光導波路の製法
【課題】光導波路の伝播損失の低下が抑制され、かつアライメントマークの視認性が向上し、生産性に優れた光導波路の製法を提供する。
【解決手段】金属製基板１０表面にアンダークラッド層１，コア２，アライメントマーク１ａを形成する。一方、凹部２１が形成され、上記アライメントマーク１ａに対応するアライメントマーク２２が形成された成形型Ｍを準備する。つぎに、上記対応する一対のアライメントマーク１ａ，２２を基準に金属製基板１０と成形型Ｍを位置合わせする際に、成形型Ｍ側から光を照射しその照射光を利用して位置合わせする。そして、上記コア２を被覆した状態でオーバークラッド層３を形成するという光導波路の製法である。上記アンダークラッド層１は、波長４００〜７００ｎｍの光を吸収する染料を含有し、かつ上記位置合わせに使用する波長４００〜７００ｎｍの光に対して吸光度０．２４以上の特性を有するものである。
【解決手段】金属製基板１０表面にアンダークラッド層１，コア２，アライメントマーク１ａを形成する。一方、凹部２１が形成され、上記アライメントマーク１ａに対応するアライメントマーク２２が形成された成形型Ｍを準備する。つぎに、上記対応する一対のアライメントマーク１ａ，２２を基準に金属製基板１０と成形型Ｍを位置合わせする際に、成形型Ｍ側から光を照射しその照射光を利用して位置合わせする。そして、上記コア２を被覆した状態でオーバークラッド層３を形成するという光導波路の製法である。上記アンダークラッド層１は、波長４００〜７００ｎｍの光を吸収する染料を含有し、かつ上記位置合わせに使用する波長４００〜７００ｎｍの光に対して吸光度０．２４以上の特性を有するものである。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信，光情報処理，位置センサ，その他一般光学で広く用いられる光導波路の製法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光導波路は、通常、アンダークラッド層の表面に、光の通路であるコアを所定パターンに形成し、そのコアを被覆した状態で、オーバークラッド層を形成して構成されている。このような光導波路の量産性の向上を図るために、ロール・トゥ・ロール工程による製造が実施されており、形成材料である各種樹脂の硬化に伴う応力（硬化収縮）に耐えうる基材として、ステンレス（ＳＵＳ）等のような金属製基材を用いる傾向がある。
【０００３】
上記ＳＵＳは塗膜の収縮応力による反りを抑制することができる安価な材料である反面、金属であり、その表面が微細な粗面であるため、コア形成における露光プロセスにおいて光の散乱反射を生起し、コアの壁面荒れが生じる場合がある。このため、例えば、アンダークラッド層形成材料に、紫外線吸収剤を導入することにより、上記ＳＵＳ等の金属製基板の背面反射を抑制する手法が提案されている（特許文献１参照）。
【０００４】
この種の、光導波路を用いた光学式タッチパネルでは、オーバークラッド層にて光の出射部および入射部をレンズ形状にするため、インプリントプロセス製法により作製する必要がある。その際、光を出射するコア端部とオーバークラッド層（レンズ）間の位置精度を上げるため、予めコアにアライメントマークを作製し、アライメントカメラを用いて上記アライメントマークを認識しながらコアとオーバークラッド層の位置合わせを行ない、両者を貼り合わせる工程が必須となっている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２７６７２４号公報
【特許文献２】特開２００８−２０３４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
これまでの光導波路の製造工程では、上記アライメントカメラに使用される光源は可視光領域（波長４００〜７００ｎｍ）の光を照射するものが使用されており、かつ金属製基材として一般にＳＵＳを使用することから、アライメントカメラにＳＵＳの表面荒れが映り込むことになる。そのため、例えば、コアに設けられたアライメントマークのエッジ部のコントラストが低下し、その結果、アライメントカメラによるアライメントマークの検出精度が悪化するという問題が生起している。このような問題に対して、例えば、アライメントマーク形成においてハーフトーンマスク露光によるエッジの丸型化が提案されコントラストを明確にして認識の度合いを向上させるという改善が提案されている。しかしながら、根本原因であるＳＵＳ表面の荒れに起因した上記映り込みに対する直接的な解決手段ではないことや、上記ハーフトーンマスク露光方法によるアライメントマークの形成では、その出来上がりの精度が低いことから、アライメントマークの認識の向上という点で充分に満足のいくものではなく、生産効率（歩留り）の悪化を招いているのが実情である。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、光導波路の伝播損失の低下が抑制され、かつアライメントマークの視認性が向上し、生産性に優れた光導波路の製法の提供をその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するため、本発明の光導波路の製法は、金属製基板の表面にアンダークラッド層を形成する工程と、このアンダークラッド層表面にコアをパターン形成する工程と、上記アンダークラッド層の所定位置にアライメントマークを形成する工程と、オーバークラッド層の形状に対応する型面を有する凹部が形成され、上記アンダークラッド層に形成されたアライメントマークに対応するアライメントマークが所定位置に形成された成形型を準備する工程と、この成形型を、上記コアおよびアンダークラッド層が形成された金属製基板に対面させ、上記対応する一対のアライメントマークを基準に金属製基板と成形型を位置合わせする際に、成形型側から波長４００〜７００ｎｍの光を照射しその照射光を利用して位置合わせする工程と、上記コアを被覆した状態でオーバークラッド層を形成する工程とを備え、上記アンダークラッド層が、波長４００〜７００ｎｍの光を吸収する染料を含有し、かつ上記位置合わせに使用する波長４００〜７００ｎｍの光に対して吸光度０．２４以上の特性を有するものであるという構成をとる。
【０００９】
本発明者は、アライメントマークを用いた位置合わせの際に、アライメントカメラにＳＵＳの表面荒れが映り込むことから、アライメントマークの検出精度が悪化して製造作業性が低下することを解決するために鋭意検討を重ねた。そして、まず、上記ＳＵＳ表面の荒さに起因した映り込みを抑制するため、アンダークラッド層に、アライメントカメラにて用いられる光を吸収させる染料を導入することを想起し実験を行なった。しかし、上記染料の使用によりコア中の伝播光をも吸収するためか、染料の使用により光導波路の伝播損失が悪化する。このようなことから、アンダークラッド層には光導波路としての伝播損失を悪化させずに、かつＳＵＳ表面の荒れによる映り込みを抑制させアライメント用光を吸収することのできる特性を有する形成材料の使用が望まれる。本発明者は、このような観点から、さらに検討を重ねた結果、光導波路を伝播する波長（約８５０ｎｍ）に対して離れた波長帯領域に吸収特性を有する染料を選択して用い、形成したアンダークラッド層の吸光度を特定値以上となるように形成すると、染料導入による光導波路の伝播損失の悪化が抑制され、かつＳＵＳ表面の荒れによる映り込みが抑制されて、アライメントマークの視認性が向上することを見出し、本発明に到達した。
【００１０】
