力学量センサシステム
【課題】 連続的にセンシングが必要な力学量センサシステムにおいて、そのセンサの有無や個体識別や正常動作診断、温度変化に対する補償、複数個のセンサ管理を可能とする力学量センサシステムを提供すること。
【解決手段】 圧電基板上に形成された櫛歯電極及び反射器を有する表面弾性波共振子からなるセンサ素子１０１とアンテナ１２０からなる振動センサ１０２が測定領域内の被測定物に設置されており、さらに振動センサ１０２に搬送波信号を無線送信して振動センサ１０２からの反射波を監視する質問器１０３が設置されている。質問器１０３は基準となる搬送波周波数の信号を発生する基準信号発生部１０４、その搬送波信号の基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号を発生させる周波数変調部１０５、アンテナ１０８、信号受信部１０９、信号処理部１１０、判定出力部１１１からなっている。
【解決手段】 圧電基板上に形成された櫛歯電極及び反射器を有する表面弾性波共振子からなるセンサ素子１０１とアンテナ１２０からなる振動センサ１０２が測定領域内の被測定物に設置されており、さらに振動センサ１０２に搬送波信号を無線送信して振動センサ１０２からの反射波を監視する質問器１０３が設置されている。質問器１０３は基準となる搬送波周波数の信号を発生する基準信号発生部１０４、その搬送波信号の基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号を発生させる周波数変調部１０５、アンテナ１０８、信号受信部１０９、信号処理部１１０、判定出力部１１１からなっている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面弾性波（ＳＡＷ）を利用した無線通信可能なパッシブ型力学量センサを用いた力学量センサシステムに関し、特に連続的に監視が必要な力学量センサを常時モニタリング可能な力学量センサシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電基板上に櫛歯電極及び反射器を形成して得られる表面弾性波共振子の共振周波数などが温度や圧力、加速度、振動などの外部からの力学量によって変化することを利用したセンサが多く開発されており、特許文献１などに示されている。
【０００３】
また、特許文献２には上記センサ素子にアンテナを設置し、外部からの無線電波のエネルギー供給によってセンサの駆動とセンシング結果の受信を可能にした装置が示されている。この装置ではセンサ素子ごとに反射器の設置位置を変化させ、その遅延時間からセンサ素子の識別を行っている。
【０００４】
特許文献３には具体的応用として車のタイヤ空気圧センサが示され、標準圧力空洞との差を測定して出力されるように構成され、さらに個別の反射識別パルス列が発生するように構成されてセンサ素子の識別が可能となっている。
【０００５】
しかし、上記の特許文献２および３のセンサ素子では、アコースティックエミッション（ＡＥ）波と呼ばれ、可聴領域よりも高い周波数で持続時間が非常に短い構造物のクラックによる振動などをとらえることを目的としたセンサとしては十分な性能は得られない。
【０００６】
そこで先に、本願の発明者らは、小型化でＡＥ波に対しても十分な感度を有するセンサを目的とした振動検知システムを発明し、特許出願（特願２００６−１９７６７８）を行った。
【０００７】
この先の出願の振動検知システムの構成を図６に示し、このシステムに使用するセンサ素子の断面構造を図７に、そのセンサ素子内の圧電基板上に形成されたＳＡＷ共振子の櫛歯電極及び反射器の配置図を図８にそれぞれ示す。
【０００８】
図６に示されるように、この振動検知システムは、アンテナ１０およびセンサ素子２０を備えた振動センサ１００と、この振動センサ１００を無線電波により駆動し、センシング結果を受信する質問器２００からなる。振動センサ１００はＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）技術を応用した小型化を可能とするパッシブ型力学量センサである。
【０００９】
図７に示されるように、センサ素子２０内のＳＡＷ共振子３０は、板状の圧電体基板３２と、該圧電体基板３２上に形成された櫛歯電極３４及びそのＳＡＷ伝搬方向の両側に近接して設けられた反射器３７及び３８とを備えて、支持基板２２及び蓋部材２３から構成される筐体内で振動可能となるように支持基板２２により圧電体基板３２の一端を支持されている。すなわち、ＳＡＷ共振子３０の圧電体基板３２は、図７に示されるように、支持基板２２により片持ち梁状に支持され、その支持部の根元に近いところに櫛歯電極３４が位置しているので、圧電体基板３２の振動部の振動を櫛歯電極３４近傍に効率よく集中させることができる。
【００１０】
ＳＡＷ共振子３０の櫛歯電極３４から引き出された接続部３５，３６（図８）は、半田バンプ２５，２６を介して支持基板２２上のパターン（図示せず）に接続され、更に支持基板２２内に形成されたビアホール（図示せず）を介して端子２７に接続されている。端子２７はアンテナ部に接続される。
【００１１】
以上説明した電気的経路により、アンテナ１０にて受信した受信波は、センサ素子２０内部の櫛歯電極３４まで供給される。なお、アンテナ１０と櫛歯電極３４は、その間の経路を含めて、インピーダンスマッチングが図られているので、アンテナ１０で受信された受信波はすべて櫛歯電極３４に供給される。ここで反射器３７及び３８は、アンテナ部１０を介して受信した受信波を櫛歯電極３４内及び櫛歯電極３４の近傍に閉じ込めるための受信波閉じ込め手段を構成するものである。反射器３７及び３８はエネルギー効率を上げるためのものであり、反射波の強度に余裕がある場合には、いずれか一方または両方とも省略することができる。
【００１２】
受信電波の周波数が上記ＳＡＷ共振子の共振周波数に一致したときは受信波はＳＡＷ共振子３０にエネルギーが閉じ込められるので反射されて再びアンテナ１０に戻る反射量は少ないが、周波数がずれた場合はその分だけ反射強度が増大して反射され、アンテナ部１０から反射波として振動センサ１００の外部に反射されることとなる。圧電体基板３２に振動が加わるとＳＡＷ共振子３０の共振周波数が変化することにより、反射波にはその振動周波数に対応したサイドローブが発生し、その反射波中のサイドローブを質問器２００で検出することにより、振動が検出される。
