パターン化された磁気媒体の製造方法及びパターン化された磁気媒体
【課題】ハードディスクドライブの磁気記録における面密度の増加を達成するため、パターン化された磁気媒体を利用する。しかし、パターン化された磁気媒体に付随する不利な点の1つは、その加工に費用がかかることである。
【解決手段】ディスク基板202の上方にトポロジー材料204を堆積させる(902)。ディスク基板は、データストレージデバイス用である。ディスク基板上方のトポロジー材料204には、ナノインプリンティング処理を施す(904)。この材料を処理して、ほぼ固化したトポロジー材料204′に変質させる(906)。ほぼ固化したトポロジー材料204′の上方には、磁性材料220を堆積させる(908)。
【解決手段】ディスク基板202の上方にトポロジー材料204を堆積させる(902)。ディスク基板は、データストレージデバイス用である。ディスク基板上方のトポロジー材料204には、ナノインプリンティング処理を施す(904)。この材料を処理して、ほぼ固化したトポロジー材料204′に変質させる(906)。ほぼ固化したトポロジー材料204′の上方には、磁性材料220を堆積させる(908)。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
ハードディスクドライブは、ほとんどすべてのコンピュータシステムの動作において使用される。実際、大部分のコンピューティングシステムは、ブート動作、オペレーティングシステム、アプリケーションなど最も基本となるコンピュータ情報を格納するための一種のハードディスクドライブ(HDD)なしには動作することができない。一般に、ハードディスクドライブは、通常それなしではコンピューティングシステムが動作しない、取り外し可能なまたは取り外し不可能なデバイスである。
【背景技術】
【0002】
基本的なハードディスクドライブモデルは、設計された回転速度で回転するストレージディスクまたはハードディスクを有する。ディスク全域に届くようにするために、アクチュエータアームが利用される。アクチュエータアームは、磁気読み取り/書き込みトランスデューサまたはヘッドを有するヘッドアセンブリを備える。この磁気読み取り/書き込みトランスデューサまたはヘッドは、ディスク上のロケーションから情報を読み取ったり、ディスク上のロケーションに情報を書き込んだりするためのものである。トランスデューサは、エアベアリングスライダなどのスライダに取り付けられる。スライダは、回転ディスクによって生成されるエアクッションによってディスクのデータ面に近接して支持されている。トランスデューサは、コンタクトレコーディング方式のスライダに取り付けることもできる。いずれの場合でも、スライダはサスペンションによってアクチュエータアームに接続されている。一式のヘッドアセンブリ(例えば、サスペンションおよびヘッド)は、ヘッドジンバルアセンブリ(HGA)と呼ばれる。
【0003】
中央ドライブハブを有するスピンドルモータアセンブリを通じて、ハードディスクは作動中設定された速度で回転する。加えて、ディスク全体に既知の間隔でトラックが均一に配置されている。特定の部分つまり特定のトラックの読み取り要求を受信したとき、ハードディスクは、アームを通じてヘッドを特定のトラックロケーションに位置合わせする。その後、ヘッドは、ディスクから情報を読み取る。同様に、特定の部分つまり特定のトラックの書き込み要求を受信したとき、ハードディスクは、アームを通じてヘッドを特定のトラックロケーションに位置合わせする。その後、ヘッドは、ディスクに情報を書き込む。
【0004】
ここ数年間で、ディスクとヘッドのサイズは非常に小さくなった。こうした改良の多くは、携帯情報端末(PDA)、MP3プレーヤーなどに使用されるハードドライブなどのような、さらに小型でさらに持ち運びに便利なハードドライブに対する消費者の需要によってもたらされた。例えば、初期のハードディスクドライブのディスク径は24インチであった。近年のハードディスクドライブは、非常に小型化されており、それらのディスク径は2.5インチ未満である(マイクロドライブは、それらのハードディスクドライブよりも著しく小さい)。磁気記録の進歩も、小型化の主な理由である。
【0005】
この継続的な小型化は、特に消費電力、衝撃パフォーマンス、およびディスク資産の利用に関して、HGAに使用されるテクノロジーに対する需要を着実に増加させた。最近のテクノロジーの1つの進歩は、Femtoスライダの開発である。Femtoスライダは、取って代わられた以前のPicoスライダと比較してサイズと質量が約1/3である。過去23年間で、スライダのサイズは1/5に減少し、スライダの質量は1/100に減少した。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ハードディスクドライブの磁気記録における面密度の増加を達成するため、さらに最近の開発では、パターン化された磁気媒体を利用する。しかし、パターン化された磁気媒体に付随する不利な点の1つは、その加工に費用がかかることである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明による一実施例は、ディスク基板の上方に材料を堆積させることを含む方法である。当該ディスク基板は、データストレージデバイス用である。ディスク基板上方の材料には、ナノインプリンティング処理を施すことが可能である。この材料を処理して、ほぼ固化した材料に変質させることができる。ほぼ固化した材料上には、磁性材料を溶着させることができる。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、パターン化された磁気媒体を安価に得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0009】
以下、本発明による種々の実施例について詳細に説明する。そのいくつかの例については添付図面を用いて図示する。本発明を種々の実施例と共に説明するが、これらの種々の実施例は、本発明を限定するためのものではない。むしろ、本発明は、代替、修正、および同等物も範囲に含むように意図されており、これらは請求項に基づいて解釈される本発明の適用範囲に含まれる。
【0010】
さらに、以下の本発明による種々の実施例の詳細な説明においては、完全な本発明の理解のために多数の具体的情報を提示する。しかし、当該技術分野における通常の技術を有する人は、本発明がこれらの具体的情報なしに実践できることを認識するであろう。他方では、本発明を不必要に不明瞭にしないように、既知の方法、手順、構成部分、および回路については、詳細な説明は割愛した。
【0011】
図1を参照すると、本発明の一実施例による、カバーとトップマグネットを取り外した典型的なハードディスクドライブ(HDD)110の平面図が示されている。図1は、HDD110の構成部分とサブアセンブリの関係、およびディスク138のディスク面135(1つが図示されている)上に記録されているデータトラック136を示す図である。カバーを取り外して、HDD110の内部が見えるようになっている。構成部分は、ベース鋳造物113の中に組み立てられている。ベース鋳造物113は、構成部分とサブアセンブリに対する取り付けおよび位置決めのポイントを提供している。HDD110は、「データストレージデバイス」と呼ぶことができる。
【0012】
複数のサスペンションアセンブリ137(1つが図示されている)が、くし状の形でアクチュエータアーム134(1つが図示されている)に取り付けられている。複数のトランスデューサヘッドまたはスライダ155(1つが図示されている)が、それぞれサスペンションアセンブリ137に取り付けられている。スライダ155はディスク面135に近接した位置にあり、磁気ヘッド156(1つが図示されている)を使用してデータの読み取り/書き込みを行えるようになっている。尚、スライダ155は、磁気ヘッド156に対応付けられたヘッドジンバルアセンブリ(HGA)(図示されていない)を備えることができる。ロータリーボイスコイルモータ150は、アクチュエータシャフト132を中心にアクチュエータアーム134を回転させて、サスペンションアセンブリ137をディスク138上の所望の半径方向位置に移動する。アクチュエータシャフト132、ハブ140、アクチュエータアーム134、およびボイスコイルモータ150は、集合的にロータリーアクチュエータアセンブリと呼ぶ。
【0013】
データは、ディスク138のディスク面135上に、データトラック136として知られる同心円のパターンで記録される。モータハブアセンブリ130によって、ディスク面135は高速に回転する。磁気ヘッド156によって、回転するディスク面135上にデータトラック136が記録される。磁気ヘッド156は、通常スライダ155の端にある。図1は、ヘッド、スライダ、およびディスク面の1つの組み合わせのみを示す平面図である。当該技術に熟練した人は、ヘッドとディスクの1つの組み合わせは、ディスクスタック(図示されていない)など、ヘッドとディスクの複数の組み合わせにも当てはまることを理解する。しかし、簡潔かつ明快な説明のため、図1に示すのは1つのヘッドおよび1つのディスク面のみである。
【0014】
図2A〜図2Gは、本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体に対するトポロジーのナノインプリンティングの典型的な側断面図である。具体的には、図2Aは、本発明の種々の実施例にしたがって利用可能な、典型的なディスク基板202の側断面図である。ここでは、ディスク基板202は、多種多様な方法で実装可能であることが示されている。例えば、一つの実施例においては、ディスク基板202は、一般に、ハードディスクドライブ(例えば、110)用のディスクを加工するために利用されるディスク基板であるが、これに限定されるものではない。
【0015】
図2Bは、本発明の種々の実施例による、ディスク基板202の上方にトポロジー材料204を堆積させることができることを示す側断面図である。尚、ディスク基板202の上方に堆積させたトポロジー材料204を利用して、ディスク基板202上の高低領域を含むトポロジーをナノインプリントさせて、パターン化された磁気媒体の素地として機能させることができる。
【0016】
トポロジー材料204は、多種多様な方法で実装することができる。例えば、1つの実施例においては、トポロジー材料204は、ほぼ液体の状態(または、非固体の状態)で実装することができ、それによってそのナノインプリンティング処理が可能になる。1つの実施例においては、トポロジー材料204は、約200〜300゜Cの磁気媒体の蒸着温度に耐えることが可能で、滑らかな上面を有し、ハードディスクドライブ(例えば、110)の記録ヘッド(例えば、156)との起こりうる相互作用のために耐久性がある、いずれの材料も含むことができる。ただし、これらに限定されるものではない。トポロジー材料204としては、水素シルセスキオキサン(HSQ)、ポリアミド、ポリアミドベースの重合体、レジストを含有するシリコン、室温で固体の加熱された材料などがある。ただし、これらに限定されるものではない。尚、トポロジー材料204は、ディスク基板の上方に多種多様な方法で堆積させることができる。例えば、1つの実施例においては、トポロジー材料204は、ディスク基板202の上方にスパッタさせることができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0017】
図2Cは、本発明の種々の実施例による、ディスク基板202の上方に堆積させたトポロジー材料204をナノインプリントするために利用可能なナノインプリンティングマスク206を示す側断面図である。ナノインプリンティングマスク206を利用して、トポロジー材料204をパターン化させることができ、ディスク基板202上(または上方)に残すことができる。1つの実施例においては、ナノインプリンティングマスク206は、トポロジー材料204を成形するための、1つ以上の窪み212とともに、1つ以上の突起210を含むことができる。下方の力(矢印208によって示されるような)を、ナノインプリンティングマスク206に加えることができる。この下方の力によって、ナノインプリンティングマスク206は、下方向に移動した後、トポロジー材料204を成形することができる。
【0018】
尚、ナノインプリンティングマスク206は、多種多様な方法で実装することができる。例えば、1つの実施例においては、ナノインプリンティングマスク206は1つ以上の重合体で実装することができる。ただし、これに限定されるものではない。1つの実施例においては、ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の窪み212とともに、1つ以上の突起210を、それぞれ形状または形式のタイプを伴って実装することができる。