すなわち、通常、高透明性が要求される光導波路形成材料では、光導波路構成部材（アンダークラッド層、コア、オーバークラッド層）中の伝播光を吸収するような着色成分を導入することは行なわないのが技術常識である。これは、直接、光が伝播するコアはもちろんのこと、その光は両クラッド層中に若干染みだしながら伝播するため、伝播損失の悪化の要因となるためである。しかしながら、光導波路の作製に際して、使用する金属製基板となるＳＵＳの表面荒れがアライメントカメラに映り込むことによるアライメントマーク視認性悪化の低減を図るためには、使用するアライメントカメラ光源からの照射光に対応した吸光特性をアンダークラッド層に付与する必要があるのではないかと本発明者は想起した。そこで、本発明者は吸光特性を持たせるべく様々な手段を試行した結果、光導波路の光源波長（約８５０ｎｍ）に対して、離れた波長帯領域（４００〜７００ｎｍ）に吸光特性を備えた染料を用い、これをアンダークラッド層形成材料に配合し、得られたアンダークラッド層の吸光度が特定値以上となると、アライメントカメラへのＳＵＳ表面の荒れの映り込みが抑制されて、光導波路の伝播損失が維持されたまま、アライメントマークの視認性の向上を達成することが可能になったと推測される。
【発明の効果】
【００１１】
このように、本発明の光導波路の製法では、アンダークラッド層が、波長４００〜７００ｎｍの光を吸収する染料を含有し、かつ位置合わせに使用する波長４００〜７００ｎｍの光に対して吸光度０．２４以上の特性を有するよう形成される。このため、染料導入による光導波路の伝播損失の悪化が抑制され、例えば、ＳＵＳ表面の荒れに起因したアライメントカメラへの映り込みが抑制されて、アライメントマークの視認性が向上する。したがって、光導波路の生産歩留りが向上して、優れた生産性が得られることとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の光導波路の製法を模式的に示す説明図である。
【図２】本発明の光導波路の製法を模式的に示す説明図である。
【図３】本発明の光導波路の製法を模式的に示す説明図である。
【図４】本発明の光導波路の製法を模式的に示す説明図である。
【図５】上記製法により得られた光導波路を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。
【００１４】
《光導波路の製法》
まず、光導波路の製法について詳しく説明する。
【００１５】
まず、アンダークラッド層１を形成する際に用いる平板状の金属製基板１０〔図１（ａ）参照〕を準備する。この基板１０の形成材料としては、例えば、各種金属があげられるが、熱に対する伸縮耐性に優れ、上記光導波路の製造過程において、様々な寸法が設計値に略維持されるという観点から、ＳＵＳ製基板が好ましい。また、基板１０の厚みは、例えば、２０μｍ（フィルム状）〜５ｍｍ（板状）の範囲内に設定される。
【００１６】
ついで、図１（ａ）に示すように、上記基板１０の表面に、アンダークラッド層１を形成する。このアンダークラッド層１の形成材料としては、熱硬化性樹脂または感光性樹脂があげられる。上記熱硬化性樹脂を用いる場合は、その熱硬化性樹脂が溶媒に溶解しているワニスを塗布した後、それを加熱することにより、アンダークラッド層１に形成する。一方、上記感光性樹脂を用いる場合は、その感光性樹脂が溶媒に溶解しているワニスを塗布した後、それを紫外線等の照射線で露光することにより、アンダークラッド層１に形成する。アンダークラッド層１の厚みは、例えば、５〜３０μｍの範囲内に設定される。
【００１７】
そして、上記アンダークラッド層１の形成材料として、染料を用いることを本発明の最大の特徴とする。上記染料としては、波長４００〜７００ｎｍの光を吸収することのできる染料が用いられ、例えば、上記波長帯領域に対して吸光特性を有する黄色染料、赤色染料、緑色染料等、すなわち、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）として、黄色染料λｍａｘ４４０ｎｍ、赤色染料λｍａｘ５１５ｎｍ、緑色染料λｍａｘ６８９ｎｍ等があげられる。なかでも、光導波路を伝播する波長（約８５０ｎｍ）に対して離れた波長帯領域（例えば、４００ｎｍ近傍）に吸光特性を有する黄色染料が好ましく用いられる。具体的には、有本化学社製のPlast yellow8070、Plast red8630、Plast green8620等があげられる。これらは単独でもしくは２種以上併せて用いられる。なお、本発明において、染料とは、水等の特定の溶媒に溶解可能な着色に用いられる有色の物質をいい、溶媒に不溶の顔料はこれに含まれない。
【００１８】
上記染料の配合量は、染料の種類、アンダークラッド層の厚み等を考慮して、アンダークラッド層の吸光度が後述の範囲となるように適宜設定される。
【００１９】
上記アンダークラッド層１の形成材料により形成されたアンダークラッド層１は、アライメントマークの視認性という観点から、波長４００〜７００ｎｍの光に対して吸光度０．２４以上の特性を有するものでなければならない。特に好ましくは吸光度０．２４〜０．３０である。すなわち、吸光度が低過ぎると、ＳＵＳ表面の荒れによる映り込みの抑制効果が得られずアライメントマークの視認性が低下するからである。上記吸光度は、例えば、つぎのようにして測定される。すなわち、可視紫外吸収スペクトルによって、ＳＵＳ基板上に作製したアンダークラッド層（厚み１５μｍに規格）を、積分球を用いた反射測定により吸光度を測定する。
【００２０】
つぎに、図１（ｂ）に示すように、上記アンダークラッド層１の表面に、フォトリソグラフィ法により所定パターンのコア２を形成する。このコア２の形成材料としては、好ましくは、パターニング性に優れた感光性樹脂が用いられる。その感光性樹脂としては、例えば、アクリル系紫外線硬化樹脂，エポキシ系紫外線硬化樹脂，シロキサン系紫外線硬化樹脂，ノルボルネン系紫外線硬化樹脂，ポリイミド系紫外線硬化樹脂等があげられ、これらは単独でもしくは２種以上併せて用いられる。また、コア２の断面形状は、例えば、パターニング性に優れた台形または長方形である。コア２の幅は、例えば、１０〜５００μｍの範囲内に設定される。コア２の厚み（高さ）は、例えば、２５〜１００μｍの範囲内に設定される。
【００２１】
なお、上記コア２の形成材料としては、上記アンダークラッド層１および後述のオーバークラッド層３（図３参照）の形成材料よりも屈折率が高く、伝播する光の波長で透光性が高い材料が用いられる。上記屈折率の調整は、上記アンダークラッド層１，コア２，オーバークラッド層３の各形成材料である樹脂に導入する有機基の種類および含有量の少なくとも一方を変化させることにより、適宜、増加ないし減少させることができる。例えば、環状芳香族性の基（フェニル基等）を樹脂分子中に導入するか、あるいはその芳香族性基の樹脂分子中の含有量を増加させることにより、屈折率を大きくすることができる。他方、直鎖または環状脂肪族性の基（メチル基，ノルボルネン基等）を樹脂分子中に導入するか、あるいはその脂肪族性基の樹脂分子中の含有量を増加させることにより、屈折率を小さくすることができる。
【００２２】
上記コア２の形成とともに、上記アンダークラッド層１の所定位置となる両端部分〔図１（ｂ）参照〕にアライメントマーク１ａを形成する。上記アライメントマーク１ａの形状としては、特に限定するものではなく、アライメントマークとして視認することができるものであればよい。また、上記アライメントマーク１ａの形成方法としては、例えば、感光性樹脂材料（例えば、コア２形成材料）を用いてアプリケーターによりアンダークラッド層１上に塗工し乾燥させる。乾燥後、所定形状のフォトマスクを介して紫外線等の照射線を照射して露光を行なった後、加熱処理を行なうことにより露光部を硬化させる。つぎに、現像液（γ−ブチロラクトン等）を用いて未露光部を現像，水洗して除去し、乾燥することにより所定形状のアライメントマークを形成する。
【００２３】