【００１３】
圧電体基板３２は、検知対象である対象物の機械振動における特徴的な周波数帯域に共振周波数が属するようにして選択された振動子形状を有している。例えば、一定の厚みを有する圧電体基板３２の場合には、片持ち梁の振動部の長さを適当な値に選択して、圧電体基板３２の共振周波数を上記「特徴的な周波数帯域」に合わせることができる。これにより検知対象物の振動が圧電体基板３２で増幅され継続される。例えばガラスの破壊現象などに伴う振動検出に適用するような場合、ガラスの破壊現象に伴う振動自体は２ｍｓ程度の間しか持続しないのに対して、ガラス破壊に伴う振動に特徴的な周波数帯域に属するような周波数と圧電体基板３２における共振周波数とを合わせることで、ガラス破壊に伴う振動自体が止まったあとであっても、圧電体基板３２の振動を２ｍｓよりも長めに持続させることができ、振動検知の確度が向上する。
【００１４】
更には、複数の振動センサ１００を用い、各振動センサ１００のＳＡＷ共振子３０の共振周波数を互いに異ならせておけば、振動センサの固体識別をすることができる。即ち、質問器２００にて振動検知の判定処理をする際に、いずれの振動センサ１００で振動を検知したのか、周波数特性の違いにより特定することができる。
【００１５】
【特許文献１】特開平８−１６６３０２号公報
【特許文献２】特開平９−１４７２８４号公報
【特許文献３】特開２００５−５５４４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
以上のように、先の出願の振動検出システムは優れた機能を有するが以下のような問題点も有している。
【００１７】
上記のようにセンサを構造物のクラックによる振動などをとらえるセンサとして使用した場合、その波は持続時間が非常に短い振動を検出する必要がある。よって、一定時間おきにモニタリングすると取りこぼしが多く発生しかねないことから、連続波でのモニタリングを行っている。しかし、上述のように先の出願の検出システムでは一定周波数の連続波を送信し、検知対象物の振動が発生したときの反射波のサイドローブを検出しているので、振動が起きていないときのセンサの有無、センサの識別や故障診断を行うことができない。また、ＳＡＷを利用した力学量センサは一般的に温度によって共振周波数が変化する。その補償方法として、センサ素子の近くに置いた温度センサにより温度を測定して搬送波周波数を補正する方法が行われているが、センサが複雑になる。また、センサの固体識別のため複数の連続波を送信する場合は反射波が互いに干渉してしまうという問題がある。
【００１８】
本発明は、上述した問題点を解決すべくなされたもので、その技術課題は、連続的にセンシングが必要な力学量センサシステムにおいて、そのセンサの有無や個体識別や正常動作診断、温度変化に対する補償、複数個のセンサ管理を可能とする力学量センサシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記課題を解決するため、本発明の力学量センサシステムは、圧電基板上に形成された櫛歯電極を有する表面弾性波共振子とアンテナからなり測定領域内の被測定物に設置された少なくとも１つのパッシブ型力学量センサと、当該パッシブ型力学量センサに搬送波信号を無線送信して当該センサからの反射波を監視する質問器とからなる力学量センサシステムにおいて、前記搬送波信号は基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号であり、前記質問器は前記反射波から前記パッシブ型力学量センサの情報を検出することを特徴とする。
【００２０】
ここで、前記パッシブ型力学量センサの情報には、前記測定領域内における前記パッシブ型力学量センサの有無、または前記パッシブ型力学量センサの故障の有無、または前記表面弾性波共振子の共振周波数、または前記表面弾性波共振子の温度変化、または前記表面弾性波共振子に印加される荷重のうち、いずれか１つ以上の情報を含んでもよい。
【００２１】
また、複数個のパッシブ型力学量センサを有し、該複数個のパッシブ型力学量センサの情報を個々に分別して検出してもよい。
【発明の効果】
【００２２】
上述のように、本発明においては、質問器からの搬送波信号を基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号とすることで、広い周波数範囲内でのセンサの反射特性に応じた出力信号を質問器で受信し解析することによって、検知対象であるセンサへ加わる力学量の有無にかかわらずセンサの状態を常時モニタリングできる。すなわち、質問器がカバーするエリア内にセンサが存在するか、正常作動しているか、センサの共振周波数などの情報を常時モニタリングできる。また、温度や荷重によってセンサの共振周波数が変わる場合は、温度や荷重を常時モニタリングできる。センサ個数は複数である場合にもその反射波の周波数特性からセンサの個体識別が可能である。
【００２３】
以上のように、本発明によれば、連続的にセンシングが必要な力学量センサにおいて、そのセンサの有無や個体識別や正常動作診断、温度変化に対する補償、複数個のセンサ管理を可能とする力学量センサシステムが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明による力学量センサシステムの実施例を説明する。
【実施例１】
【００２５】
図１は、本発明による力学量センサシステムの第一の実施例である振動検知システムの構成図である。図１において、図７のＳＡＷ共振子３０と同様な圧電基板上に形成された櫛歯電極を有する表面弾性波共振子とからなるセンサ素子１０１とアンテナ１２０からなる振動センサ１０２が測定領域内の被測定物に設置されており、さらに振動センサ１０２に搬送波信号を無線送信して振動センサ１０２からの反射波を監視する質問器１０３が設置されている。質問器１０３は基準となる搬送波周波数の信号を発生する基準信号発生部１０４、その搬送波信号の基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号を発生させる周波数変調部１０５、それを増幅して出力する送信出力部１０６、送受信信号を分離するサーキュレータ１０７、およびアンテナ１０８、アンテナ１０８で検出された信号を受信する信号受信部１０９、その受信信号を処理する信号処理部１１０、その処理結果から振動検出の判定を行いその結果を出力する判定出力部１１１からなっている。
