搬送装置及び描画装置
【課題】クリーン度を低下させることなくワーク幅の変更に簡便に対応する。
【解決手段】帯状のワーク８０を幅方向で保持するローラ６１を備える。幅方向で分割されそれぞれがワーク８０を保持する一対の保持体６５を有する。一対の保持体６５のそれぞれは、分離一体可能な複数の分割体６５Ａと、複数の分割体６５Ａを一体化する方向に付勢する付勢部材７１と、複数の分割体６５Ａが一体化されたときに、保持体６５を前記幅方向に位置決めさせる位置決め部とを有する。
【解決手段】帯状のワーク８０を幅方向で保持するローラ６１を備える。幅方向で分割されそれぞれがワーク８０を保持する一対の保持体６５を有する。一対の保持体６５のそれぞれは、分離一体可能な複数の分割体６５Ａと、複数の分割体６５Ａを一体化する方向に付勢する付勢部材７１と、複数の分割体６５Ａが一体化されたときに、保持体６５を前記幅方向に位置決めさせる位置決め部とを有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置及び搬送方法並びに描画装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶表示装置に用いられるＣＯＦ（Chip On Film）には、各種配線が形成されるが、近年では金属配線形成技術として、液体吐出方式の利用が拡大する傾向にある。液体吐出方式による塗布技術は、一般に、基板と液体吐出ヘッドとを相対的に移動させながら、液体吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから金属材料を含む液状体を液滴として吐出し、その液滴を基板上に繰り返し付着させて塗布膜を描画形成するものであり、液状体の消費に無駄が少なく、任意のパターンをフォトリソグラフィーなどの手段を用いず直接塗布することが出来るといった利点を有している。
【０００３】
この種の配線形成においては、前工程で配線が形成されたテープ状（帯状）のフィルム上に液滴吐出方式で金属材料を含む液滴を吐出して金属配線を形成する場合がある。
このテープ状フィルムは、フィルムを幅方向両側から保持するフランジを有するローラにより連続的に送られるが、フィルムの幅は機種に応じて変動するため、ローラにおいてもフランジによる保持幅を対応させる必要がある。
【０００４】
そこで、特許文献１には、リンク機構を用いてガイドローラによる帯状部材の保持幅を調整する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実開平５−２６３５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
保持幅調整にリンク機構を用いるため、装置が大型化するという問題が生じる。
また、ローラをフィルム（テープ）の幅方向（回転軸の軸方向）に分割し、それぞれ回転軸にフィルム幅に応じた位置で取付ネジやプランジャを用いて固定する方法も考えられるが、この場合、取付ネジの取り付け、取り外しにレンチ等の工具が必要になり、作業が繁雑になるという問題が生じる。
【０００７】
また、プランジャによるローラの固定は、プランジャが回転軸に摺接するため、クリーン度に問題が生じてしまう。
さらに、取付ネジやプランジャを用いたローラの固定では、フィルムに対する十分な位置決め精度を確保しづらいという問題もある。
【０００８】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、クリーン度を低下させることなくワーク幅の変更に簡便に対応できる搬送装置及び搬送方法並びに描画装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の搬送装置は、帯状のワークを幅方向で保持するローラを備えた搬送装置であって、前記ローラは、前記幅方向で分割されそれぞれが前記ワークを保持する一対の保持体を有し、前記一対の保持体のそれぞれは、分離一体可能な複数の分割体と、前記複数の分割体を一体化する方向に付勢する付勢部材と、前記複数の分割体が一体化されたときに、当該保持体を前記幅方向に位置決めさせる位置決め部とを有することを特徴とするものである。
【００１０】
従って、本発明の搬送装置では、付勢部材の付勢力に抗して分割体を分割することにより、保持体のワークの幅方向の位置決めを解除することが可能になり、ワークの幅に応じた位置で分割体を一体化することにより、一対の保持体をそれぞれワークの保持位置で位置決めすることができる。
そのため、本発明では、工具等を用いることなく、簡便にワーク幅の変更に対応することができる。また、本発明では、付勢部材の付勢力に抗して分割体を分離させる方向に力を加えればよいため、プランジャ等による摺接が生じず、クリーン度の低下も防止することができる。