一方、図１（ｃ）に示すように、オーバークラッド層形成用の成形型Ｍを準備する。上記成形型Ｍは、例えば、透光性樹脂（例えば、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等）と透光性支持板Ｇ（例えば、石英ガラス、青板ガラス、ポリカーボネート、アクリル等）とを形成材料とし、オーバークラッド層の形状と同一形状の型部材を用いて型成形することにより、上記透光性樹脂を硬化させ、これを上記透光性支持板Ｇに固着させることにより作製することができる。上記成形型Ｍ〔図１（ｃ）参照〕は、上記透光性樹脂の硬化体２０の下面に、上記透光性支持板Ｇが固着され、上記透光性樹脂の硬化体２０の上面に、上記オーバークラッド層３の形状に対応する型面を有する凹部２１が２個形成されており、各凹部２１の一端部分〔図１（ｃ）では左端部分〕が、レンズ曲面２１ａに形成されている。
【００２４】
そして、上記成形型Ｍの両端部分には、前記アンダークラッド層１に設けられたアライメントマーク１ａに対応するアライメントマーク２２が設けられる。上記アライメントマーク２２の形状は、前記アンダークラッド層１に設けられたアライメントマーク１ａに対応する形状であれば特に限定するものではなく、またその形成方法も前記アライメントマーク１ａの形成と同様である。
【００２５】
つぎに、上記成形型Ｍを、その凹部２１を上にして、成形ステージ（図示せず）の上に設置し、その凹部２１に、オーバークラッド層３〔図５参照〕の形成材料である液状の感光性樹脂３Ａを充填する。
【００２６】
ついで、図２に示すように、凹部２１内に液状の感光性樹脂３Ａが充填された成形型Ｍ上に、コア２がパターン形成されたアンダークラッド層１を対峙させる。このとき、アンダークラッド層１上に設けられたアライメントマーク１ａと成形型Ｍに設けられたアライメントマーク２２とを、成形型Ｍ側から矢印Ｌ方向にアライメントカメラを用いて、光を照射してアライメントマーク１ａ，２２とが一致することを確認して位置合わせが行なわれる。上記アライメントカメラの光には、一般に、可視光領域の波長４００〜７００ｎｍの光が用いられる。
【００２７】
つぎに、図３に示すように、上記オーバークラッド層３の形成材料である感光性樹脂３Ａ内に、上記アンダークラッド層１の表面にパターン形成されたコア２を浸した状態で、そのコア２を成形型Ｍの凹部２１に対して位置決めし、上記アンダークラッド層１を上記成形型Ｍに押圧する。
【００２８】
上記位置決めしてアンダークラッド層１を成形型Ｍに押圧する際の荷重は、例えば、４９〜９８０Ｎの範囲内に設定される。ここで、上記成形型Ｍの凹部２１の形成部分は、樹脂製であることから、耐圧性のあるものとなっている。そのため、上記のようにアンダークラッド層１を成形型Ｍに押圧して密着させることができ、ばりの形成を防止することができる。
【００２９】
つぎに、図４〔図３とは上下を逆に図示している〕に示すように、紫外線等の照射線を、上記成形型Ｍを通して上記感光性樹脂３Ａに照射することにより、その感光性樹脂３Ａを露光する。これにより、上記感光性樹脂３Ａが硬化し、一端部分がレンズ部３ａに形成されたオーバークラッド層３が形成される。なお、紫外線等の照射による露光に際しては、金属製基板１０は作業ステージ（図示せず）に吸着固定される。上記オーバークラッド層３の厚み（アンダークラッド層１の表面からの厚み）は、例えば、２５〜１５００μｍの範囲内に設定される。
【００３０】
そして、上記成形型Ｍから、上記オーバークラッド層３を、上記金属製基板１０，アンダークラッド層１およびコア２と共に脱型し、図５に示すように、金属製基板１０の表面に形成された、アンダークラッド層１とコア２とオーバークラッド層３とからなる光導波路を得る。この実施の形態では、２個の光導波路が形成されているが、一般に、２個以上の複数個の光導波路が形成され、光導波路を使用する際には、個々の光導波路が切り出され各種用途に供される。
【００３１】
さらに、上記オーバークラッド層３の脱型前または脱型後に、必要に応じて、加熱処理（例えば、７０〜９０℃程度）が適宜行なわれる。また、上記金属製基板１０は、必要に応じて、アンダークラッド層１から剥離してもよい。
【００３２】
なお、上記実施の形態では、オーバークラッド層３の一端部分をレンズ部３ａに形成したが、他端部分と同様に平面状に形成してもよい。
【００３３】
《光導波路の用途》
上記光導波路は、例えば、Ｌ字板状に形成することにより、タッチパネルにおける指等の触れ位置の検知手段（位置センサ）として用いることができる。すなわち、上記Ｌ字板状の光導波路において、複数のコア２を、上記Ｌ字板状の角部から内側端縁部に、等間隔に並列状態で延びたパターンに形成する。このようなＬ字板状の光導波路を２個作製する。そして、一方の光導波路の角部の外側に、発光素子を光結合し、他方の光導波路の角部の外側に、受光素子を光結合する。そして、それら光導波路を、タッチパネルの四角形のディスプレイの画面周縁部に沿って設置すると、タッチパネルにおける指等の触れ位置の検知手段として用いることができる。
【実施例】
【００３４】
つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。ただし、本発明は、実施例に限定されるものではない。
【００３５】
〔実施例１〕
〈アンダークラッド層形成用ワニスの調製〉
脂肪族骨格を有するエポキシ樹脂をベースとした感光性ワニス中の固形エポキシ樹脂成分１００重量部に対して、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）０．２重量部を添加して、８０℃の加熱下にて撹拌することにより染料成分を完全に溶解した。このようにして下記に示す各成分からなるアンダークラッド層形成用ワニスを調製した。
（アンダークラッド層形成用ワニス）
エポキシ樹脂（ダイセル社製、ＥＨＰＥ−３１５０）７５重量部
エポキシ樹脂（日油社製、マープルーフＧ−０１５０Ｍ）２５重量部
紫外線吸収剤（チバジャパン社製、ＴＩＮＵＶＩＨ４７９）５重量部
光酸発生剤（サンアプロ社製、ＣＰＩ−２００Ｋ）４重量部
溶媒（和光純薬社製、シクロヘキサノン）７０重量部
黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）０．２重量部
【００３６】
〈アンダークラッド層の作製〉
得られた上記ワニスをスピンコーターを用いて、ＳＵＳ基材（厚み５０μｍ）上に塗工し（５０００ｒｐｍ×１０秒）、乾燥炉内にて１５０℃で３分間乾燥を行なった。得られた未硬化のアンダークラッド層をＵＶ照射機にて〔Ｂ線、１０００ｍＪ（３６５ｎｍ）〕露光することによりアンダークラッド層を作製した（膜厚１５μｍ）。露光後に加熱は行なわず、露光時に生じる熱によりエポキシ基の重合反応を進行させた。
【００３７】
〈アライメントマークの作製〉
作製されたアンダークラッド層上に、アプリケーターを用いて下記に示すコアワニスを塗工し（アプリケーターギャップ約１００μｍ）、乾燥炉内にて１５０℃で３分間乾燥を行なった。乾燥後、フォトマスクを介して露光（Ｉ線、３０００ｍＪ）を行なった後、１２０℃×１０分間の加熱処理を行なった。つぎに、スプレー現像機によりγ−ブチロラクトンにて現像，水洗して未露光部を除去し、乾燥することによりアンダークラッド層上にアライメントマークを作製した。
（コアワニス）
エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン社製、１５７Ｓ７０）８５重量部
エポキシ樹脂（日油社製、マープルーフＧ−０２５０ＳＰ）１０重量部
エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン社製、エピコート８２８）５重量部
光酸発生剤（サンアプロ社製、ＣＰＩ−２００Ｋ）４重量部