【００２６】
図２は、質問器１０３より送信される基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号の例を示す図であり、横軸が時間、縦軸が周波数であり、図２（ａ）は三角関数的に周波数を変化させた場合、図２（ｂ）はのこぎり波的に周波数を変化させた場合の例を示す。この場合、中心周波数はＳＡＷ共振子の共振周波数に近い２４５０ＭＨｚ、周波数の変化幅Δｆは±数ＭＨｚ、その時間的な繰返し周期は観測すべき振動時間が２ｍｓ程度であることから数ＫＨｚ程度以上とすることが可能である。
【００２７】
図３（ａ）は本実施例において質問器１０３（図１）のアンテナ１０８から送信される搬送波信号と振動センサ１０２より反射されアンテナ１２０から送出される反射信号の時間波形を模式的に示す図であり、図３（ｂ）は振動センサ１０２の反射出力特性を示す図である。図３（ａ）において、質問器１０３より送出される搬送波信号１１は周波数ｆ１より周波数ｆ３まで変化させたときの信号であり、振動センサ１０２の反射出力特性、すなわち一定の入力電力に対して反射波として出力される電力は図３（ｂ）に示すようにその共振周波数である周波数ｆ２で最小となるので、その振幅は図３（ａ）の反射信号１３のように周波数ｆ２成分が最小となる。このような反射波の信号を質問器１０３で受信して解析することによって、振動センサ１０２が共振状態にあり反射出力が小さく、かつ振動センサ１０２の振動が無くサイドローブが発生していない場合でも振動センサ１０２からの応答を常にモニタリングすることが可能となる。
【００２８】
このモニタリングによって、質問器１０３がモニタリングできる空間に振動センサがあるかどうかの判断ができる。また、正常に振動センサが作動している状態の記録と、モニタリングしたときの振動センサの受信信号を比較することで振動センサが故障していないかを判断することができる。また、故意に振動センサ以外からの信号の妨害を受けた場合もアラームを出すことができる。
【００２９】
また、振動センサの共振周波数が温度によって変化する場合、それぞれの温度における共振周波数をあらかじめ測定しておくことにより、共振周波数の変化を温度に換算することができる。圧電基板などに荷重を加えた場合も、あらかじめ荷重と共振周波数の関係を把握しておくことにより同様に荷重を検知できる。
【００３０】
本実施例の効果を確認するため、実際に図１の振動検知システムを構成し、振動検知を行った。センサ素子１０１としてはタンタル酸リチウム単結晶基板上にアルミ製の歯電極及び反射器を作成しＳＡＷ共振子を作成した。反射出力特性を測定したところ共振周波数は２４５０ＭＨｚ付近であった。上記単結晶基板は５０ｋＨｚの振動を検知する形状に加工されており、アンテナを取り付けて振動センサ１０２を構成した。振動センサ１０２は５０ｋＨｚの加振器にとりつけた。質問器１０３から２４５０ＭＨｚの基準搬送波信号に１ＭＨｚのＦＭ変調信号を印加して連続的かつ周期的に周波数を変化させた図３の搬送波信号１１のような信号を発生させて送信し、振動センサ１０２からの受信信号をスペクトルアナライザで測定した。振動がないときの受信信号の波形は図３の反射信号１３のような変調波形が確認できた。また、質問器１０３からの搬送波信号の周波数スペクトルは中心周波数２４５０Ｈｚを中心に左右対称だったのに対して、振動センサ１０２からの受信信号の周波数スペクトルは左右非対称であった。これはＳＡＷ共振子の実際の共振周波数が２４５０ＭＨｚから若干ずれていたためである。
【００３１】
次に、振動センサ１０２を５０ｋＨｚで加振したところ、受信信号には加振による５０ｋＨｚの変調信号を確認でき、また、周波数スペクトルにも５０ｋＨｚのサイドローブが確認できた。さらに、振動センサ１０２の中の配線を切断した場合や、振動センサ１０２を除いた場合には上記５０ｋＨｚの信号は得られないことも確認した。
【００３２】
次に、温度によるセンサ素子１０１の共振周波数の変化を測定した。あらかじめこのセンサ素子１０１の−２０℃〜８０℃までの温度特性を測定したところ、温度に対して線形に共振周波数が減少し−３５ｐｐｍ／℃であった。室温にて温度センサを温度測定物にとりつけ、質問器から２４５０ＭＨｚの基準搬送波信号に１０ＭＨｚのＦＭ変調信号を印加して連続的に送信し、センサからの出力信号をスペクトルアナライザに取り込んだ。次に、センサ素子１０１を６５℃に加熱したところ、受信信号の周波数特性から２４４７ＭＨｚへの共振周波数の変化が確認でき、対応する温度が測定できた。
【実施例２】
【００３３】
図４は、本発明による力学量センサシステムの第二の実施例である振動検知システムの構成図である。本実施例は、基本的構成は図１の実施例１と同様であるが、２つの振動センサ２０１、２０２を有することのみが異なっている。
【００３４】
図５（ａ）は、本実施例において質問器１０３のアンテナ１０８から送信される搬送波信号と振動センサ２０１および２０２より反射されアンテナから送出される反射信号の時間波形を模式的に示す図であり、図５（ｂ）は振動センサ２０１および２０２の反射出力特性を示す図である。図５（ａ）において、質問器１０３より送出される搬送波信号１３１は周波数ｆ１より周波数ｆ３まで変化させたときの信号である。振動センサ２０１の反射出力特性１３５は図５（ｂ）に示すようにその共振周波数である周波数ｆ３で最小となるので、振動センサ２０１からの反射波は図５（ａ）の反射信号１３３のようにその振幅はｆ３成分が最小となる。一方、振動センサ２０２の反射出力特性１３６は図５（ｂ）に示すようにその共振周波数である周波数ｆ２で最小となるので、振動センサ２０２からの反射波は図５（ａ）の反射信号１３４のようにその振幅はｆ２成分が最小となる。
【００３５】
質問器３で受信される信号は反射信号１３３と１３４の合成波となり、その周波数スペクトルは図５（ｂ）の反射出力特性１３５と１３６を重ね合わせた包絡線状となる。このように受信信号の周波数を分析することにより、受信範囲にある振動センサの共振周波数を検出でき、その共振周波数の違いにより複数個のセンサの識別が可能となる。各振動センサに振動が印加されたときにはその共振振動周波数に振動周波数に相当するサイドローブが生ずることにより、振動がどの振動センサに発生したかを検出できる。
