伸線ダイス
【課題】伸線後の金属線の表面に発生する引っ張り残留応力が低減されうる伸線ダイス１の提供。
【解決手段】リダクション部５とベアリング部６とを含むダイス孔２が形成されており、このリダクション部の表面が鏡面仕上げされており、ベアリング部の表面が上記鏡面仕上げより粗くされている。上記リダクション部５の表面粗さは、十点平均粗さＲｚでは、１．４０μｍ未満であり、中心線平均粗さＲａであれば、０．１９μｍ未満である。上記ベアリング部６の表面粗さは、十点平均粗さＲｚであれば、１．４０μｍ以上１．９０μｍ以下であり、中心線平均粗さＲａであれば、０．１９μｍ以上０．２８μｍ以下である。
【解決手段】リダクション部５とベアリング部６とを含むダイス孔２が形成されており、このリダクション部の表面が鏡面仕上げされており、ベアリング部の表面が上記鏡面仕上げより粗くされている。上記リダクション部５の表面粗さは、十点平均粗さＲｚでは、１．４０μｍ未満であり、中心線平均粗さＲａであれば、０．１９μｍ未満である。上記ベアリング部６の表面粗さは、十点平均粗さＲｚであれば、１．４０μｍ以上１．９０μｍ以下であり、中心線平均粗さＲａであれば、０．１９μｍ以上０．２８μｍ以下である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は伸線ダイスに関する。さらに詳しくは、本発明は、鋼線等の金属製素線をその孔部を通過させることにより、この金属製素線を縮径して伸線するための伸線ダイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
伸線加工においては、例えば鋼線が、この鋼線の外径より小径の伸線ダイスの孔を通過させられる。これにより、鋼線は塑性変形を起こして断面積が減少する。このため、伸線された鋼線の表面には引っ張り残留応力が生じる。この引っ張り残留応力が大きい場合には、その鋼線の疲労強度が低下する。
【０００３】
従来、鋼線の伸線加工に伴う疲労強度の低下を抑制するための各種方法が提案されている。例えば、特開平０８−２９１３６９号公報においては、伸線ダイスのアプローチ角度及びベアリング長さそれぞれを所定の好適な範囲に規制することが提案されている。
【０００４】
特開平１１−１９９９７９号公報においては、伸線加工時の伸線ダイスと鋼線との間の摩擦係数を所定値未満に抑制することが提案されている。
【０００５】
特開２００７−１１８０６７公報には、最終の伸線加工後の鋼線に張力を負荷することが提案されている。具体的には、多段の伸線ダイスを備えた伸線装置の、最終段の伸線ダイスと、鋼線巻き取りリールとの間に、ダンサローラ等を含んだ引っ張り残留応力低減装置が設置される。
【０００６】
特開平０５−１０４１８１号公報には、伸線後の金属線に残留圧縮応力を付与する方法が提案されている。具体的には、伸線後の金属線が、千鳥配置の多段のローラ群に通過させられることにより、この金属線に残留圧縮応力が付与される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平０８−２９１３６９号公報
【特許文献２】特開平１１−１９９９７９号公報
【特許文献３】特開２００７−１１８０６７公報
【特許文献４】特開平０５−１０４１８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前述のように、伸線ダイスのアプローチ角度及びベアリング長さを規制しても、十分な引っ張り残留応力の低減は期待できない。この場合、伸線後に残留応力低減のためのさらなる矯正加工が必要となる。伸線ダイスと鋼線との間の摩擦係数を規制する方法については、上記特開平１１−１９９９７９号公報には具体的に示されていない。
【０００９】
最終の伸線ダイスの下流に、引っ張り残留応力低減装置、多段のローラ群等を設置する方法の場合、設備コストの上昇、生産速度の低下を招来するおそれがある。さらに、伸線の残留応力を制御する他の方法として、スキンパス、矯直加工、ショットピーニング等が提案されている。しかし、これらの方法にも種々の問題点が挙げられている（特開平１１−１９９９７９号公報参照）。
【００１０】
本発明は、以上の現状に鑑みてなされたものであり、伸線後の金属線に対しては特別な処理を施すことなく、金属線の引っ張り残留応力の発生を効果的に抑制することのできる伸線ダイスを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る伸線ダイスは、
リダクション部とベアリング部とを含む孔部が形成されており、
上記リダクション部の表面が鏡面仕上げにされており、
上記ベアリング部の表面が上記鏡面仕上げより粗くされている。
【００１２】
かかる構成の伸線ダイスによれば、リダクション部の表面がなめらかであるので、被処理金属線に対する引き抜き動作への悪影響が防止される。これとともに、ベアリング部の表面が比較的粗くされているので、被処理金属線に対してスキンパス効果を与えることができる。このスキンパス効果により、伸線後の金属線の表面に発生する引っ張り残留応力が低減されうる。
【００１３】
好ましくは、上記リダクション部の表面粗さが、十点平均粗さＲｚで、１．４０μｍ未満とされ、
上記ベアリング部の表面粗さが、十点平均粗さＲｚで、１．４０μｍ以上１．９０μｍ以下とされている。
【００１４】
好ましくは、上記リダクション部の表面粗さが、中心線平均粗さＲａで、０．１９μｍ未満とされ、
上記ベアリング部の表面粗さが、中心線平均粗さＲａで、０．１９μｍ以上０．２８μｍ以下とされる。
【００１５】
好ましくは、上記ベアリング部の表面粗さが、十点平均粗さＲｚで、１．５０μｍ以上１．７０μｍ以下とされる。
【００１６】
好ましくは、上記ベアリング部の表面粗さが、中心線平均粗さＲａで、０．２０μｍ以上０．２６μｍ以下とされる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る伸線ダイスによれば、伸線後の金属線の表面に発生する引っ張り残留応力が低減されうる。その結果、その金属線の耐疲労強度が向上する。また、遊離砥粒ソーワイヤによる切断時のウエハ精度の向上にもつながる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本発明に係る伸線ダイスの一実施形態を含んだダイスセットを示す縦断面図である。