溶媒（和光純薬社製、乳酸エチル）５５重量部
【００３８】
〔実施例２〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）の配合量を０．４重量部に変えた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００３９】
〔実施例３〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）に代えて赤色染料（有本化学社製、Plast red8630）０．４重量部を用いた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４０】
〔実施例４〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）に代えて赤色染料（有本化学社製、Plast red8630）１．２重量部を用いた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４１】
〔実施例５〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）に代えて緑色染料（有本化学社製、Plast green8620）０．３重量部を用いた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４２】
〔実施例６〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）に代えて緑色染料（有本化学社製、Plast green8620）０．５重量部を用いた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４３】
〔比較例１〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）の配合量を０．１重量部に変えた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４４】
〔比較例２〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）に代えて赤色染料（有本化学社製、Plast red8630）０．１重量部を用いた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４５】
〔比較例３〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）に代えて緑色染料（有本化学社製、Plast green8620）０．１重量部を用いた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４６】
〔比較例４〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）の配合量を０．１４重量部に変えた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４７】
〔比較例５〕
染料を用いなかった。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４８】
上記のようにして作製した実施例品および比較例品について、下記に示す特性を測定，評価した。その結果を後記の表１に併せて示す。
【００４９】
〔吸光度〕
ＳＵＳ基材上に、厚み１５μｍにて作製したアンダークラッド層を、紫外可視近赤外分光光度計（日本分光社製、Ｖ−６７０）にて積分球を用いた反射モードにて吸光度を測定し、評価した。なお、ターゲットとする波長は、黄色染料は青色光源（４７０ｎｍ）、赤色染料は緑色光源（５２５ｎｍ）、緑色染料は赤色光源（６６０ｎｍ）とし、各染料を使用した際に使用する光源波長における吸光度で評価した。
【００５０】
〔視認性〕
アンダークラッド層側から、画像処理システム（カメラ含む、マニュファクチャリングシステム、シャープ社製、ＩＶ−Ｓ２１０Ｘ）を用いて、その光（下記の表１に示す光源からの波長の光）を照射してアライメントマークの視認性を目視により確認し評価した。その結果、ＳＵＳの映り込みが抑制され、アライメントマークが通常通り鮮明に確認されたものを○、ＳＵＳの映り込みによりアライメントマークの視認が困難となったものを×として評価した。
【００５１】
〔光導波路の伝播損失〕
得られた実施例品および比較例品について、カットバック法を用いて長さ５ｃｍの波長８５０ｎｍにおける伝播損失（ｄＢ／５ｃｍ）を測定した。
【００５２】
【表１】
【００５３】
上記結果から、実施例にて作製されたアンダークラッド層は伝播損失を大きく損なうことなく、アライメントカメラによるアライメントマークの視認性が良好であった。これに対して、比較例品は、いずれもアライメントカメラによるアライメントマークの視認性に劣るものであった。
【００５４】
〈光導波路の作製〉
つぎに、光導波路を作製した。すなわち、図１（ｃ）に示す、オーバークラッド層形成用の、透光性樹脂製（シリコーン樹脂）の硬化体２０と石英ガラス板Ｇからなる成形型Ｍを準備するとともに、上記各実施例にて準備したアンダークラッド層形成用ワニス（オーバークラッド層形成にも使用）およびコアワニスを用いて前述の実施の形態での光導波路の製法に基づき、光導波路（図５参照）を作製した。その際、アライメントカメラ（表１に示す各光源からの波長の光を使用）によるアライメントマークの視認が良好であったため、作業性良く光導波路を製造することが可能となった。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明の光導波路の製法は、光通信，光情報処理，タッチパネルにおける指等の触れ位置の検知手段（位置センサ）等に用いられる光導波路の製造に利用可能である。
【符号の説明】
【００５６】
１ アンダークラッド層
１ａ，２２ アライメントマーク
２ コア
３ オーバークラッド層
Ｍ 成形型
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信，光情報処理，位置センサ，その他一般光学で広く用いられる光導波路の製法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光導波路は、通常、アンダークラッド層の表面に、光の通路であるコアを所定パターンに形成し、そのコアを被覆した状態で、オーバークラッド層を形成して構成されている。このような光導波路の量産性の向上を図るために、ロール・トゥ・ロール工程による製造が実施されており、形成材料である各種樹脂の硬化に伴う応力（硬化収縮）に耐えうる基材として、ステンレス（ＳＵＳ）等のような金属製基材を用いる傾向がある。
【０００３】
上記ＳＵＳは塗膜の収縮応力による反りを抑制することができる安価な材料である反面、金属であり、その表面が微細な粗面であるため、コア形成における露光プロセスにおいて光の散乱反射を生起し、コアの壁面荒れが生じる場合がある。このため、例えば、アンダークラッド層形成材料に、紫外線吸収剤を導入することにより、上記ＳＵＳ等の金属製基板の背面反射を抑制する手法が提案されている（特許文献１参照）。
【０００４】
この種の、光導波路を用いた光学式タッチパネルでは、オーバークラッド層にて光の出射部および入射部をレンズ形状にするため、インプリントプロセス製法により作製する必要がある。その際、光を出射するコア端部とオーバークラッド層（レンズ）間の位置精度を上げるため、予めコアにアライメントマークを作製し、アライメントカメラを用いて上記アライメントマークを認識しながらコアとオーバークラッド層の位置合わせを行ない、両者を貼り合わせる工程が必須となっている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２７６７２４号公報