【0019】
図2Dは、本発明の種々の実施例による、ディスク基板202上に押し下げたナノインプリンティングマスク206、およびトポロジー材料204の成形を示す側断面図である。ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の突起210をトポロジー材料204に接するように押し下げたため、これらの突起は、トポロジー材料204を、ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の窪み212の中にずらすか、または押し込むことが指摘される。ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の突起210がディスク基板202とほぼ接触するとき、ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の突起210および1つ以上の窪み212によって範囲を定められるような、特定の形にトポロジー材料204を成形することができる。
【0020】
図2Eは、本発明の種々の実施例による、トポロジー材料204のナノインプリンティングの間、トポロジー材料204を、ほぼ液体(または、非固体)からほぼ固化した材料に変質させるプロセスを示す側断面図である。具体的には、ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の突起210および1つ以上の窪み212によって範囲を定められるような特定の形にトポロジー材料204を成形するナノインプリンティングプロセスの間、トポロジー材料204は、ほぼ液体(または、非固体)からほぼ固化した材料に変質させることができる。尚、変質プロセスは、多種多様な方法で実行することができる。例えば、1つの実施例においては、変質プロセスには、ナノインプリンティングマスク206を通り抜けることができ、トポロジー材料204をほぼ固化した材料に硬化させることが可能な放射線の利用を含めることができる(破線の矢印216によって示される)。放射線には、光学的放射、紫外線または紫外光、電子線照射などが含まれる(ただし、これらに限定されるものではない)。1つの実施例においては、トポロジー材料204は、ほぼ液体(または、非固体)からほぼ固化した材料に熱的に変質させることができる。1つの実施例においては、トポロジー材料204は、トポロジー材料204を冷却するか凍結させることによってほぼ液体(または、非固体状態)からほぼ固化した材料に変質させることができる。
【0021】
例えば、1つの実施例においては、トポロジー材料204が水素シルセスキオキサンであって、電子線照射216と湿気(図示されていない)に曝された場合、その重合体が切断され、ほぼ固体である二酸化ケイ素(Si02)を形成することが可能である。一つの実施例においては、トポロジー材料204がレジストを含むシリコンであって、紫外線または熱放射に曝された場合、二酸化ケイ素(Si02)に変質させることが可能である。
【0022】
図2Fは、本発明の種々の実施例による、ほぼ固化したトポロジー材料204′およびディスク基板202から持ち上げた、ナノインプリンティングマスク206の側断面図である。具体的には、トポロジー材料204をほぼ液体(または、非固体状態)からほぼ固化したトポロジー材料204′に一度変質させると、押上げ力(矢印218によって示される)をナノインプリンティングマスク206に加えて、ナノインプリンティングマスク206がディスク基板202およびほぼ固化したトポロジー材料204′から持ち上がるようにすることができる。尚、ナノインプリンティングマスク206を一度持ち上げれば、ほぼ固化したトポロジー材料204′には、1つ以上の高架領域214を含めることができる。さらに、ほぼ固化したトポロジー材料204′は、ディスク基板202よりも上に位置する1つ以上のピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装することができるが、それらに限定されるものではない。1つの実施例においては、ナノインプリンティングマスク206を一度持ち上げれば、ほぼ固化したトポロジー材料204′は、ディスク基板202の上方に、ランド(または、高架領域)214および溝(または、下部領域)217を形成することができる。1つの実施例においては、ほぼ固化したトポロジー材料204′の1つ以上の突起は、約20〜40ナノメートルの高さが可能であるが、それに限定されるものではない。
【0023】
図2Gは、本発明の種々の実施例による、1つ以上の磁性材料、適切な基層、および保護コーティング220を、ほぼ固化したトポロジー材料204′およびディスク基板202の上方に堆積させることが可能なことを示す側断面図である。尚、ディスク基板202、およびほぼ固化したトポロジー材料204′の上方に磁性材料、基層、およびコーティング220を堆積させることによって、パターン化された磁気媒体222を生成または形成することができる。ディスク基板202およびほぼ固化したトポロジー材料204′の上方に磁性材料、基層、およびコーティング220を堆積させた状態で、ほぼ固化したトポロジー材料204′によってデータビットを定義して、パターン化された磁気媒体の記録を行うことができる。ほぼ固化したトポロジー材料204′によって、パターン化された磁気媒体222について、1つ以上の高ゾーン(例えば、214)および1つ以上の低ゾーン(例えば、217)を定義可能であることが指摘される。ここで留意すべきは、1つの実施例においては、パターン化された磁気媒体222は、読み書き可能なハードディスクドライブ(例えば、110)にインストールまたは内蔵することができることである。
【0024】
磁性材料220は、多種多様な方法で実装することができる。例えば、種々の実施例においては、磁性材料220には、コバルトプラチナクロム、ハードディスク合金、コバルトプラチナ、五元合金、クロムなどを含めることができる。ただし、これらに限定されるものではない。ここで留意すべきは、ほぼ固化したトポロジー材料204′およびディスク基板202の上方に、磁性材料、基層、およびコーティング220を、多種多様な方法で堆積させることができることである。例えば、1つの実施例においては、ほぼ固化したトポロジー材料204′およびディスク基板202の上方に、磁性材料、基層、およびコーティング220をスパッタさせることができる。ただし、これらに限定されるものではない。
【0025】
本発明の種々の実施例によると、図2E〜2Gに示したイベントの順序とは異なる他の順序も実施可能であることが指摘される。例えば、図2H〜2Lは、本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体に対するほぼ固化したトポロジーの作成を示す典型的な側断面図である。尚、図2H〜2Lは、図2E〜2Gと置き換え可能である。そのため、図2A〜2Dは、すでに説明した方法と同様に図2H〜2Lの前に実行することができる。
【0026】
図2Hは、本発明の種々の実施例による、トポロジー材料204をほぼ液体(または、非固体)からほぼ固化した材料に変質させるプロセスの開始を示す側断面図である。具体的には、ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の突起210および1つ以上の窪み212によって範囲を定められるような特定の形にトポロジー材料204を成形するナノインプリンティングプロセスの間、変質プロセスを起動または開始して、ナノインプリンティングマスク206の除去をちょうど可能にする程度に、トポロジー材料204を部分的に固化させることができる。尚、図2Hにおいて開始される変質プロセスは、多種多様な方法で実行することができる。例えば、1つの実施例においては、変質プロセスには、ナノインプリンティングマスク206を通過可能であるとともに、トポロジー材料204の部分的な固化または硬化を開始可能な、放射線の利用を含めることができる(破線の矢印216′によって示される)。放射線216′には、光学的放射、紫外線または紫外光、電子線照射など含めることができる(ただし、これらに限定されるものではない)。1つの実施例においては、変質プロセスには、熱プロセスを利用してトポロジー材料204の部分的な固化または硬化を開始することを含めることができる。また、1つの実施例においては、変質プロセスには、冷却プロセスまたは凍結プロセスを利用して、トポロジー材料204の部分的な固化または硬化を開始することを含めることができる。
【0027】
図2Iは、本発明の種々の実施例による、部分的に固化したトポロジー材料204″およびディスク基板202から持ち上げた、ナノインプリンティングマスク206を示す側断面図である。具体的には、トポロジー材料204を、ほぼ液体(または、非固体状態)から、ナノインプリンティングマスク206の除去をちょうど可能にする程度の部分的に固化したトポロジー材料204″に一度変質させると、押上げ力(矢印244によって示される)をナノインプリンティングマスク206に加えて、ナノインプリンティングマスク206が、部分的に固化したトポロジー材料204″およびディスク基板202から持ち上がるようにすることができる。ナノインプリンティングマスク206を一度持ち上げれば、部分的に固化したトポロジー材料204″には、1つ以上の高架領域214を含めることができる。また、部分的に固化したトポロジー材料204″は、ディスク基板202よりも上に位置する1つ以上のピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装することができるが、それらに限定されるものではない。1つの実施例においては、ナノインプリンティングマスク206を一度持ち上げれば、部分的に固化したトポロジー材料204″は、ディスク基板202の上方に、ランド(または、高架領域)214および溝(または、下部領域)217を形成することができる。1つの実施例においては、部分的に固化したトポロジー材料204″の1つ以上の突起は、約20〜40ナノメートルの高さが可能であるが、それに限定されるものではない。
【0028】
図2Jは、本発明の種々の実施例による、部分的に固化したトポロジー材料204″を、ほぼ固化した材料に変質させる仕上げプロセスを示す側断面図である。部分的に固化した材料は、ほぼ固化した材料よりも固体の状態ではないことが指摘される。図2Jにおいて、ナノインプリンティングマスク206を持ち上げた後、仕上げプロセスまたは最終変質プロセスを起動または開始して、部分的に固化したトポロジー材料204″を、ほぼ固化した材料(つまり、ほぼ固体の材料)に変化させることができる。変質プロセスは、多種多様な方法で実行可能であることが指摘される。例えば、1つの実施例においては、変質プロセスには、部分的に固化したトポロジー材料204″を、ほぼ固化した材料に硬化させることが可能な放射線の利用を含めることができる(破線の矢印216′によって示される)。放射線には、光学的放射、紫外線または紫外光、電子線照射など含めることができる(ただし、これらに限定されるものではない)。1つの実施例においては、部分的に固化したトポロジー材料204″は、ほぼ固化した材料に熱的に変質させることができる。一つの実施例においては、部分的に固化したトポロジー材料204″を冷却または凍結させることによって、部分的に固化したトポロジー材料204″をほぼ固化した材料に変質させることができる。
【0029】
尚、1つの実施例においては、図2Jを参照して説明した仕上げ変質プロセスは、バッチモードで実行することができる。例えば、バッチモードには、それぞれ部分的に固化したトポロジー材料(例えば、204″)を含む複数の基板(例えば、202)を含めることができる。ここで、それぞれの部分的に固化したトポロジー材料には、仕上げ変質プロセスを同時に施すことが可能である。
【0030】
図2Kは、本発明の種々の実施例による、ほぼ固化したトポロジー材料204′′′およびディスク基板202を示す側断面図である。具体的には、図2Jに示す仕上げプロセスによって、部分的に固化したトポロジー材料204″がほぼ固化した材料204′′′に一度変質すれば、ディスク基板202およびほぼ固化したトポロジー材料204′′′をさらに処理することができる。ほぼ固化した材料は、部分的に固化した材料よりも一層固体の状態であることが指摘される。
【0031】