【図２】図２は、図１のダイスセットに含まれた、伸線ダイスの一実施形態のダイス孔を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、適宜図面が参照されつつ、好ましい実施形態に基づいて本発明が詳細に説明される。
【００２０】
図１に示されたダイスセット１０は、伸線ダイス（以下、単にダイスという）１がダイスホルダ（ダイスケース、ダイスハウジングともいう）１１に装着された状態のものである。ダイスホルダ１１は、ダイス１を保護するとともに、伸線装置への装着を容易にする。このダイスセット１０には、その中央部を貫通するように孔部（ダイス孔２という）が形成されている。金属線の伸線加工時には、外径Ｄ１の金属素線Ｍがこのダイス孔２に挿通される。その結果、この金属素線Ｍが伸線されて、その外径がＤ２に縮小される。伸線による金属素線Ｍの減免率（％）は、（Ｄ１２ − Ｄ２２）／Ｄ１２ ×１００で表される。
【００２１】
ダイス１の材料は、伸線対象の金属線Ｍの材質、サイズ等によって種々のものが採用されうる。極細線用には、一般にダイヤモンドが使用される。例えば、天然ダイヤモンド、合成の単結晶ダイヤモンド、合成の多結晶ダイヤモンド等である。
【００２２】
図２に示されるように、上記ダイス孔２には、金属素線Ｍの入り口側から出口側に向けて順に、エントランス部３、アプローチ部４、リダクション部５、ベアリング部６、バックリリーフ部７及びイグジット部８が形成されている。エントランス部３、アプローチ部４及びリダクション部５は、それぞれ出口側に向かって縮径されている。ベアリング部６は均一内径にされている。バックリリーフ部７及びイグジット部８は、それぞれ出口側に向かって拡径されている。
【００２３】
図２においては、各部３〜８の範囲を視認しやすいように、各部３〜８が直線で示され且つ角によって分けられている。しかし、実際の縦断面形状では、各部３〜８は曲線状に連続している。また、本実施形態では、ダイス孔２が上記６つの部位３〜８から構成されているが、かかる構成には限定されない。リダクション部５に相当する部位、及び、ベアリング部６に相当する部位以外については、その存在や形状に何らの限定もない。
【００２４】
従来、ダイス孔２の内周面は、被処理金属線Ｍに対する摩擦抵抗を低減するために、一般的に鏡面仕上げされる。鏡面仕上げは、ＪＩＳＢ０６０１、ＪＩＳＢ００３１の表面粗さ規定で表すと、一般的に十点平均粗さＲｚ（以下、単にＲｚで表すこともある）であれば、１．４０μｍ未満であるといえる。又は、中心線平均粗さＲａ（以下、単にＲａで表すこともある）であれば、０．１９μｍ未満であるといえる。しかし、ここで説明される実施形態に係るダイス１のダイス孔２の表面粗さは、従来のダイスのそれとは異なる。以下のとおりである。
【００２５】
本実施形態に係るダイス１では、ベアリング部６の表面粗さがリダクション部５の表面粗さとは異なる。リダクション部５の表面は、摩擦係数が小さくなるように鏡面仕上げされる。具体的には、リダクション部５の表面の表面粗さは、Ｒｚであれば１．４０μｍ未満にされる。Ｒａであれば０．１９μｍ未満にされている。リダクション部５は、金属線Ｍの断面積を減少させる部位であり、金属線Ｍに対して大きな抵抗力を負荷する部位だからである。
【００２６】
しかし、後述する目的のため、ベアリング部６の表面はリダクション部５の表面より粗く仕上げられる。ベアリング部６の表面の表面粗さは、Ｒｚであれば、１．４０μｍ以上１．９０μｍ以下にされる。Ｒａであれば０．１９μｍ以上０．２８μｍ以下にされる。好ましくは、十点平均粗さＲｚであれば１．５０μｍ以上１．７０μｍ以下にされ、ＲａであればＲａ０．２０μｍ以上０．２６μｍ以下にされる。
【００２７】
エントランス部３、アプローチ部４、バックリリーフ部７及びイグジット部８の各面の表面粗さは特別に規定はされない。これらの部位は、伸線に際して、金属線Ｍに大きな抵抗力を負荷することもなく、その表面粗さが伸線加工性や金属線Ｍの特性に大きな影響を与えないからである。本実施形態では、上記各部位３、４、７、８の表面粗さは、リダクション部５と同じく、Ｒｚであれば１．４０μｍ未満、Ｒａであれば０．１９μｍ未満にされている。すなわち、鏡面仕上げされている。しかし、かかる仕上げに限定はされない。以上述べた表面粗さの数値の範囲は、十点平均粗さＲｚ及び中心線平均粗さＲａのうちのいずれか一方の測定値で判定してよいことはもちろんである。
【００２８】
ダイヤモンド製のダイス１の場合、上記ダイス孔２は、例えば収束イオンビームを照射することによって形成される。ダイス孔２の面の表面仕上げは、ダイアモンド砥粒を用いて研磨されている。ベアリング部６と他の部位３、４、５、７、８とでは、研磨時に異なる粒径の砥粒が用いられる。ベアリング部６の研磨に用いられる砥粒の径は、他の部位３、４、５、７、８の研磨に用いられる砥粒の径より大きい。こうすることにより、ベアリング部６の表面は、リダクション部５及び他の部位３、４、７、８の表面より粗くなる。
【００２９】
以上のごとく、金属線Ｍの断面積を減少させる部位であるリダクション部５の面が鏡面仕上げされることにより、従来のダイスと同様に、金属線Ｍを縮径する動作に対する摩擦抵抗が低減される。一方、ベアリング部６の表面は、粗く仕上げられることによって摩擦係数が高くなる。しかし、金属線Ｍがベアリング部６から受ける面圧は、リダクション部５から受ける面圧に較べて低いため、引き抜き動作にとって問題にはならない。ベアリング部６の表面から金属線Ｍに作用する摩擦力により、金属線Ｍの表面に小さい歪が与えられる。いわゆるスキンパス効果が得られる。このスキンパス効果により、伸線後の金属線Ｍの表面に発生する引っ張り残留応力が低減されうる。
【００３０】
このように、ダイス孔２の表面仕上げ程度をわずかに変更するだけで、伸線装置に特別な装置を付加する必要なく、アプローチ角度（リダクション角度）やベアリング部長さ等の、ダイスの基本的な構造を変化させることなく、金属線Ｍの引っ張り残留応力の低減が可能となる。
【実施例】
【００３１】
