸収することができる。また、吸着ノズル４２ａが大きな衝撃力を受けた場合、衝撃が比較的小さい初期段階は、弾性部材４２ａ３が吸着ノズル４２ａの衝撃力を吸収し、その後、内部付勢装置４５が大きな衝撃力を吸収する。つまり、弾性部材４２ａ３と内部付勢装置４５によって、吸着ノズル４２ａの受ける衝撃力を段階的に吸収することができる。
【０１０６】
また、上記実施形態では、部品保持ユニット４０を回転テーブル３０の周囲に９０°間隔で４個設けた場合を示したが、部品保持ユニット４０の数や配置間隔は上記の実施形態に限定されるものではない。例えば、図１１に示されるように、回転テーブル３０の周囲に部品保持ユニット４０を４５°間隔で８個設ける用にしても好ましい。なお、同図では、説明の便宜のため、リッド供給領域３に位置する部品保持ユニットを部品保持ユニット４０Ａとして、時計回りに部品保持ユニット４０Ｂ〜４０Ｈの番号を付する。また、各装置の構造や機能は、上記の実施形態で説明した装置等と同じであるので、可能な限り図示及び説明を省略する。
【０１０７】
まず、部品保持ユニット４０Ａは、外部付勢装置５０により受圧部材４４ａを押下され、吸着ノズル４２ａを下降し、リッド供給装置１０によりリッド供給領域３に搬送されたリッド３００を吸着保持する（図１１（ａ）参照）。
【０１０８】
次に、回転テーブル３０は、反時計回りに約４５°回転する（同図（ｂ）参照）。リッド供給装置１０は、回転テーブル３０の回転により、部品保持ユニット４０Ａと部品保持ユニット４０Ｂの間に設けられた干渉回避空間３０Ａの間に、リッド供給領域３上に配設されたリッド位置確認カメラ１３により撮像された、リッド３００の位置の画像情報に基づいて、位置ずれがある場合には位置補正を加えながらリッド３００をリッド供給領域３に搬送する。また、部品保持ユニット４０Ｂは、外部付勢装置５０により受圧部材４４ａを押下され、吸着ノズル４２ａを下降し、リッド供給領域３のリッド３００を吸着保持する。また、セラミック容器供給装置１００は、回転テーブル３０の回転により、部品保持ユニット４０Ｅと部品保持ユニット４０Ｆの間に設けられた干渉回避空間３０Ｅの間に、容器確認カメラ１４により、セラミック容器供給装置１００に搬送されるセラミック容器４００の位置を撮影し、セラミック容器４００の位置が所定の位置からずれている場合は、位置補正を加えながらセラミック容器４００を溶接領域４に搬送する。なお、以下の工程においても、リッド位置確認カメラ１３、容器確認カメラ１４により、所定の位置確認を行い、リッド供給領域３におけるリッド３００の位置、溶接領域４におけるセラミック容器４００の位置の補正を行うが、ここでは省略する。
【０１０９】
その後、回転テーブル３０は、さらに反時計回りに約４５°回転する（同図（ｃ）参照）。この時、部品保持ユニット４０Ａの吸着ノズル４２ａに保持されるリッド３００は、姿勢情報取得領域５に位置し、姿勢情報取得手段７０により、吸着ノズル４２ａの下側にからリッド３００の保持姿勢（角度）を撮影される。そして、姿勢情報取得手段７０は、撮影した画像情報を中央制御装置９０に送信する。中央制御装置９０は、画像情報に基づいて、保持部自転駆動手段４３により、保持部４２の吸着ノズル４２ａを回転させて、リッド３００の角度を所定の角度に補正する。この時、リッド供給装置１０は、リッド供給領域３に新たなリッド３００を搬送する。そして、リッド供給領域３にある部品保持ユニット４０Ｃは、外部付勢装置５０により受圧部材４４ａを押下され、吸着ノズル４２ａを下降し、リッド供給領域３に搬送されたリッド３００を吸着保持する。
【０１１０】
その後、回転テーブル３０は、さらに反時計回りに約４５°回転する（同図（ｄ）参照）。この時、部品保持ユニット４０Ｂは、姿勢情報取得領域５に位置している。姿勢情報取得手段７０は、吸着ノズル４２ａに保持しているリッド３００の姿勢の画像情報を取得し、中央制御装置９０に送信する。中央制御装置９０は、画像情報に基づいて、部品保持ユニット４０Ｂの吸着ノズル４２ａに保持されるリッド３００の姿勢補正を行う。また、リッド供給装置１０は、新たなリッド３００をリッド供給領域３へ搬送する。そして、リッド供給領域３に搬送された部品保持ユニット４０Ｄは、外部付勢装置５０により受圧部材４４ａを押下され、吸着ノズル４２ａを下降し、リッド供給領域３にあるリッド３００を吸着保持する。
【０１１１】
その後、回転テーブル３００は、さらに反時計回りに約４５°回転する（図１２（ａ）参照）。部品保持ユニット４０Ａは、溶接領域４に配設されている外部付勢装置５０により受圧部材４４ａ及び２つの電極受圧部材２０４を同時に押下され、吸着ノズル４２ａ及び電極ローラ２１０を同時に下降する。そして、部品保持ユニット４０Ａは、吸着ノズル４２ａで保持しているリッド３００を溶接領域４に搬送されたセラミック容器４００に搭載した後、電極ローラ２１０をリッド３００の上から所定の押圧力で当接して、溶接電流を流すことにより仮付け溶接を行う。なお、溶接領域４に配設されるＣＣＤカメラ（例えば、容器確認カメラ１４）等で撮影した画像情報に基づいて、リッド３００とセラミック容器４００の溶接状態を判定する。その結果、不合格品と判定された場合、部品保持ユニット４０Ａは、吸着ノズル４２ａでリッド３００とセラミック容器４００の溶接不合格品を吸着保持したまま回転し、廃棄領域６に配置される廃棄トレイ３５０まで搬送する。この時、部品保持ユニット４０Ｃは、姿勢情報取得領域５に位置している。姿勢情報取得手段７０は、部品保持ユニット４０Ｃに保持されているリッド３００の姿勢を撮影し、画像情報を中央制御部９０へ送信する。中央制御部９０は、取得した画像情報に基づいて部品保持ユニット４０Ｃの吸着ノズル４２ａに保持されるリッド３００の姿勢補正を行う。また、この時、リッド供給装置１０は、新たなリッド３００をリッド供給領域３に搬送する。そして、リッド供給領域３の真上にある部品保持ユニット４０Ｅは、外部付勢装置５０により受圧部材４４ａを押下され、吸着ノズル４２ａを下降し、リッド供給領域３にあるリッド３００を吸着保持する。
【０１１２】
その後、回転テーブル３００は、さらに反時計回りに約４５°回転する（図１２（ｂ）参照）。この時、部品保持ユニット４０Ｂは、溶接領域４の上に搬送される。部品保持ユニット４０Ｂは、外部付勢装置５０により、吸着ノズル４２ａ及び電極ローラ２１０を同時に下降する。そして、吸着ノズル４２ａに吸着されているリッド３００を溶接領域４に搬送されたセラミック容器４００に搭載した後、電極ローラ２１０をリッド３００の上に当接し、溶接電流を流して、リッド３００とセラミック容器４００の仮付け溶接を行う。なお、前述したように、溶接領域４に配置されるＣＣＤカメラ等で、リッド３００とセラミック容器４００の溶接状態を撮影し、溶接状態の合否判定を行う。溶接後のリッド３００とセラミック容器４００の溶接状態が不合格と判定された場合、部品保持ユニット４０Ｂは、吸着ノズル４２ａで不合格品を吸着保持したまま、廃棄領域６に配置さる廃棄トレイ３５０まで搬送する。この時、部品保持ユニット４０Ｄは、姿勢情報取得領域５に位置している。姿勢情報取得手段７０は、部品保持ユニット４０Ｄに保持されているリッド３００の姿勢を撮影し、画像情報を中央制御部９０へ送信する。中央制御部９０は、取得した画像情報に基づいて部品保持ユニット４０Ｄの吸着ノズル４２ａに保持されるリッド３００の姿勢補正を行う。また、この時、リッド供給装置１０は、新たなリッド３００をリッド供給領域３に搬送する。そして、リッド供給領域３の真上にある部品保持ユニット４０Ｆは、外部付勢装置５０により受圧部材４４ａを押下され、吸着ノズル４２ａを下降し、リッド供給領域３にあるリッド３００を吸着保持する。
【０１１３】
その後、回転テーブル３００は、さらに反時計回りに約４５°回転する（図１２（ｃ）参照）。部品保持ユニット４０Ａは、廃棄領域６の上に搬送される。ここで、部品保持ユニット４０Ａは、リッド３００とセラミック容器４００の溶接不合格品を保持している場合、廃棄領域６に配置されている廃棄トレイ３５０に不合格品を放出する。この時、部品保持ユニット４０Ｃは、溶接領域４に配置される。そして、セラミック容器供給装置１００により溶接領域４に搬送されたセラミック容器４００と、自身の吸着ノズル４２ａが保持するリッド３００を溶接する。そして、ＣＣＤカメラ等で溶接状態を確認し、溶接不具合品と判定された場合、部品保持ユニット４０Ｃは、吸着ノズル４２ａにより溶接不具合品を吸着保持し、そのまま回転して、廃棄領域６に配置される廃棄トレイ３５０まで不具合品を搬送する。また、この時、部品保持ユニット４０Ｅは、姿勢情報取得領域５に位置している。部品保持ユニット４０Ｅの吸着ノズル４２ａに保持されているリッド３００は、姿勢情報取得手段７０により保持姿勢を撮像される。そして、中央制御部９０は、撮像されたリッド３００の画像情報に基づいて、部品保持ユニット４０Ｅの吸着ノズル４２ａを回転させて、リッド３００の姿勢を補正する。さらに、この時、部品保持ユニット４０Ｇは、回転テーブル３０が回転している間に、リッド供給装置１０によりリッド供給領域３に搬送されたリッド３００を吸着する。
【０１１４】
その後、回転テーブル３００は、さらに反時計回りに約４５°回転する（図１２（ｄ）参照）。この時、部品保持ユニット４０Ｂは、廃棄領域６に位置し、部品保持ユニット４０Ｂがリッド３００とセラミック容器４００の不具合品を保持している場合、廃棄領域６に配置される廃棄トレイ３５０に不具合品を放出する。また、この時、部品保持ユニット４０Ｄは、溶接領域４に位置する。部品保持ユニット４０Ｄは、回転テーブル３０が回転している間に、セラミック容器供給装置１００により溶接領域４に搬送されたセラミック容器４００に、自身が保持しているリッド３００を搭載し、その後仮付け溶接を行う。なお、中央制御部９０は、リッド３００とセラミック容器４００の溶接状態の合格又は不合格をＣＣＤカメラ等で撮影した画像情報に基づいて判定し、不合格と判定した場合は、部品保持ユニット４０Ｄの吸着ノズル４２ａに不合格品を吸着保持させ、そのまま廃棄領域６に配置される廃棄トレイ３５０まで搬送する。さらに、この時、部品保持ユニット４０Ｆは、吸着ノズル４２ａで保持しているリッド３００の姿勢情報に基づいて、姿勢がずれている場合は、吸着ノズル４２ａを回転させてリッド３００の姿勢補正を行う。この時、回転テーブル３０が回転している間に、リッド供給装置１０は、リッド供給領域３に新たなリッド３００を搬送する。そして、リッド供給領域３に搬送された部品保持ユニット４０Ｆは、リッド供給領域３に搬送されたリッド３００を吸着保持する。
【０１１５】
そして、次に、回転テーブル３０を回転させると、部品保持ユニット４０Ａは、１回転してリッド供給領域３に搬送される。この後は、各部品保持ユニットに対して、上記と同様の工程が行われる。
【０１１６】
つまり、上記実施形態に係るターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、全く同じ構成から成る部品保持ユニット４０を回転テーブル３０の周囲に設けるとともに、各部品保持ユニット４０には、保持部４２の先端に設けられた吸着ノズル４２ａを回転するための駆動機構（例えば、保持部自転駆動手段４３）を個別に備えている。また、各部品保持ユニット４０には、吸着ノズル４２ａをスライドするためのスライド機構（例えば、筐体４１に設けられた支持部材４１Ａにより保持部４２を往復移動自在に保持し、保持部４２に接続されたブラケット４４の受圧部材４４ａを上下移動することにより保持部４２を上下方向に往復移動させる構造）が設けられている。一方、吸着ノズル４２ａ又は電極ローラ２１０を上下移動する駆動装置（例えば、外部付勢装置５０）は、リッド供給領域３と溶接領域４の上で、且つ部品保持ユニット４０とは、別体として設けられている。したがって、上記実施形態のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、全く同じ構図の部品保持ユニット４０を回転テーブル３０の周囲に設けることにより、全ての部品保持ユニット４０が等しくリッドの吸着保持、リッドの姿勢調整及びリッドとセラミック容器の仮付け溶接を行うことができ、効率的に且つ高速で各工程を実行することができる。
【０１１７】
また、上記実施形態で示すように、部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２ａの１方向に回転する回転経路上にリッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４、廃棄領域６を順番に設け、いずれか１つの領域（例えば、リッド供給領域３）に１の部品保持ユニット４０が位置する場合、少なくとも他の３つの領域に他の部品保持ユニット４０が位置するようになっている。つまり、複数の工程を同時に行うことが可能で、リッドの供給から溶接までの工程を高速でおこなうことができる
【０１１８】
なお、上記はリッド３００をセラミック容器４００に溶接する場合について説明したが、吸着ノズル４２ａによってリッド３００を吸着する際に、吸着ノズル４２ａがリッド３００に当接した場合や、吸着ノズル４２ａに不測の衝撃を受けた場合にも同様の効果があることは言うまでもない。
【０１１９】
尚、本発明のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【０１２０】