図2Lは、本発明の種々の実施例による、1つ以上の磁性材料、適切な基層、および保護コーティング220を、ほぼ固化したトポロジー材料204′′′およびディスク基板202の上方に堆積させることが可能なことを示す側断面図である。尚、ディスク基板202、およびほぼ固化したトポロジー材料204′′′の上方に磁性材料、基層、およびコーティング220を堆積させることによって、パターン化された磁気媒体226を生成または形成することができる。ディスク基板202およびほぼ固化したトポロジー材料204′′′の上方に磁性材料、基層、およびコーティング220を堆積させた状態で、ほぼ固化したトポロジー材料204′′′によってデータビットを定義して、パターン化された磁気媒体の記録を行うことができる。ほぼ固化したトポロジー材料204′′′によって、パターン化された磁気媒体226について、1つ以上の高ゾーン(例えば、214)および1つ以上の低ゾーン(例えば、217)を定義可能であることが指摘される。1つの実施例においては、パターン化された磁気媒体226は、読み書き可能なハードディスクドライブ(例えば、110)にインストールまたは内蔵することができる。
【0032】
磁性材料220は、多種多様な方法で実装することができる。例えば、種々の実施例においては、磁性材料220には、コバルトプラチナクロム、ハードディスク合金、コバルトプラチナ、五元合金、クロムなどを含めることができる。ただし、これらに限定されるものではない。尚、ほぼ固化したトポロジー材料204′′′およびディスク基板202の上方に、磁性材料、基層、およびコーティング220を、多種多様な方法で堆積させることができる。例えば、1つの実施例においては、ほぼ固化したトポロジー材料204′′′およびディスク基板202の上方に、磁性材料、基層、およびコーティング220をスパッタさせることができる。ただし、これらに限定されるものではない。
【0033】
図3は、本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体300の断面を示す平面図である。ここで指摘されるのは、パターン化された磁気媒体300は、ここで説明するパターン化された磁気媒体のいずれの方法においても同様に実装可能なことである。ただし、これらに限定されるものではない。パターン化された磁気媒体300には、それぞれピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装可能な1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料304などが含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。さらに、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料304のそれぞれの断面は、円形またはほぼ円形(図示されていない)に形成することができる。1つの実施例においては、複数のほぼ固化したトポロジー材料304は、六角形のパッキング構造に(または効率的な方法で)詰め込むことができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0034】
尚、パターン化された磁気媒体300の1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料304は、多種多様な方法で実装することができる。例えば、種々の実施例においては、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料304を、それらが多少狭くかつ長く、または多少広くかつ短くなるように実装することができる。1つの実施例においては、複数のほぼ固化したトポロジー材料304は、ディスク基板(例えば202)上方の同心円内に配置することができる。種々の実施例においては、各々のほぼ固化したトポロジー材料304は、トラックに沿ってしだいに長くなるように、またはパターン化された磁気媒体300の複数のトラックを横断して広くなるように実装することができる。1つの実施例においては、複数のほぼ固化したトポロジー材料304を、サーボ情報を提供するために、特定の1つ以上の領域に配置することができる。このサーボ情報は、わずかにより複雑なパターンを含む場合がある。
【0035】
図4は、本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体400の断面を示す平面図である。尚、パターン化された磁気媒体400は、ここで説明するパターン化された磁気媒体のいずれの方法を用いても同様に実装可能である。ただし、これらに限定されるものではない。パターン化された磁気媒体400には、それぞれピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装可能な1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料404などが含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。また、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料404のそれぞれの断面は、楕円形またはほぼ楕円形(図示されていない)に形成することができる。
【0036】
図5は、本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体500の断面を示す平面図である。尚、パターン化された磁気媒体500は、ここで説明するパターン化された磁気媒体のいずれの方法を用いても同様に実装可能である。ただし、これらに限定されるものではない。パターン化された磁気媒体500には、それぞれピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装可能な1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料504などが含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。さらに、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料504のそれぞれの断面は、ひし形または正方形に形成することができる。または、ほぼひし形(図示されていない)、またはほぼ正方形(図示されていない)に形成することができる。
【0037】
図6は、本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体600の断面を示す平面図である。尚、パターン化された磁気媒体600は、ここで説明するパターン化された磁気媒体のいずれの方法を用いても同様に実装可能である。ただし、これらに限定されるものではない。パターン化された磁気媒体600には、それぞれピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装可能な1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料604などが含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。また、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料604のそれぞれの断面は、長方形またはほぼ長方形(図示されていない)に形成することができる。
【0038】
図7は、本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体700の断面を示す平面図である。尚、パターン化された磁気媒体700は、ここで説明するパターン化された磁気媒体のいずれの方法を用いても同様に実装可能である。ただし、これらに限定されるものではない。パターン化された磁気媒体700には、それぞれピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装可能な1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料704および704′が含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。さらに、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料704のそれぞれの断面は、ひし形または正方形に形成することができる。または、ほぼひし形(図示されていない)、またはほぼ正方形(図示されていない)に形成することができる。一方、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料704′のそれぞれの断面は、楕円またはほぼ楕円(図示されていない)に形成することができる。このように、パターン化された磁気媒体700は、ほぼ固化したトポロジー材料の複数の断面形状を含むことができる(例えば、704と704′)。
【0039】
図8は、本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体800の断面を示す平面図である。尚、パターン化された磁気媒体800は、ここで説明するパターン化された磁気媒体のいずれの方法を用いても同様に実装可能である。ただし、これらに限定されるものではない。パターン化された磁気媒体800には、それぞれピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装可能な1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料804などが含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。さらに、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料804のそれぞれの断面は、多角形またはほぼ多角形(図示されていない)に形成することができる。例えば、一つの実施例においては、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料804のそれぞれの断面は、五角形またはほぼ五角形(図示されていない)に形成することができる。
【0040】
図9は、本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体に対するトポロジーのナノインプリンティングの典型的な方法900を示すフロー図である。この方法900には、計算装置によって読み込み可能かつ実行可能な命令(または、コード)による制御のもとで(例えば、ソフトウェア)、プロセッサおよび電気構成部品によって実行可能な、本発明の種々の実施例による典型的なプロセスが含まれる。計算装置によって読み込み可能かつ実行可能な命令(または、コード)は、例えば、計算装置によって利用可能な、揮発性メモリ、不揮発性メモリ、および/またはマスデータストレージなどのデータの記憶機能に常駐させる場合がある。しかし、計算装置によって読み込み可能かつ実行可能な命令(または、コード)は、コンピュータデバイスによって読み取り可能ないずれかのタイプのメディアに常駐させてもよい。尚、方法900は、コンピュータによって使用可能なメディア上のアプリケーション命令によって実行可能である。この場合、これらの命令が実行されるとき、方法900の1つ以上の動作が実行される。方法900では具体的な動作が開示されるが、そのような動作は典型的なものである。方法900は、図9に示されるすべての動作を含まなくてもよい。また、方法900は、他の動作および/または図9に示される動作の変形を含んでもよい。同様に、方法900の一連の動作は修正してもよい。尚、方法900の動作は、手動、ソフトウェア、ファームウェア、電子ハードウェアによって実行可能である。または、それらのいずれかの組み合わせによっても実行可能である。
【0041】
具体的には、方法900には、ディスク基板の上方に材料を堆積するステップを含めることが可能である。ここで、当該ディスク基板は、データストレージデバイス用である。ディスク基板上方の材料には、ナノインプリンティング処理を施すことが可能である。この材料を処理して、ほぼ固化した材料に変質させることができる。ほぼ固化した材料の上方には、磁性材料を堆積させることができる。ほぼ固化した材料および磁性材料を含むディスク基板は、データストレージデバイスに実装または内蔵することができる。
【0042】