以下、実施例によって本発明の効果が明らかにされるが、この実施例の記載に基づいて本発明が限定的に解釈されるべきではない。
【００３２】
［実施例１］
図２に示されたダイス１を装着したダイスセット１０が２２個用意された。この２２個のダイスセット（以下、ダイスという）１０が伸線装置内の一つの伸線ラインを構成する。後述する鋼線が、上記２２個のダイス１のダイス孔２に順次挿通され、伸線される。これらのダイス１は、ダイス孔径等は異なるが、いずれも減面率が約１５％のダイスである。各ダイス１におけるリダクション角、すなわち、図２における、ダイス１の中心軸ＣＬに対するリダクション部５の内面のなす角度αは、１２°にされている。各ダイス１のベアリング長さ、すなわち、図２における中心軸ＣＬに沿ったベアリング部６の長さＢＬは、ベアリング部６の内径寸法の１／２の長さにされている。上記２２個のダイス１は、いずれも合成多結晶ダイヤモンドから形成されている。ラインの最下流（２２番目）のダイス１は、そのリダクション部５が鏡面仕上げされ、ベアリング部６は指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３８μｍ、Ｒａが０．１５μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．４０μｍ、Ｒａが０．２１μｍとされている。その他（第１から第２１番目）のダイス１は、そのリダクション部５及びベアリング部６を含め、ダイス孔２の内周面は、鏡面仕上げ（Ｒｚが１．４０μｍ未満、Ｒａが０．１９μｍ未満）されている。この伸線ラインにより、線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。このメッキ鋼線は、線径が５．５ｍｍのピアノ線材（ＪＩＳＧ３５０６のＳＷＲＳ８２Ａ相当）に、パテンチング及び伸線加工を繰り返して、表面に真鍮メッキを施した線径０．８ｍｍの線材である。
【００３３】
［実施例２］
実施例２としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５が鏡面仕上げされ、ベアリング部６は指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３５μｍ、Ｒａが０．１６μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．５０μｍ、Ｒａが０．２０μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００３４】
［実施例３］
実施例３としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５が鏡面仕上げされ、ベアリング部６は指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３８μｍ、Ｒａが０．１６μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．６２μｍ、Ｒａが０．２３μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００３５】
［実施例４］
実施例４としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５が鏡面仕上げされ、ベアリング部６は指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３０μｍ、Ｒａが０．１５μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．７０μｍ、Ｒａが０．２６μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００３６】
［実施例５］
実施例５としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５が鏡面仕上げされ、ベアリング部６は指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３８μｍ、Ｒａが０．１６μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．８８μｍ、Ｒａが０．２８μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００３７】
［比較例１］
比較例１としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。しかし、この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５及びベアリング部６ともに鏡面仕上げされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３５μｍ、Ｒａが０．１６μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．３３μｍ、Ｒａが０．１６μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００３８】
［比較例２］
比較例２としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。しかし、この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５が指定粗さとされ、ベアリング部６は鏡面仕上げされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．５０μｍ、Ｒａが０．２０μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．３０μｍ、Ｒａが０．１５μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００３９】
［比較例３］
