火炎又はプラズマなどの原子化源に付加的なエネルギーを供給するように構成された増強装置を開示する。特定の例では、増強装置は、脱溶媒、原子化、および／またはイオン化を増進させるように火炎又はプラズマに付加的なエネルギーを供給するために、火炎又はプラズマと共に用いても良い。別の例では、増強装置は、化学種を励起するのに付加的なエネルギーを供給するように構成されていて良い。少なくとも１つの増強装置を含む機器及び装置をも開示している。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
原子化源を備えるチャンバと、
前記チャンバに無線周波エネルギーを供給する無線周波源を有するように構成された少なくとも１つの増強装置と、
を備える原子化装置。
【請求項２】
前記原子化源は火炎である、請求項１に記載の原子化装置。
【請求項３】
前記火炎は、メタン／空気炎、メタン／酸素炎、水素／空気炎、水素／酸素炎、アセチレン／空気炎、アセチレン／酸素炎、及びアセチレン／亜酸化窒素炎からなる群から選択される、請求項２に記載の原子化装置。
【請求項４】
前記原子化源は誘導結合アルゴンプラズマである、請求項１に記載の原子化装置。
【請求項５】
前記原子化源はアーク又はスパークである、請求項１に記載の原子化装置。
【請求項６】
前記チャンバは中空石英管である、請求項１に記載の原子化装置。
【請求項７】
前記増強装置は、パルスモード又は連続モードで無線周波エネルギーを供給するように構成されている、請求項１に記載の原子化装置。
【請求項８】
前記増強装置は、約２５ＭＨｚ〜約５０ＭＨｚの無線周波エネルギーを供給するように構成されている、請求項１に記載の原子化装置。
【請求項９】
前記増強装置は、約１００ワット〜約２０００ワットの電力で無線周波エネルギーを供給するように構成されている、請求項１に記載の原子化装置。
【請求項１０】
前記増強装置は、無線周波発生器に電気的に接続された電線コイルを備える、請求項１に記載の原子化装置。
【請求項１１】
前記増強装置は、無線周波発生器に電気的に接続された誘導コイルを備える、請求項１に記載の原子化装置。
【請求項１２】
前記原子化源は、誘導結合プラズマを発生する無線周波誘導コイルとトーチとを備える、請求項１に記載の原子化装置。
【請求項１３】
前記原子化源を備える前記チャンバに流体連通する第２チャンバを更に備える、請求項１に記載の原子化装置。
【請求項１４】
前記第２チャンバは、前記第２チャンバの少なくとも一部に無線周波エネルギーを供給するように構成された増強装置を更に備える、請求項１３に記載の原子化装置。
【請求項１５】
前記第２チャンバは、前記原子化源を備える前記チャンバから前記第２チャンバ内へ試料を導入するオリフィスを備えるインタフェースを更に備える、請求項１３に記載の原子化装置。
【請求項１６】
前記第２チャンバは、前記原子化源を備える前記チャンバから前記第２チャンバ内へ試料を引き込むように構成された真空ポンプと流体連通している、請求項１５に記載の原子化装置。
【請求項１７】
前記インタフェースは、キャリアガスにより試料が約１５：１未満に希釈されるように、前記原子化源を備える前記チャンバから前記第２チャンバ内へ、前記試料を導入するように構成されている、請求項１５に記載の原子化装置。
【請求項１８】
前記増強装置は、前記原子化源による原子化を支援するように構成されている、請求項１に記載の原子化装置。
【請求項１９】
前記増強装置は、前記チャンバ内の原子を励起するように構成されている、請求項１に記載の原子化装置。
【請求項２０】
原子化源を備える第１チャンバと、
前記第１チャンバに流体連通する第２チャンバと、
を備え、
前記第２チャンバは、前記第２チャンバに無線周波エネルギーを供給する無線周波源を有するように構成された少なくとも１つの増強装置を備える、
原子化装置。
【請求項２１】
前記第２チャンバは、前記第１チャンバから前記第２チャンバ内へ試料を導入するオリフィスを備えるインタフェースを更に備える、請求項２０に記載の原子化装置。
【請求項２２】
前記第２チャンバは、前記第１チャンバから前記第２チャンバ内へ試料を引き込むように構成された真空ポンプと流体連通している、請求項２１に記載の原子化装置。
【請求項２３】
誘導結合プラズマを備える第１チャンバと、
前記第１チャンバに流体連通する第２チャンバと、
を備え、
前記第２チャンバは、前記第２チャンバに無線周波エネルギーを供給する無線周波源を有するように構成された少なくとも１つの増強装置を備える、
原子化装置。

【図１】

【図２Ａ】

【図２Ｂ】

【図２Ｃ】

【図２Ｄ】

【図３Ａ】

【図３Ｂ】

【図４Ａ】

【図４Ｂ】

【図５】

【図６】

【図７】

【図８】

【図９Ａ】

【図９Ｂ】

【図１０】

【図１１Ａ】

【図１１Ｂ】

【図１２】

【図１３Ａ】

【図１３Ｂ】

【図１４Ａ】

【図１４Ｂ】

【図１５】

【図１６】

【図１７】

【図１８】

【図１９】

【図２０】

【図２１】

【図２２】

【図２３】

【図２４】

【図２５】

【図２６Ａ】

【図２６Ｂ】

【図２６Ｃ】

【図２６Ｄ】

【図２７】

【図２８】

【図２９】

【図３０】

【図３１】

【図３２】

【図３３】

【図３４】

【図３５】

【図３６】

【図３７】

【図３８】

【図３９】

【図４０】

【図４１】

【図４２】

【図４３】

【図４４】

【図４５】

【図４６】

【図４７】

【図４８】

【図４９】

【図５０】

【図５１】

【図５２】

【図５３】

【図５４】

【図５５】

【図５６】

【図５７】

【図５８】

【図５９】

【図６０】

【図６１】

【図６２Ａ】

【図６２Ｂ】

【図６２Ｃ】

【図６２Ｄ】

【図６３】

【図６４】

【図６５】

【図６６】

【図６７】

【図６８】

【図６９】

【図７０】

【図７１】

【図７２】

【図７３】

【図７５】

【図７６】

【図７７】

【図７８】

【図７９】

【図８０】

【図８１】

【図８２】

【図８３】

【図８４】

【図８５】

【図８６】

【図８７】

【図８８】

【図８９】

【図９０】

【図９１】

【図９２】

【図９３】

【図９４】

【図９５】

【図９６Ａ】

【図９６Ｃ】

【図９７】

【図９８Ａ】

【図９８Ｂ】

【図９８Ｃ】

【図９９】

【図７４】

【図９６Ｂ】

【公表番号】特表２００８−５４４４５４（Ｐ２００８−５４４４５４Ａ）
【公表日】平成２０年１２月４日（２００８．１２．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−５１７０９７（Ｐ２００８−５１７０９７）
【出願日】平成１８年６月１５日（２００６．６．１５）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００６／０２３２７７
【国際公開番号】ＷＯ２００６／１３８４４１
【国際公開日】平成１８年１２月２８日（２００６．１２．２８）
【出願人】（５０７３０２０５８）パーキンエルマー・インコーポレイテッド (5)
【氏名又は名称原語表記】ＰＥＲＫＩＮＥＬＭＥＲ，ＩＮＣ．