図9に示す動作902では、材料(例えば、204)は、ディスク基板(例えば、202)の上方に堆積させることができる。ここで、当該ディスク基板は、データストレージデバイス(例えば、HDD 110)に用いる。動作902は、多種多様な方法で実行可能であることが指摘される。例えば、種々の実施例においては、動作902の材料には、水素シルセスキオキサン(HSQ)、ポリアミド、ポリアミドベースの重合体、およびレジストを含有するシリコンなどがある(ただし、これらに限定されるものではない)。動作902では、ここで説明した方法と同様ないずれかの方法で、材料をディスク基板の上方に堆積させることができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0043】
動作904では、ディスク基板上方の材料には、ナノインプリンティング処理を施すことが可能である。尚、動作904は、多種多様な方法で実行可能である。例えば、種々の実施例においては、動作904において、ディスク基板上方の材料のナノインプリンティング処理は、ここで説明した方法と同様ないずれかの方法で実行することができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0044】
図9に示す動作906では、この材料を処理して、ほぼ固化した材料に変質させることができる(例えば、204′または214′′′)。ほぼ固化した材料は、1つ以上の高架領域(または、1つ以上のピラー、カラム、またはプラトー)を含むことが可能なトポロジーを定義または包含することができる。尚、動作906は、多種多様な方法で実行可能である。例えば、種々の実施例においては、動作906の材料の処理には、硬化プロセス、電子線、放射、熱プロセス、光学プロセス、および冷却などの利用を含めることができる(ただし、これらに限定されるものではない)。1つの実施例においては、動作906の材料の処理は、材料のナノインプリンティング処理中に行うことができる。1つの実施例においては、動作906の材料の処理には、ナノインプリンティング処理中にプロセスを開始し、および材料のナノインプリンティング処理後にプロセスを終了させることを含めることができる。1つの実施例においては、動作906の材料の処理には、ナノインプリンティング処理中にプロセスを開始して、材料を部分的に固化した材料(例えば、204″)に変質させ、ナノインプリンティング処理後にプロセスを終了させて、部分的に固化した材料をほぼ固化した材料(例えば、214′′′)に変質させることを含めることができる。1つの実施例においては、動作906の材料の処理には、ナノインプリンティングマスク(例えば、206)による材料のナノインプリンティング処理中にプロセスを開始して、材料を部分的に固化した材料(例えば204″)に変質させ、ナノインプリンティングマスクを取り除いた後にプロセスを終了させて、部分的に固化した材料をほぼ固化した材料(例えば、214′′′)に変質させることを含めることができる。動作900は、ここで説明した方法と同様ないずれかの方法で実行することができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0045】
動作908では、磁性材料(例えば、220)は、ほぼ固化した材料の上方に堆積させることができる。動作908は、多種多様な方法で実行可能であることが指摘される。例えば、種々の実施例においては、動作908の磁性材料には、コバルトプラチナクロム、五元合金、クロム、およびコバルトプラチナなどが含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。1つの実施例においては、動作908では、1つ以上の磁性材料を、ほぼ固化した材料の上方に堆積させることができる。1つの実施例においては、動作908では、1つ以上の磁性材料、1つ以上の適切な基層、および1つ以上の保護膜を、ほぼ固化した材料の上方に溶着させることができる。動作908は、ここで説明した方法と同様ないずれかの方法で実行することができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0046】
図9に示す動作910では、ほぼ固化した材料および磁性材料を含むディスク基板は、データストレージデバイスにインストール、実装、または内蔵することができる。尚、動作910は、多種多様な方法で実行可能である。例えば、種々の実施例においては、動作910において、ほぼ固化した材料および磁性材料を含むディスク基板は、ここで説明した方法と同様ないずれかの方法でデータストレージデバイスに実装または内蔵することができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0047】
本発明による種々の具体的な実施例についての前述の説明は、図示および説明の目的で行われたものである。そのため、前述の説明は、網羅的であることを意図したものではなく、または開示された厳密な形式に本発明を限定することを意図したものでもない。したがって、上記説明の観点から多くの修正および変形が可能であることは明らかである。本発明は、請求項およびそれらに相当するものによって解釈することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【0048】
【図1】本発明の一実施例による、カバーおよびトップマグネットを取り外した状態の典型的なHDDの平面図である。
【図2A】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2B】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2C】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2D】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2E】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2F】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2G】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2H】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2I】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2J】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2K】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2L】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図3】本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体の断面を示す平面図である。
【図4】本発明の種々の実施例による、別の典型的なパターン化された磁気媒体の断面を示す平面図である。
【図5】本発明の種々の実施例による、さらに別の典型的なパターン化された磁気媒体の断面を示す平面図である。
【図6】本発明の種々の実施例による、さらに別の典型的なパターン化された磁気媒体の断面を示す平面図である。
【図7】本発明の種々の実施例による、別の典型的なパターン化された磁気媒体の断面を示す平面図である。
【図8】本発明の種々の実施例による、さらに別の典型的なパターン化された磁気媒体の断面を示す平面図である。
【図9】本発明の種々の実施例による、典型的な方法を示すフロー図である。
【符号の説明】
【0049】
202…ディスク基板、204…トポロジー材料、204′…ほぼ固化したトポロジー材料、204″…部分的に固化したトポロジー材料、204′′′…ほぼ固化したトポロジー材料、206…ナノインプリンティングマスク、210…突起、212…窪み、214…ランド、216,216′…放射線、217…溝、220…磁性材料、222,226…パターン化された磁気媒体、300,400,500,600,700,800…パターン化された磁気媒体、304,404,504,604,704,704′,804…ほぼ固化したトポロジー材料。
【技術分野】
【0001】
ハードディスクドライブは、ほとんどすべてのコンピュータシステムの動作において使用される。実際、大部分のコンピューティングシステムは、ブート動作、オペレーティングシステム、アプリケーションなど最も基本となるコンピュータ情報を格納するための一種のハードディスクドライブ(HDD)なしには動作することができない。一般に、ハードディスクドライブは、通常それなしではコンピューティングシステムが動作しない、取り外し可能なまたは取り外し不可能なデバイスである。
【背景技術】
【0002】
基本的なハードディスクドライブモデルは、設計された回転速度で回転するストレージディスクまたはハードディスクを有する。ディスク全域に届くようにするために、アクチュエータアームが利用される。アクチュエータアームは、磁気読み取り/書き込みトランスデューサまたはヘッドを有するヘッドアセンブリを備える。この磁気読み取り/書き込みトランスデューサまたはヘッドは、ディスク上のロケーションから情報を読み取ったり、ディスク上のロケーションに情報を書き込んだりするためのものである。トランスデューサは、エアベアリングスライダなどのスライダに取り付けられる。スライダは、回転ディスクによって生成されるエアクッションによってディスクのデータ面に近接して支持されている。トランスデューサは、コンタクトレコーディング方式のスライダに取り付けることもできる。いずれの場合でも、スライダはサスペンションによってアクチュエータアームに接続されている。一式のヘッドアセンブリ(例えば、サスペンションおよびヘッド)は、ヘッドジンバルアセンブリ(HGA)と呼ばれる。
【0003】
中央ドライブハブを有するスピンドルモータアセンブリを通じて、ハードディスクは作動中設定された速度で回転する。加えて、ディスク全体に既知の間隔でトラックが均一に配置されている。特定の部分つまり特定のトラックの読み取り要求を受信したとき、ハードディスクは、アームを通じてヘッドを特定のトラックロケーションに位置合わせする。その後、ヘッドは、ディスクから情報を読み取る。同様に、特定の部分つまり特定のトラックの書き込み要求を受信したとき、ハードディスクは、アームを通じてヘッドを特定のトラックロケーションに位置合わせする。その後、ヘッドは、ディスクに情報を書き込む。
【0004】
ここ数年間で、ディスクとヘッドのサイズは非常に小さくなった。こうした改良の多くは、携帯情報端末(PDA)、MP3プレーヤーなどに使用されるハードドライブなどのような、さらに小型でさらに持ち運びに便利なハードドライブに対する消費者の需要によってもたらされた。例えば、初期のハードディスクドライブのディスク径は24インチであった。近年のハードディスクドライブは、非常に小型化されており、それらのディスク径は2.5インチ未満である(マイクロドライブは、それらのハードディスクドライブよりも著しく小さい)。磁気記録の進歩も、小型化の主な理由である。
【0005】
この継続的な小型化は、特に消費電力、衝撃パフォーマンス、およびディスク資産の利用に関して、HGAに使用されるテクノロジーに対する需要を着実に増加させた。最近のテクノロジーの1つの進歩は、Femtoスライダの開発である。Femtoスライダは、取って代わられた以前のPicoスライダと比較してサイズと質量が約1/3である。過去23年間で、スライダのサイズは1/5に減少し、スライダの質量は1/100に減少した。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ハードディスクドライブの磁気記録における面密度の増加を達成するため、さらに最近の開発では、パターン化された磁気媒体を利用する。しかし、パターン化された磁気媒体に付随する不利な点の1つは、その加工に費用がかかることである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明による一実施例は、ディスク基板の上方に材料を堆積させることを含む方法である。当該ディスク基板は、データストレージデバイス用である。ディスク基板上方の材料には、ナノインプリンティング処理を施すことが可能である。この材料を処理して、ほぼ固化した材料に変質させることができる。ほぼ固化した材料上には、磁性材料を溶着させることができる。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、パターン化された磁気媒体を安価に得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0009】