【特許文献２】特開２００８−２０３４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
これまでの光導波路の製造工程では、上記アライメントカメラに使用される光源は可視光領域（波長４００〜７００ｎｍ）の光を照射するものが使用されており、かつ金属製基材として一般にＳＵＳを使用することから、アライメントカメラにＳＵＳの表面荒れが映り込むことになる。そのため、例えば、コアに設けられたアライメントマークのエッジ部のコントラストが低下し、その結果、アライメントカメラによるアライメントマークの検出精度が悪化するという問題が生起している。このような問題に対して、例えば、アライメントマーク形成においてハーフトーンマスク露光によるエッジの丸型化が提案されコントラストを明確にして認識の度合いを向上させるという改善が提案されている。しかしながら、根本原因であるＳＵＳ表面の荒れに起因した上記映り込みに対する直接的な解決手段ではないことや、上記ハーフトーンマスク露光方法によるアライメントマークの形成では、その出来上がりの精度が低いことから、アライメントマークの認識の向上という点で充分に満足のいくものではなく、生産効率（歩留り）の悪化を招いているのが実情である。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、光導波路の伝播損失の低下が抑制され、かつアライメントマークの視認性が向上し、生産性に優れた光導波路の製法の提供をその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するため、本発明の光導波路の製法は、金属製基板の表面にアンダークラッド層を形成する工程と、このアンダークラッド層表面にコアをパターン形成する工程と、上記アンダークラッド層の所定位置にアライメントマークを形成する工程と、オーバークラッド層の形状に対応する型面を有する凹部が形成され、上記アンダークラッド層に形成されたアライメントマークに対応するアライメントマークが所定位置に形成された成形型を準備する工程と、この成形型を、上記コアおよびアンダークラッド層が形成された金属製基板に対面させ、上記対応する一対のアライメントマークを基準に金属製基板と成形型を位置合わせする際に、成形型側から波長４００〜７００ｎｍの光を照射しその照射光を利用して位置合わせする工程と、上記コアを被覆した状態でオーバークラッド層を形成する工程とを備え、上記アンダークラッド層が、波長４００〜７００ｎｍの光を吸収する染料を含有し、かつ上記位置合わせに使用する波長４００〜７００ｎｍの光に対して吸光度０．２４以上の特性を有するものであるという構成をとる。
【０００９】
本発明者は、アライメントマークを用いた位置合わせの際に、アライメントカメラにＳＵＳの表面荒れが映り込むことから、アライメントマークの検出精度が悪化して製造作業性が低下することを解決するために鋭意検討を重ねた。そして、まず、上記ＳＵＳ表面の荒さに起因した映り込みを抑制するため、アンダークラッド層に、アライメントカメラにて用いられる光を吸収させる染料を導入することを想起し実験を行なった。しかし、上記染料の使用によりコア中の伝播光をも吸収するためか、染料の使用により光導波路の伝播損失が悪化する。このようなことから、アンダークラッド層には光導波路としての伝播損失を悪化させずに、かつＳＵＳ表面の荒れによる映り込みを抑制させアライメント用光を吸収することのできる特性を有する形成材料の使用が望まれる。本発明者は、このような観点から、さらに検討を重ねた結果、光導波路を伝播する波長（約８５０ｎｍ）に対して離れた波長帯領域に吸収特性を有する染料を選択して用い、形成したアンダークラッド層の吸光度を特定値以上となるように形成すると、染料導入による光導波路の伝播損失の悪化が抑制され、かつＳＵＳ表面の荒れによる映り込みが抑制されて、アライメントマークの視認性が向上することを見出し、本発明に到達した。
【００１０】
すなわち、通常、高透明性が要求される光導波路形成材料では、光導波路構成部材（アンダークラッド層、コア、オーバークラッド層）中の伝播光を吸収するような着色成分を導入することは行なわないのが技術常識である。これは、直接、光が伝播するコアはもちろんのこと、その光は両クラッド層中に若干染みだしながら伝播するため、伝播損失の悪化の要因となるためである。しかしながら、光導波路の作製に際して、使用する金属製基板となるＳＵＳの表面荒れがアライメントカメラに映り込むことによるアライメントマーク視認性悪化の低減を図るためには、使用するアライメントカメラ光源からの照射光に対応した吸光特性をアンダークラッド層に付与する必要があるのではないかと本発明者は想起した。そこで、本発明者は吸光特性を持たせるべく様々な手段を試行した結果、光導波路の光源波長（約８５０ｎｍ）に対して、離れた波長帯領域（４００〜７００ｎｍ）に吸光特性を備えた染料を用い、これをアンダークラッド層形成材料に配合し、得られたアンダークラッド層の吸光度が特定値以上となると、アライメントカメラへのＳＵＳ表面の荒れの映り込みが抑制されて、光導波路の伝播損失が維持されたまま、アライメントマークの視認性の向上を達成することが可能になったと推測される。
【発明の効果】
【００１１】
このように、本発明の光導波路の製法では、アンダークラッド層が、波長４００〜７００ｎｍの光を吸収する染料を含有し、かつ位置合わせに使用する波長４００〜７００ｎｍの光に対して吸光度０．２４以上の特性を有するよう形成される。このため、染料導入による光導波路の伝播損失の悪化が抑制され、例えば、ＳＵＳ表面の荒れに起因したアライメントカメラへの映り込みが抑制されて、アライメントマークの視認性が向上する。したがって、光導波路の生産歩留りが向上して、優れた生産性が得られることとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の光導波路の製法を模式的に示す説明図である。
【図２】本発明の光導波路の製法を模式的に示す説明図である。
【図３】本発明の光導波路の製法を模式的に示す説明図である。
【図４】本発明の光導波路の製法を模式的に示す説明図である。
【図５】上記製法により得られた光導波路を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。
【００１４】
《光導波路の製法》
まず、光導波路の製法について詳しく説明する。
【００１５】
まず、アンダークラッド層１を形成する際に用いる平板状の金属製基板１０〔図１（ａ）参照〕を準備する。この基板１０の形成材料としては、例えば、各種金属があげられるが、熱に対する伸縮耐性に優れ、上記光導波路の製造過程において、様々な寸法が設計値に略維持されるという観点から、ＳＵＳ製基板が好ましい。また、基板１０の厚みは、例えば、２０μｍ（フィルム状）〜５ｍｍ（板状）の範囲内に設定される。
【００１６】
ついで、図１（ａ）に示すように、上記基板１０の表面に、アンダークラッド層１を形成する。このアンダークラッド層１の形成材料としては、熱硬化性樹脂または感光性樹脂があげられる。上記熱硬化性樹脂を用いる場合は、その熱硬化性樹脂が溶媒に溶解しているワニスを塗布した後、それを加熱することにより、アンダークラッド層１に形成する。一方、上記感光性樹脂を用いる場合は、その感光性樹脂が溶媒に溶解しているワニスを塗布した後、それを紫外線等の照射線で露光することにより、アンダークラッド層１に形成する。アンダークラッド層１の厚みは、例えば、５〜３０μｍの範囲内に設定される。
【００１７】