本発明は、パッケージとリッドなどの電子部品の溶接の分野において幅広く利用することができる。
【符号の説明】
【０１２１】
１ ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置
３ リッド供給領域
４ 溶接領域
５ 姿勢情報取得領域
６ 廃棄領域
１０ リッド供給装置
２０ アーム
３０ 回転テーブル
４０ 部品保持ユニット
４２ａ 吸着ノズル
５０ 外部付勢装置
６０ 回転テーブル駆動手段
７０ 姿勢情報取得手段
８０ 揺動手段
９０ 中央制御装置
１００ セラミック容器供給装置
２００ 電極ユニット
２１０ 電極ローラ
２２０ 電極保持装置
３００ リッド
３５０ 廃棄トレイ
４００ セラミック容器
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品等を溶接する溶接装置、特にセラミック容器にリッドを仮付け溶接する溶接装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、図１３に示されるように、９０°の角度で往復回動する回動部材２１に、９０°の角度で十字に交差する４つのアーム部２１ａ〜２１ｄが設けられたシーム溶接装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この４つのアーム部２１ａ〜２１ｄは、それぞれリッド７を吸引保持する吸引ノズル１８ａ〜１８ｄを備える。その中でも２つのアーム部２１ｃ、２１ｄは、ローラ電極を有する溶接ヘッド１９ａ、１９ｂも備えている。アーム部２１ａ、２１ｂ側に設けられる吸引ノズル１８ａ、１８ｂは、このアーム部２１ａ、２１ｂの垂下部において、リニアガイド（図示省略）を介して垂直方向に摺動自在に装着される。この垂直方向の移動は、カム（図示省略）により行われる。また、アーム部２１ｃ、２１ｄ側では、吸引ノズル１８ｃ、１８ｄと溶接ヘッド１９ａ、１９ｂが、リニアガイドを介して垂直方向に摺動自在に装着される。この垂直方向の移動も、カムによって一体的に行われる。
【０００３】
図１３に示される初期状態に対して、４つのアーム部２１ａ〜２１ｄが反時計回り及び時計回りに９０°の角度で往復回動すると、アーム部２１ａは、リッド供給部１３と第２のリッド位置決め部１２ｂ間を往復動する。この結果、吸引ノズル１８ａはリッド供給部１３のリッド７を吸引保持して第２の位置決め部１２ｂに搬送し、その後、元の位置に戻り、再びリッド供給部１３のリッド７を吸引保持する。
【０００４】
アーム部２１ｂは、第１のリッド位置決め部１２ａとリッド供給部１３間を往復動する。吸引ノズル１８ｂは、リッド供給部１３のリッド７を吸引保持して、第１の位置決め部１２ａに搬送する。
【０００５】
アーム部２１ｃは、リッド仮付け部１１と第１の位置決め部１２ａ間を往復動する。反時計回りの往動作時に、第１のリッド位置決め部１２ａに移動して、吸引ノズル１８ｃによってリッド７を吸引保持し、時計回りの復動作時に、このリッド７をリッド仮付け部１１に搬送してパッケージ３上に載置する。この時、吸着ノズル１８ｃと共に溶接ヘッド１９ａも常に上下動し、パッケージ３上に載置されたリッド７をパッケージ３にスポット溶接する。
【０００６】
アーム部２１ｄは、リッド仮付け部１１と第２のリッド位置決め部１２ｂ間を往復動する。時計回りの往動作時に、第２のリッド位置決め部１２ｂに移動して、吸引ノズル１８ｄによってリッド７を吸引保持し、反時計回りの復動作時に、このリッド７をリッド仮付け部１１に搬送してパッケージ３上に載置する。この時、吸引ノズル１８ｄと共に溶接ヘッド１９ｂも常に上下動し、パッケージ３上に載置されたリッド７をパッケージ３にスポット溶接する。
【０００７】
上記のように、特許文献１に開示されている発明は、４つのアーム部２１ａ〜２１ｄ往復回動することにより、２つのアーム部２１ａ又は２１ｂが、リッド供給部１３から、交互にリッド７を吸引保持して、第１リッド位置決め部１２ａ又は第２リッド位置決め部１２ｂに搬送する。一方、２つのアーム２１ｃ又は２１ｄは、第１リッド位置決め部１２ａ又は第２リッド位置決め部１２ｂのリッド７を交互に吸引保持して、リッド仮付け部１１に搬送し、溶接ヘッド１９ａ又は１９ｂによりリッド７をパッケージ３に対して順次仮止めする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−０４６０１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述した特許文献１に開示されているシーム溶接装置は、リッド７の位置決めのために、アーム部２１ａの吸引ノズル１８ａからリッド７を開放し、開放したリッド７を別のアーム部２１ｂの吸引ノズル１８ｂで吸引保持する。つまり、上記のシーム溶接装置は、リッド７を位置決めするために、その都度、リッド位置決め部１２ａ又は１２ｂにリッド７を載置して位置補正を行い、その後に別のアーム部２１ｃ又は２１ｄで吸引保持して、溶接部まで搬送しなければならない。したがって、リッド７の供給から溶接の間において、リッド７の開放や吸引の回数が多く、開放ミスや吸引ミスが起こり易いという問題があった。
【００１０】
また、このシーム溶接装置におけるアーム部２１ｃ及びアーム部２１ｄは、それぞれに設けられている吸引ノズル１８ｃ、１８ｄと溶接ヘッド１９ａ、１９ｂをカム機構により同時に上下移動させる構造である。したがって、吸引ノズル１８ｃによってリッド７を吸引する際、溶接ヘッド１９ａが邪魔になるという問題があった。また、これを回避するために、吸引ノズル１８ｃと溶接ヘッド１９ａの高さ位置を高精度に調整しなければならないという問題があった。もちろん、吸引ノズル１８ｄと溶接ヘッド１９ｂについても同様の問題がある。
【００１１】
また、アーム部２１ａ、２１ｂは、リッド供給部１３からリッド７を吸引してリッド位置決め部１２ａ、１２ｂに載置するという役割が決められ、アーム部２１ｃ、２１ｄは、リッド位置決め部１２ａ、１２ｂからリッド７を吸引し、パッケージ３にリッド７を仮付け溶接するという役割が決められている。したがって、上記のシーム溶接装置では、各アーム部はそれぞれに役割が決められており、２つの場所を９０°の間隔で往復動を行う以外の動作ができない。この結果、上記シーム溶接装置のアーム部の数は４つに限定され、経路上には、吸引、位置決め、仮付け溶接等の３種類以上の工程を設けることができないという問題があった。例えば、上記シーム溶接装置では、仮付け後の仮付け不良品を廃棄する工程を設けることができず、仮付け不良品は、すべてのリッド７をパッケージ３に溶接した後、別の工程でパッケージ毎に検査しなければならない。更に、上記シーム溶接装置は、役割が決められたアーム部２１ａ〜２１ｄを９０°間隔で往復回動させるのが原則のため、１工程の作業を行うのに必ず９０°の回転を伴う。即ち、本出願時には未公知であるが、回動部材に設けられるアーム部の数量を６個や８個に増やして、アーム部の１工程で移動させる回転角度を小さく（例えば、４５°や３０°）して、リッドの供給や仮付け溶接を高速で行うことができないという問題があった。
【００１２】
また、上記シーム溶接装置は、吸引ノズルや溶接ヘッドを下降移動させるカムを、個々のアーム部２１ａ〜２１ｄに搭載する構造としている。したがって、リッド供給部１３からリッド７を吸引する場合や、リッド位置決め部１２ａ、１２ｂにリッド７を載置する場合、または、リッド溶接部において、パッケージ３にリッド７を仮付け溶接する場合に、吸引ノズルや溶接ローラの高さを微調整するために、全てのカムの回転角度等を高精度に制御しなければならないという問題があった。このため、カムを回転駆動するための制御装置やプログラムが複雑になるという問題があった。また、図示は省略するが、上記シーム溶接装置は、カムを回転するためのモータ等が個々のアーム部２１ａ〜２１ｄに設けられる構造となる。特に、溶接側では、リッド７をパッケージ３に押しつけるための相当の力が必要となるため、モータが大きくなり、アーム部２１ａ〜２１ｄの重量バランスが悪化するという問題があった。
【００１３】
本発明は、斯かる実情に鑑み、ターレットの周囲に保持した複数のリッドの搬送、姿勢調整、セラミック容器との仮付け、廃棄を略同時に行うことができる、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明者の鋭意研究により、上記目的は以下の手段によって達成される。
【００１５】
即ち、上記目的を達成する本発明は、時計回り又は反時計回りの１方向に回転する回転テーブルと、前記回転テーブルの周方向に複数設けられ、リッドを保持するリッド保持手段、及び前記リッド保持手段に隣接する溶接電極を有する部品保持ユニットと、前記回転テーブルの回転による前記部品保持ユニットの回転経路上に位置するリッド供給領域に対して、溶接前のリッドを搬送するリッド供給装置と、前記部品保持ユニットの回転経路上に位置する溶接領域に対して、溶接前の容器を搬送する容器供給装置と、を備え、前記回転テーブルが回転することにより、１の前記部品保持ユニットの前記リッド保持手段が、前記リッド供給領域の上に位置する際に、少なくとも他の１つの前記部品保持ユニットの前記リッド保持手段は、前記リッドを保持した状態で前記溶接領域の上に位置することを特徴とする、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置である。
【００１６】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記部品保持ユニットは、前記リッド保持手段を回転可能、且つリッド方向にスライド可能に支持するとともに、前記リッド保持手段を回転させるリッド保持手段回転装置を備えることを特徴とする。
【００１７】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記部品保持ユニットは、前記リッド保持手段をスライド可能に支持するリッド保持手段ガイド部材、及び前記リッド保持手段を押し上げ方向に付勢するリッド保持手段付勢部材を備えており、更に、前記リッド供給領域上及び前記溶接領域上には、前記リッド保持手段を押し下げる為の押下装置がそれぞれ固定配置されており、前記リッド保持手段付勢部材の付勢力に抗して、前記押下装置が前記リッド保持手段を押し下げることで、前記リッド供給領域における前記リッドの保持、及び前記溶接領域における前記リッドの前記容器への搭載を行うことを特徴とする。
【００１８】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記部品保持ユニットは、前記溶接電極をスライド可能に支持する溶接電極ガイド部材、及び前記溶接電極を押し上げ方向に付勢する溶接電極付勢部材を備えており、前記部品保持ユニット又は前記溶接領域上の前記押下装置には、前記リッド保持手段と前記溶接電極を同時にスライドさせる連動機構が設けられており、前記溶接領域上の前記押下装置が前記部品保持ユニットに押し下げ力を付与することで、前記リッド保持手段と前記溶接電極が同時に押し下げられることを特徴とする。
【００１９】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記部品保持ユニットの回転経路上に位置する姿勢情報取得領域において、前記部品保持ユニットが保持している前記リッドの姿勢情報を取得する姿勢情報取得手段をさらに備え、少なくとも３つの前記部品保持ユニットが、前記リッド供給領域、前記溶接領域、及び前記姿勢情報取得領域に同時に位置するようになっていることを特徴とする。
【００２０】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記姿勢情報に基づいて、前記リッドの姿勢の良否を判定する姿勢判定手段を更に有し、前記部品保持ユニットの回転経路上には、前記姿勢判定手段により不具合姿勢と判定された前記リッドを廃棄する廃棄領域が設けられており、前記部品保持ユニットは、前記回転テーブルの周方向に一定の間隔で少なくとも４か所に配設されており、４つの前記部品保持ユニットが、前記リッド供給領域、前記姿勢情報取得領域、前記溶接領域、及び前記廃棄領域に同時に位置することを特徴とする。
【００２１】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記リッド供給領域、前記姿勢情報取得領域、前記溶接領域及び前記廃棄領域は、時計回り又は反時計回りの一方向に、この順番で、前記部品保持ユニットの回転経路上に設けられていることを特徴とする。
【００２２】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記部品保持ユニットは、前記リッド保持手段が保持する前記リッドが前記容器に当接した際に、前記溶接電極のみをスライドさせて、前記容器上の前記リッドに前記溶接電極を当接させることを特徴とする。
【００２３】