以下、本発明による種々の実施例について詳細に説明する。そのいくつかの例については添付図面を用いて図示する。本発明を種々の実施例と共に説明するが、これらの種々の実施例は、本発明を限定するためのものではない。むしろ、本発明は、代替、修正、および同等物も範囲に含むように意図されており、これらは請求項に基づいて解釈される本発明の適用範囲に含まれる。
【0010】
さらに、以下の本発明による種々の実施例の詳細な説明においては、完全な本発明の理解のために多数の具体的情報を提示する。しかし、当該技術分野における通常の技術を有する人は、本発明がこれらの具体的情報なしに実践できることを認識するであろう。他方では、本発明を不必要に不明瞭にしないように、既知の方法、手順、構成部分、および回路については、詳細な説明は割愛した。
【0011】
図1を参照すると、本発明の一実施例による、カバーとトップマグネットを取り外した典型的なハードディスクドライブ(HDD)110の平面図が示されている。図1は、HDD110の構成部分とサブアセンブリの関係、およびディスク138のディスク面135(1つが図示されている)上に記録されているデータトラック136を示す図である。カバーを取り外して、HDD110の内部が見えるようになっている。構成部分は、ベース鋳造物113の中に組み立てられている。ベース鋳造物113は、構成部分とサブアセンブリに対する取り付けおよび位置決めのポイントを提供している。HDD110は、「データストレージデバイス」と呼ぶことができる。
【0012】
複数のサスペンションアセンブリ137(1つが図示されている)が、くし状の形でアクチュエータアーム134(1つが図示されている)に取り付けられている。複数のトランスデューサヘッドまたはスライダ155(1つが図示されている)が、それぞれサスペンションアセンブリ137に取り付けられている。スライダ155はディスク面135に近接した位置にあり、磁気ヘッド156(1つが図示されている)を使用してデータの読み取り/書き込みを行えるようになっている。尚、スライダ155は、磁気ヘッド156に対応付けられたヘッドジンバルアセンブリ(HGA)(図示されていない)を備えることができる。ロータリーボイスコイルモータ150は、アクチュエータシャフト132を中心にアクチュエータアーム134を回転させて、サスペンションアセンブリ137をディスク138上の所望の半径方向位置に移動する。アクチュエータシャフト132、ハブ140、アクチュエータアーム134、およびボイスコイルモータ150は、集合的にロータリーアクチュエータアセンブリと呼ぶ。
【0013】
データは、ディスク138のディスク面135上に、データトラック136として知られる同心円のパターンで記録される。モータハブアセンブリ130によって、ディスク面135は高速に回転する。磁気ヘッド156によって、回転するディスク面135上にデータトラック136が記録される。磁気ヘッド156は、通常スライダ155の端にある。図1は、ヘッド、スライダ、およびディスク面の1つの組み合わせのみを示す平面図である。当該技術に熟練した人は、ヘッドとディスクの1つの組み合わせは、ディスクスタック(図示されていない)など、ヘッドとディスクの複数の組み合わせにも当てはまることを理解する。しかし、簡潔かつ明快な説明のため、図1に示すのは1つのヘッドおよび1つのディスク面のみである。
【0014】
図2A〜図2Gは、本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体に対するトポロジーのナノインプリンティングの典型的な側断面図である。具体的には、図2Aは、本発明の種々の実施例にしたがって利用可能な、典型的なディスク基板202の側断面図である。ここでは、ディスク基板202は、多種多様な方法で実装可能であることが示されている。例えば、一つの実施例においては、ディスク基板202は、一般に、ハードディスクドライブ(例えば、110)用のディスクを加工するために利用されるディスク基板であるが、これに限定されるものではない。
【0015】
図2Bは、本発明の種々の実施例による、ディスク基板202の上方にトポロジー材料204を堆積させることができることを示す側断面図である。尚、ディスク基板202の上方に堆積させたトポロジー材料204を利用して、ディスク基板202上の高低領域を含むトポロジーをナノインプリントさせて、パターン化された磁気媒体の素地として機能させることができる。
【0016】
トポロジー材料204は、多種多様な方法で実装することができる。例えば、1つの実施例においては、トポロジー材料204は、ほぼ液体の状態(または、非固体の状態)で実装することができ、それによってそのナノインプリンティング処理が可能になる。1つの実施例においては、トポロジー材料204は、約200〜300゜Cの磁気媒体の蒸着温度に耐えることが可能で、滑らかな上面を有し、ハードディスクドライブ(例えば、110)の記録ヘッド(例えば、156)との起こりうる相互作用のために耐久性がある、いずれの材料も含むことができる。ただし、これらに限定されるものではない。トポロジー材料204としては、水素シルセスキオキサン(HSQ)、ポリアミド、ポリアミドベースの重合体、レジストを含有するシリコン、室温で固体の加熱された材料などがある。ただし、これらに限定されるものではない。尚、トポロジー材料204は、ディスク基板の上方に多種多様な方法で堆積させることができる。例えば、1つの実施例においては、トポロジー材料204は、ディスク基板202の上方にスパッタさせることができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0017】
図2Cは、本発明の種々の実施例による、ディスク基板202の上方に堆積させたトポロジー材料204をナノインプリントするために利用可能なナノインプリンティングマスク206を示す側断面図である。ナノインプリンティングマスク206を利用して、トポロジー材料204をパターン化させることができ、ディスク基板202上(または上方)に残すことができる。1つの実施例においては、ナノインプリンティングマスク206は、トポロジー材料204を成形するための、1つ以上の窪み212とともに、1つ以上の突起210を含むことができる。下方の力(矢印208によって示されるような)を、ナノインプリンティングマスク206に加えることができる。この下方の力によって、ナノインプリンティングマスク206は、下方向に移動した後、トポロジー材料204を成形することができる。
【0018】
尚、ナノインプリンティングマスク206は、多種多様な方法で実装することができる。例えば、1つの実施例においては、ナノインプリンティングマスク206は1つ以上の重合体で実装することができる。ただし、これに限定されるものではない。1つの実施例においては、ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の窪み212とともに、1つ以上の突起210を、それぞれ形状または形式のタイプを伴って実装することができる。
【0019】
図2Dは、本発明の種々の実施例による、ディスク基板202上に押し下げたナノインプリンティングマスク206、およびトポロジー材料204の成形を示す側断面図である。ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の突起210をトポロジー材料204に接するように押し下げたため、これらの突起は、トポロジー材料204を、ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の窪み212の中にずらすか、または押し込むことが指摘される。ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の突起210がディスク基板202とほぼ接触するとき、ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の突起210および1つ以上の窪み212によって範囲を定められるような、特定の形にトポロジー材料204を成形することができる。
【0020】
図2Eは、本発明の種々の実施例による、トポロジー材料204のナノインプリンティングの間、トポロジー材料204を、ほぼ液体(または、非固体)からほぼ固化した材料に変質させるプロセスを示す側断面図である。具体的には、ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の突起210および1つ以上の窪み212によって範囲を定められるような特定の形にトポロジー材料204を成形するナノインプリンティングプロセスの間、トポロジー材料204は、ほぼ液体(または、非固体)からほぼ固化した材料に変質させることができる。尚、変質プロセスは、多種多様な方法で実行することができる。例えば、1つの実施例においては、変質プロセスには、ナノインプリンティングマスク206を通り抜けることができ、トポロジー材料204をほぼ固化した材料に硬化させることが可能な放射線の利用を含めることができる(破線の矢印216によって示される)。放射線には、光学的放射、紫外線または紫外光、電子線照射などが含まれる(ただし、これらに限定されるものではない)。1つの実施例においては、トポロジー材料204は、ほぼ液体(または、非固体)からほぼ固化した材料に熱的に変質させることができる。1つの実施例においては、トポロジー材料204は、トポロジー材料204を冷却するか凍結させることによってほぼ液体(または、非固体状態)からほぼ固化した材料に変質させることができる。
【0021】
例えば、1つの実施例においては、トポロジー材料204が水素シルセスキオキサンであって、電子線照射216と湿気(図示されていない)に曝された場合、その重合体が切断され、ほぼ固体である二酸化ケイ素(Si02)を形成することが可能である。一つの実施例においては、トポロジー材料204がレジストを含むシリコンであって、紫外線または熱放射に曝された場合、二酸化ケイ素(Si02)に変質させることが可能である。
【0022】
図2Fは、本発明の種々の実施例による、ほぼ固化したトポロジー材料204′およびディスク基板202から持ち上げた、ナノインプリンティングマスク206の側断面図である。具体的には、トポロジー材料204をほぼ液体(または、非固体状態)からほぼ固化したトポロジー材料204′に一度変質させると、押上げ力(矢印218によって示される)をナノインプリンティングマスク206に加えて、ナノインプリンティングマスク206がディスク基板202およびほぼ固化したトポロジー材料204′から持ち上がるようにすることができる。尚、ナノインプリンティングマスク206を一度持ち上げれば、ほぼ固化したトポロジー材料204′には、1つ以上の高架領域214を含めることができる。さらに、ほぼ固化したトポロジー材料204′は、ディスク基板202よりも上に位置する1つ以上のピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装することができるが、それらに限定されるものではない。1つの実施例においては、ナノインプリンティングマスク206を一度持ち上げれば、ほぼ固化したトポロジー材料204′は、ディスク基板202の上方に、ランド(または、高架領域)214および溝(または、下部領域)217を形成することができる。1つの実施例においては、ほぼ固化したトポロジー材料204′の1つ以上の突起は、約20〜40ナノメートルの高さが可能であるが、それに限定されるものではない。
【0023】
図2Gは、本発明の種々の実施例による、1つ以上の磁性材料、適切な基層、および保護コーティング220を、ほぼ固化したトポロジー材料204′およびディスク基板202の上方に堆積させることが可能なことを示す側断面図である。尚、ディスク基板202、およびほぼ固化したトポロジー材料204′の上方に磁性材料、基層、およびコーティング220を堆積させることによって、パターン化された磁気媒体222を生成または形成することができる。ディスク基板202およびほぼ固化したトポロジー材料204′の上方に磁性材料、基層、およびコーティング220を堆積させた状態で、ほぼ固化したトポロジー材料204′によってデータビットを定義して、パターン化された磁気媒体の記録を行うことができる。ほぼ固化したトポロジー材料204′によって、パターン化された磁気媒体222について、1つ以上の高ゾーン(例えば、214)および1つ以上の低ゾーン(例えば、217)を定義可能であることが指摘される。ここで留意すべきは、1つの実施例においては、パターン化された磁気媒体222は、読み書き可能なハードディスクドライブ(例えば、110)にインストールまたは内蔵することができることである。