そして、上記アンダークラッド層１の形成材料として、染料を用いることを本発明の最大の特徴とする。上記染料としては、波長４００〜７００ｎｍの光を吸収することのできる染料が用いられ、例えば、上記波長帯領域に対して吸光特性を有する黄色染料、赤色染料、緑色染料等、すなわち、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）として、黄色染料λｍａｘ４４０ｎｍ、赤色染料λｍａｘ５１５ｎｍ、緑色染料λｍａｘ６８９ｎｍ等があげられる。なかでも、光導波路を伝播する波長（約８５０ｎｍ）に対して離れた波長帯領域（例えば、４００ｎｍ近傍）に吸光特性を有する黄色染料が好ましく用いられる。具体的には、有本化学社製のPlast yellow8070、Plast red8630、Plast green8620等があげられる。これらは単独でもしくは２種以上併せて用いられる。なお、本発明において、染料とは、水等の特定の溶媒に溶解可能な着色に用いられる有色の物質をいい、溶媒に不溶の顔料はこれに含まれない。
【００１８】
上記染料の配合量は、染料の種類、アンダークラッド層の厚み等を考慮して、アンダークラッド層の吸光度が後述の範囲となるように適宜設定される。
【００１９】
上記アンダークラッド層１の形成材料により形成されたアンダークラッド層１は、アライメントマークの視認性という観点から、波長４００〜７００ｎｍの光に対して吸光度０．２４以上の特性を有するものでなければならない。特に好ましくは吸光度０．２４〜０．３０である。すなわち、吸光度が低過ぎると、ＳＵＳ表面の荒れによる映り込みの抑制効果が得られずアライメントマークの視認性が低下するからである。上記吸光度は、例えば、つぎのようにして測定される。すなわち、可視紫外吸収スペクトルによって、ＳＵＳ基板上に作製したアンダークラッド層（厚み１５μｍに規格）を、積分球を用いた反射測定により吸光度を測定する。
【００２０】
つぎに、図１（ｂ）に示すように、上記アンダークラッド層１の表面に、フォトリソグラフィ法により所定パターンのコア２を形成する。このコア２の形成材料としては、好ましくは、パターニング性に優れた感光性樹脂が用いられる。その感光性樹脂としては、例えば、アクリル系紫外線硬化樹脂，エポキシ系紫外線硬化樹脂，シロキサン系紫外線硬化樹脂，ノルボルネン系紫外線硬化樹脂，ポリイミド系紫外線硬化樹脂等があげられ、これらは単独でもしくは２種以上併せて用いられる。また、コア２の断面形状は、例えば、パターニング性に優れた台形または長方形である。コア２の幅は、例えば、１０〜５００μｍの範囲内に設定される。コア２の厚み（高さ）は、例えば、２５〜１００μｍの範囲内に設定される。
【００２１】
なお、上記コア２の形成材料としては、上記アンダークラッド層１および後述のオーバークラッド層３（図３参照）の形成材料よりも屈折率が高く、伝播する光の波長で透光性が高い材料が用いられる。上記屈折率の調整は、上記アンダークラッド層１，コア２，オーバークラッド層３の各形成材料である樹脂に導入する有機基の種類および含有量の少なくとも一方を変化させることにより、適宜、増加ないし減少させることができる。例えば、環状芳香族性の基（フェニル基等）を樹脂分子中に導入するか、あるいはその芳香族性基の樹脂分子中の含有量を増加させることにより、屈折率を大きくすることができる。他方、直鎖または環状脂肪族性の基（メチル基，ノルボルネン基等）を樹脂分子中に導入するか、あるいはその脂肪族性基の樹脂分子中の含有量を増加させることにより、屈折率を小さくすることができる。
【００２２】
上記コア２の形成とともに、上記アンダークラッド層１の所定位置となる両端部分〔図１（ｂ）参照〕にアライメントマーク１ａを形成する。上記アライメントマーク１ａの形状としては、特に限定するものではなく、アライメントマークとして視認することができるものであればよい。また、上記アライメントマーク１ａの形成方法としては、例えば、感光性樹脂材料（例えば、コア２形成材料）を用いてアプリケーターによりアンダークラッド層１上に塗工し乾燥させる。乾燥後、所定形状のフォトマスクを介して紫外線等の照射線を照射して露光を行なった後、加熱処理を行なうことにより露光部を硬化させる。つぎに、現像液（γ−ブチロラクトン等）を用いて未露光部を現像，水洗して除去し、乾燥することにより所定形状のアライメントマークを形成する。
【００２３】
一方、図１（ｃ）に示すように、オーバークラッド層形成用の成形型Ｍを準備する。上記成形型Ｍは、例えば、透光性樹脂（例えば、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等）と透光性支持板Ｇ（例えば、石英ガラス、青板ガラス、ポリカーボネート、アクリル等）とを形成材料とし、オーバークラッド層の形状と同一形状の型部材を用いて型成形することにより、上記透光性樹脂を硬化させ、これを上記透光性支持板Ｇに固着させることにより作製することができる。上記成形型Ｍ〔図１（ｃ）参照〕は、上記透光性樹脂の硬化体２０の下面に、上記透光性支持板Ｇが固着され、上記透光性樹脂の硬化体２０の上面に、上記オーバークラッド層３の形状に対応する型面を有する凹部２１が２個形成されており、各凹部２１の一端部分〔図１（ｃ）では左端部分〕が、レンズ曲面２１ａに形成されている。
【００２４】
そして、上記成形型Ｍの両端部分には、前記アンダークラッド層１に設けられたアライメントマーク１ａに対応するアライメントマーク２２が設けられる。上記アライメントマーク２２の形状は、前記アンダークラッド層１に設けられたアライメントマーク１ａに対応する形状であれば特に限定するものではなく、またその形成方法も前記アライメントマーク１ａの形成と同様である。
【００２５】
つぎに、上記成形型Ｍを、その凹部２１を上にして、成形ステージ（図示せず）の上に設置し、その凹部２１に、オーバークラッド層３〔図５参照〕の形成材料である液状の感光性樹脂３Ａを充填する。
【００２６】
ついで、図２に示すように、凹部２１内に液状の感光性樹脂３Ａが充填された成形型Ｍ上に、コア２がパターン形成されたアンダークラッド層１を対峙させる。このとき、アンダークラッド層１上に設けられたアライメントマーク１ａと成形型Ｍに設けられたアライメントマーク２２とを、成形型Ｍ側から矢印Ｌ方向にアライメントカメラを用いて、光を照射してアライメントマーク１ａ，２２とが一致することを確認して位置合わせが行なわれる。上記アライメントカメラの光には、一般に、可視光領域の波長４００〜７００ｎｍの光が用いられる。
【００２７】
つぎに、図３に示すように、上記オーバークラッド層３の形成材料である感光性樹脂３Ａ内に、上記アンダークラッド層１の表面にパターン形成されたコア２を浸した状態で、そのコア２を成形型Ｍの凹部２１に対して位置決めし、上記アンダークラッド層１を上記成形型Ｍに押圧する。
【００２８】
上記位置決めしてアンダークラッド層１を成形型Ｍに押圧する際の荷重は、例えば、４９〜９８０Ｎの範囲内に設定される。ここで、上記成形型Ｍの凹部２１の形成部分は、樹脂製であることから、耐圧性のあるものとなっている。そのため、上記のようにアンダークラッド層１を成形型Ｍに押圧して密着させることができ、ばりの形成を防止することができる。
【００２９】
つぎに、図４〔図３とは上下を逆に図示している〕に示すように、紫外線等の照射線を、上記成形型Ｍを通して上記感光性樹脂３Ａに照射することにより、その感光性樹脂３Ａを露光する。これにより、上記感光性樹脂３Ａが硬化し、一端部分がレンズ部３ａに形成されたオーバークラッド層３が形成される。なお、紫外線等の照射による露光に際しては、金属製基板１０は作業ステージ（図示せず）に吸着固定される。上記オーバークラッド層３の厚み（アンダークラッド層１の表面からの厚み）は、例えば、２５〜１５００μｍの範囲内に設定される。
【００３０】