比較例３としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。しかし、この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５が鏡面仕上げされ、ベアリング部６は指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３５μｍ、Ｒａが０．１６μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．９８μｍ、Ｒａが０．２１μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００４０】
［比較例４］
比較例４としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。しかし、この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５及びベアリング部６ともに指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．６３μｍ、Ｒａが０．２２μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．７１μｍ、Ｒａが０．２４μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００４１】
［伸線加工品の評価］
上記実施例１から５及び比較例１から４に係るダイスによって伸線加工された鋼線に対して、それらの表層の残留応力の測定、及び、疲労試験が行われた。表１に、各例の第２２番目のダイス１のダイス孔２の表面粗さと、上記の各試験結果とが示される。各試験結果に基づいて各例におけるダイスが評価された。
【００４２】
［鋼線の表層の残留応力の測定］
上記各例について、伸線加工後の鋼線から切り取られた１５ｃｍ長さの部分が供試品とされた。採用された表層の残留応力の測定方法は周知であり、特開２００３−３０１３９０公報に詳しい。すなわち、供試品のメッキは過硫酸アンモニウム水によって除去される。この供試品の表面の半周部分が、長手方向全長にわたってラッカーで被覆される。このように１／２部分が被覆された供試品は、硝酸溶液中でエッチングが施される。残留応力が生じた表層の半分の範囲を除去する目的である。エッチング後の供試品の最大の曲がり量が残留応力値とされる。残留応力値は、比較例１についての結果を指数１００とし、これが基準値とされて、他の例の残留応力指数が算出される。表１に、各例の供試品の表層引っ張り残留応力指数が示される。残留応力指数は小さいほど好ましい。
【００４３】
［鋼線の疲労特性の試験］
上記各例について、伸線加工後の鋼線から切り取られた同一長さの部分が供試品とされた。この供試品について、周知のハンター式回転曲げ疲労試験機によって疲労強度が測定された。まず、供試品は、その表面に発生する引っ張り応力の最大値が１５００ＭＰａとなるように、Ｕ字状に湾曲される。Ｕ字状の供試品の一端が回転自在に支持される。供試品がＵ字状に支持された状態で、供試品の他端がモータ等によって自軸回りに回転させられる。これにより、供試品の表層には圧縮応力と引っ張り応力とが短周期で繰り返し発生する。供試品が、疲労によって切断させるまでの回転数が測定される。耐疲労強度は、比較例１についての試験結果（回転数）を指数１００とし、これが基準値とされて、他の例の耐疲労強度が算出される。表１に、各例の供試品の疲労特性指数が示される。疲労特性指数は大きいほど好ましい。
【００４４】
【表１】
【００４５】
表１に示されるように、実施例１から５の最下流ダイス１は、リダクション部５の面が鏡面仕上げされ、ベアリング部６の面が鏡面より粗い所定範囲の粗さにされている。比較例１の最下流ダイス１は、リダクション部５及びベアリング部６ともに、その面が鏡面仕上げされている。比較例２の最下流ダイス１は、リダクション部５の面が鏡面より粗い所定範囲の粗さにされ、ベアリング部６の面が鏡面仕上げされている。比較例３の最下流ダイス１は、リダクション部５の面が鏡面仕上げされ、ベアリング部６の面が鏡面より粗い所定範囲の粗さにされている。しかし、ベアリング部６の面の粗さは、実施例１から５の最下流ダイス１のベアリング部６の表面粗さより大幅に粗い。比較例４の最下流ダイス１は、リダクション部５及びベアリング部６ともに、その面が鏡面より粗い所定範囲の粗さにされている。上記実施例１から５の各最下流ダイス１は、表面粗さにおいて、比較例１から４の各最下流ダイス１とは大きく異なる。
【００４６】
表１に示されるように、上記実施例１から５の最下流ダイス１によって伸線された鋼線は、比較例１から４の最下流ダイス１によって伸線された鋼線より、その表面引っ張り残留応力指数及び疲労特性指数ともに優れている。この評価結果から、本発明の優位性は明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明に係る伸線ダイスは、各種金属線を縮径して伸線する加工に適用される。
【符号の説明】
【００４８】
１・・・ダイス
２・・・ダイス孔
３・・・エントランス部
４・・・アプローチ部
５・・・リダクション部
６・・・ベアリング部
７・・・バックリリーフ部
８・・・イグジット部
１０・・・ダイスセット
１１・・・ダイスホルダ
α・・・リダクション角度
【技術分野】
【０００１】
本発明は伸線ダイスに関する。さらに詳しくは、本発明は、鋼線等の金属製素線をその孔部を通過させることにより、この金属製素線を縮径して伸線するための伸線ダイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
伸線加工においては、例えば鋼線が、この鋼線の外径より小径の伸線ダイスの孔を通過させられる。これにより、鋼線は塑性変形を起こして断面積が減少する。このため、伸線された鋼線の表面には引っ張り残留応力が生じる。この引っ張り残留応力が大きい場合には、その鋼線の疲労強度が低下する。
【０００３】
従来、鋼線の伸線加工に伴う疲労強度の低下を抑制するための各種方法が提案されている。例えば、特開平０８−２９１３６９号公報においては、伸線ダイスのアプローチ角度及びベアリング長さそれぞれを所定の好適な範囲に規制することが提案されている。
【０００４】