【0024】
磁性材料220は、多種多様な方法で実装することができる。例えば、種々の実施例においては、磁性材料220には、コバルトプラチナクロム、ハードディスク合金、コバルトプラチナ、五元合金、クロムなどを含めることができる。ただし、これらに限定されるものではない。ここで留意すべきは、ほぼ固化したトポロジー材料204′およびディスク基板202の上方に、磁性材料、基層、およびコーティング220を、多種多様な方法で堆積させることができることである。例えば、1つの実施例においては、ほぼ固化したトポロジー材料204′およびディスク基板202の上方に、磁性材料、基層、およびコーティング220をスパッタさせることができる。ただし、これらに限定されるものではない。
【0025】
本発明の種々の実施例によると、図2E〜2Gに示したイベントの順序とは異なる他の順序も実施可能であることが指摘される。例えば、図2H〜2Lは、本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体に対するほぼ固化したトポロジーの作成を示す典型的な側断面図である。尚、図2H〜2Lは、図2E〜2Gと置き換え可能である。そのため、図2A〜2Dは、すでに説明した方法と同様に図2H〜2Lの前に実行することができる。
【0026】
図2Hは、本発明の種々の実施例による、トポロジー材料204をほぼ液体(または、非固体)からほぼ固化した材料に変質させるプロセスの開始を示す側断面図である。具体的には、ナノインプリンティングマスク206の1つ以上の突起210および1つ以上の窪み212によって範囲を定められるような特定の形にトポロジー材料204を成形するナノインプリンティングプロセスの間、変質プロセスを起動または開始して、ナノインプリンティングマスク206の除去をちょうど可能にする程度に、トポロジー材料204を部分的に固化させることができる。尚、図2Hにおいて開始される変質プロセスは、多種多様な方法で実行することができる。例えば、1つの実施例においては、変質プロセスには、ナノインプリンティングマスク206を通過可能であるとともに、トポロジー材料204の部分的な固化または硬化を開始可能な、放射線の利用を含めることができる(破線の矢印216′によって示される)。放射線216′には、光学的放射、紫外線または紫外光、電子線照射など含めることができる(ただし、これらに限定されるものではない)。1つの実施例においては、変質プロセスには、熱プロセスを利用してトポロジー材料204の部分的な固化または硬化を開始することを含めることができる。また、1つの実施例においては、変質プロセスには、冷却プロセスまたは凍結プロセスを利用して、トポロジー材料204の部分的な固化または硬化を開始することを含めることができる。
【0027】
図2Iは、本発明の種々の実施例による、部分的に固化したトポロジー材料204″およびディスク基板202から持ち上げた、ナノインプリンティングマスク206を示す側断面図である。具体的には、トポロジー材料204を、ほぼ液体(または、非固体状態)から、ナノインプリンティングマスク206の除去をちょうど可能にする程度の部分的に固化したトポロジー材料204″に一度変質させると、押上げ力(矢印244によって示される)をナノインプリンティングマスク206に加えて、ナノインプリンティングマスク206が、部分的に固化したトポロジー材料204″およびディスク基板202から持ち上がるようにすることができる。ナノインプリンティングマスク206を一度持ち上げれば、部分的に固化したトポロジー材料204″には、1つ以上の高架領域214を含めることができる。また、部分的に固化したトポロジー材料204″は、ディスク基板202よりも上に位置する1つ以上のピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装することができるが、それらに限定されるものではない。1つの実施例においては、ナノインプリンティングマスク206を一度持ち上げれば、部分的に固化したトポロジー材料204″は、ディスク基板202の上方に、ランド(または、高架領域)214および溝(または、下部領域)217を形成することができる。1つの実施例においては、部分的に固化したトポロジー材料204″の1つ以上の突起は、約20〜40ナノメートルの高さが可能であるが、それに限定されるものではない。
【0028】
図2Jは、本発明の種々の実施例による、部分的に固化したトポロジー材料204″を、ほぼ固化した材料に変質させる仕上げプロセスを示す側断面図である。部分的に固化した材料は、ほぼ固化した材料よりも固体の状態ではないことが指摘される。図2Jにおいて、ナノインプリンティングマスク206を持ち上げた後、仕上げプロセスまたは最終変質プロセスを起動または開始して、部分的に固化したトポロジー材料204″を、ほぼ固化した材料(つまり、ほぼ固体の材料)に変化させることができる。変質プロセスは、多種多様な方法で実行可能であることが指摘される。例えば、1つの実施例においては、変質プロセスには、部分的に固化したトポロジー材料204″を、ほぼ固化した材料に硬化させることが可能な放射線の利用を含めることができる(破線の矢印216′によって示される)。放射線には、光学的放射、紫外線または紫外光、電子線照射など含めることができる(ただし、これらに限定されるものではない)。1つの実施例においては、部分的に固化したトポロジー材料204″は、ほぼ固化した材料に熱的に変質させることができる。一つの実施例においては、部分的に固化したトポロジー材料204″を冷却または凍結させることによって、部分的に固化したトポロジー材料204″をほぼ固化した材料に変質させることができる。
【0029】
尚、1つの実施例においては、図2Jを参照して説明した仕上げ変質プロセスは、バッチモードで実行することができる。例えば、バッチモードには、それぞれ部分的に固化したトポロジー材料(例えば、204″)を含む複数の基板(例えば、202)を含めることができる。ここで、それぞれの部分的に固化したトポロジー材料には、仕上げ変質プロセスを同時に施すことが可能である。
【0030】
図2Kは、本発明の種々の実施例による、ほぼ固化したトポロジー材料204′′′およびディスク基板202を示す側断面図である。具体的には、図2Jに示す仕上げプロセスによって、部分的に固化したトポロジー材料204″がほぼ固化した材料204′′′に一度変質すれば、ディスク基板202およびほぼ固化したトポロジー材料204′′′をさらに処理することができる。ほぼ固化した材料は、部分的に固化した材料よりも一層固体の状態であることが指摘される。
【0031】
図2Lは、本発明の種々の実施例による、1つ以上の磁性材料、適切な基層、および保護コーティング220を、ほぼ固化したトポロジー材料204′′′およびディスク基板202の上方に堆積させることが可能なことを示す側断面図である。尚、ディスク基板202、およびほぼ固化したトポロジー材料204′′′の上方に磁性材料、基層、およびコーティング220を堆積させることによって、パターン化された磁気媒体226を生成または形成することができる。ディスク基板202およびほぼ固化したトポロジー材料204′′′の上方に磁性材料、基層、およびコーティング220を堆積させた状態で、ほぼ固化したトポロジー材料204′′′によってデータビットを定義して、パターン化された磁気媒体の記録を行うことができる。ほぼ固化したトポロジー材料204′′′によって、パターン化された磁気媒体226について、1つ以上の高ゾーン(例えば、214)および1つ以上の低ゾーン(例えば、217)を定義可能であることが指摘される。1つの実施例においては、パターン化された磁気媒体226は、読み書き可能なハードディスクドライブ(例えば、110)にインストールまたは内蔵することができる。
【0032】
磁性材料220は、多種多様な方法で実装することができる。例えば、種々の実施例においては、磁性材料220には、コバルトプラチナクロム、ハードディスク合金、コバルトプラチナ、五元合金、クロムなどを含めることができる。ただし、これらに限定されるものではない。尚、ほぼ固化したトポロジー材料204′′′およびディスク基板202の上方に、磁性材料、基層、およびコーティング220を、多種多様な方法で堆積させることができる。例えば、1つの実施例においては、ほぼ固化したトポロジー材料204′′′およびディスク基板202の上方に、磁性材料、基層、およびコーティング220をスパッタさせることができる。ただし、これらに限定されるものではない。
【0033】
図3は、本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体300の断面を示す平面図である。ここで指摘されるのは、パターン化された磁気媒体300は、ここで説明するパターン化された磁気媒体のいずれの方法においても同様に実装可能なことである。ただし、これらに限定されるものではない。パターン化された磁気媒体300には、それぞれピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装可能な1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料304などが含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。さらに、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料304のそれぞれの断面は、円形またはほぼ円形(図示されていない)に形成することができる。1つの実施例においては、複数のほぼ固化したトポロジー材料304は、六角形のパッキング構造に(または効率的な方法で)詰め込むことができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0034】
尚、パターン化された磁気媒体300の1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料304は、多種多様な方法で実装することができる。例えば、種々の実施例においては、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料304を、それらが多少狭くかつ長く、または多少広くかつ短くなるように実装することができる。1つの実施例においては、複数のほぼ固化したトポロジー材料304は、ディスク基板(例えば202)上方の同心円内に配置することができる。種々の実施例においては、各々のほぼ固化したトポロジー材料304は、トラックに沿ってしだいに長くなるように、またはパターン化された磁気媒体300の複数のトラックを横断して広くなるように実装することができる。1つの実施例においては、複数のほぼ固化したトポロジー材料304を、サーボ情報を提供するために、特定の1つ以上の領域に配置することができる。このサーボ情報は、わずかにより複雑なパターンを含む場合がある。
【0035】
図4は、本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体400の断面を示す平面図である。尚、パターン化された磁気媒体400は、ここで説明するパターン化された磁気媒体のいずれの方法を用いても同様に実装可能である。ただし、これらに限定されるものではない。パターン化された磁気媒体400には、それぞれピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装可能な1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料404などが含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。また、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料404のそれぞれの断面は、楕円形またはほぼ楕円形(図示されていない)に形成することができる。
【0036】
図5は、本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体500の断面を示す平面図である。尚、パターン化された磁気媒体500は、ここで説明するパターン化された磁気媒体のいずれの方法を用いても同様に実装可能である。ただし、これらに限定されるものではない。パターン化された磁気媒体500には、それぞれピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装可能な1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料504などが含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。さらに、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料504のそれぞれの断面は、ひし形または正方形に形成することができる。または、ほぼひし形(図示されていない)、またはほぼ正方形(図示されていない)に形成することができる。