【００１１】
また、本発明の搬送装置では、前記ローラに挿通され、外周面に溝部が形成された軸体を有し、前記位置決め部が、前記溝部に嵌合する突部を有する構成を好適に採用できる。
また、この構成では、前記保持体は、前記分割体が一体化されたときに前記突部が前記溝部に嵌合し、前記分割体が前記付勢部材の付勢力に抗して分離されたときに前記突部と溝部との嵌合が解除される構成を採用できる。
従って、本発明では、分割体が一体化されたときに、保持体の突部が軸体の溝部に嵌合することにより、保持体が軸体に対して位置決めされる。
この溝部としては、前記ワークの幅に応じて複数設けられる構成が好適である。
従って、本発明では、変更されるワークの幅に対応する溝部に保持体の突部を嵌合させることにより、保持体によりワークを幅方向に保持することが可能になる。
【００１２】
また、本発明では、前記溝部及び前記突部が互いに交差する嵌合面で嵌合する構成も好適である。
従って、本発明では、軸体と保持体とが、いわゆるテーパ合わせにて位置決めされるため、保持体を軸体に対してがたつきなく、取り付けることが可能になり、ワークを精度よく保持することが可能になる。
また、この構成においては、前記嵌合面の少なくとも一つは、前記幅方向と略直交して設けられることが好ましい。
これにより、本発明では、保持体のワークの幅方向の位置を、前記幅方向と略直交する嵌合面により規定することができる。
【００１３】
一方、本発明の描画装置は、帯状のワークを搬送する搬送装置と、搬送された前記ワークに対して液滴を吐出して描画する吐出ヘッドとを備えた描画装置であって、前記搬送装置として先に記載の搬送装置が用いられることを特徴とするものである。
従って、本発明の描画装置では、上述した搬送装置を備えているため、簡便にワーク幅の変更に対応でき、クリーン度の低下も防止できる描画装置を提供することができる。
【００１４】
また、本発明の搬送方法は、帯状のワークを幅方向で保持し軸体が挿通するローラにより搬送する方法であって、前記ローラを、前記幅方向で分割され、それぞれが前記ワークを保持する一対の保持体で構成し、前記一対の保持体のそれぞれを、分離一体可能で、且つ一体化する方向に付勢され、前記軸体と嵌合したときに前記幅方向に位置決めされる複数の分割体で構成し、前記複数の分割体を付勢される力に抗して分割して、前記軸体との嵌合を解除する工程と、前記ワークに応じた位置で前記分割体を前記軸体に嵌合させる工程とを有することを特徴とするものである。
【００１５】
従って、本発明では、複数の分割体を付勢される力に抗して分割して、前記軸体との嵌合を解除した後に、ワークの幅に応じた位置で軸体と嵌合させることにより、工具等を用いることなく、簡便にワーク幅の変更に対応することができる。また、本発明では、付勢力に抗して分割体を分離させる方向に力を加えればよいため、プランジャ等による摺接が生じず、クリーン度の低下も防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る描画装置の平面図である。
【図２】吸着装置及びアライメントユニットの外観斜視図である。
【図３】テープ押さえ装置の構成及び動作を示す図である。
【図４】ガイド軸に挿通されるフランジ体の外観斜視図である。
【図５】図４における一部断面図である。
【図６】フランジ体の平面図である。
【図７】液滴吐出ヘッドの側面断面図である。
【図８】様々なＴＡＢテープの部分平面図である。
【図９】液晶表示装置の分解斜視図である。
【図１０】電子機器の例を示す図である。
【図１１】フランジ体の突部とガイド軸の溝部との別の嵌合形態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の搬送装置及び搬送方法並びに描画装置の実施の形態を、図１ないし図１１を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１８】
図１は描画装置１の平面図である。
描画装置１は、Ｙ方向に沿って送られる帯状のテープ（ワーク）８０に対して配線等のパターンを描画形成するものであって、テープ８０を吸着保持する吸着装置５０、吸着装置の上方にＸ方向に延びて設けられる一対のフレーム２０、フレーム２０に架設され、それぞれ図示しないリニアモータ等の駆動装置によりＸ方向に独立して駆動される描画ユニット２２、アライメントユニット２４およびＵＶ照射ユニット２６、図２に示すように、ガイドローラ（ローラ）６１を介してテープ８０を繰り出す繰出しローラ８４およびガイドローラ６２を介してテープ８０を巻き取る巻取りローラ８５を主体に構成されている。
これらガイドローラ６１、６２、繰出しローラ８４、巻取りローラ８５により、本発明に係る搬送装置が構成される。