特開平１１−１９９９７９号公報においては、伸線加工時の伸線ダイスと鋼線との間の摩擦係数を所定値未満に抑制することが提案されている。
【０００５】
特開２００７−１１８０６７公報には、最終の伸線加工後の鋼線に張力を負荷することが提案されている。具体的には、多段の伸線ダイスを備えた伸線装置の、最終段の伸線ダイスと、鋼線巻き取りリールとの間に、ダンサローラ等を含んだ引っ張り残留応力低減装置が設置される。
【０００６】
特開平０５−１０４１８１号公報には、伸線後の金属線に残留圧縮応力を付与する方法が提案されている。具体的には、伸線後の金属線が、千鳥配置の多段のローラ群に通過させられることにより、この金属線に残留圧縮応力が付与される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平０８−２９１３６９号公報
【特許文献２】特開平１１−１９９９７９号公報
【特許文献３】特開２００７−１１８０６７公報
【特許文献４】特開平０５−１０４１８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前述のように、伸線ダイスのアプローチ角度及びベアリング長さを規制しても、十分な引っ張り残留応力の低減は期待できない。この場合、伸線後に残留応力低減のためのさらなる矯正加工が必要となる。伸線ダイスと鋼線との間の摩擦係数を規制する方法については、上記特開平１１−１９９９７９号公報には具体的に示されていない。
【０００９】
最終の伸線ダイスの下流に、引っ張り残留応力低減装置、多段のローラ群等を設置する方法の場合、設備コストの上昇、生産速度の低下を招来するおそれがある。さらに、伸線の残留応力を制御する他の方法として、スキンパス、矯直加工、ショットピーニング等が提案されている。しかし、これらの方法にも種々の問題点が挙げられている（特開平１１−１９９９７９号公報参照）。
【００１０】
本発明は、以上の現状に鑑みてなされたものであり、伸線後の金属線に対しては特別な処理を施すことなく、金属線の引っ張り残留応力の発生を効果的に抑制することのできる伸線ダイスを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る伸線ダイスは、
リダクション部とベアリング部とを含む孔部が形成されており、
上記リダクション部の表面が鏡面仕上げにされており、
上記ベアリング部の表面が上記鏡面仕上げより粗くされている。
【００１２】
かかる構成の伸線ダイスによれば、リダクション部の表面がなめらかであるので、被処理金属線に対する引き抜き動作への悪影響が防止される。これとともに、ベアリング部の表面が比較的粗くされているので、被処理金属線に対してスキンパス効果を与えることができる。このスキンパス効果により、伸線後の金属線の表面に発生する引っ張り残留応力が低減されうる。
【００１３】
好ましくは、上記リダクション部の表面粗さが、十点平均粗さＲｚで、１．４０μｍ未満とされ、
上記ベアリング部の表面粗さが、十点平均粗さＲｚで、１．４０μｍ以上１．９０μｍ以下とされている。
【００１４】
好ましくは、上記リダクション部の表面粗さが、中心線平均粗さＲａで、０．１９μｍ未満とされ、
上記ベアリング部の表面粗さが、中心線平均粗さＲａで、０．１９μｍ以上０．２８μｍ以下とされる。
【００１５】
好ましくは、上記ベアリング部の表面粗さが、十点平均粗さＲｚで、１．５０μｍ以上１．７０μｍ以下とされる。
【００１６】
好ましくは、上記ベアリング部の表面粗さが、中心線平均粗さＲａで、０．２０μｍ以上０．２６μｍ以下とされる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る伸線ダイスによれば、伸線後の金属線の表面に発生する引っ張り残留応力が低減されうる。その結果、その金属線の耐疲労強度が向上する。また、遊離砥粒ソーワイヤによる切断時のウエハ精度の向上にもつながる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本発明に係る伸線ダイスの一実施形態を含んだダイスセットを示す縦断面図である。
【図２】図２は、図１のダイスセットに含まれた、伸線ダイスの一実施形態のダイス孔を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、適宜図面が参照されつつ、好ましい実施形態に基づいて本発明が詳細に説明される。
【００２０】
図１に示されたダイスセット１０は、伸線ダイス（以下、単にダイスという）１がダイスホルダ（ダイスケース、ダイスハウジングともいう）１１に装着された状態のものである。ダイスホルダ１１は、ダイス１を保護するとともに、伸線装置への装着を容易にする。このダイスセット１０には、その中央部を貫通するように孔部（ダイス孔２という）が形成されている。金属線の伸線加工時には、外径Ｄ１の金属素線Ｍがこのダイス孔２に挿通される。その結果、この金属素線Ｍが伸線されて、その外径がＤ２に縮小される。伸線による金属素線Ｍの減免率（％）は、（Ｄ１２ − Ｄ２２）／Ｄ１２ ×１００で表される。
【００２１】
ダイス１の材料は、伸線対象の金属線Ｍの材質、サイズ等によって種々のものが採用されうる。極細線用には、一般にダイヤモンドが使用される。例えば、天然ダイヤモンド、合成の単結晶ダイヤモンド、合成の多結晶ダイヤモンド等である。
【００２２】
図２に示されるように、上記ダイス孔２には、金属素線Ｍの入り口側から出口側に向けて順に、エントランス部３、アプローチ部４、リダクション部５、ベアリング部６、バックリリーフ部７及びイグジット部８が形成されている。エントランス部３、アプローチ部４及びリダクション部５は、それぞれ出口側に向かって縮径されている。ベアリング部６は均一内径にされている。バックリリーフ部７及びイグジット部８は、それぞれ出口側に向かって拡径されている。
【００２３】
図２においては、各部３〜８の範囲を視認しやすいように、各部３〜８が直線で示され且つ角によって分けられている。しかし、実際の縦断面形状では、各部３〜８は曲線状に連続している。また、本実施形態では、ダイス孔２が上記６つの部位３〜８から構成されているが、かかる構成には限定されない。リダクション部５に相当する部位、及び、ベアリング部６に相当する部位以外については、その存在や形状に何らの限定もない。