【0037】
図6は、本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体600の断面を示す平面図である。尚、パターン化された磁気媒体600は、ここで説明するパターン化された磁気媒体のいずれの方法を用いても同様に実装可能である。ただし、これらに限定されるものではない。パターン化された磁気媒体600には、それぞれピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装可能な1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料604などが含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。また、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料604のそれぞれの断面は、長方形またはほぼ長方形(図示されていない)に形成することができる。
【0038】
図7は、本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体700の断面を示す平面図である。尚、パターン化された磁気媒体700は、ここで説明するパターン化された磁気媒体のいずれの方法を用いても同様に実装可能である。ただし、これらに限定されるものではない。パターン化された磁気媒体700には、それぞれピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装可能な1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料704および704′が含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。さらに、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料704のそれぞれの断面は、ひし形または正方形に形成することができる。または、ほぼひし形(図示されていない)、またはほぼ正方形(図示されていない)に形成することができる。一方、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料704′のそれぞれの断面は、楕円またはほぼ楕円(図示されていない)に形成することができる。このように、パターン化された磁気媒体700は、ほぼ固化したトポロジー材料の複数の断面形状を含むことができる(例えば、704と704′)。
【0039】
図8は、本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体800の断面を示す平面図である。尚、パターン化された磁気媒体800は、ここで説明するパターン化された磁気媒体のいずれの方法を用いても同様に実装可能である。ただし、これらに限定されるものではない。パターン化された磁気媒体800には、それぞれピラー、カラム、マウンド、突起、および/またはプラトーの形状で実装可能な1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料804などが含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。さらに、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料804のそれぞれの断面は、多角形またはほぼ多角形(図示されていない)に形成することができる。例えば、一つの実施例においては、1つ以上のほぼ固化したトポロジー材料804のそれぞれの断面は、五角形またはほぼ五角形(図示されていない)に形成することができる。
【0040】
図9は、本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体に対するトポロジーのナノインプリンティングの典型的な方法900を示すフロー図である。この方法900には、計算装置によって読み込み可能かつ実行可能な命令(または、コード)による制御のもとで(例えば、ソフトウェア)、プロセッサおよび電気構成部品によって実行可能な、本発明の種々の実施例による典型的なプロセスが含まれる。計算装置によって読み込み可能かつ実行可能な命令(または、コード)は、例えば、計算装置によって利用可能な、揮発性メモリ、不揮発性メモリ、および/またはマスデータストレージなどのデータの記憶機能に常駐させる場合がある。しかし、計算装置によって読み込み可能かつ実行可能な命令(または、コード)は、コンピュータデバイスによって読み取り可能ないずれかのタイプのメディアに常駐させてもよい。尚、方法900は、コンピュータによって使用可能なメディア上のアプリケーション命令によって実行可能である。この場合、これらの命令が実行されるとき、方法900の1つ以上の動作が実行される。方法900では具体的な動作が開示されるが、そのような動作は典型的なものである。方法900は、図9に示されるすべての動作を含まなくてもよい。また、方法900は、他の動作および/または図9に示される動作の変形を含んでもよい。同様に、方法900の一連の動作は修正してもよい。尚、方法900の動作は、手動、ソフトウェア、ファームウェア、電子ハードウェアによって実行可能である。または、それらのいずれかの組み合わせによっても実行可能である。
【0041】
具体的には、方法900には、ディスク基板の上方に材料を堆積するステップを含めることが可能である。ここで、当該ディスク基板は、データストレージデバイス用である。ディスク基板上方の材料には、ナノインプリンティング処理を施すことが可能である。この材料を処理して、ほぼ固化した材料に変質させることができる。ほぼ固化した材料の上方には、磁性材料を堆積させることができる。ほぼ固化した材料および磁性材料を含むディスク基板は、データストレージデバイスに実装または内蔵することができる。
【0042】
図9に示す動作902では、材料(例えば、204)は、ディスク基板(例えば、202)の上方に堆積させることができる。ここで、当該ディスク基板は、データストレージデバイス(例えば、HDD 110)に用いる。動作902は、多種多様な方法で実行可能であることが指摘される。例えば、種々の実施例においては、動作902の材料には、水素シルセスキオキサン(HSQ)、ポリアミド、ポリアミドベースの重合体、およびレジストを含有するシリコンなどがある(ただし、これらに限定されるものではない)。動作902では、ここで説明した方法と同様ないずれかの方法で、材料をディスク基板の上方に堆積させることができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0043】
動作904では、ディスク基板上方の材料には、ナノインプリンティング処理を施すことが可能である。尚、動作904は、多種多様な方法で実行可能である。例えば、種々の実施例においては、動作904において、ディスク基板上方の材料のナノインプリンティング処理は、ここで説明した方法と同様ないずれかの方法で実行することができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0044】
図9に示す動作906では、この材料を処理して、ほぼ固化した材料に変質させることができる(例えば、204′または214′′′)。ほぼ固化した材料は、1つ以上の高架領域(または、1つ以上のピラー、カラム、またはプラトー)を含むことが可能なトポロジーを定義または包含することができる。尚、動作906は、多種多様な方法で実行可能である。例えば、種々の実施例においては、動作906の材料の処理には、硬化プロセス、電子線、放射、熱プロセス、光学プロセス、および冷却などの利用を含めることができる(ただし、これらに限定されるものではない)。1つの実施例においては、動作906の材料の処理は、材料のナノインプリンティング処理中に行うことができる。1つの実施例においては、動作906の材料の処理には、ナノインプリンティング処理中にプロセスを開始し、および材料のナノインプリンティング処理後にプロセスを終了させることを含めることができる。1つの実施例においては、動作906の材料の処理には、ナノインプリンティング処理中にプロセスを開始して、材料を部分的に固化した材料(例えば、204″)に変質させ、ナノインプリンティング処理後にプロセスを終了させて、部分的に固化した材料をほぼ固化した材料(例えば、214′′′)に変質させることを含めることができる。1つの実施例においては、動作906の材料の処理には、ナノインプリンティングマスク(例えば、206)による材料のナノインプリンティング処理中にプロセスを開始して、材料を部分的に固化した材料(例えば204″)に変質させ、ナノインプリンティングマスクを取り除いた後にプロセスを終了させて、部分的に固化した材料をほぼ固化した材料(例えば、214′′′)に変質させることを含めることができる。動作900は、ここで説明した方法と同様ないずれかの方法で実行することができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0045】
動作908では、磁性材料(例えば、220)は、ほぼ固化した材料の上方に堆積させることができる。動作908は、多種多様な方法で実行可能であることが指摘される。例えば、種々の実施例においては、動作908の磁性材料には、コバルトプラチナクロム、五元合金、クロム、およびコバルトプラチナなどが含まれる。ただし、これらに限定されるものではない。1つの実施例においては、動作908では、1つ以上の磁性材料を、ほぼ固化した材料の上方に堆積させることができる。1つの実施例においては、動作908では、1つ以上の磁性材料、1つ以上の適切な基層、および1つ以上の保護膜を、ほぼ固化した材料の上方に溶着させることができる。動作908は、ここで説明した方法と同様ないずれかの方法で実行することができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0046】
図9に示す動作910では、ほぼ固化した材料および磁性材料を含むディスク基板は、データストレージデバイスにインストール、実装、または内蔵することができる。尚、動作910は、多種多様な方法で実行可能である。例えば、種々の実施例においては、動作910において、ほぼ固化した材料および磁性材料を含むディスク基板は、ここで説明した方法と同様ないずれかの方法でデータストレージデバイスに実装または内蔵することができる。ただし、これに限定されるものではない。
【0047】
本発明による種々の具体的な実施例についての前述の説明は、図示および説明の目的で行われたものである。そのため、前述の説明は、網羅的であることを意図したものではなく、または開示された厳密な形式に本発明を限定することを意図したものでもない。したがって、上記説明の観点から多くの修正および変形が可能であることは明らかである。本発明は、請求項およびそれらに相当するものによって解釈することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【0048】
【図1】本発明の一実施例による、カバーおよびトップマグネットを取り外した状態の典型的なHDDの平面図である。
【図2A】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2B】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2C】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2D】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2E】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2F】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2G】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2H】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2I】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2J】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2K】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図2L】本発明の種々の実施例による、パターン化された磁気媒体を作成するための典型的な側断面図である。