そして、上記成形型Ｍから、上記オーバークラッド層３を、上記金属製基板１０，アンダークラッド層１およびコア２と共に脱型し、図５に示すように、金属製基板１０の表面に形成された、アンダークラッド層１とコア２とオーバークラッド層３とからなる光導波路を得る。この実施の形態では、２個の光導波路が形成されているが、一般に、２個以上の複数個の光導波路が形成され、光導波路を使用する際には、個々の光導波路が切り出され各種用途に供される。
【００３１】
さらに、上記オーバークラッド層３の脱型前または脱型後に、必要に応じて、加熱処理（例えば、７０〜９０℃程度）が適宜行なわれる。また、上記金属製基板１０は、必要に応じて、アンダークラッド層１から剥離してもよい。
【００３２】
なお、上記実施の形態では、オーバークラッド層３の一端部分をレンズ部３ａに形成したが、他端部分と同様に平面状に形成してもよい。
【００３３】
《光導波路の用途》
上記光導波路は、例えば、Ｌ字板状に形成することにより、タッチパネルにおける指等の触れ位置の検知手段（位置センサ）として用いることができる。すなわち、上記Ｌ字板状の光導波路において、複数のコア２を、上記Ｌ字板状の角部から内側端縁部に、等間隔に並列状態で延びたパターンに形成する。このようなＬ字板状の光導波路を２個作製する。そして、一方の光導波路の角部の外側に、発光素子を光結合し、他方の光導波路の角部の外側に、受光素子を光結合する。そして、それら光導波路を、タッチパネルの四角形のディスプレイの画面周縁部に沿って設置すると、タッチパネルにおける指等の触れ位置の検知手段として用いることができる。
【実施例】
【００３４】
つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。ただし、本発明は、実施例に限定されるものではない。
【００３５】
〔実施例１〕
〈アンダークラッド層形成用ワニスの調製〉
脂肪族骨格を有するエポキシ樹脂をベースとした感光性ワニス中の固形エポキシ樹脂成分１００重量部に対して、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）０．２重量部を添加して、８０℃の加熱下にて撹拌することにより染料成分を完全に溶解した。このようにして下記に示す各成分からなるアンダークラッド層形成用ワニスを調製した。
（アンダークラッド層形成用ワニス）
エポキシ樹脂（ダイセル社製、ＥＨＰＥ−３１５０）７５重量部
エポキシ樹脂（日油社製、マープルーフＧ−０１５０Ｍ）２５重量部
紫外線吸収剤（チバジャパン社製、ＴＩＮＵＶＩＨ４７９）５重量部
光酸発生剤（サンアプロ社製、ＣＰＩ−２００Ｋ）４重量部
溶媒（和光純薬社製、シクロヘキサノン）７０重量部
黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）０．２重量部
【００３６】
〈アンダークラッド層の作製〉
得られた上記ワニスをスピンコーターを用いて、ＳＵＳ基材（厚み５０μｍ）上に塗工し（５０００ｒｐｍ×１０秒）、乾燥炉内にて１５０℃で３分間乾燥を行なった。得られた未硬化のアンダークラッド層をＵＶ照射機にて〔Ｂ線、１０００ｍＪ（３６５ｎｍ）〕露光することによりアンダークラッド層を作製した（膜厚１５μｍ）。露光後に加熱は行なわず、露光時に生じる熱によりエポキシ基の重合反応を進行させた。
【００３７】
〈アライメントマークの作製〉
作製されたアンダークラッド層上に、アプリケーターを用いて下記に示すコアワニスを塗工し（アプリケーターギャップ約１００μｍ）、乾燥炉内にて１５０℃で３分間乾燥を行なった。乾燥後、フォトマスクを介して露光（Ｉ線、３０００ｍＪ）を行なった後、１２０℃×１０分間の加熱処理を行なった。つぎに、スプレー現像機によりγ−ブチロラクトンにて現像，水洗して未露光部を除去し、乾燥することによりアンダークラッド層上にアライメントマークを作製した。
（コアワニス）
エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン社製、１５７Ｓ７０）８５重量部
エポキシ樹脂（日油社製、マープルーフＧ−０２５０ＳＰ）１０重量部
エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン社製、エピコート８２８）５重量部
光酸発生剤（サンアプロ社製、ＣＰＩ−２００Ｋ）４重量部
溶媒（和光純薬社製、乳酸エチル）５５重量部
【００３８】
〔実施例２〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）の配合量を０．４重量部に変えた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００３９】
〔実施例３〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）に代えて赤色染料（有本化学社製、Plast red8630）０．４重量部を用いた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４０】
〔実施例４〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）に代えて赤色染料（有本化学社製、Plast red8630）１．２重量部を用いた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４１】
〔実施例５〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）に代えて緑色染料（有本化学社製、Plast green8620）０．３重量部を用いた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４２】
〔実施例６〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）に代えて緑色染料（有本化学社製、Plast green8620）０．５重量部を用いた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４３】
〔比較例１〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）の配合量を０．１重量部に変えた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４４】
〔比較例２〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）に代えて赤色染料（有本化学社製、Plast red8630）０．１重量部を用いた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４５】
〔比較例３〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）に代えて緑色染料（有本化学社製、Plast green8620）０．１重量部を用いた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４６】
〔比較例４〕
アンダークラッド層形成用ワニスにおいて、黄色染料（有本化学社製、Plast yellow8070）の配合量を０．１４重量部に変えた。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４７】
〔比較例５〕
染料を用いなかった。それ以外は実施例１と同様にしてアンダークラッド層およびアライメントマークを作製した。
【００４８】
上記のようにして作製した実施例品および比較例品について、下記に示す特性を測定，評価した。その結果を後記の表１に併せて示す。