上記目的を達成する、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、前記リッド保持手段は、前記溶接電極よりも前記容器に近接する位置に設けられ、前記リッド保持手段及び前記溶接電極は、前記リッド保持手段ガイド部材及び前記溶接電極ガイド部材に沿って、それぞれ個別にスライドするように構成され、前記溶接領域において、該溶接領域上に設けられた前記押下装置の連動機構により、前記リッド保持手段及び前記溶接電極が同時に押し下げられた場合、前記リッドが前記容器に当接することによって、前記リッド保持手段が、前記リッド保持手段ガイド部材に沿って前記溶接電極に対して相対的に上方に移動し、前記溶接電極が、前記リッドに当接して前記リッドと前記容器の溶接をすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、リッドの供給、搬送及びセラミック容器との溶接の際の無駄な時間を少なくし、リッドとセラミック容器の仮付け溶接のサイクルタイムを大幅に短縮することができるという優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】第１実施形態に係るターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１の正面図である。
【図２】同ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１の左側面図である。
【図３】同ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１の平面図である。
【図４】（ａ）は、回転テーブル３０および部品保持ユニット４０の平面図であり、（ｂ）は、図４（ａ）における矢視ＡーＡ方向から見た回転テーブル３０および部品保持ユニット４０の断面図である。
【図５】（ａ）（ｂ）は、部品保持ユニット４０の断面構造および外部付勢装置５０を示した図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、図４（ａ）の矢視ＢーＢ方向から見た部品保持ユニット４０が溶接領域４に位置する場合の断面図である。
【図７】（ａ）電極保持装置２２０により電極ローラ２１０を保持している状態を示す側面図であり、（ｂ）電極保持装置２２０から電極ローラ２１０を取り外した状態を示す側面図である。
【図８】同ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１の回転テーブル３０を退避位置まで移動させた状態を示した左側面図である。
【図９】（ａ）〜（ｆ）は、リッド溶接装置１の作動を示した平面図である。
【図１０】（ａ）（ｂ）第２実施形態に係る部品保持ユニットを右側面から見た断面図である。
【図１１】（ａ）〜（ｄ）第３実施形態に係るターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置の平面図である。
【図１２】（ａ）〜（ｄ）第３実施形態に係るターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置の平面図である。
【図１３】従来のシーム溶接装置の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。
【００２７】
図１〜３には、本発明の台１実施形態に係るターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１（以下、リッド溶接装置１という）が示されている。リッド溶接装置１は、このリッドを吸着し、吸着状態におけるリッドの姿勢を判定し、このリッドをセラミック容器に仮付け溶接し、一方で不具合品となるリッドを廃棄するものである。なお、本明細書中の説明における各方向は、特に記載がない限り、原則として運転可能状態のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１を正面から見た場合を基準としている。
【００２８】
図１〜３に示されるように、リッド溶接装置１は、基台２と、基台２上面の左側に配設されたリッド供給装置１０と、基台２に揺動自在に配設されたアーム２０と、アーム２０に回転自在に配設された回転テーブル３０と、回転テーブル３０の外周面に周方向に沿って配設された４つの部品保持ユニット４０と、アーム２０に配設された２つの外部付勢装置５０と、回転テーブル３０を回転させる回転テーブル駆動手段６０と、基台２上面の中央手前側に配設された姿勢情報取得手段７０と、アーム２０を揺動させる揺動手段８０と、リッド溶接装置１全体を制御する中央制御装置９０と、基台２上面の右側に配設されたセラミック容器供給装置１００を有して構成されている。このリッド溶接装置１は、外部からバルク状態でリッド供給装置１０に供給されたリッド３００を、部品保持ユニット４０により吸着してセラミック容器供給装置１００まで搬送し、セラミック容器供給装置１００に整列配置されているセラミック容器４００にシーム溶接するものである。また、本実施形態に係るリッド溶接装置１は、溶接領域４に、セラミック容器４００とリッド３００の溶接状態を撮影できるように配置されたＣＣＤカメラ（図示省略）等により、セラミック容器４００とリッド３００の溶接状態を撮影及び判断し、不合格と判断された溶接部品を所定の廃棄トレイ３５０の中に収容できるようになっている。
【００２９】
基台２は、略直方体状の部材である。基台２の内部には、中央制御装置９０や、特に図示しない電源装置等が配設されている。基台２上面の奥側端部には柱部材２ａが配設されており、この柱部材２ａの上端にはアーム２０を動作可能（揺動自在）に支持するアームブラケット２ｂが配設されている。本実施形態では、基台２上面の左側部分にリッド供給装置１０から部品保持ユニット４０にリッド３００を供給するリッド供給領域３を、基台２上面の右側部分に、部品保持ユニット４０が保持するリッド３００を、セラミック容器供給装置１００に載置されているセラミック容器４００に仮付け溶接する溶接領域４を設定している。また、姿勢情報取得手段７０が配設された基台２上面の中央手前側部分に姿勢情報取得領域５を設定している。なお、基台２上面の中央奥側部分（揺動手段８０側）には、リッド３００とセラミック容器４００を仮付け溶接した後の仮付け部品が不合格と判定された場合、不合格品を廃棄トレイ３５０に廃棄する廃棄領域６が設定されている。
【００３０】
リッド供給装置１０は、バルク状態でタンクに投入されたリッド３００を、姿勢と方向を整えながらリッド供給装置１０のリッド保持位置１１まで搬送する、いわゆるパーツフィーダである。なお、リッド供給装置１０は、バルク状態で投入されたリッド３００の方向や角度を整えながら、リッド３００をリッド保持位置１１まで正確に搬送できるようになっているため、姿勢制御のための特別な検査装置や駆動装置を設ける必要がなく、設備コストを抑えるとともに、工程削減によるサイクルタイムの短縮と製造原価の削減を行うことができる。
【００３１】
アーム２０は、アームブラケット２ｂからリッド供給装置１０の上方を手前に向けて伸びる腕状の部材である。アーム２０には回転テーブル３０が回転自在に保持されると共に、回転テーブル駆動手段６０および外部付勢装置５０が配設されている。外部付勢装置５０は、リッド供給領域３及び溶接領域４側に対応して、それぞれの上方に設けられている。なお、溶接領域４に設けられている外部付勢装置５０は、連動部材２５０（詳細は後述）を有して構成されている。
【００３２】
揺動手段８０は、モータ８２と、モータ８２の出力軸に接続されるねじ軸８４と、アーム２０に配設されるナット８６とから構成されている。モータ８２は、例えばステッピングモータであり、出力軸を上にして柱部材２ａの左側面にモータブラケット８２ａを介して揺動可能に配設されている。ねじ軸８４は、外周面におねじが形成された棒状の部材であり、モータ８２の出力軸に同軸的に接続されている。ナット８６は、ねじ軸８４のおねじと螺合するめねじを備えており、ナットブラケット８８を介してアーム２０の後端上方に回動可能に配設されている。ナット８６はねじ軸８４と螺合しており、ねじ軸８４がモータ８２に駆動されて回転することにより、ねじ軸８４に沿って直線移動する。ナット８６は、アーム２０の揺動中心よりも左側に位置している。従って、図８に示されるように、ナット８６を下方に移動させることで回転テーブル３０を上昇させて「退避位置」としたり、ナット８６を上方に移動させることで回転テーブル３０を下降させて、「運転位置」とすることができる。
【００３３】
回転テーブル３０は、略円盤状の部材であり、外周面に４つの部品保持ユニット４０が等間隔（本実施形態では略９０°間隔）で配設されている。図１〜３では、回転テーブル３０は「運転位置」にある。回転テーブル３０は、運転位置において回転軸が上下方向となるようにアーム２０に保持されている。そして、回転テーブル３０は、時計回り又は反時計回りの１方向に回転し、回転テーブル３０の周囲に配設されている全ての部品保持ユニット４０は、リッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４及び廃棄領域６の上方を順番に通過するように構成されている。また、いずれかの部品保持ユニット４０がリッド供給領域３に対向する位置にある場合に、他の３つの部品保持ユニット４０が、姿勢情報取得領域５、溶接領域４並びに廃棄領域６に対向する位置にあるように構成されている。
【００３４】
２つの外部付勢装置５０における一方は、リッド供給領域３の上方に配置されている。また、他方の外部付勢装置５０は、溶接領域４の上方に配置されている。一方の外部付勢装置５０は、リッド供給領域３上に位置する部品保持ユニット４０に外力を付加して、部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２ａを、リッド供給領域３に近接する方向（下方）に移動させる。他方の外部付勢装置５０は、溶接領域４上に位置する部品保持ユニット４０に外力を付加する。詳細は後述するが、この他方の外部付勢装置５０には連動部材２５０が設けられており、この連動部材２５０を用いて外力を付加することで、吸着ノズル４２ａ及び電極ローラ２１０を略同時に下降させる。
【００３５】
回転テーブル駆動手段６０は、アーム２０の図の下面に固定され、アーム２０と回転テーブル３０の間に位置している。本実施形態では、回転テーブル駆動手段６０は、アーム２０に固定されるステータ、およびステータの外周を回転する筒状のロータから構成される中空ＤＤモータである。ステータの中心部には軸方向に貫通孔が形成されている。回転テーブル３０は、この貫通孔内に中空軸３２を挿通した状態でロータに固定されている。
【００３６】
リッド供給領域３の上方には、リッド確認カメラ１３が配置されている。なお、このリッド確認カメラ１３は、回転テーブル３０との干渉を避けるために、回転テーブル３０よりも上方においてアーム２０側に固定される。このリッド確認カメラ１３は、部品保持ユニット４０がリッド供給領域３上に存在していない間を利用して、リッド供給領域３に供給されるリッド３００を画像認識によって位置確認する。これにより、リッド３００の供給が中断した場合を確認可能となる。また、本実施形態では特に示さないが、多数のリッド３００が搭載された搬送トレイ等によってリッド３００をリッド供給領域３に供給する場合は、この画像認識結果を利用して、搬送トレイをＸ−Ｙ方向に位置決めすることが可能となる。なお、リッド３００をリッド供給領域３へ供給する方法として、複数のリッド３００をランダムに載置するばら撒きトレイや、複数のリッド３００を整列して載置する整列トレイを用いても好ましい。この場合、上述した画像認識結果を利用して、ばら撒きトレイや整列トレイをＸ―Ｙ方向に位置決めすることが可能となる。また、複数のリッド３００をカセット構造のリッド供給装置（リッドカセットと言う）にセットしてリッド供給領域３にリッド３００を供給しても好ましい。リッドカセットは、リッド３００の位置決めを高精度で行うことができ、画像認識による位置決めを省略することもできる。
【００３７】
溶接領域４の上方には、容器確認カメラ１４が配置されている。この容器確認カメラ１４は、回転テーブル３０との干渉を避けるために、回転テーブル３０よりも上方においてアーム２０側に固定される。容器確認カメラ１４は、部品保持ユニット４０が溶接領域４上に存在していない間を利用して、セラミック容器供給装置１００上における、仮付け溶接前のセラミック容器４００を画像認識によって位置確認する。これにより、整列トレイ１０１を位置決めすることが可能となる。
【００３８】
なお、このような画像認識が可能なのは、図３に示されるように、回転テーブル３０に対して部品保持ユニット４０が外側に突出するように設けられており、回転テーブル３０が回転すると、部品保持ユニット４０がリッド供給領域３や溶接領域４の上方に存在してない時間を確保していることによる。換言すると、回転テーブル３０の周囲であって、隣接する部品保持ユニット４０の間には、リッド確認カメラ１３や容器確認カメラ１４による撮影を妨げない為の干渉回避空間３０Ａが設けられている。
【００３９】
姿勢情報取得手段７０は、本実施形態ではＣＣＤカメラで構成され、姿勢情報取得領域５に配置される。具体的には、姿勢情報取得手段７０は、姿勢情報取得領域５に位置する部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２ａに保持されたリッド３００を、下方から撮像する。姿勢情報取得手段７０は、中央制御装置９０と電気的に接続されており、撮像して得られた画像情報を中央制御装置９０に送信する。なお、吸着ノズル４２ａに吸着されたリッド３００の姿勢を機械的に修正するようにしても好ましい。例えば、回転テーブル３０の回転途中で、吸着ノズル４２ａで吸着後のリッド３００を、リッドの外形を型取ったセンタリング治具に通すことによって、リッド３００の姿勢を適正な姿勢に修正するようにしても好ましい。また、上記のような機械的な修正を行った上で、さらに姿勢情報取得手段７０で取得した姿勢の画像情報に基づいて、リッド３００の姿勢を修正するようにしても好ましい。このように、機械的な修正の後、画像情報による修正を段階的に行うことによって、姿勢不良を減少させることができる。