【００３６】
また、実施例１と同様に、各振動センサの共振周波数の変化より温度や荷重、故障の有無などを検出することができる。
【００３７】
本実施例の効果を確認するため、実際に図４の振動検知システムを構成し、振動検知を行った。センサ素子２０３、２０４としてタンタル酸リチウム単結晶基板上にアルミ製の歯電極及び反射器を作成し２種類のＳＡＷ共振子を作成した。反射出力特性を測定したところそれぞれの共振周波数は２４５０ＭＨｚと２４５１ＭＨｚであった。上記単結晶基板は共に５０ｋＨｚの振動を検知する形状に加工されており、アンテナを取り付けて振動センサ２０１および２０２を構成し、５０ｋＨｚの加振器にとりつけた。
【００３８】
質問器１０３から２４５０ＭＨｚの基準搬送波信号に２ＭＨｚのＦＭ変調信号を印加して連続的かつ周期的に周波数を変化させた図５の搬送波信号１３１のような信号を発生させて送信し、振動センサ２０１および２０２からの受信信号をスペクトルアナライザで測定した。上記２つの振動センサに対応する図５（ｂ）のような２つの共振周波数が測定でき、かつ、それぞれの振動センサに５０ＫＨｚで振動を加えたとき、それぞれの共振周波数に５０ｋＨｚのサイドローブが発生することを確認できた。
【実施例３】
【００３９】
次に、本発明による力学量センサシステムの第３の実施例である荷重センサシステムについて説明する。本実施例の質問器は実施例１と同様であるが、センサに使用するセンサ素子の構造が異なっている。本実施例においては、ＳＡＷ共振子が設置される圧電基板の形状は均一に荷重がかかるようダイヤフラム構造としている。このセンサ素子にアンテナを取り付けて荷重センサを作製した。ＳＡＷ共振子の共振周波数は２４５０ＭＨｚである。あらかじめこのセンサの荷重による共振周波数変化を測定したところ、荷重に対して線形に共振周波数が減少し−５０ｐｐｍ／ｋｇｆであった。室温にて荷重センサを測定物にとりつけ、質問器から２４５０ＭＨｚの搬送波信号に１０ＭＨｚのＦＭ変調信号を印加して連続的に送信し、センサからの出力信号をスペクトルアナライザに取り込んだ。２４５０ＭＨｚの共振による受信信号が得られた。次に、測定物に１０ｋｇｆの荷重を加えたところ受信信号の共振周波数は２４４９ＭＨｚとなり荷重の検出が確認できた。
【００４０】
以上のように、本発明によれば、連続的にセンシングが必要な振動センサや荷重センサなどの力学量センサシステムにおいて、そのセンサの有無や個体識別や正常動作診断、温度変化に対する補償、複数個のセンサ管理を可能とする力学量センサシステムが得られる。
【００４１】
なお、本発明は上記の実施例に限定されるものではないことは言うまでもなく、例えば検出対象としては弾性表面波によるセンサ素子の特性に影響を与えるものであれば可能であり、加速度、衝撃などの力学量の検出も可能である。ＳＡＷ共振子の共振周波数、質問器からの搬送波信号の周波数変調幅などは目的に応じて設計可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の力学量センサシステムの第一の実施例である振動検知システムの構成図。
【図２】質問器より送信される基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号の例を示す図であり、図２（ａ）は三角関数的に周波数を変化させた場合、図２（ｂ）はのこぎり波的に周波数を変化させた場合の例を示す図。
【図３】本発明の実施例１の振動検知システムの動作を説明する図。図３（ａ）は実施例１において質問器のアンテナから送信される搬送波信号と振動センサより反射されアンテナで受信される受信信号の時間波形を模式的に示す図。図３（ｂ）は実施例１の振動センサの反射出力特性を示す図。
【図４】本発明の力学量センサシステムの第二の実施例である振動検知システムの構成図。
【図５】本発明の実施例２の振動検知システムの動作を説明する図。図５（ａ）は実施例２において質問器のアンテナから送信される搬送波信号と振動センサより反射されアンテナで受信される受信信号の時間波形を模式的に示す図。図５（ｂ）は実施例２の振動センサの反射出力特性を示す図。
【図６】先の出願の振動検知システムの構成を示す図。
【図７】センサ素子の断面構造を示す図。
【図８】ＳＡＷ共振子の櫛歯電極及び反射器の配置図。
【符号の説明】
【００４３】
１０、１０８、１２０ アンテナ
１１、１３１ 搬送波信号
１３、１３３、１３４ 反射信号
２０、１０１、２０３、２０４ センサ素子
２２ 支持基板
２３ 蓋部材
２５、２６ 半田バンプ
２７ 端子
３０ ＳＡＷ共振子
３２ 圧電体基板
３４ 櫛歯電極
３５、３６ 接続部
３７、３８ 反射器
１００、１０２、２０１、２０２ 振動センサ
１０４ 基準信号発生部
１０５ 周波数変調部
１０６ 送信出力部
１０７ サーキュレータ
１０９ 信号受信部
１１０ 信号処理部
１１１ 判定出力部
１３５，１３６ 反射出力特性
２００、１０３ 質問器
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面弾性波（ＳＡＷ）を利用した無線通信可能なパッシブ型力学量センサを用いた力学量センサシステムに関し、特に連続的に監視が必要な力学量センサを常時モニタリング可能な力学量センサシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電基板上に櫛歯電極及び反射器を形成して得られる表面弾性波共振子の共振周波数などが温度や圧力、加速度、振動などの外部からの力学量によって変化することを利用したセンサが多く開発されており、特許文献１などに示されている。
【０００３】
また、特許文献２には上記センサ素子にアンテナを設置し、外部からの無線電波のエネルギー供給によってセンサの駆動とセンシング結果の受信を可能にした装置が示されている。この装置ではセンサ素子ごとに反射器の設置位置を変化させ、その遅延時間からセンサ素子の識別を行っている。
【０００４】
特許文献３には具体的応用として車のタイヤ空気圧センサが示され、標準圧力空洞との差を測定して出力されるように構成され、さらに個別の反射識別パルス列が発生するように構成されてセンサ素子の識別が可能となっている。
【０００５】
しかし、上記の特許文献２および３のセンサ素子では、アコースティックエミッション（ＡＥ）波と呼ばれ、可聴領域よりも高い周波数で持続時間が非常に短い構造物のクラックによる振動などをとらえることを目的としたセンサとしては十分な性能は得られない。