【００４９】
〔吸光度〕
ＳＵＳ基材上に、厚み１５μｍにて作製したアンダークラッド層を、紫外可視近赤外分光光度計（日本分光社製、Ｖ−６７０）にて積分球を用いた反射モードにて吸光度を測定し、評価した。なお、ターゲットとする波長は、黄色染料は青色光源（４７０ｎｍ）、赤色染料は緑色光源（５２５ｎｍ）、緑色染料は赤色光源（６６０ｎｍ）とし、各染料を使用した際に使用する光源波長における吸光度で評価した。
【００５０】
〔視認性〕
アンダークラッド層側から、画像処理システム（カメラ含む、マニュファクチャリングシステム、シャープ社製、ＩＶ−Ｓ２１０Ｘ）を用いて、その光（下記の表１に示す光源からの波長の光）を照射してアライメントマークの視認性を目視により確認し評価した。その結果、ＳＵＳの映り込みが抑制され、アライメントマークが通常通り鮮明に確認されたものを○、ＳＵＳの映り込みによりアライメントマークの視認が困難となったものを×として評価した。
【００５１】
〔光導波路の伝播損失〕
得られた実施例品および比較例品について、カットバック法を用いて長さ５ｃｍの波長８５０ｎｍにおける伝播損失（ｄＢ／５ｃｍ）を測定した。
【００５２】
【表１】
【００５３】
上記結果から、実施例にて作製されたアンダークラッド層は伝播損失を大きく損なうことなく、アライメントカメラによるアライメントマークの視認性が良好であった。これに対して、比較例品は、いずれもアライメントカメラによるアライメントマークの視認性に劣るものであった。
【００５４】
〈光導波路の作製〉
つぎに、光導波路を作製した。すなわち、図１（ｃ）に示す、オーバークラッド層形成用の、透光性樹脂製（シリコーン樹脂）の硬化体２０と石英ガラス板Ｇからなる成形型Ｍを準備するとともに、上記各実施例にて準備したアンダークラッド層形成用ワニス（オーバークラッド層形成にも使用）およびコアワニスを用いて前述の実施の形態での光導波路の製法に基づき、光導波路（図５参照）を作製した。その際、アライメントカメラ（表１に示す各光源からの波長の光を使用）によるアライメントマークの視認が良好であったため、作業性良く光導波路を製造することが可能となった。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明の光導波路の製法は、光通信，光情報処理，タッチパネルにおける指等の触れ位置の検知手段（位置センサ）等に用いられる光導波路の製造に利用可能である。
【符号の説明】
【００５６】
１ アンダークラッド層
１ａ，２２ アライメントマーク
２ コア
３ オーバークラッド層
Ｍ 成形型
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属製基板の表面にアンダークラッド層を形成する工程と、このアンダークラッド層表面にコアをパターン形成する工程と、上記アンダークラッド層の所定位置にアライメントマークを形成する工程と、オーバークラッド層の形状に対応する型面を有する凹部が形成され、上記アンダークラッド層に形成されたアライメントマークに対応するアライメントマークが所定位置に形成された成形型を準備する工程と、この成形型を、上記コアおよびアンダークラッド層が形成された金属製基板に対面させ、上記対応する一対のアライメントマークを基準に金属製基板と成形型を位置合わせする際に、成形型側から波長４００〜７００ｎｍの光を照射しその照射光を利用して位置合わせする工程と、上記コアを被覆した状態でオーバークラッド層を形成する工程とを備え、上記アンダークラッド層が、波長４００〜７００ｎｍの光を吸収する染料を含有し、かつ上記位置合わせに使用する波長４００〜７００ｎｍの光に対して吸光度０．２４以上の特性を有するものであることを特徴とする光導波路の製法。
【請求項２】
上記位置合わせが、アライメントカメラを用いて行なうものである請求項１記載の光導波路の製法。
【請求項３】
上記成形型が透光性樹脂製のものであり、上記アライメントマークを基準に金属製基板と成形型とを位置合わせする工程が、透光性樹脂製の成形型側の裏側から、その成形型を通して、アライメントカメラによって両者のアライメントマークを確認し合致させて行なわれ、かつ上記オーバークラッド層を形成する工程が、上記透光性樹脂製の成形型の凹部内に、オーバークラッド層形成用の感光性樹脂を充填し、その感光性樹脂内に上記コアを埋めた状態で、上記成形型を通して上記感光性樹脂を露光し硬化させてオーバークラッド層に形成することにより行なわれる請求項１または２記載の光導波路の製法。
【請求項４】
上記コアの先端部を被覆するオーバークラッド層部分に対応する、上記成形型の凹部の型面部分がレンズ曲面に形成されている請求項１〜３のいずれか一項に記載の光導波路の製法。
【請求項１】
金属製基板の表面にアンダークラッド層を形成する工程と、このアンダークラッド層表面にコアをパターン形成する工程と、上記アンダークラッド層の所定位置にアライメントマークを形成する工程と、オーバークラッド層の形状に対応する型面を有する凹部が形成され、上記アンダークラッド層に形成されたアライメントマークに対応するアライメントマークが所定位置に形成された成形型を準備する工程と、この成形型を、上記コアおよびアンダークラッド層が形成された金属製基板に対面させ、上記対応する一対のアライメントマークを基準に金属製基板と成形型を位置合わせする際に、成形型側から波長４００〜７００ｎｍの光を照射しその照射光を利用して位置合わせする工程と、上記コアを被覆した状態でオーバークラッド層を形成する工程とを備え、上記アンダークラッド層が、波長４００〜７００ｎｍの光を吸収する染料を含有し、かつ上記位置合わせに使用する波長４００〜７００ｎｍの光に対して吸光度０．２４以上の特性を有するものであることを特徴とする光導波路の製法。
【請求項２】
上記位置合わせが、アライメントカメラを用いて行なうものである請求項１記載の光導波路の製法。
【請求項３】
上記成形型が透光性樹脂製のものであり、上記アライメントマークを基準に金属製基板と成形型とを位置合わせする工程が、透光性樹脂製の成形型側の裏側から、その成形型を通して、アライメントカメラによって両者のアライメントマークを確認し合致させて行なわれ、かつ上記オーバークラッド層を形成する工程が、上記透光性樹脂製の成形型の凹部内に、オーバークラッド層形成用の感光性樹脂を充填し、その感光性樹脂内に上記コアを埋めた状態で、上記成形型を通して上記感光性樹脂を露光し硬化させてオーバークラッド層に形成することにより行なわれる請求項１または２記載の光導波路の製法。
【請求項４】
上記コアの先端部を被覆するオーバークラッド層部分に対応する、上記成形型の凹部の型面部分がレンズ曲面に形成されている請求項１〜３のいずれか一項に記載の光導波路の製法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１２−６３４６８（Ｐ２０１２−６３４６８Ａ）
【公開日】平成２４年３月２９日（２０１２．３．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２０６２４５（Ｐ２０１０−２０６２４５）
【出願日】平成２２年９月１５日（２０１０．９．１５）
【出願人】（０００００３９６４）日東電工株式会社 (5,557)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年３月２９日（２０１２．３．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年９月１５日（２０１０．９．１５）
【出願人】（０００００３９６４）日東電工株式会社 (5,557)
【Ｆターム（参考）】
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