テープ８０は、ガイドローラ６１、６２の間に掛け渡され、両者間において吸着装置５０の上面に載置されるようになっている。
【００１９】
図２は、吸着装置５０及びアライメントユニット２４の外観斜視図である。
吸着装置５０は、定盤６０の表面に多孔質板５１を配置（埋設）して構成され、その多孔質板５１の表面に上述したテープ８０を吸着しうるようになっている。なお８０テープの吸着位置は、多孔質板５１の幅方向中央部であり、テープの中心線が多孔質板５１の中心線と一致する位置に設定されている。これにより、テープサイズの変更にともなう描画装置の段取り換えを最小限にとどめることができるようになっている。
【００２０】
この多孔質板５１は、樹脂材料を焼結成形した樹脂焼結材で構成されている。焼結成形は、原料粉末を金型内に充填して加熱し、原料粉末の表層同士を融着（焼結）させることにより、粉末間の空間を残したまま成形する手法である。その原料粉末として、ポリエチレン（ＰＥ）やポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド（ＰＡ）、アクリル樹脂（ＰＭＭＡ）、フッ素樹脂（ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥ）等の熱可塑性樹脂材料を採用することが可能である。このように多孔質板５１を樹脂材料で構成することにより、多孔質板５１の表面に吸着されるテープの損傷を防止することができる。
【００２１】
多孔質板５１には、図示しない負圧吸引装置が接続されており、多孔質板５１の表面全体に亘ってほぼ均一に負圧が供給される。従って、幅の異なる複数種のテープに対しても、一様に吸着保持可能な構成となっている。
【００２２】
また、吸着装置５０は、その下方に配置された中間プレート１８に固定されている。この中間プレート１８は、モータ１６によりθｚ方向（ｚ軸周りの回転方向）に回動しうるようになっている。そのモータ１６はスライダ１４に固定されている。このスライダ１４は、ベースプレート１２の表面をＹ方向に移動しうるようになっている。これにより吸着装置５０は、ベースプレート１２に対してθｚ方向およびＹ方向に移動しうるようになっている。
【００２３】
アライメントユニット２４は、上述したフレーム２０に沿って移動する移動フレーム３１、移動フレーム３１に搭載されたカメラ（撮像装置）３２、カメラ（第２撮像装置）３３及びテープ押さえ装置３４から構成されている。カメラ３２、３３は、ＣＣＤカメラ等で構成されるものであり、テープ８０に形成されたマーク（後述）を計測し、制御部９９に出力する。制御部９９は、カメラ３２、３３の計測結果に基づいて、モータ１６、スライダ１４、繰出しローラ８４及び巻取りローラ８５の駆動を制御する。
【００２４】
また、カメラ３２は、移動フレーム３１に一体的に固定されているが、カメラ３３は、移動フレーム３１に対してＹ軸方向に移動自在に設けられたスライダ３５に搭載されることにより、制御部９９の制御下でカメラ３２に対してＹ軸方向に移動する。
【００２５】
図３は、主としてテープ押さえ装置３４に関する図２における右側面図である。
テープ押さえ装置３４は、Ｙ軸方向に延在する一対の押さえ部３６と、Ｙ軸方向に延び、支持柱３７を介して押さえ部３６の一方（−Ｙ側）を上方から支持する支持フレーム３８、支持柱３９を介して押さえ部３６の他方（＋Ｙ側）を上方から支持するとともに、支持フレーム３８をＹ軸方向に伸縮自在に支持する支持フレーム４０とを有している。
【００２６】
支持フレーム３８は、制御部９９の制御により駆動する直動モータ等の駆動装置により支持フレーム４０に対してＹ軸方向に移動する構成となっている。
支持フレーム４０は、制御部９９の制御により駆動する直動モータ等の駆動装置により、移動フレーム３１にＺ方向に延びて設けられたガイドフレーム４１に沿ってＺ軸方向に移動する構成となっている。
【００２７】
図１に戻り、ガイドローラ６１、６２は、ポリプロピレン（ＰＰ）等の樹脂材で形成されており、Ｘ軸方向に延びＸ軸と平行な軸周りに回転するガイド軸（軸体）６３、６４が挿通し、テープ８０の幅方向（Ｘ軸方向）に分割して設けられた一対のフランジ体（保持体）６５、６５及び一対のフランジ体（保持体）６６、６６からそれぞれ構成されている。
なお、フランジ体６５、６６は同様の構成を有しているため、以下フランジ体６５についてのみ説明する。
【００２８】
図４は、ガイド軸６３に挿通されるフランジ体６５、６５の外観斜視図であり、図５は一部断面図であり、図６はフランジ体６５の平面図である。
各フランジ体６５は、内周面でガイド軸６３に嵌合する筒状に形成されており、外周面でテープ８０の裏面（液滴で描画される面と逆側の面）を支持する円筒部６７と、テープ８０の幅方向の側縁を保持するフランジ部６８とを有している。また、各フランジ体６５は、直径方向に沿って分離一体可能に２分割された分割体６５Ａ、６５Ａから構成されている。