【００４０】
中央制御装置９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備えた制御装置であり、リッド供給装置１０、外部付勢装置５０、回転テーブル駆動手段６０および姿勢情報取得手段７０、セラミック容器供給装置１００等を直接制御する。また、中央制御装置９０は、吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２に制御情報を送信して、４つの切替バルブ３７および４つの保持部自転駆動手段４３を個別に制御させる。
【００４１】
セラミック容器供給装置１００は、マトリクス状に配置された複数の凹部１０１Ａが上面に形成された整列トレイ１０１と、ＸーＹテーブルから構成された整列トレイ移動手段１０２を備えて構成されている。整列トレイ１０１の凹部１０１Ａには、仮付け溶接前のセラミック容器４００が載置されている。整列トレイ移動手段１０２は、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されている。本実施形態における整列トレイ移動手段１０２は、図３における上下方向および左右方向に整列トレイ１０１を移動可能となっている。
【００４２】
整列トレイ移動手段１０２は、溶接領域４にある部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２ａの真下に、複数のセラミック容器４００を１つずつ順番に供給する。溶接領域４では、リッド３００を、このセラミック容器４００に仮付け溶接していく。この動作を繰り返すことで、整列トレイ１０１の凹部１０１Ａに載置されている全てのセラミック容器４００に対してリッド３００を仮付けする。全てのセラミック容器４００の仮付けが完了したら、整列トレイ１０１は、例えば次のシーム溶接（本付け）工程等に運ばれる。
【００４３】
次に、回転テーブル３０及び部品保持ユニット４０の構成について図３〜図５等を参照して具体的に説明する。
【００４４】
図４（ａ）に示されるように、部品保持ユニット４０は、略円筒状の回転テーブル３０の外周面に略９０°間隔で外側に向けて突設されている。回転テーブル３０の周囲であって、隣接する部品保持ユニット４０の間には、干渉回避空間３０Ａが形成されている。また、リッド供給領域３の上方には、リッド確認カメラ１３が配置されており、溶接領域４の上方には容器確認カメラ１４が配置されている。部品保持ユニット４０がリッド供給領域３上に存在していない間に、上方のリッド確認カメラ１３が、干渉回避空間３０Ａを介してリッド３００を画像認識して位置確認を行う。これにより、回転テーブル３０の回転によるリッド３００の搬送中に、次に供給されるリッド３００の位置確認が可能となる。なお、部品保持ユニット４０は、特に図示しないボルト等によって容易に着脱可能に回転テーブル３０に配設されている。
【００４５】
回転テーブル３０の上面の中心には、中空軸３２が突設されている。この中空軸３２は回転テーブル３０の回転軸となると共に、アーム２０に回転自在に保持される。また、中空軸３２は、大径の外側パイプ３２ａと小径の内側パイプ３２ｂが同軸的に配設された二重構造となっている。中空軸３２の外側パイプ３２ａと内側パイプ３２ｂの間隙は、低圧源となる真空ポンプ（図示省略）と部品保持ユニット４０を繋ぐ通路の一部を構成する。中空軸３２の上端部には、スイベルジョイント３３を介して真空ポンプに繋がるエア配管３４が接続されている。
【００４６】
回転テーブル３０の内部には、外側パイプ３２ａと内側パイプ３２ｂの間隙と同軸的に接続された環状の中央気室３５が形成されている。さらに、この中央気室３５から４つの吸引通路３６が放射状に形成され、各部品保持ユニット４０に個別に接続される。各吸引通路３６の途中には、部品保持ユニット４０と真空ポンプの連通・遮断を切り替える切替バルブ３７がそれぞれ配設されている。従って、本実施形態では、各部品保持ユニット４０と真空ポンプの連通・遮断を個別に切り替えることが可能となっている。本実施形態における切替バルブ３７は、ソレノイドによって弁体を移動させる電磁弁から構成されている。
【００４７】
回転テーブル３０の内部にはさらに、切替バルブ３７を制御して後述する吸着ノズル４２ａによる部品の吸着・解放を制御する吸着ノズル切替制御装置９１、および、後述する保持部自転駆動手段４３を制御する保持部自転制御装置９２が配設されている。吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備えた制御装置である。吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２は、特に図示しない配線によって、切替バルブ３７および保持部自転駆動手段４３とそれぞれ電気的に接続されると共に、中央制御装置９０に電気的に接続されている。中央制御装置９０と吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２を繋ぐ配線は、中空軸３２先端部に配設されたスリップリング３８を介して接続されている。スリップリング３８と吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２の間の配線は、中空軸３２の内側パイプ３２ｂ内部を通されている。なお、上述した回転テーブル３０をターレットと言うことがある。
【００４８】
図５（ａ）および（ｂ）は、部品保持ユニット４０の断面構造および外部付勢装置５０を示した図である。部品保持ユニット４０は、筺体４１と、筺体４１に自転自在に配設された保持部４２と、保持部４２を自転駆動する保持部自転駆動手段４３と、１対の電極ユニット２００、２００（詳細は後述）を有して構成されている。
【００４９】
筺体４１は、保持部４２および保持部自転駆動手段４３、電極ユニット２００の一部を内部に保持すると共に、回転テーブル３０にボルト等によって着脱可能に固定された部材である。
【００５０】
保持部４２は、図の下方に向けられた先端に吸着ノズル４２ａが配設された細長い円筒状の部材である。保持部４２は、支持部材４１Ａとブラケット４４によって、中心軸周りに回転（自転）自在であると共に、中心軸（自転軸）方向に沿って往復移動自在に筺体４１に保持されている。保持部４２の内部は吸着ノズル４２ａに繋がる吸引通路４２ｂとなっている。保持部４２の吸引通路４２ａは、特に図示しない通路およびコネクタを介して回転テーブル３０に配設された切替バルブ３７に接続される。
【００５１】
吸着ノズル４２ａは、運転位置においては基台２上面に対向するように設けられている。切替バルブ３７は、真空ポンプと吸着ノズル４２ａの連通・遮断を切り替えると共に、遮断時には、吸着ノズル４２ａを大気開放状態とするように構成されている。すなわち、保持部４２は、切替バルブ３７によって真空ポンプと吸着ノズル４２ａが連通された場合に、吸着ノズル４２ａによってリッド３００を吸引して吸着（保持）し、切替バルブ３７によって真空ポンプと吸着ノズル４２ａが遮断された場合に、吸着ノズル４２ａに保持していたリッド３００を解放するように構成されている。なお、本実施形態における保持部４２、吸着ノズル４２ａは、本発明のリッド保持手段を構成している。
【００５２】
保持部自転駆動手段４３は、筺体４１に固定されたモータ４３ａと、モータ４３ａの回転駆動力を保持部４２に伝達する伝達機構４３ｂから構成されている。本実施形態では、モータ４３ａはステッピングモータから構成されている。モータ４３ａは、特に図示しない配線およびコネクタを介して、保持部自転制御装置９２と電気的に接続される。伝達機構４３ｂは、モータ４３ａの出力軸に固定された駆動歯車４３ｂ１、および保持部４２に同軸的に固定された従動歯車４３ｂ２からなり、モータ４３ａの回転数を所定の減速比で減速するように構成されている。なお、伝達機構４３ｂを３つ以上の歯車列から構成するようにしてもよいし、ベルト伝達機構やチェーン伝達機構等により構成するようにしてもよい。
【００５３】
保持部４２は、この保持部自転駆動手段４３に駆動されて自転する。本実施形態では、このように保持部４２を自転させることによって、吸着ノズル４２ａに吸着保持したリッド３００の姿勢を整えるようになっている。
【００５４】
保持部４２の基端部（上端部）には、ブラケット４４が接続されている。ブラケット４４は、保持部４２の上端部から図の右側（回転テーブル３０の中心側）に向けて配設されている。ブラケット４４は保持部４２に対して、保持部４２の中心軸周りに回転自在であるが保持部４２の中心軸方向には移動不可能に接続されている。すなわち、保持部４２が自転した場合には、ブラケット４４は回転しないが、保持部４２が中心軸（自転軸）方向に往復移動した場合には、ブラケット４４は保持部４２と共に往復移動（前方又は後方へ移動）するようになっている。
【００５５】
ブラケット４４は、内部付勢装置（圧縮バネ）４５によって常に上方（アーム２０側）に向けて付勢されており、通常は筺体４１の内側面に設けられたストッパ４６に当接させた状態で静止している。これにより、保持部４２は、通常は図５（ａ）に示されるように、ブラケット４４と共にアーム２０側に引き寄せられた状態となる。すなわち保持部４２は通常、基台２上面から離隔（上方に位置）した状態となる。ブラケット４４の上面には、受圧部材４４ａが上方（アーム２０側）に向けて突設されている。この受圧部材４４ａは筺体４１の外部に露出しており、外部付勢装置５０は、この受圧部材４４ａに外力を加えて押圧するように構成されている。なお、本実施形態における支持部材４１Ａとブラケット４４は、本発明のリッド保持手段ガイド部材を構成する。また、本実施形態における、支持部材４１Ａ、保持部自転駆動手段４３は、本発明のリッド保持手段回転装置を構成する。
【００５６】
外部付勢装置５０は、アーム２０に鉛直方向に配設された細長い円筒状のガイド部材５１と、ガイド部材５１の内部に挿通された細長い棒状の押圧部材５２と、アーム２０の上面に配設されたモータ５３と、モータ５３の出力軸に固定されたカム５４を有して構成されている。ガイド部材５１は、下端を受圧部材４４ａ側に向けた状態で鉛直方向に配設される。従って、ガイド部材５１の内部に挿入される押圧部材５２は、下端を受圧部材４４ａに向けると共に、上端をカム５４に押圧されるように設けられている。そして、押圧部材５２は、モータ５３に駆動されたカム５４の回転に伴って図の上下（受圧部材４４ａに近接又は離隔する方向）に往復移動する。カム５４のカムプロファイルは、リッド溶接装置１の搬送速度等に応じて適宜に設定すればよい。
【００５７】
押圧部材５２は、内部付勢装置４５の付勢力に勝る外力を受圧部材４４ａに加える。そして、図５（ｂ）に示されるように、ブラケット４４と共に保持部４２を、保持部４２の自転軸に沿ってアーム２０から離隔する方向（下方）に移動させる。その後、カム５４の回転に伴って押圧部材５２が受圧部材４４ａから離隔する方向へ移動すると、ブラケット４４および保持部４２は、内部付勢装置４５の付勢力により、保持部４２の自転軸に沿ってアーム２０に近接する方向（上方）に移動することとなる。なお、本実施形態における外部付勢装置５０は、本発明の押圧装置を構成する。また、本実施形態における内部付勢装置４５は、本発明のリッド保持手段付勢装置を構成する。
【００５８】
図６（ａ）〜（ｃ）は、図４（ａ）の矢視ＢーＢ方向から見た部品保持ユニット４０が、溶接領域４に位置する場合の断面図である。
【００５９】
電極ユニット２００は、棒状の電極受圧部材２０４と、電極受圧部材２０４を上方向に付勢する溶接電極付勢部材２０８と、電極ローラ２１０と、電極保持装置２２０を備えて構成されている。電極受圧部材２０４、電極ローラ２１０、電極保持装置２２０は、１対として、吸着ノズル４２ａに対して左右対称位置に設けられている。また、１対の電極受圧部材２０４、２０４は、連結部材２０６により連結されており、双方の電極受圧部材２０４、２０４が同時に上下方向に移動する。１対の電極受圧部材２０４は、筺体４１の内部に設けられた４つの溶接電極ガイド部材４８により図の上下方向に移動可能に支持されている。なお、吸着ノズル４２ａに上方向（アーム２０方向）の外力を受けていない状態では、１対の電極ローラ２１０、２１０の最下端は、吸着ノズル４２ａの先端（最下端）よりも上側に位置するように設置されている。換言すると、外力を受けていない場合、吸着ノズル４２ａは、１対の電極ローラ２１０、２１０よりも基台２の上面に近接するように設置されている。したがって、一対の電極ローラ２１０、２１０が存在していても、吸着ノズル４２ａは、電極ローラ２１０よりもリッド３００により近接することができ、リッド３００を保持・搬送することが可能となっている。また、溶接領域４では、部品保持ユニット４０は、連動部材２５０により、吸着ノズル４２ａ及び電極ローラ２１０を同時に下降するが、吸着ノズル４２ａが、吸着しているリッド３００をセラミック容器４００に載置した後に、電極ローラ２１０は吸着ノズル４２ａに対してさらに相対的に下降し、リッド３００に当接して、リッド３００とセラミック容器４００を仮付けできるようになっている。