【０００６】
そこで先に、本願の発明者らは、小型化でＡＥ波に対しても十分な感度を有するセンサを目的とした振動検知システムを発明し、特許出願（特願２００６−１９７６７８）を行った。
【０００７】
この先の出願の振動検知システムの構成を図６に示し、このシステムに使用するセンサ素子の断面構造を図７に、そのセンサ素子内の圧電基板上に形成されたＳＡＷ共振子の櫛歯電極及び反射器の配置図を図８にそれぞれ示す。
【０００８】
図６に示されるように、この振動検知システムは、アンテナ１０およびセンサ素子２０を備えた振動センサ１００と、この振動センサ１００を無線電波により駆動し、センシング結果を受信する質問器２００からなる。振動センサ１００はＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）技術を応用した小型化を可能とするパッシブ型力学量センサである。
【０００９】
図７に示されるように、センサ素子２０内のＳＡＷ共振子３０は、板状の圧電体基板３２と、該圧電体基板３２上に形成された櫛歯電極３４及びそのＳＡＷ伝搬方向の両側に近接して設けられた反射器３７及び３８とを備えて、支持基板２２及び蓋部材２３から構成される筐体内で振動可能となるように支持基板２２により圧電体基板３２の一端を支持されている。すなわち、ＳＡＷ共振子３０の圧電体基板３２は、図７に示されるように、支持基板２２により片持ち梁状に支持され、その支持部の根元に近いところに櫛歯電極３４が位置しているので、圧電体基板３２の振動部の振動を櫛歯電極３４近傍に効率よく集中させることができる。
【００１０】
ＳＡＷ共振子３０の櫛歯電極３４から引き出された接続部３５，３６（図８）は、半田バンプ２５，２６を介して支持基板２２上のパターン（図示せず）に接続され、更に支持基板２２内に形成されたビアホール（図示せず）を介して端子２７に接続されている。端子２７はアンテナ部に接続される。
【００１１】
以上説明した電気的経路により、アンテナ１０にて受信した受信波は、センサ素子２０内部の櫛歯電極３４まで供給される。なお、アンテナ１０と櫛歯電極３４は、その間の経路を含めて、インピーダンスマッチングが図られているので、アンテナ１０で受信された受信波はすべて櫛歯電極３４に供給される。ここで反射器３７及び３８は、アンテナ部１０を介して受信した受信波を櫛歯電極３４内及び櫛歯電極３４の近傍に閉じ込めるための受信波閉じ込め手段を構成するものである。反射器３７及び３８はエネルギー効率を上げるためのものであり、反射波の強度に余裕がある場合には、いずれか一方または両方とも省略することができる。
【００１２】
受信電波の周波数が上記ＳＡＷ共振子の共振周波数に一致したときは受信波はＳＡＷ共振子３０にエネルギーが閉じ込められるので反射されて再びアンテナ１０に戻る反射量は少ないが、周波数がずれた場合はその分だけ反射強度が増大して反射され、アンテナ部１０から反射波として振動センサ１００の外部に反射されることとなる。圧電体基板３２に振動が加わるとＳＡＷ共振子３０の共振周波数が変化することにより、反射波にはその振動周波数に対応したサイドローブが発生し、その反射波中のサイドローブを質問器２００で検出することにより、振動が検出される。
【００１３】
圧電体基板３２は、検知対象である対象物の機械振動における特徴的な周波数帯域に共振周波数が属するようにして選択された振動子形状を有している。例えば、一定の厚みを有する圧電体基板３２の場合には、片持ち梁の振動部の長さを適当な値に選択して、圧電体基板３２の共振周波数を上記「特徴的な周波数帯域」に合わせることができる。これにより検知対象物の振動が圧電体基板３２で増幅され継続される。例えばガラスの破壊現象などに伴う振動検出に適用するような場合、ガラスの破壊現象に伴う振動自体は２ｍｓ程度の間しか持続しないのに対して、ガラス破壊に伴う振動に特徴的な周波数帯域に属するような周波数と圧電体基板３２における共振周波数とを合わせることで、ガラス破壊に伴う振動自体が止まったあとであっても、圧電体基板３２の振動を２ｍｓよりも長めに持続させることができ、振動検知の確度が向上する。
【００１４】
更には、複数の振動センサ１００を用い、各振動センサ１００のＳＡＷ共振子３０の共振周波数を互いに異ならせておけば、振動センサの固体識別をすることができる。即ち、質問器２００にて振動検知の判定処理をする際に、いずれの振動センサ１００で振動を検知したのか、周波数特性の違いにより特定することができる。
【００１５】
【特許文献１】特開平８−１６６３０２号公報
【特許文献２】特開平９−１４７２８４号公報
【特許文献３】特開２００５−５５４４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
以上のように、先の出願の振動検出システムは優れた機能を有するが以下のような問題点も有している。
【００１７】
上記のようにセンサを構造物のクラックによる振動などをとらえるセンサとして使用した場合、その波は持続時間が非常に短い振動を検出する必要がある。よって、一定時間おきにモニタリングすると取りこぼしが多く発生しかねないことから、連続波でのモニタリングを行っている。しかし、上述のように先の出願の検出システムでは一定周波数の連続波を送信し、検知対象物の振動が発生したときの反射波のサイドローブを検出しているので、振動が起きていないときのセンサの有無、センサの識別や故障診断を行うことができない。また、ＳＡＷを利用した力学量センサは一般的に温度によって共振周波数が変化する。その補償方法として、センサ素子の近くに置いた温度センサにより温度を測定して搬送波周波数を補正する方法が行われているが、センサが複雑になる。また、センサの固体識別のため複数の連続波を送信する場合は反射波が互いに干渉してしまうという問題がある。
【００１８】