【００２４】
従来、ダイス孔２の内周面は、被処理金属線Ｍに対する摩擦抵抗を低減するために、一般的に鏡面仕上げされる。鏡面仕上げは、ＪＩＳＢ０６０１、ＪＩＳＢ００３１の表面粗さ規定で表すと、一般的に十点平均粗さＲｚ（以下、単にＲｚで表すこともある）であれば、１．４０μｍ未満であるといえる。又は、中心線平均粗さＲａ（以下、単にＲａで表すこともある）であれば、０．１９μｍ未満であるといえる。しかし、ここで説明される実施形態に係るダイス１のダイス孔２の表面粗さは、従来のダイスのそれとは異なる。以下のとおりである。
【００２５】
本実施形態に係るダイス１では、ベアリング部６の表面粗さがリダクション部５の表面粗さとは異なる。リダクション部５の表面は、摩擦係数が小さくなるように鏡面仕上げされる。具体的には、リダクション部５の表面の表面粗さは、Ｒｚであれば１．４０μｍ未満にされる。Ｒａであれば０．１９μｍ未満にされている。リダクション部５は、金属線Ｍの断面積を減少させる部位であり、金属線Ｍに対して大きな抵抗力を負荷する部位だからである。
【００２６】
しかし、後述する目的のため、ベアリング部６の表面はリダクション部５の表面より粗く仕上げられる。ベアリング部６の表面の表面粗さは、Ｒｚであれば、１．４０μｍ以上１．９０μｍ以下にされる。Ｒａであれば０．１９μｍ以上０．２８μｍ以下にされる。好ましくは、十点平均粗さＲｚであれば１．５０μｍ以上１．７０μｍ以下にされ、ＲａであればＲａ０．２０μｍ以上０．２６μｍ以下にされる。
【００２７】
エントランス部３、アプローチ部４、バックリリーフ部７及びイグジット部８の各面の表面粗さは特別に規定はされない。これらの部位は、伸線に際して、金属線Ｍに大きな抵抗力を負荷することもなく、その表面粗さが伸線加工性や金属線Ｍの特性に大きな影響を与えないからである。本実施形態では、上記各部位３、４、７、８の表面粗さは、リダクション部５と同じく、Ｒｚであれば１．４０μｍ未満、Ｒａであれば０．１９μｍ未満にされている。すなわち、鏡面仕上げされている。しかし、かかる仕上げに限定はされない。以上述べた表面粗さの数値の範囲は、十点平均粗さＲｚ及び中心線平均粗さＲａのうちのいずれか一方の測定値で判定してよいことはもちろんである。
【００２８】
ダイヤモンド製のダイス１の場合、上記ダイス孔２は、例えば収束イオンビームを照射することによって形成される。ダイス孔２の面の表面仕上げは、ダイアモンド砥粒を用いて研磨されている。ベアリング部６と他の部位３、４、５、７、８とでは、研磨時に異なる粒径の砥粒が用いられる。ベアリング部６の研磨に用いられる砥粒の径は、他の部位３、４、５、７、８の研磨に用いられる砥粒の径より大きい。こうすることにより、ベアリング部６の表面は、リダクション部５及び他の部位３、４、７、８の表面より粗くなる。
【００２９】
以上のごとく、金属線Ｍの断面積を減少させる部位であるリダクション部５の面が鏡面仕上げされることにより、従来のダイスと同様に、金属線Ｍを縮径する動作に対する摩擦抵抗が低減される。一方、ベアリング部６の表面は、粗く仕上げられることによって摩擦係数が高くなる。しかし、金属線Ｍがベアリング部６から受ける面圧は、リダクション部５から受ける面圧に較べて低いため、引き抜き動作にとって問題にはならない。ベアリング部６の表面から金属線Ｍに作用する摩擦力により、金属線Ｍの表面に小さい歪が与えられる。いわゆるスキンパス効果が得られる。このスキンパス効果により、伸線後の金属線Ｍの表面に発生する引っ張り残留応力が低減されうる。
【００３０】
このように、ダイス孔２の表面仕上げ程度をわずかに変更するだけで、伸線装置に特別な装置を付加する必要なく、アプローチ角度（リダクション角度）やベアリング部長さ等の、ダイスの基本的な構造を変化させることなく、金属線Ｍの引っ張り残留応力の低減が可能となる。
【実施例】
【００３１】
以下、実施例によって本発明の効果が明らかにされるが、この実施例の記載に基づいて本発明が限定的に解釈されるべきではない。
【００３２】
［実施例１］
図２に示されたダイス１を装着したダイスセット１０が２２個用意された。この２２個のダイスセット（以下、ダイスという）１０が伸線装置内の一つの伸線ラインを構成する。後述する鋼線が、上記２２個のダイス１のダイス孔２に順次挿通され、伸線される。これらのダイス１は、ダイス孔径等は異なるが、いずれも減面率が約１５％のダイスである。各ダイス１におけるリダクション角、すなわち、図２における、ダイス１の中心軸ＣＬに対するリダクション部５の内面のなす角度αは、１２°にされている。各ダイス１のベアリング長さ、すなわち、図２における中心軸ＣＬに沿ったベアリング部６の長さＢＬは、ベアリング部６の内径寸法の１／２の長さにされている。上記２２個のダイス１は、いずれも合成多結晶ダイヤモンドから形成されている。ラインの最下流（２２番目）のダイス１は、そのリダクション部５が鏡面仕上げされ、ベアリング部６は指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３８μｍ、Ｒａが０．１５μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．４０μｍ、Ｒａが０．２１μｍとされている。その他（第１から第２１番目）のダイス１は、そのリダクション部５及びベアリング部６を含め、ダイス孔２の内周面は、鏡面仕上げ（Ｒｚが１．４０μｍ未満、Ｒａが０．１９μｍ未満）されている。この伸線ラインにより、線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。このメッキ鋼線は、線径が５．５ｍｍのピアノ線材（ＪＩＳＧ３５０６のＳＷＲＳ８２Ａ相当）に、パテンチング及び伸線加工を繰り返して、表面に真鍮メッキを施した線径０．８ｍｍの線材である。
【００３３】
［実施例２］