【００６０】
また、溶接領域４側の上方側にある外部付勢装置５０は、押圧部材５２の先端（下端）に連動部材２５０を備えている。この連動部材２５０は、部品保持ユニット４０の筺体４１から上方に露出している受圧部材４４ａ、及び１対の電極受圧部材２０４、２０４と略同時に当接できる。従って、押圧部材５２を押し下げると、連動部材２５０によって、受圧部材４４ａ及び１対の電極受圧部材２０４、２０４の双方が同時に下降する。なお、本実施形態に係る電極ローラ２１０、連動部材２５０は、それぞれ、本発明の溶接電極及び連動機構を構成する。
【００６１】
各電極受圧部材２０４には、ストッパ片２０４Ａが設けられており、溶接電極付勢部材２０８によって、電極受圧部材２０４が上方向（アーム２０方向）に付勢された場合、ストッパ片２０４Ａが筺体４１の内側に設けられたストッパ受け４７に当接するようになっている。これによって、電極受圧部材２０４の上方向への移動が所定の位置に規制される。
【００６２】
なお、本実施形態では、以下に説明するように、溶接によって電極が摩耗した場合に、電極ローラ２１０を容易に取り外して新しい電極ローラに交換したり、または電極ローラ２１０を回転して摩耗していない部分がリッド側になるようにセットし直すことができるようになっている。
【００６３】
電極保持装置２２０は、電極受圧部材２０４の下端に設けられており、電極ローラ２１０を着脱可能に保持するものである。電極保持装置２２０は、図７に示されるように、固定部材２２２と、開閉部材２２４と、回動ピン２２６から構成されている。開閉部材２２４は、回動ピン２２６を回転軸として回動可能に、固定部材２２２に保持されている。
【００６４】
固定部材は、円弧状に切り欠かれて形成された固定側保持部２２２Ａを有し、開閉部材２２４も同様に、円弧状に切り欠かれて形成された開閉側保持部２２４Ａを有している。したがって、開閉部材２２４を、電極ローラ２１０を挟持する方向（閉じる方向）に回動させると、電極ローラ２１０は、固定部材２２２の固定側保持部２２２Ａと開閉部材２２４の開閉側保持部２２４Ａに挟持された状態で保持される（同図（ａ）参照）。
【００６５】
また、開閉部材２２４を、電極ローラ２１０を離す方向（開く方向）に回動させると、電極ローラ２１０は、固定部材２２２及び開閉部材２２４から離反する（同図（ｂ）参照）。つまり、電極ローラ２１０は、開閉部材２２４を回動させることによって、電極保持部２２０から容易に着脱することができるようになっている。したがって、電極保持装置２２０は、摩耗した電極ローラ２１０を新しい電極ローラに簡単に交換できるようになっており、または、摩耗した電極ローラ２１０を一旦取り外して、同一電極ローラの摩耗していない電極部分をリッド側になるように回転して再装着することができるようになっている。
【００６６】
次に、溶接領域４における吸着ノズル４２ａと電極ローラ２１０の動きについて詳細に説明する。
【００６７】
まず、図６（ａ）のように、回転テーブル３０を回転することによって、吸着ノズル４２ａに吸着されたリッド３００を、溶接領域４にある任意のセラミック容器４００の真上まで搬送する。
【００６８】
次に、外部付勢装置５０がカム５４を駆動することで、図６（ｂ）に示されるように、押圧部材５２を下方向に移動させる。押圧部材５２の移動とともに、連動部材２５０が下方向（スライド前方）に移動し、受圧部材４４ａ及び電極受圧部材２０４を、内部付勢装置４５及び溶接電極付勢部材２０８に打ち勝つ力で押下する。これにより、連動部材２５０は、受圧部材４４ａと電極受圧部材２０４を略同時に下降することができる。
【００６９】
受圧部材４４ａが、図６（ｂ）の下方向に移動すると、受圧部材４４ａに接続されているブラケット４４及び保持部４２が下方向に移動する。したがって、吸着ノズル４２ａに吸着されているリッド３００は、任意のセラミック容器４００の所定の位置に当接するまで下降する。
【００７０】
リッド３００が下降してセラミック容器４００に当接した後、連動部材２５０が受圧部材４４ａ、２０４をさらに押し下げると、保持部４２は、リッド３００がセラミック容器４００に押し付けられることにより受ける反力を、吸着ノズル４２ａを介してリッド３００から受ける。そして、保持部４２は、この反力を内部付勢装置４５に伝達する。圧縮バネを有して構成される内部付勢装置４５は、保持部４２から伝達された反力により圧縮される。一方、連動部材２５０で受圧部材２０４が押し下げられることによって、電極ローラ２１０は下降する。電極ローラ２１０は、吸着ノズル４２ａに保持されるリッド３００がセラミック容器４００に当接したあと、吸着ノズル４２ａに対して相対的に下降し、リッド３００に接触する。そして、電極ローラ２１０がリッド３００に当接した場合、電極ローラ２１０は、受圧部材２０４及び連結部材２０６を介して電極ローラ２１０に接続されるバネ等の溶接電極付勢部材２０８の弾性によって、リッド３００との当接による衝撃を吸収して、リッド３００に適切な押圧力を与えることができるようになっている。
【００７１】
つまり、連結部材２５０によって、受圧部材４４ａ、２０４が略同時に押し下げられ、リッド３００がセラミック容器４００に当接した場合、吸着ノズル４２ａは、それ以上、下方向へ移動できないが、更に押圧部材５２を押し下げると、図６（ｃ）に示されるように、電極ローラ２１０、２１０のみが、吸着ノズル４２ａに対して下方向に相対的に移動する。この結果、電極ローラ２１０は、セラミック容器４００に載置されるリッド３００の対辺に当接する。この後、電流発生装置（図示省略）により電極ローラ２１０に電流を流すと、ジュール熱によってリッド３００とセラミック容器４００を仮付け溶接することができる。
【００７２】
上記のように、電極ローラ２００と吸着ノズル４２ａは、個別に上下移動できるようになっている。したがって、本実施形態のリッド溶接装置１は、吸着ノズル４２ａによってリッド３００をセラミック容器４００に載置した後、電極ローラ２１０を吸着ノズル４２ａに対して下方向へ相対的に移動させて、リッド３００を仮付け溶接することができる。
【００７３】
また、吸着ノズル４２ａと電極ローラ２１０は、内部付勢装置４５、溶接電極付勢部材２０８によって弾性を有した状態で支持されるようになっている。したがって、内部付勢装置４５、溶接電極付勢部材２０８は、吸着ノズル４２ａ及び電極ローラ２１０を支持するとともに、吸着ノズル４２ａがセラミック容器４００にリッド３００を載置する際、または電極ローラ２１０をリッド３００に当接する際に、リッド３００にかかる衝撃力を吸収し、リッド３００やセラミック容器４００に大きな負荷をかけずに仮付け溶接を行うことができる。
【００７４】
図８は、回転テーブル３０を退避位置まで移動させた状態を示した左側面図である。揺動手段８０は、部品保持モジュール４０がリッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４及び廃棄領域６に対向状態となる運転位置（図２参照）と、部品保持モジュール４０がリッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４及び廃棄領域６に非対向状態となる退避位置との間を、回転テーブル３０を移動可能に構成されている。具体的には、揺動手段８０はアーム２０を略９０度回動させることで、回転テーブル３０を運転位置から退避位置に移動させる。アーム２０の回動に伴ってナット８６およびモータ８２が回動または揺動するため、揺動手段８０は、シンプルな構成でありながらも、アーム２０をスムーズに回動させることができる。本実施形態では、退避位置に移動させることによって、回転テーブル３０を基台２から大きく引き離すと共に、回転テーブル３０の下面および部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２ａ及び電極ユニット２００の先端を側方に向けて開放するようにしている。このようにすることで、吸着ノズル４２ａ及び電極ユニット２００のメンテナンスや、基台２に配設されたリッド供給装置１０、セラミック容器供給装置１００及び姿勢情報取得手段７０等のメンテナンスを容易に行うことができる。
【００７５】
次に、リッド溶接装置１の作動について説明する。図９（ａ）〜（ｆ）は、リッド溶接装置１の作動を示した平面図である。なお、説明を容易にするため、４つの部品保持ユニット４０に部品保持ユニット４０Ａ〜４０Ｄの番号を付することにし、主として、部品保持ユニット４０Ａの動作について説明する。なお、他の部品保持ユニット４０Ｂ〜４０Ｄは、部品保持ユニット４０Ａと同じ動作となるので、説明を省略する。
【００７６】
まず、図９（ａ）に示されるように、リッド供給装置１０は、バルク状態で投入されたリッド３００の方向や姿勢を整えながら、リッド３００をリッド供給装置１０のリッド保持位置１１近傍に設定されたリッド供給領域３まで搬送する。
【００７７】
リッド供給装置１０によって、リッド３００がリッド供給領域３まで搬送された後（又は略同時）に、回転テーブル３０を反時計回りに略９０°回転し、部品保持ユニット４０Ａの吸着ノズル４２ａをリッド供給領域３に搬送されたリッド３００に対向する位置まで移動させる（図９（ｃ）参照）。なお、図９（ｂ）に示されるように、回転テーブル３０が回転している途中では、リッド供給領域３及び溶接領域４の上方が開放されていることから、この間に、リッド確認カメラ１３によってリッド供給領域３上のリッド３００を画像認識し、更に容器確認カメラ１４によって溶接領域４のセラミック容器４００状態を画像認識しておく。このように、吸着前にリッド３００の状態を画像認識することで、吸着ミスを低減することが可能となる。
【００７８】
回転テーブル３０は、略９０度回転した後に、同図（ｃ）に示されるように、所定の時間静止する。回転テーブル３０が静止している間に、外部付勢装置５０が部品保持ユニット４０Ａの受圧部材４４ａを押圧することにより、リッド供給領域３にある部品保持ユニット４０Ａの保持部４２を下降させ、吸着ノズル４２ａをリッド供給領域３に搬送されたリッド３００に近接させる。そして、部品保持ユニット４０Ａに対応する切替バルブ３７が吸着ノズル４２ａと真空ポンプを連通させることにより、吸着ノズル４２ａがリッド３００を吸着して保持する。その後、外部付勢装置５０による受圧部材４４ａの押圧を解除する（若しくは受圧部材４４ａへの押圧力を緩める）ことで、内部付勢装置４５による付勢力により、保持部４２が上昇する。
【００７９】
次に、回転テーブル３０は、再び反時計回りに略９０度回転して、再び所定の時間静止する（同図（ｄ）参照）。これにより、部品保持ユニット４０Ａに保持されたリッド３００は、姿勢情報取得領域５に対向する位置に搬送される。回転テーブル３０が静止している間に、姿勢情報取得手段７０は、部品保持ユニット４０Ａの吸着ノズル４２ａに保持されているリッド３００を撮像する。回転テーブル３０が回転している間には、上記同様に、リッド供給装置１０は、次のリッド３００をリッド供給領域３（部品保持ユニット４０Ｂの吸着ノズル４２ａの真下）に搬送する。そして、回転テーブル３０が静止している間には、上記同様に、リッド供給領域３に対向する位置にある部品保持ユニット４０Ｂの吸着ノズル４２ａが、リッド供給領域３に搬送されたリッド３００を吸着して保持する。
【００８０】
次に、回転テーブル３０は、再び反時計回りに略９０度回転する（同図（ｅ）参照）。回転テーブル３０が回転している間に、部品保持ユニット４０Ａの保持部自転駆動手段４３が、保持姿勢撮像手段７０によって撮像された画像情報に基づいて部品保持ユニット４０Ａの保持部４２を適切な角度だけ自転させ、吸着ノズル４２ａに保持されたリッド３００の姿勢を整える。これにより、溶接領域４のセラミック容器４００にリッド３００を正確に載置できるように整える。
【００８１】
次に、回転テーブル３０が、反時計回りに略９０°回転した後、再び所定の時間静止する（同図（ｅ）参照）。これにより、部品保持ユニット４０Ａに保持されているリッド３００は、溶接領域４に到着する。セラミック容器供給装置１００は、上述した容器確認カメラ１４により撮影した溶接領域４にあるセラミック容器４００の位置認識結果に基づいて、セラミック容器４００をＸ−Ｙ方向に移動して位置補正を行う。セラミック容器４００の位置補正は、容器確認カメラ１４が、溶接領域４にあるセラミック容器４００の位置認識を行った後、連動部材２５０による受圧部材４４ａ、電極受圧部材２０４を下降させる前に行うことが好ましい。そして、回転テーブル３０が静止している間に、外部付勢装置５０の連動部材２５０が、部品保持ユニット４０Ａの受圧部材４４ａ及び電極受圧部材２０４を略同時に押圧する。外部付勢装置５０が、受圧部材４４ａ及び電極受圧部材２０４を略同時に押圧すると、部品保持ユニット４０Ａの保持部４２及び電極ローラ２１０が略同時に下降し、まず初めに、吸着ノズル４２ａで保持したリッド３００を溶接領域４に搬送されたセラミック容器４００に載置する。その後、吸着ノズル４２ａとともに下降する電極ローラ２１０が、リッド３００の対辺に当接する。
【００８２】