本発明は、上述した問題点を解決すべくなされたもので、その技術課題は、連続的にセンシングが必要な力学量センサシステムにおいて、そのセンサの有無や個体識別や正常動作診断、温度変化に対する補償、複数個のセンサ管理を可能とする力学量センサシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記課題を解決するため、本発明の力学量センサシステムは、圧電基板上に形成された櫛歯電極を有する表面弾性波共振子とアンテナからなり測定領域内の被測定物に設置された少なくとも１つのパッシブ型力学量センサと、当該パッシブ型力学量センサに搬送波信号を無線送信して当該センサからの反射波を監視する質問器とからなる力学量センサシステムにおいて、前記搬送波信号は基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号であり、前記質問器は前記反射波から前記パッシブ型力学量センサの情報を検出することを特徴とする。
【００２０】
ここで、前記パッシブ型力学量センサの情報には、前記測定領域内における前記パッシブ型力学量センサの有無、または前記パッシブ型力学量センサの故障の有無、または前記表面弾性波共振子の共振周波数、または前記表面弾性波共振子の温度変化、または前記表面弾性波共振子に印加される荷重のうち、いずれか１つ以上の情報を含んでもよい。
【００２１】
また、複数個のパッシブ型力学量センサを有し、該複数個のパッシブ型力学量センサの情報を個々に分別して検出してもよい。
【発明の効果】
【００２２】
上述のように、本発明においては、質問器からの搬送波信号を基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号とすることで、広い周波数範囲内でのセンサの反射特性に応じた出力信号を質問器で受信し解析することによって、検知対象であるセンサへ加わる力学量の有無にかかわらずセンサの状態を常時モニタリングできる。すなわち、質問器がカバーするエリア内にセンサが存在するか、正常作動しているか、センサの共振周波数などの情報を常時モニタリングできる。また、温度や荷重によってセンサの共振周波数が変わる場合は、温度や荷重を常時モニタリングできる。センサ個数は複数である場合にもその反射波の周波数特性からセンサの個体識別が可能である。
【００２３】
以上のように、本発明によれば、連続的にセンシングが必要な力学量センサにおいて、そのセンサの有無や個体識別や正常動作診断、温度変化に対する補償、複数個のセンサ管理を可能とする力学量センサシステムが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明による力学量センサシステムの実施例を説明する。
【実施例１】
【００２５】
図１は、本発明による力学量センサシステムの第一の実施例である振動検知システムの構成図である。図１において、図７のＳＡＷ共振子３０と同様な圧電基板上に形成された櫛歯電極を有する表面弾性波共振子とからなるセンサ素子１０１とアンテナ１２０からなる振動センサ１０２が測定領域内の被測定物に設置されており、さらに振動センサ１０２に搬送波信号を無線送信して振動センサ１０２からの反射波を監視する質問器１０３が設置されている。質問器１０３は基準となる搬送波周波数の信号を発生する基準信号発生部１０４、その搬送波信号の基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号を発生させる周波数変調部１０５、それを増幅して出力する送信出力部１０６、送受信信号を分離するサーキュレータ１０７、およびアンテナ１０８、アンテナ１０８で検出された信号を受信する信号受信部１０９、その受信信号を処理する信号処理部１１０、その処理結果から振動検出の判定を行いその結果を出力する判定出力部１１１からなっている。
【００２６】
図２は、質問器１０３より送信される基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号の例を示す図であり、横軸が時間、縦軸が周波数であり、図２（ａ）は三角関数的に周波数を変化させた場合、図２（ｂ）はのこぎり波的に周波数を変化させた場合の例を示す。この場合、中心周波数はＳＡＷ共振子の共振周波数に近い２４５０ＭＨｚ、周波数の変化幅Δｆは±数ＭＨｚ、その時間的な繰返し周期は観測すべき振動時間が２ｍｓ程度であることから数ＫＨｚ程度以上とすることが可能である。
【００２７】
図３（ａ）は本実施例において質問器１０３（図１）のアンテナ１０８から送信される搬送波信号と振動センサ１０２より反射されアンテナ１２０から送出される反射信号の時間波形を模式的に示す図であり、図３（ｂ）は振動センサ１０２の反射出力特性を示す図である。図３（ａ）において、質問器１０３より送出される搬送波信号１１は周波数ｆ１より周波数ｆ３まで変化させたときの信号であり、振動センサ１０２の反射出力特性、すなわち一定の入力電力に対して反射波として出力される電力は図３（ｂ）に示すようにその共振周波数である周波数ｆ２で最小となるので、その振幅は図３（ａ）の反射信号１３のように周波数ｆ２成分が最小となる。このような反射波の信号を質問器１０３で受信して解析することによって、振動センサ１０２が共振状態にあり反射出力が小さく、かつ振動センサ１０２の振動が無くサイドローブが発生していない場合でも振動センサ１０２からの応答を常にモニタリングすることが可能となる。
【００２８】
このモニタリングによって、質問器１０３がモニタリングできる空間に振動センサがあるかどうかの判断ができる。また、正常に振動センサが作動している状態の記録と、モニタリングしたときの振動センサの受信信号を比較することで振動センサが故障していないかを判断することができる。また、故意に振動センサ以外からの信号の妨害を受けた場合もアラームを出すことができる。
【００２９】
また、振動センサの共振周波数が温度によって変化する場合、それぞれの温度における共振周波数をあらかじめ測定しておくことにより、共振周波数の変化を温度に換算することができる。圧電基板などに荷重を加えた場合も、あらかじめ荷重と共振周波数の関係を把握しておくことにより同様に荷重を検知できる。
【００３０】
本実施例の効果を確認するため、実際に図１の振動検知システムを構成し、振動検知を行った。センサ素子１０１としてはタンタル酸リチウム単結晶基板上にアルミ製の歯電極及び反射器を作成しＳＡＷ共振子を作成した。反射出力特性を測定したところ共振周波数は２４５０ＭＨｚ付近であった。上記単結晶基板は５０ｋＨｚの振動を検知する形状に加工されており、アンテナを取り付けて振動センサ１０２を構成した。振動センサ１０２は５０ｋＨｚの加振器にとりつけた。質問器１０３から２４５０ＭＨｚの基準搬送波信号に１ＭＨｚのＦＭ変調信号を印加して連続的かつ周期的に周波数を変化させた図３の搬送波信号１１のような信号を発生させて送信し、振動センサ１０２からの受信信号をスペクトルアナライザで測定した。振動がないときの受信信号の波形は図３の反射信号１３のような変調波形が確認できた。また、質問器１０３からの搬送波信号の周波数スペクトルは中心周波数２４５０Ｈｚを中心に左右対称だったのに対して、振動センサ１０２からの受信信号の周波数スペクトルは左右非対称であった。これはＳＡＷ共振子の実際の共振周波数が２４５０ＭＨｚから若干ずれていたためである。