実施例２としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５が鏡面仕上げされ、ベアリング部６は指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３５μｍ、Ｒａが０．１６μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．５０μｍ、Ｒａが０．２０μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００３４】
［実施例３］
実施例３としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５が鏡面仕上げされ、ベアリング部６は指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３８μｍ、Ｒａが０．１６μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．６２μｍ、Ｒａが０．２３μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００３５】
［実施例４］
実施例４としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５が鏡面仕上げされ、ベアリング部６は指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３０μｍ、Ｒａが０．１５μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．７０μｍ、Ｒａが０．２６μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００３６】
［実施例５］
実施例５としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５が鏡面仕上げされ、ベアリング部６は指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３８μｍ、Ｒａが０．１６μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．８８μｍ、Ｒａが０．２８μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００３７】
［比較例１］
比較例１としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。しかし、この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５及びベアリング部６ともに鏡面仕上げされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３５μｍ、Ｒａが０．１６μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．３３μｍ、Ｒａが０．１６μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００３８】
［比較例２］
比較例２としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。しかし、この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５が指定粗さとされ、ベアリング部６は鏡面仕上げされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．５０μｍ、Ｒａが０．２０μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．３０μｍ、Ｒａが０．１５μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００３９】
［比較例３］
比較例３としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。しかし、この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５が鏡面仕上げされ、ベアリング部６は指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．３５μｍ、Ｒａが０．１６μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．９８μｍ、Ｒａが０．２１μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００４０】
［比較例４］
比較例４としても、一つの伸線ラインを構成する２２個のダイス１が用意された。２２個のダイス１のうち、第１から第２１番目のダイス１として、上記実施例１の第１から第２１番目のダイス１が用いられた。第２２番目のダイス１は、その寸法形状及び材質が、実施例１の第２２番目のダイス１と同じである。しかし、この第２２番目のダイス１は、そのリダクション部５及びベアリング部６ともに指定粗さとされた。具体的には、リダクション部５の表面粗さは、Ｒｚが１．６３μｍ、Ｒａが０．２２μｍとされ、ベアリング部６の表面粗さは、Ｒｚが１．７１μｍ、Ｒａが０．２４μｍとされている。この伸線ラインにより、実施例１と同じ線径０．８ｍｍのメッキ鋼線が、最終的に線径０．１２ｍｍとなるまで伸線された。
【００４１】
［伸線加工品の評価］
上記実施例１から５及び比較例１から４に係るダイスによって伸線加工された鋼線に対して、それらの表層の残留応力の測定、及び、疲労試験が行われた。表１に、各例の第２２番目のダイス１のダイス孔２の表面粗さと、上記の各試験結果とが示される。各試験結果に基づいて各例におけるダイスが評価された。
【００４２】
［鋼線の表層の残留応力の測定］
上記各例について、伸線加工後の鋼線から切り取られた１５ｃｍ長さの部分が供試品とされた。採用された表層の残留応力の測定方法は周知であり、特開２００３−３０１３９０公報に詳しい。すなわち、供試品のメッキは過硫酸アンモニウム水によって除去される。この供試品の表面の半周部分が、長手方向全長にわたってラッカーで被覆される。このように１／２部分が被覆された供試品は、硝酸溶液中でエッチングが施される。残留応力が生じた表層の半分の範囲を除去する目的である。エッチング後の供試品の最大の曲がり量が残留応力値とされる。残留応力値は、比較例１についての結果を指数１００とし、これが基準値とされて、他の例の残留応力指数が算出される。表１に、各例の供試品の表層引っ張り残留応力指数が示される。残留応力指数は小さいほど好ましい。