【図3】本発明の種々の実施例による、典型的なパターン化された磁気媒体の断面を示す平面図である。
【図4】本発明の種々の実施例による、別の典型的なパターン化された磁気媒体の断面を示す平面図である。
【図5】本発明の種々の実施例による、さらに別の典型的なパターン化された磁気媒体の断面を示す平面図である。
【図6】本発明の種々の実施例による、さらに別の典型的なパターン化された磁気媒体の断面を示す平面図である。
【図7】本発明の種々の実施例による、別の典型的なパターン化された磁気媒体の断面を示す平面図である。
【図8】本発明の種々の実施例による、さらに別の典型的なパターン化された磁気媒体の断面を示す平面図である。
【図9】本発明の種々の実施例による、典型的な方法を示すフロー図である。
【符号の説明】
【0049】
202…ディスク基板、204…トポロジー材料、204′…ほぼ固化したトポロジー材料、204″…部分的に固化したトポロジー材料、204′′′…ほぼ固化したトポロジー材料、206…ナノインプリンティングマスク、210…突起、212…窪み、214…ランド、216,216′…放射線、217…溝、220…磁性材料、222,226…パターン化された磁気媒体、300,400,500,600,700,800…パターン化された磁気媒体、304,404,504,604,704,704′,804…ほぼ固化したトポロジー材料。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
データストレージデバイス用のディスク基板の上方に材料を堆積するステップと、
前記ディスク基板上方の前記材料にナノインプリンティング処理を行うステップと、
前記材料をほぼ固化した材料に処理するステップと、
前記ほぼ固化した材料の上方に磁性材料を堆積するステップと、を含むことを特徴とする方法。
【請求項2】
請求項1記載の方法において、前記材料は水素シルセスキオキサンを含むことを特徴とする方法。
【請求項3】
請求項1記載の方法において、前記材料はポリアミドを含むことを特徴とする方法。
【請求項4】
請求項1記載の方法において、前記材料はレジストを含有するシリコンを含むことを特徴とする方法。
【請求項5】
請求項1記載の方法において、前記処理は電子ビームの利用を含むことを特徴とする方法。
【請求項6】
請求項1記載の方法において、前記処理は放射線の利用を含むことを特徴とする方法。
【請求項7】
請求項1記載の方法において、前記処理は前記ナノインプリンティング処理中に開始することを特徴とする方法。
【請求項8】
ディスク基板と、
前記ディスク基板の上方に堆積された材料であって、ナノインプリンティング処理を施され、さらにほぼ固化した材料に変質させられた材料と、
前記ほぼ固化した材料の上方に堆積された磁性材料と、を有することを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項9】
請求項8記載のパターン化されたメディアディスクにおいて、前記材料は水素シルセスキオキサンを含むことを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項10】
請求項8記載のパターン化されたメディアディスクにおいて、前記材料はポリアミドベースの重合体を含むことを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項11】
請求項8記載のパターン化されたメディアディスクにおいて、前記材料はレジストを含有するシリコンを含むことを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項12】
請求項8記載のパターン化されたメディアディスクにおいて、前記ほぼ固化した材料は二酸化ケイ素を含むことを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項13】
請求項8記載のパターン化されたメディアディスクにおいて、前記材料の前記ほぼ固化した材料への変質は、電子ビーム、熱プロセス、光学プロセス、放射、および冷却の利用から成るグループから選択されるプロセスで行なわれることを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項14】
請求項8記載のパターン化されたメディアディスクにおいて、前記材料はナノインプリンティング処理中に変質が開始されることを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項15】
コンピュータによって使用可能なメディア上のアプリケーション命令であって、
実行時に前記命令は、
データストレージデバイス用のディスク基板の上方に材料を堆積させるステップと、
前記ディスク基板上方の前記材料にナノインプリンティング処理を行うステップと、
前記材料をほぼ固化された材料に変質させるステップと、
前記ほぼ固化された材料の上方に磁性材料を堆積させるステップと、を含む方法を実行することを特徴とするアプリケーション命令。
【請求項16】
請求項15記載のアプリケーション命令において、前記材料は水素シルセスキオキサンを含むことを特徴とするアプリケーション命令。
【請求項17】
請求項15記載のアプリケーション命令において、前記材料はポリアミドベースの重合体を含むことを特徴とするアプリケーション命令。
【請求項18】
請求項15記載のアプリケーション命令において、前記材料はレジストを含有するシリコンを含むことを特徴とするアプリケーション命令。
【請求項19】
請求項15記載のアプリケーション命令において、前記変質は、電子ビーム、熱、光学、放射、および冷却の利用から成るグループから選択されるプロセスで行われることを特徴とするアプリケーション命令。
【請求項20】
請求項15記載のアプリケーション命令において、前記変質は、前記ナノインプリンティング処理中に開始され、前記ナノインプリンティング処理後に終了することを特徴とするアプリケーション命令。
【請求項1】
データストレージデバイス用のディスク基板の上方に材料を堆積するステップと、
前記ディスク基板上方の前記材料にナノインプリンティング処理を行うステップと、
前記材料をほぼ固化した材料に処理するステップと、
前記ほぼ固化した材料の上方に磁性材料を堆積するステップと、を含むことを特徴とする方法。
【請求項2】
請求項1記載の方法において、前記材料は水素シルセスキオキサンを含むことを特徴とする方法。
【請求項3】
請求項1記載の方法において、前記材料はポリアミドを含むことを特徴とする方法。
【請求項4】
請求項1記載の方法において、前記材料はレジストを含有するシリコンを含むことを特徴とする方法。
【請求項5】
請求項1記載の方法において、前記処理は電子ビームの利用を含むことを特徴とする方法。
【請求項6】
請求項1記載の方法において、前記処理は放射線の利用を含むことを特徴とする方法。
【請求項7】
請求項1記載の方法において、前記処理は前記ナノインプリンティング処理中に開始することを特徴とする方法。
【請求項8】
ディスク基板と、
前記ディスク基板の上方に堆積された材料であって、ナノインプリンティング処理を施され、さらにほぼ固化した材料に変質させられた材料と、
前記ほぼ固化した材料の上方に堆積された磁性材料と、を有することを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項9】
請求項8記載のパターン化されたメディアディスクにおいて、前記材料は水素シルセスキオキサンを含むことを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項10】
請求項8記載のパターン化されたメディアディスクにおいて、前記材料はポリアミドベースの重合体を含むことを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項11】
請求項8記載のパターン化されたメディアディスクにおいて、前記材料はレジストを含有するシリコンを含むことを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項12】
請求項8記載のパターン化されたメディアディスクにおいて、前記ほぼ固化した材料は二酸化ケイ素を含むことを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項13】
請求項8記載のパターン化されたメディアディスクにおいて、前記材料の前記ほぼ固化した材料への変質は、電子ビーム、熱プロセス、光学プロセス、放射、および冷却の利用から成るグループから選択されるプロセスで行なわれることを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項14】
請求項8記載のパターン化されたメディアディスクにおいて、前記材料はナノインプリンティング処理中に変質が開始されることを特徴とするパターン化されたメディアディスク。
【請求項15】
コンピュータによって使用可能なメディア上のアプリケーション命令であって、
実行時に前記命令は、
データストレージデバイス用のディスク基板の上方に材料を堆積させるステップと、
前記ディスク基板上方の前記材料にナノインプリンティング処理を行うステップと、
前記材料をほぼ固化された材料に変質させるステップと、
前記ほぼ固化された材料の上方に磁性材料を堆積させるステップと、を含む方法を実行することを特徴とするアプリケーション命令。
【請求項16】
請求項15記載のアプリケーション命令において、前記材料は水素シルセスキオキサンを含むことを特徴とするアプリケーション命令。
【請求項17】
請求項15記載のアプリケーション命令において、前記材料はポリアミドベースの重合体を含むことを特徴とするアプリケーション命令。
【請求項18】
請求項15記載のアプリケーション命令において、前記材料はレジストを含有するシリコンを含むことを特徴とするアプリケーション命令。
【請求項19】
請求項15記載のアプリケーション命令において、前記変質は、電子ビーム、熱、光学、放射、および冷却の利用から成るグループから選択されるプロセスで行われることを特徴とするアプリケーション命令。
【請求項20】
請求項15記載のアプリケーション命令において、前記変質は、前記ナノインプリンティング処理中に開始され、前記ナノインプリンティング処理後に終了することを特徴とするアプリケーション命令。
【図1】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図2D】
【図2E】
【図2F】
【図2G】
【図2H】
【図2I】
【図2J】
【図2K】
【図2L】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図2D】
【図2E】
【図2F】
【図2G】
【図2H】
【図2I】
【図2J】
【図2K】
【図2L】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【公開番号】特開2008−217970(P2008−217970A)
【公開日】平成20年9月18日(2008.9.18)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2008−34624(P2008−34624)
【出願日】平成20年2月15日(2008.2.15)
【出願人】(503116280)ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ (1,121)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成20年9月18日(2008.9.18)
【国際特許分類】
【出願日】平成20年2月15日(2008.2.15)
【出願人】(503116280)ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ (1,121)
【Fターム(参考)】
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