【００３１】
次に、振動センサ１０２を５０ｋＨｚで加振したところ、受信信号には加振による５０ｋＨｚの変調信号を確認でき、また、周波数スペクトルにも５０ｋＨｚのサイドローブが確認できた。さらに、振動センサ１０２の中の配線を切断した場合や、振動センサ１０２を除いた場合には上記５０ｋＨｚの信号は得られないことも確認した。
【００３２】
次に、温度によるセンサ素子１０１の共振周波数の変化を測定した。あらかじめこのセンサ素子１０１の−２０℃〜８０℃までの温度特性を測定したところ、温度に対して線形に共振周波数が減少し−３５ｐｐｍ／℃であった。室温にて温度センサを温度測定物にとりつけ、質問器から２４５０ＭＨｚの基準搬送波信号に１０ＭＨｚのＦＭ変調信号を印加して連続的に送信し、センサからの出力信号をスペクトルアナライザに取り込んだ。次に、センサ素子１０１を６５℃に加熱したところ、受信信号の周波数特性から２４４７ＭＨｚへの共振周波数の変化が確認でき、対応する温度が測定できた。
【実施例２】
【００３３】
図４は、本発明による力学量センサシステムの第二の実施例である振動検知システムの構成図である。本実施例は、基本的構成は図１の実施例１と同様であるが、２つの振動センサ２０１、２０２を有することのみが異なっている。
【００３４】
図５（ａ）は、本実施例において質問器１０３のアンテナ１０８から送信される搬送波信号と振動センサ２０１および２０２より反射されアンテナから送出される反射信号の時間波形を模式的に示す図であり、図５（ｂ）は振動センサ２０１および２０２の反射出力特性を示す図である。図５（ａ）において、質問器１０３より送出される搬送波信号１３１は周波数ｆ１より周波数ｆ３まで変化させたときの信号である。振動センサ２０１の反射出力特性１３５は図５（ｂ）に示すようにその共振周波数である周波数ｆ３で最小となるので、振動センサ２０１からの反射波は図５（ａ）の反射信号１３３のようにその振幅はｆ３成分が最小となる。一方、振動センサ２０２の反射出力特性１３６は図５（ｂ）に示すようにその共振周波数である周波数ｆ２で最小となるので、振動センサ２０２からの反射波は図５（ａ）の反射信号１３４のようにその振幅はｆ２成分が最小となる。
【００３５】
質問器３で受信される信号は反射信号１３３と１３４の合成波となり、その周波数スペクトルは図５（ｂ）の反射出力特性１３５と１３６を重ね合わせた包絡線状となる。このように受信信号の周波数を分析することにより、受信範囲にある振動センサの共振周波数を検出でき、その共振周波数の違いにより複数個のセンサの識別が可能となる。各振動センサに振動が印加されたときにはその共振振動周波数に振動周波数に相当するサイドローブが生ずることにより、振動がどの振動センサに発生したかを検出できる。
【００３６】
また、実施例１と同様に、各振動センサの共振周波数の変化より温度や荷重、故障の有無などを検出することができる。
【００３７】
本実施例の効果を確認するため、実際に図４の振動検知システムを構成し、振動検知を行った。センサ素子２０３、２０４としてタンタル酸リチウム単結晶基板上にアルミ製の歯電極及び反射器を作成し２種類のＳＡＷ共振子を作成した。反射出力特性を測定したところそれぞれの共振周波数は２４５０ＭＨｚと２４５１ＭＨｚであった。上記単結晶基板は共に５０ｋＨｚの振動を検知する形状に加工されており、アンテナを取り付けて振動センサ２０１および２０２を構成し、５０ｋＨｚの加振器にとりつけた。
【００３８】
質問器１０３から２４５０ＭＨｚの基準搬送波信号に２ＭＨｚのＦＭ変調信号を印加して連続的かつ周期的に周波数を変化させた図５の搬送波信号１３１のような信号を発生させて送信し、振動センサ２０１および２０２からの受信信号をスペクトルアナライザで測定した。上記２つの振動センサに対応する図５（ｂ）のような２つの共振周波数が測定でき、かつ、それぞれの振動センサに５０ＫＨｚで振動を加えたとき、それぞれの共振周波数に５０ｋＨｚのサイドローブが発生することを確認できた。
【実施例３】
【００３９】
次に、本発明による力学量センサシステムの第３の実施例である荷重センサシステムについて説明する。本実施例の質問器は実施例１と同様であるが、センサに使用するセンサ素子の構造が異なっている。本実施例においては、ＳＡＷ共振子が設置される圧電基板の形状は均一に荷重がかかるようダイヤフラム構造としている。このセンサ素子にアンテナを取り付けて荷重センサを作製した。ＳＡＷ共振子の共振周波数は２４５０ＭＨｚである。あらかじめこのセンサの荷重による共振周波数変化を測定したところ、荷重に対して線形に共振周波数が減少し−５０ｐｐｍ／ｋｇｆであった。室温にて荷重センサを測定物にとりつけ、質問器から２４５０ＭＨｚの搬送波信号に１０ＭＨｚのＦＭ変調信号を印加して連続的に送信し、センサからの出力信号をスペクトルアナライザに取り込んだ。２４５０ＭＨｚの共振による受信信号が得られた。次に、測定物に１０ｋｇｆの荷重を加えたところ受信信号の共振周波数は２４４９ＭＨｚとなり荷重の検出が確認できた。
【００４０】
以上のように、本発明によれば、連続的にセンシングが必要な振動センサや荷重センサなどの力学量センサシステムにおいて、そのセンサの有無や個体識別や正常動作診断、温度変化に対する補償、複数個のセンサ管理を可能とする力学量センサシステムが得られる。
【００４１】
なお、本発明は上記の実施例に限定されるものではないことは言うまでもなく、例えば検出対象としては弾性表面波によるセンサ素子の特性に影響を与えるものであれば可能であり、加速度、衝撃などの力学量の検出も可能である。ＳＡＷ共振子の共振周波数、質問器からの搬送波信号の周波数変調幅などは目的に応じて設計可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の力学量センサシステムの第一の実施例である振動検知システムの構成図。