【００４３】
［鋼線の疲労特性の試験］
上記各例について、伸線加工後の鋼線から切り取られた同一長さの部分が供試品とされた。この供試品について、周知のハンター式回転曲げ疲労試験機によって疲労強度が測定された。まず、供試品は、その表面に発生する引っ張り応力の最大値が１５００ＭＰａとなるように、Ｕ字状に湾曲される。Ｕ字状の供試品の一端が回転自在に支持される。供試品がＵ字状に支持された状態で、供試品の他端がモータ等によって自軸回りに回転させられる。これにより、供試品の表層には圧縮応力と引っ張り応力とが短周期で繰り返し発生する。供試品が、疲労によって切断させるまでの回転数が測定される。耐疲労強度は、比較例１についての試験結果（回転数）を指数１００とし、これが基準値とされて、他の例の耐疲労強度が算出される。表１に、各例の供試品の疲労特性指数が示される。疲労特性指数は大きいほど好ましい。
【００４４】
【表１】
【００４５】
表１に示されるように、実施例１から５の最下流ダイス１は、リダクション部５の面が鏡面仕上げされ、ベアリング部６の面が鏡面より粗い所定範囲の粗さにされている。比較例１の最下流ダイス１は、リダクション部５及びベアリング部６ともに、その面が鏡面仕上げされている。比較例２の最下流ダイス１は、リダクション部５の面が鏡面より粗い所定範囲の粗さにされ、ベアリング部６の面が鏡面仕上げされている。比較例３の最下流ダイス１は、リダクション部５の面が鏡面仕上げされ、ベアリング部６の面が鏡面より粗い所定範囲の粗さにされている。しかし、ベアリング部６の面の粗さは、実施例１から５の最下流ダイス１のベアリング部６の表面粗さより大幅に粗い。比較例４の最下流ダイス１は、リダクション部５及びベアリング部６ともに、その面が鏡面より粗い所定範囲の粗さにされている。上記実施例１から５の各最下流ダイス１は、表面粗さにおいて、比較例１から４の各最下流ダイス１とは大きく異なる。
【００４６】
表１に示されるように、上記実施例１から５の最下流ダイス１によって伸線された鋼線は、比較例１から４の最下流ダイス１によって伸線された鋼線より、その表面引っ張り残留応力指数及び疲労特性指数ともに優れている。この評価結果から、本発明の優位性は明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明に係る伸線ダイスは、各種金属線を縮径して伸線する加工に適用される。
【符号の説明】
【００４８】
１・・・ダイス
２・・・ダイス孔
３・・・エントランス部
４・・・アプローチ部
５・・・リダクション部
６・・・ベアリング部
７・・・バックリリーフ部
８・・・イグジット部
１０・・・ダイスセット
１１・・・ダイスホルダ
α・・・リダクション角度
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リダクション部とベアリング部とを含む孔部が形成されており、
上記リダクション部の表面が鏡面仕上げにされており、
上記ベアリング部の表面が上記鏡面仕上げより粗くされている伸線ダイス。
【請求項２】
上記リダクション部の表面の十点平均粗さＲｚが、１．４０μｍ未満であり、
上記ベアリング部の表面の十点平均粗さＲｚが、１．４０μｍ以上１．９０μｍ以下である請求項１に記載の伸線ダイス。
【請求項３】
上記リダクション部の表面の中心線平均粗さＲａが、０．１９μｍ未満であり、
上記ベアリング部の表面の中心線平均粗さＲａが、０．１９μｍ以上０．２８μｍ以下である請求項１又は２に記載の伸線ダイス。
【請求項４】
上記ベアリング部の表面の十点平均粗さＲｚが、１．５０μｍ以上１．７０μｍ以下である請求項１から３のうちのいずれかに記載の伸線ダイス。
【請求項５】
上記ベアリング部の表面の中心線平均粗さＲａが、０．２０μｍ以上０．２６μｍ以下である請求項３から４のうちのいずれかに記載の伸線ダイス。
【請求項１】
リダクション部とベアリング部とを含む孔部が形成されており、
上記リダクション部の表面が鏡面仕上げにされており、
上記ベアリング部の表面が上記鏡面仕上げより粗くされている伸線ダイス。
【請求項２】
上記リダクション部の表面の十点平均粗さＲｚが、１．４０μｍ未満であり、
上記ベアリング部の表面の十点平均粗さＲｚが、１．４０μｍ以上１．９０μｍ以下である請求項１に記載の伸線ダイス。
【請求項３】
上記リダクション部の表面の中心線平均粗さＲａが、０．１９μｍ未満であり、
上記ベアリング部の表面の中心線平均粗さＲａが、０．１９μｍ以上０．２８μｍ以下である請求項１又は２に記載の伸線ダイス。
【請求項４】
上記ベアリング部の表面の十点平均粗さＲｚが、１．５０μｍ以上１．７０μｍ以下である請求項１から３のうちのいずれかに記載の伸線ダイス。
【請求項５】
上記ベアリング部の表面の中心線平均粗さＲａが、０．２０μｍ以上０．２６μｍ以下である請求項３から４のうちのいずれかに記載の伸線ダイス。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２０１２−１８７５９４（Ｐ２０１２−１８７５９４Ａ）
【公開日】平成２４年１０月４日（２０１２．１０．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−５１３４９（Ｐ２０１１−５１３４９）
【出願日】平成２３年３月９日（２０１１．３．９）
【出願人】（３９４０１０５０６）
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１０月４日（２０１２．１０．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月９日（２０１１．３．９）
【出願人】（３９４０１０５０６）
【Ｆターム（参考）】
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