電極ローラ２１０が、セラミック容器４００の上に載置されたリッド３００に当接した後、電流発生装置（図示省略）により任意の電流を電極ローラ２１０に流して、セラミック容器４００とリッド３００を仮付け溶接する。なお、この状態では、セラミック容器４００とリッド３００は、当接している２か所をスポット的に溶接されているのみで、いわゆる仮付け溶接の状態となっている。また、上記でリッド３００をセラミック容器４００に仮付け溶接した後、容器確認カメラ１４によりリッド３００とセラミック容器４００の溶接状態を撮影し、溶接状態の良否判断するようにしても好ましい。つまり、容器確認カメラ１４で撮影したリッド３００とセラミック容器４００の画像情報に基づいて、位置ずれなどにより溶接状態が不良と判断した場合、溶接領域４に待機している部品保持ユニット４０Ａは、吸着ノズル４２ａにより、不良判断されたリッド３００とセラミック容器４００を吸着し、回転テーブル３０が、さらに９０°反時計回りに回転した位置に待機している廃棄トレイ３５０側に放出する。
【００８３】
次に、回転テーブル３０は、再び反時計方向に略９０°回転する。なお、保持姿勢撮像手段７０によって撮像された画像情報に基づいて、姿勢の制御が不可能と判断されるリッド３００については、溶接領域４において仮付け溶接を行わずに、この段階でリッド３００を廃棄トレイ３５０側に放出する（同図（ｆ）参照）。
【００８４】
以上、リッド溶接装置１は、上記動作を繰り返すことによって、リッド供給装置１０にバルク状態で供給されたリッド３００をリッド供給領域３で１つずつ取り出して、時計回り又は反時計回りの１方向に回転搬送し、溶接領域４において、セラミック容器４００にリッド３００を仮付け溶接する。このリッド溶接装置１では、吸着ノズル４２ａに保持されたリッド３００の姿勢の調整を回転テーブル３０の回転中に行うため、無駄な待ち時間が発生しないようになっている。このため、リッド溶接装置１は、リッド供給装置１０へバルク状態で供給された複数のリッド３００の中から１つのリッド３００を適切に取り出し、且つ姿勢を整えた上で、高速にセラミック容器４００に仮付けできる。なお、本実施形態における部品保持ユニット４０Ａ〜４０Ｄは、本発明の第１の部品保持ユニット〜第４の部品保持ユニットを構成する。
【００８５】
更にこのリッド溶接装置１は、吸着ノズル４２ａや電極ローラ２１０を有する部品保持ユニット４０が回転テーブル３０の周方向に複数設けられている。したがって、いずれかの部品保持ユニット４０がリッド３００を吸着保持する工程と、他の部品保持ユニット４０がリッド３００とセラミック容器４００を仮付け溶接する工程を同じ静止時間中に同時に行うことができる。
【００８６】
また、このリッド溶接装置１は、いずれかの部品保持ユニット４０が保持するリッド３００の姿勢情報を取得する姿勢情報取得手段７０を備えている。姿勢情報取得手段７０は、姿勢情報取得領域５において、吸着ノズル４２ａに吸着されたリッド３００の方向や角度等の姿勢情報を取得する。この姿勢情報に基づいて、姿勢修正不可能と判断した場合には、廃棄領域６においてこのリッド３００を廃棄する。以上のことから、部品保持ユニット４０は、回転テーブル３０の周方向に９０°間隔で４か所に配設されることで、いずれかの部品保持ユニット４０が、リッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４及び廃棄領域６にそれぞれ位置するように構成されている。したがって、リッド３００を保持する工程と、リッド３００の姿勢情報を判断して姿勢調整を行う工程と、姿勢調整後のリッド３００セラミック容器４００に仮付け溶接する工程と、姿勢不具合と判断したリッド３００の廃棄を行う工程を、同じ静止時間に同時に行うことができる。従って、リッド溶接装置１は、回転テーブル３０を回転することで、リッド３００の供給から仮付け溶接までの動作を極めて速度に実行できる。
【００８７】
また、リッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４、廃棄領域６は、この順番で、部品保持ユニット４０の１方向に回転する回転経路上に順番に設けられている。したがって、リッド溶接装置１は、回転テーブル３０を回転することで、部品保持ユニット４０をリッド供給領域３から廃棄領域６まで順番に搬送することができ、これらの工程を確実に行うことができる。
【００８８】
また、部品保持ユニット４０は、筺体内４１内で上下方向に移動可能で、且つ自転可能に支持される保持部４２と、保持部４２を自転させる保持部自転駆動手段４３と、保持部４２を上方向（アーム２０方向）に付勢する内部付勢装置４５を備えている。さらに、部品保持ユニット４０は、リッド供給領域３及び溶接領域４において、内部付勢装置４５の付勢力に逆らって保持部４２に接続される受圧部材４４ａを押圧する外部付勢装置５０を有している。これによって、外部付勢装置５０は、受圧部材４４ａを押圧することで、保持部４２を下方向（基台２に近接する方向）に押し下げることができる。また、外部付勢装置５０による受圧部材４４ａへの押圧を解除すると、内部付勢装置４５によって、保持部４２は上方向に押し上げられるようになっている。これによって、部品保持ユニット４０は、リッド供給領域３において、外部付勢装置５０を駆動させて吸着ノズル４２ａを下降させてリッド３００を吸着保持し、溶接領域４において、吸着ノズル４２ａを下降させてリッド３００をセラミック容器４００に載置することができる。したがって、各部品保持ユニット４０に、吸着ノズル４２ａの上下移動をさせるためのモータを個別に設ける必要がなく、装置の構造を簡易化するとともに、装置の小型化と設備コストの削減を行うことができる。
【００８９】
また、電極ユニット２００は、電極受圧部材２０４と、溶接電極付勢部材２０８と、電極ローラ２１０を有して構成され、電極受圧部材２０４は、筺体４１に配設されている溶接電極ガイド部材４８によって上下方向に移動可能に支持されるとともに、溶接電極付勢部材２０８によって上方向に付勢されている。また、溶接領域４における外部付勢装置５０は、受圧部材４４ａと電極受圧部材２０４を略同時に押圧する連動部材２５０を有している。この結果、外部付勢装置５０は、連動部材２５０を用いて吸着ノズル４２ａと電極ローラ２１０を略同時に下降することができるので、吸着ノズル４２ａと電極ローラ２１０を上下移動させる為のモータ等の駆動手段を、個別に設ける必要がなく、部品保持ユニット４０の構造を簡易化することができるとともに、装置の小型化及び低コスト化を実現することができる。
【００９０】
また、吸着ノズル４２ａに外力が働いていない場合、吸着ノズル４２ａは、電極ローラ２１０よりも下方向（基台２に近接する方向）に突出している。これにより、リッド供給領域３において、リッド供給装置１０からリッド３００を吸着する場合、電極ローラ２１０が邪魔にならないで済む。更に、リッド３００をセラミック容器４００に仮付け溶接する場合、先に、吸着ノズル４２ａを下降させてリッド３００をセラミック容器４００上に固定し、その状態を維持したまま、電極ローラ２１０を相対的に更に下降させてリッド３００に当接するようになっている。したがって、本実施形態の部品保持ユニット４０は、吸着ノズル４２ａと電極ローラ２１０の下降順序は機構的に決められており、複雑な制御を行うための装置を必要としない。
【００９１】
また、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１は、リッド供給領域３に次のリッド３００を搬送するリッド供給装置１０と、溶接領域４に溶接前のセラミック容器４００を搬送するセラミック容器供給装置１００と、をさらに備えている。従って、回転テーブル３０が回転して、任意の部品保持ユニット４０がリッド供給領域３に停止する前に、次のリッド３００をリッド保持位置１１に供給するようになっている。また、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置１は、回転テーブル３０が回転して、部品保持ユニット４０が溶接領域４に停止する前に、セラミック容器供給装置１００が次のセラミック容器４００を溶接領域４に移動させるようになっている。したがって、無駄な時間を排除し、動作を高速にすることができる。
【００９２】
なお、本実施形態に係る搬送装置１は、４つの部品保持ユニット４０を備えているが、本発明はこれに限定されるものではなく、その他の個数の部品保持ユニット４０を備えるようにしてもよい。
【００９３】
また、保持部４２は、吸着ノズル４２ａを下方に向けているが、これに限定されるものではなく、吸着ノズル４２ａを側方や上方に向けるものであってもよい。さらに、保持部４２は、吸着ノズル４２ａを備えるものに限定されるものではなく、例えば部品をチャックによって把持する構造のものであってもよい。
【００９４】
また、回転テーブル３０は、運転位置において回転の中心軸が上下方向となるように配設されているが、これに限定されるものではなく、運転位置における回転の中心軸が水平方向や斜め方向となるように配設されるものであってもよい。また、回転テーブル３０は、本実施形態に示される形状以外の形状であってもよい。
【００９５】
また、切替バルブ３７は、真空ポンプと吸着ノズル４２ａを遮断すると同時に、吸着ノズルを大気開放状態とするものを示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、真空ポンプと吸着ノズル４２ａを遮断すると共に、吸着ノズル４２ａをコンプレッサ等の高圧源と連通させるものであってもよい。このようにすることで、吸着ノズル４２ａからの部品の解放をより高速に行うことができる場合がある。
【００９６】
また、本実施形態では、切替バルブ３７として電磁弁を採用しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の切替構造を採用することも可能である。
【００９７】
また、整列トレイ移動手段１０２、姿勢情報取得手段７０および溶接検査装置１１０は、中央制御装置９０によって直接制御されるものに限定されるものではなく、それぞれに専用の制御装置を設けるようにしてもよい。
【００９８】
また、アーム２０は、基台２に配設されるものに限定されるものではなく、他の部材に配設されるものや、独立して設置されるものであってもよい。さらに、アーム２０は、揺動以外の動作を可能に構成されるものであってもよい。例えば、上下方向のみの移動であっても良く、また、上下方向に直線移動した後に揺動するようにしても良い。更に、または複数の異なる回転軸を中心に揺動もしくは回動するようにアーム２０を構成してもよい。
【００９９】
また、リッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４および廃棄領域６の位置は、本実施形態において示した位置に限定されるものではなく、他の位置に配置するようにしてもよい。さらに、部品の加工組立や検査等を行う領域を搬送途中に設けるようにしてもよい。
【０１００】
また、回転テーブル３０の回転は、９０°回転するごとに静止する間欠回転に限定されるものではなく、部品保持ユニット４０がリッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４および廃棄領域６に対向する位置にある場合にも、回転テーブル３０を低速で回転させ続けるようにしてもよい。この場合、リッド供給装置とセラミック容器供給装置は、回転テーブル３０と反対方向で、且つ同速度で回転する回転テーブルとすることが好ましい。つまり、リッド供給領域３では、回転テーブル３０に配置される吸着ノズル４２ａは、自身と同じ方向、且つ同じ速度で移動（回転テーブル３０と反対方向に回転）するリッド供給装置に供給されるリッドを回転中に吸着することができる。また、溶接領域４では、部品保持ユニット４０は、吸着ノズル４２ａに吸着しているリッド３００を、リッド３００と同じ方向、且つ同速度で移動（回転テーブル３０と反対方向に回転）するセラミック容器供給装置に供給されるセラミック容器に、回転中に溶接することができる。
【０１０１】
また、回転テーブル３０の間欠的な回転を、カムにより行っても好ましい。この場合、カムによる回転テーブル３０の回転静止位置を、リッド供給領域３、溶接領域４となるようにカムのプロファイルを決定する。
【０１０２】
なお、吸着ノズル４２ａに上下方向の弾性を持たせるようにしても好ましい。例えば、第２実施形態の吸着ノズル４２ａは、下側ノズル部材４２ａ１と上側ノズル部材４２ａ２と、バネ等の弾性部材４２ａ３を有して構成されている（図１０参照）。下側ノズル部材４２ａ１の一部は、上側ノズル部材４２ａ２に対してスライド可能に構成されている。そして、下側ノズル部材４２ａ１と上側ノズル部材４２ａ２の間には、弾性部材４２ａ３が設けられている。また、下側ノズル部材４２ａ１の外径と上側ノズル部材４２ａ２の内径の間には、パッキン４２ａ４が設けられている。パッキン４２ａ４は、空気の漏れを防止し、リッド３００を吸着するための負圧が逃げないようになっている。
【０１０３】
弾性部材４２ａ３は、圧縮バネであり、下側ノズル部材４２ａ１は、上側ノズル部材４２ａ２に対して、吸着方向に付勢されるようになっている。
【０１０４】