【図２】質問器より送信される基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号の例を示す図であり、図２（ａ）は三角関数的に周波数を変化させた場合、図２（ｂ）はのこぎり波的に周波数を変化させた場合の例を示す図。
【図３】本発明の実施例１の振動検知システムの動作を説明する図。図３（ａ）は実施例１において質問器のアンテナから送信される搬送波信号と振動センサより反射されアンテナで受信される受信信号の時間波形を模式的に示す図。図３（ｂ）は実施例１の振動センサの反射出力特性を示す図。
【図４】本発明の力学量センサシステムの第二の実施例である振動検知システムの構成図。
【図５】本発明の実施例２の振動検知システムの動作を説明する図。図５（ａ）は実施例２において質問器のアンテナから送信される搬送波信号と振動センサより反射されアンテナで受信される受信信号の時間波形を模式的に示す図。図５（ｂ）は実施例２の振動センサの反射出力特性を示す図。
【図６】先の出願の振動検知システムの構成を示す図。
【図７】センサ素子の断面構造を示す図。
【図８】ＳＡＷ共振子の櫛歯電極及び反射器の配置図。
【符号の説明】
【００４３】
１０、１０８、１２０ アンテナ
１１、１３１ 搬送波信号
１３、１３３、１３４ 反射信号
２０、１０１、２０３、２０４ センサ素子
２２ 支持基板
２３ 蓋部材
２５、２６ 半田バンプ
２７ 端子
３０ ＳＡＷ共振子
３２ 圧電体基板
３４ 櫛歯電極
３５、３６ 接続部
３７、３８ 反射器
１００、１０２、２０１、２０２ 振動センサ
１０４ 基準信号発生部
１０５ 周波数変調部
１０６ 送信出力部
１０７ サーキュレータ
１０９ 信号受信部
１１０ 信号処理部
１１１ 判定出力部
１３５，１３６ 反射出力特性
２００、１０３ 質問器
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に形成された櫛歯電極を有する表面弾性波共振子とアンテナからなり測定領域内の被測定物に設置された少なくとも１つのパッシブ型力学量センサと、当該パッシブ型力学量センサに搬送波信号を無線送信して当該センサからの反射波を監視する質問器とからなる力学量センサシステムにおいて、前記搬送波信号は基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号であり、前記質問器は前記反射波から前記パッシブ型力学量センサの情報を検出することを特徴とする力学量センサシステム。
【請求項２】
前記パッシブ型力学量センサの情報には前記測定領域内における前記パッシブ型力学量センサの有無を含むことを特徴とする請求項１記載の力学量センサシステム。
【請求項３】
前記パッシブ型力学量センサの情報には前記パッシブ型力学量センサの故障の有無を含むことを特徴とする請求項１記載の力学量センサシステム。
【請求項４】
前記パッシブ型力学量センサの情報には前記表面弾性波共振子の共振周波数を含むことを特徴とする請求項１記載の力学量センサシステム。
【請求項５】
前記パッシブ型力学量センサの情報には前記表面弾性波共振子の温度変化を含むことを特徴とする請求項１記載の力学量センサシステム。
【請求項６】
前記パッシブ型力学量センサの情報には前記表面弾性波共振子に印加される荷重を含むことを特徴とする請求項１記載の力学量センサシステム。
【請求項７】
測定領域内に複数個のパッシブ型力学量センサを有し、該複数個のパッシブ型力学量センサの情報を個々に分別して検出することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の力学量センサシステム。
【請求項１】
圧電基板上に形成された櫛歯電極を有する表面弾性波共振子とアンテナからなり測定領域内の被測定物に設置された少なくとも１つのパッシブ型力学量センサと、当該パッシブ型力学量センサに搬送波信号を無線送信して当該センサからの反射波を監視する質問器とからなる力学量センサシステムにおいて、前記搬送波信号は基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号であり、前記質問器は前記反射波から前記パッシブ型力学量センサの情報を検出することを特徴とする力学量センサシステム。
【請求項２】
前記パッシブ型力学量センサの情報には前記測定領域内における前記パッシブ型力学量センサの有無を含むことを特徴とする請求項１記載の力学量センサシステム。
【請求項３】
前記パッシブ型力学量センサの情報には前記パッシブ型力学量センサの故障の有無を含むことを特徴とする請求項１記載の力学量センサシステム。
【請求項４】
前記パッシブ型力学量センサの情報には前記表面弾性波共振子の共振周波数を含むことを特徴とする請求項１記載の力学量センサシステム。
【請求項５】
前記パッシブ型力学量センサの情報には前記表面弾性波共振子の温度変化を含むことを特徴とする請求項１記載の力学量センサシステム。
【請求項６】
前記パッシブ型力学量センサの情報には前記表面弾性波共振子に印加される荷重を含むことを特徴とする請求項１記載の力学量センサシステム。
【請求項７】
測定領域内に複数個のパッシブ型力学量センサを有し、該複数個のパッシブ型力学量センサの情報を個々に分別して検出することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の力学量センサシステム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２００８−１７５６７８（Ｐ２００８−１７５６７８Ａ）
【公開日】平成２０年７月３１日（２００８．７．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−８９６７（Ｐ２００７−８９６７）
【出願日】平成１９年１月１８日（２００７．１．１８）
【出願人】（０００１３４２５７）ＮＥＣトーキン株式会社 (1,832)
【公開日】平成２０年７月３１日（２００８．７．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１月１８日（２００７．１．１８）
【出願人】（０００１３４２５７）ＮＥＣトーキン株式会社 (1,832)
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