上記の構成により、部品保持ユニット４０がリッド３００をセラミック容器４００に溶接する場合、リッド３００がセラミック容器４００に当接することにより、吸着ノズル４２ａの下側ノズル部材４２ａ１がリッド３００から衝撃を受ける。この際、下側ノズル部材４２ａ１は、上側ノズル部材４２ａ２に対して相対に上側にスライドするとともに、弾性部材４２ａ３によりその衝撃が吸収される。前述の第１実施形態では、吸着ノズル４２ａは、内部付勢装置４５によって弾性を持たせて支持されている。しかし、内部付勢装置４５は、質量の大きい保持部４２やブラケット４４を支持するために、バネ係数が大きく、堅いバネを使用しなければならない。したがって、細くて長い吸着ノズル４２ａを十分変形させることができる程度の比較的小さい衝撃力が吸着ノズル４２ａに加わった場合、内部付勢装置４５の弾性が機能する前に、吸着ノズル４２ａが変形してしまう可能性がある。
【０１０５】
したがって、上記のように吸着ノズル４２ａ自体に弾性を持たせることによって、リッド３００とセラミック容器４００を溶接する際、吸着ノズル４２ａが受ける比較的小さな衝撃力は、弾性部材４２ａ３が適切に吸収することができる。また、吸着ノズル４２ａが大きな衝撃力を受けた場合、衝撃が比較的小さい初期段階は、弾性部材４２ａ３が吸着ノズル４２ａの衝撃力を吸収し、その後、内部付勢装置４５が大きな衝撃力を吸収する。つまり、弾性部材４２ａ３と内部付勢装置４５によって、吸着ノズル４２ａの受ける衝撃力を段階的に吸収することができる。
【０１０６】
また、上記実施形態では、部品保持ユニット４０を回転テーブル３０の周囲に９０°間隔で４個設けた場合を示したが、部品保持ユニット４０の数や配置間隔は上記の実施形態に限定されるものではない。例えば、図１１に示されるように、回転テーブル３０の周囲に部品保持ユニット４０を４５°間隔で８個設ける用にしても好ましい。なお、同図では、説明の便宜のため、リッド供給領域３に位置する部品保持ユニットを部品保持ユニット４０Ａとして、時計回りに部品保持ユニット４０Ｂ〜４０Ｈの番号を付する。また、各装置の構造や機能は、上記の実施形態で説明した装置等と同じであるので、可能な限り図示及び説明を省略する。
【０１０７】
まず、部品保持ユニット４０Ａは、外部付勢装置５０により受圧部材４４ａを押下され、吸着ノズル４２ａを下降し、リッド供給装置１０によりリッド供給領域３に搬送されたリッド３００を吸着保持する（図１１（ａ）参照）。
【０１０８】
次に、回転テーブル３０は、反時計回りに約４５°回転する（同図（ｂ）参照）。リッド供給装置１０は、回転テーブル３０の回転により、部品保持ユニット４０Ａと部品保持ユニット４０Ｂの間に設けられた干渉回避空間３０Ａの間に、リッド供給領域３上に配設されたリッド位置確認カメラ１３により撮像された、リッド３００の位置の画像情報に基づいて、位置ずれがある場合には位置補正を加えながらリッド３００をリッド供給領域３に搬送する。また、部品保持ユニット４０Ｂは、外部付勢装置５０により受圧部材４４ａを押下され、吸着ノズル４２ａを下降し、リッド供給領域３のリッド３００を吸着保持する。また、セラミック容器供給装置１００は、回転テーブル３０の回転により、部品保持ユニット４０Ｅと部品保持ユニット４０Ｆの間に設けられた干渉回避空間３０Ｅの間に、容器確認カメラ１４により、セラミック容器供給装置１００に搬送されるセラミック容器４００の位置を撮影し、セラミック容器４００の位置が所定の位置からずれている場合は、位置補正を加えながらセラミック容器４００を溶接領域４に搬送する。なお、以下の工程においても、リッド位置確認カメラ１３、容器確認カメラ１４により、所定の位置確認を行い、リッド供給領域３におけるリッド３００の位置、溶接領域４におけるセラミック容器４００の位置の補正を行うが、ここでは省略する。
【０１０９】
その後、回転テーブル３０は、さらに反時計回りに約４５°回転する（同図（ｃ）参照）。この時、部品保持ユニット４０Ａの吸着ノズル４２ａに保持されるリッド３００は、姿勢情報取得領域５に位置し、姿勢情報取得手段７０により、吸着ノズル４２ａの下側にからリッド３００の保持姿勢（角度）を撮影される。そして、姿勢情報取得手段７０は、撮影した画像情報を中央制御装置９０に送信する。中央制御装置９０は、画像情報に基づいて、保持部自転駆動手段４３により、保持部４２の吸着ノズル４２ａを回転させて、リッド３００の角度を所定の角度に補正する。この時、リッド供給装置１０は、リッド供給領域３に新たなリッド３００を搬送する。そして、リッド供給領域３にある部品保持ユニット４０Ｃは、外部付勢装置５０により受圧部材４４ａを押下され、吸着ノズル４２ａを下降し、リッド供給領域３に搬送されたリッド３００を吸着保持する。
【０１１０】
その後、回転テーブル３０は、さらに反時計回りに約４５°回転する（同図（ｄ）参照）。この時、部品保持ユニット４０Ｂは、姿勢情報取得領域５に位置している。姿勢情報取得手段７０は、吸着ノズル４２ａに保持しているリッド３００の姿勢の画像情報を取得し、中央制御装置９０に送信する。中央制御装置９０は、画像情報に基づいて、部品保持ユニット４０Ｂの吸着ノズル４２ａに保持されるリッド３００の姿勢補正を行う。また、リッド供給装置１０は、新たなリッド３００をリッド供給領域３へ搬送する。そして、リッド供給領域３に搬送された部品保持ユニット４０Ｄは、外部付勢装置５０により受圧部材４４ａを押下され、吸着ノズル４２ａを下降し、リッド供給領域３にあるリッド３００を吸着保持する。
【０１１１】
その後、回転テーブル３００は、さらに反時計回りに約４５°回転する（図１２（ａ）参照）。部品保持ユニット４０Ａは、溶接領域４に配設されている外部付勢装置５０により受圧部材４４ａ及び２つの電極受圧部材２０４を同時に押下され、吸着ノズル４２ａ及び電極ローラ２１０を同時に下降する。そして、部品保持ユニット４０Ａは、吸着ノズル４２ａで保持しているリッド３００を溶接領域４に搬送されたセラミック容器４００に搭載した後、電極ローラ２１０をリッド３００の上から所定の押圧力で当接して、溶接電流を流すことにより仮付け溶接を行う。なお、溶接領域４に配設されるＣＣＤカメラ（例えば、容器確認カメラ１４）等で撮影した画像情報に基づいて、リッド３００とセラミック容器４００の溶接状態を判定する。その結果、不合格品と判定された場合、部品保持ユニット４０Ａは、吸着ノズル４２ａでリッド３００とセラミック容器４００の溶接不合格品を吸着保持したまま回転し、廃棄領域６に配置される廃棄トレイ３５０まで搬送する。この時、部品保持ユニット４０Ｃは、姿勢情報取得領域５に位置している。姿勢情報取得手段７０は、部品保持ユニット４０Ｃに保持されているリッド３００の姿勢を撮影し、画像情報を中央制御部９０へ送信する。中央制御部９０は、取得した画像情報に基づいて部品保持ユニット４０Ｃの吸着ノズル４２ａに保持されるリッド３００の姿勢補正を行う。また、この時、リッド供給装置１０は、新たなリッド３００をリッド供給領域３に搬送する。そして、リッド供給領域３の真上にある部品保持ユニット４０Ｅは、外部付勢装置５０により受圧部材４４ａを押下され、吸着ノズル４２ａを下降し、リッド供給領域３にあるリッド３００を吸着保持する。
【０１１２】
その後、回転テーブル３００は、さらに反時計回りに約４５°回転する（図１２（ｂ）参照）。この時、部品保持ユニット４０Ｂは、溶接領域４の上に搬送される。部品保持ユニット４０Ｂは、外部付勢装置５０により、吸着ノズル４２ａ及び電極ローラ２１０を同時に下降する。そして、吸着ノズル４２ａに吸着されているリッド３００を溶接領域４に搬送されたセラミック容器４００に搭載した後、電極ローラ２１０をリッド３００の上に当接し、溶接電流を流して、リッド３００とセラミック容器４００の仮付け溶接を行う。なお、前述したように、溶接領域４に配置されるＣＣＤカメラ等で、リッド３００とセラミック容器４００の溶接状態を撮影し、溶接状態の合否判定を行う。溶接後のリッド３００とセラミック容器４００の溶接状態が不合格と判定された場合、部品保持ユニット４０Ｂは、吸着ノズル４２ａで不合格品を吸着保持したまま、廃棄領域６に配置さる廃棄トレイ３５０まで搬送する。この時、部品保持ユニット４０Ｄは、姿勢情報取得領域５に位置している。姿勢情報取得手段７０は、部品保持ユニット４０Ｄに保持されているリッド３００の姿勢を撮影し、画像情報を中央制御部９０へ送信する。中央制御部９０は、取得した画像情報に基づいて部品保持ユニット４０Ｄの吸着ノズル４２ａに保持されるリッド３００の姿勢補正を行う。また、この時、リッド供給装置１０は、新たなリッド３００をリッド供給領域３に搬送する。そして、リッド供給領域３の真上にある部品保持ユニット４０Ｆは、外部付勢装置５０により受圧部材４４ａを押下され、吸着ノズル４２ａを下降し、リッド供給領域３にあるリッド３００を吸着保持する。
【０１１３】
その後、回転テーブル３００は、さらに反時計回りに約４５°回転する（図１２（ｃ）参照）。部品保持ユニット４０Ａは、廃棄領域６の上に搬送される。ここで、部品保持ユニット４０Ａは、リッド３００とセラミック容器４００の溶接不合格品を保持している場合、廃棄領域６に配置されている廃棄トレイ３５０に不合格品を放出する。この時、部品保持ユニット４０Ｃは、溶接領域４に配置される。そして、セラミック容器供給装置１００により溶接領域４に搬送されたセラミック容器４００と、自身の吸着ノズル４２ａが保持するリッド３００を溶接する。そして、ＣＣＤカメラ等で溶接状態を確認し、溶接不具合品と判定された場合、部品保持ユニット４０Ｃは、吸着ノズル４２ａにより溶接不具合品を吸着保持し、そのまま回転して、廃棄領域６に配置される廃棄トレイ３５０まで不具合品を搬送する。また、この時、部品保持ユニット４０Ｅは、姿勢情報取得領域５に位置している。部品保持ユニット４０Ｅの吸着ノズル４２ａに保持されているリッド３００は、姿勢情報取得手段７０により保持姿勢を撮像される。そして、中央制御部９０は、撮像されたリッド３００の画像情報に基づいて、部品保持ユニット４０Ｅの吸着ノズル４２ａを回転させて、リッド３００の姿勢を補正する。さらに、この時、部品保持ユニット４０Ｇは、回転テーブル３０が回転している間に、リッド供給装置１０によりリッド供給領域３に搬送されたリッド３００を吸着する。
【０１１４】
その後、回転テーブル３００は、さらに反時計回りに約４５°回転する（図１２（ｄ）参照）。この時、部品保持ユニット４０Ｂは、廃棄領域６に位置し、部品保持ユニット４０Ｂがリッド３００とセラミック容器４００の不具合品を保持している場合、廃棄領域６に配置される廃棄トレイ３５０に不具合品を放出する。また、この時、部品保持ユニット４０Ｄは、溶接領域４に位置する。部品保持ユニット４０Ｄは、回転テーブル３０が回転している間に、セラミック容器供給装置１００により溶接領域４に搬送されたセラミック容器４００に、自身が保持しているリッド３００を搭載し、その後仮付け溶接を行う。なお、中央制御部９０は、リッド３００とセラミック容器４００の溶接状態の合格又は不合格をＣＣＤカメラ等で撮影した画像情報に基づいて判定し、不合格と判定した場合は、部品保持ユニット４０Ｄの吸着ノズル４２ａに不合格品を吸着保持させ、そのまま廃棄領域６に配置される廃棄トレイ３５０まで搬送する。さらに、この時、部品保持ユニット４０Ｆは、吸着ノズル４２ａで保持しているリッド３００の姿勢情報に基づいて、姿勢がずれている場合は、吸着ノズル４２ａを回転させてリッド３００の姿勢補正を行う。この時、回転テーブル３０が回転している間に、リッド供給装置１０は、リッド供給領域３に新たなリッド３００を搬送する。そして、リッド供給領域３に搬送された部品保持ユニット４０Ｆは、リッド供給領域３に搬送されたリッド３００を吸着保持する。
【０１１５】
そして、次に、回転テーブル３０を回転させると、部品保持ユニット４０Ａは、１回転してリッド供給領域３に搬送される。この後は、各部品保持ユニットに対して、上記と同様の工程が行われる。
【０１１６】
つまり、上記実施形態に係るターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、全く同じ構成から成る部品保持ユニット４０を回転テーブル３０の周囲に設けるとともに、各部品保持ユニット４０には、保持部４２の先端に設けられた吸着ノズル４２ａを回転するための駆動機構（例えば、保持部自転駆動手段４３）を個別に備えている。また、各部品保持ユニット４０には、吸着ノズル４２ａをスライドするためのスライド機構（例えば、筐体４１に設けられた支持部材４１Ａにより保持部４２を往復移動自在に保持し、保持部４２に接続されたブラケット４４の受圧部材４４ａを上下移動することにより保持部４２を上下方向に往復移動させる構造）が設けられている。一方、吸着ノズル４２ａ又は電極ローラ２１０を上下移動する駆動装置（例えば、外部付勢装置５０）は、リッド供給領域３と溶接領域４の上で、且つ部品保持ユニット４０とは、別体として設けられている。したがって、上記実施形態のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、全く同じ構図の部品保持ユニット４０を回転テーブル３０の周囲に設けることにより、全ての部品保持ユニット４０が等しくリッドの吸着保持、リッドの姿勢調整及びリッドとセラミック容器の仮付け溶接を行うことができ、効率的に且つ高速で各工程を実行することができる。
【０１１７】
また、上記実施形態で示すように、部品保持ユニット４０の吸着ノズル４２ａの１方向に回転する回転経路上にリッド供給領域３、姿勢情報取得領域５、溶接領域４、廃棄領域６を順番に設け、いずれか１つの領域（例えば、リッド供給領域３）に１の部品保持ユニット４０が位置する場合、少なくとも他の３つの領域に他の部品保持ユニット４０が位置するようになっている。つまり、複数の工程を同時に行うことが可能で、リッドの供給から溶接までの工程を高速でおこなうことができる
【０１１８】
なお、上記はリッド３００をセラミック容器４００に溶接する場合について説明したが、吸着ノズル４２ａによってリッド３００を吸着する際に、吸着ノズル４２ａがリッド３００に当接した場合や、吸着ノズル４２ａに不測の衝撃を受けた場合にも同様の効果があることは言うまでもない。
【０１１９】
尚、本発明のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【０１２０】
本発明は、パッケージとリッドなどの電子部品の溶接の分野において幅広く利用することができる。
【符号の説明】
【０１２１】
１ ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置
３ リッド供給領域
４ 溶接領域
５ 姿勢情報取得領域
６ 廃棄領域
１０ リッド供給装置
２０ アーム
３０ 回転テーブル
４０ 部品保持ユニット
４２ａ 吸着ノズル
５０ 外部付勢装置
６０ 回転テーブル駆動手段
７０ 姿勢情報取得手段
８０ 揺動手段
９０ 中央制御装置
１００ セラミック容器供給装置
２００ 電極ユニット
２１０ 電極ローラ
２２０ 電極保持装置
３００ リッド
３５０ 廃棄トレイ
４００ セラミック容器
【特許請求の範囲】
【請求項１】
時計回り又は反時計回りの１方向に回転する回転テーブルと、
前記回転テーブルの周方向に複数設けられ、リッドを保持するリッド保持手段、及び前記リッド保持手段に隣接する溶接電極を有する部品保持ユニットと、
前記回転テーブルの回転による前記部品保持ユニットの回転経路上に位置するリッド供給領域に対して、溶接前のリッドを搬送するリッド供給装置と、
前記部品保持ユニットの回転経路上に位置する溶接領域に対して、溶接前の容器を搬送する容器供給装置と、
を備え、
前記回転テーブルが回転することにより、１の前記部品保持ユニットの前記リッド保持手段が、前記リッド供給領域の上に位置する際に、少なくとも他の１つの前記部品保持ユニットの前記リッド保持手段は、前記リッドを保持した状態で前記溶接領域の上に位置することを特徴とする、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項２】
前記部品保持ユニットは、前記リッド保持手段を回転可能、且つリッド方向にスライド可能に支持するとともに、前記リッド保持手段を回転させるリッド保持手段回転装置を備えることを特徴とする、
請求項１に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項３】
前記部品保持ユニットは、前記リッド保持手段をスライド可能に支持するリッド保持手段ガイド部材、及び前記リッド保持手段を押し上げ方向に付勢するリッド保持手段付勢部材を備えており、
更に、前記リッド供給領域上及び前記溶接領域上には、前記リッド保持手段を押し下げる為の押下装置がそれぞれ固定配置されており、
前記リッド保持手段付勢部材の付勢力に抗して、前記押下装置が前記リッド保持手段を押し下げることで、前記リッド供給領域における前記リッドの保持、及び前記溶接領域における前記リッドの前記容器への搭載を行うことを特徴とする、
請求項１又は２に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項４】
前記部品保持ユニットは、前記溶接電極をスライド可能に支持する溶接電極ガイド部材、及び前記溶接電極を押し上げ方向に付勢する溶接電極付勢部材を備えており、
前記部品保持ユニット又は前記溶接領域上の前記押下装置には、前記リッド保持手段と前記溶接電極を同時にスライドさせる連動機構が設けられており、
前記溶接領域上の前記押下装置が前記部品保持ユニットに押し下げ力を付与することで、前記リッド保持手段と前記溶接電極が同時に押し下げられることを特徴とする、
請求項３に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項５】
前記部品保持ユニットの回転経路上に位置する姿勢情報取得領域において、前記部品保持ユニットが保持している前記リッドの姿勢情報を取得する姿勢情報取得手段をさらに備え、
少なくとも３つの前記部品保持ユニットが、前記リッド供給領域、前記溶接領域、及び前記姿勢情報取得領域に同時に位置するようになっていることを特徴とする、
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項６】
前記姿勢情報に基づいて、前記リッドの姿勢の良否を判定する姿勢判定手段を更に有し、
前記部品保持ユニットの回転経路上には、前記姿勢判定手段により不具合姿勢と判定された前記リッドを廃棄する廃棄領域が設けられており、
前記部品保持ユニットは、前記回転テーブルの周方向に一定の間隔で少なくとも４か所に配設されており、
４つの前記部品保持ユニットが、前記リッド供給領域、前記姿勢情報取得領域、前記溶接領域、及び前記廃棄領域に同時に位置することを特徴とする、
請求項５に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項７】
前記リッド供給領域、前記姿勢情報取得領域、前記溶接領域及び前記廃棄領域は、時計回り又は反時計回りの一方向に、この順番で、前記部品保持ユニットの回転経路上に設けられていることを特徴とする、
請求項６に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項８】
前記部品保持ユニットは、前記リッド保持手段が保持する前記リッドが前記容器に当接した際に、前記溶接電極のみをスライドさせて、前記容器上の前記リッドに前記溶接電極を当接させることを特徴とする、
請求項１乃至７のいずれか１項に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項９】
前記リッド保持手段は、前記溶接電極よりも前記容器に近接する位置に設けられ、
前記リッド保持手段及び前記溶接電極は、前記リッド保持手段ガイド部材及び前記溶接電極ガイド部材に沿って、それぞれ個別にスライドするように構成され、
前記溶接領域において、該溶接領域上に設けられた前記押下装置の連動機構により、前記リッド保持手段及び前記溶接電極が同時に押し下げられた場合、前記リッドが前記容器に当接することによって、前記リッド保持手段が、前記リッド保持手段ガイド部材に沿って前記溶接電極に対して相対的に上方に移動し、前記溶接電極が、前記リッドに当接して前記リッドと前記容器の溶接をすることを特徴とする、
請求項４乃至８のいずれか１項に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項１】
時計回り又は反時計回りの１方向に回転する回転テーブルと、
前記回転テーブルの周方向に複数設けられ、リッドを保持するリッド保持手段、及び前記リッド保持手段に隣接する溶接電極を有する部品保持ユニットと、
前記回転テーブルの回転による前記部品保持ユニットの回転経路上に位置するリッド供給領域に対して、溶接前のリッドを搬送するリッド供給装置と、
前記部品保持ユニットの回転経路上に位置する溶接領域に対して、溶接前の容器を搬送する容器供給装置と、
を備え、
前記回転テーブルが回転することにより、１の前記部品保持ユニットの前記リッド保持手段が、前記リッド供給領域の上に位置する際に、少なくとも他の１つの前記部品保持ユニットの前記リッド保持手段は、前記リッドを保持した状態で前記溶接領域の上に位置することを特徴とする、ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項２】
前記部品保持ユニットは、前記リッド保持手段を回転可能、且つリッド方向にスライド可能に支持するとともに、前記リッド保持手段を回転させるリッド保持手段回転装置を備えることを特徴とする、
請求項１に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項３】
前記部品保持ユニットは、前記リッド保持手段をスライド可能に支持するリッド保持手段ガイド部材、及び前記リッド保持手段を押し上げ方向に付勢するリッド保持手段付勢部材を備えており、
更に、前記リッド供給領域上及び前記溶接領域上には、前記リッド保持手段を押し下げる為の押下装置がそれぞれ固定配置されており、
前記リッド保持手段付勢部材の付勢力に抗して、前記押下装置が前記リッド保持手段を押し下げることで、前記リッド供給領域における前記リッドの保持、及び前記溶接領域における前記リッドの前記容器への搭載を行うことを特徴とする、
請求項１又は２に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項４】
前記部品保持ユニットは、前記溶接電極をスライド可能に支持する溶接電極ガイド部材、及び前記溶接電極を押し上げ方向に付勢する溶接電極付勢部材を備えており、
前記部品保持ユニット又は前記溶接領域上の前記押下装置には、前記リッド保持手段と前記溶接電極を同時にスライドさせる連動機構が設けられており、
前記溶接領域上の前記押下装置が前記部品保持ユニットに押し下げ力を付与することで、前記リッド保持手段と前記溶接電極が同時に押し下げられることを特徴とする、
請求項３に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項５】
前記部品保持ユニットの回転経路上に位置する姿勢情報取得領域において、前記部品保持ユニットが保持している前記リッドの姿勢情報を取得する姿勢情報取得手段をさらに備え、
少なくとも３つの前記部品保持ユニットが、前記リッド供給領域、前記溶接領域、及び前記姿勢情報取得領域に同時に位置するようになっていることを特徴とする、
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項６】
前記姿勢情報に基づいて、前記リッドの姿勢の良否を判定する姿勢判定手段を更に有し、
前記部品保持ユニットの回転経路上には、前記姿勢判定手段により不具合姿勢と判定された前記リッドを廃棄する廃棄領域が設けられており、
前記部品保持ユニットは、前記回転テーブルの周方向に一定の間隔で少なくとも４か所に配設されており、
４つの前記部品保持ユニットが、前記リッド供給領域、前記姿勢情報取得領域、前記溶接領域、及び前記廃棄領域に同時に位置することを特徴とする、
請求項５に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項７】
前記リッド供給領域、前記姿勢情報取得領域、前記溶接領域及び前記廃棄領域は、時計回り又は反時計回りの一方向に、この順番で、前記部品保持ユニットの回転経路上に設けられていることを特徴とする、
請求項６に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項８】
前記部品保持ユニットは、前記リッド保持手段が保持する前記リッドが前記容器に当接した際に、前記溶接電極のみをスライドさせて、前記容器上の前記リッドに前記溶接電極を当接させることを特徴とする、
請求項１乃至７のいずれか１項に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【請求項９】
前記リッド保持手段は、前記溶接電極よりも前記容器に近接する位置に設けられ、
前記リッド保持手段及び前記溶接電極は、前記リッド保持手段ガイド部材及び前記溶接電極ガイド部材に沿って、それぞれ個別にスライドするように構成され、
前記溶接領域において、該溶接領域上に設けられた前記押下装置の連動機構により、前記リッド保持手段及び前記溶接電極が同時に押し下げられた場合、前記リッドが前記容器に当接することによって、前記リッド保持手段が、前記リッド保持手段ガイド部材に沿って前記溶接電極に対して相対的に上方に移動し、前記溶接電極が、前記リッドに当接して前記リッドと前記容器の溶接をすることを特徴とする、
請求項４乃至８のいずれか１項に記載のターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
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【公開番号】特開２０１１−１４７５６（Ｐ２０１１−１４７５６Ａ）
【公開日】平成２３年１月２０日（２０１１．１．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１５８４５４（Ｐ２００９−１５８４５４）
【出願日】平成２１年７月３日（２００９．７．３）
【出願人】（５０１４１０１３７）アキム株式会社 (49)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１月２０日（２０１１．１．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年７月３日（２００９．７．３）
【出願人】（５０１４１０１３７）アキム株式会社 (49)
【Ｆターム（参考）】
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