【００２９】
また、各フランジ体６５には、各分割体６５Ａ同士の各接合面と直交して延びる溝部６９が対をなす分割体６５Ａに跨って連通して設けられている。各溝部６９の両端部には、ポスト材７０が圧入等によりそれぞれ固定されている。このポスト材７０には、引張バネ（付勢部材）７１の端部がそれぞれ係合している。各引張バネ７１は、端部において係合するポスト材７０が接近する方向に、すなわち、一対の分割体６５Ａが接近して一体化する方向に付勢する。
また、各分割体６５Ａには、図５及び図６に示すように、内周面からほぼ同じ高さで垂直に突出する突部７２が位置決め部として設けられている。
【００３０】
そして、ガイド軸６３の外周面には、フランジ体６５の突部７２とそれぞれ嵌合可能な複数（ここでは各分割体６５Ａ毎に３つ、合計６つ）の溝部７３Ａ〜７３Ｃが軸周り（周方向）に形成されている（図５では、右側のフランジ体６５に対応する溝部７３Ａ〜７３Ｃ、及び左側のフランジ体６５に対応する溝部７３Ｂ、７３Ｃのみ図示）。
溝部７３Ａ〜７３Ｃは、フランジ体６５の突部７２が嵌合したときに、対向するフランジ部６８間の距離Ｌがテープ８０の種類に応じた所定幅となる位置に形成されている。
なお、フランジ体６５の突部７２は、各分割体６５Ａの接合面近傍まで設けられた場合には、溝部７３Ａ〜７３Ｃから外す（嵌合解除させる）ためのストロークが大きくなるため、各分割体６５Ａの中央部のみに設けられている。
【００３１】
図１に戻り、描画ユニット２２には、液滴吐出ヘッド（吐出ヘッド）９０が搭載されている。図７は、液滴吐出ヘッドの側面断面図である。吐出ヘッド９０は、ヘッド本体９０Ａと、ヘッド本体９０Ａの一方面に装着されたノズルプレート９２と、ヘッド本体９０Ａの他方面に装着されたピエゾ素子９８とを主として構成されている。
【００３２】
インク吐出面を構成するノズルプレート９２には、液滴を吐出するための複数のノズル９１が整列配置されている。またヘッド本体９０Ａには、各ノズル９１と連通する複数の圧力室９３が形成されている。各圧力室９３はリザーバ９５に接続され、リザーバ９５はインク導入口９６に接続されている。そしてインク９は、インク導入口９６からリザーバ９５を通って各圧力室９３に供給されるようになっている。一方、ヘッド本体９０Ａの上端面には、可撓性を有する振動板９４が装着されている。その振動板９４を挟んで各圧力室９３の反対側には、それぞれピエゾ素子９８が設けられている。ピエゾ素子９８は、ＰＺＴ等の圧電材料を電極で挟持したものである。その電極は、制御部９９に接続されている。
【００３３】
そして制御部９９からピエゾ素子９８に駆動電圧を印加すると、ピエゾ素子９８が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子９８が収縮変形すると、圧力室９３内の圧力が低下して、リザーバ９５から圧力室９３にインク９が流入する。またピエゾ素子９８が膨張変形すると、圧力室９３内の圧力が増加して、ノズル９１からインク９の液滴が吐出される。なお、ピエゾ素子９８に印加する駆動電圧を制御することにより、液滴の吐出条件を制御しうるようになっている。
【００３４】
なお液滴吐出方式として、ピエゾ素子の変形により圧力室内の圧力を変化させる上記ピエゾ方式の他に、インクを加熱して気泡（バブル）を発生させることにより圧力室内の圧力を変化させる方式など、公知の種々の技術を適用することができる。このうちピエゾ方式は、インクを加熱しないので材料の組成に悪影響を与えないなどの点で優れている。
【００３５】
ＵＶ照射ユニット２６には、ＵＶランプ等のＵＶ照射装置２７が搭載されている。
本実施形態の描画装置１は、以上のように構成されている。
【００３６】
次に、上記の描画装置１により液滴が吐出されてパターンが形成されるテープ８０について説明する。
図８は、様々なテープ（ＴＡＢテープ；ワーク）８１〜８３の部分平面図である。テープ８１の幅方向両端部には、テープを巻き取るためのスプロケット孔８６が連続形成され、テープ８１の幅方向中央部には、半導体装置を形成するための作業領域８８が連続形成されている。この作業領域８８は、例えばデバイス毎に設定されるものである。
【００３７】
そして、上記の描画装置１は、この作業領域８８に金属配線パターンを描画形成するものであり、本実施形態の吸着装置は、金属配線パターンを描画すべきテープを吸着保持するものである。
上述した作業領域８８の大きさに対応して、また幅方向における作業領域８８の配列数に応じて、幅寸法の異なる複数種類のテープ８１，８２，８３が存在する。
【００３８】
各テープ８１〜８３における各作業領域８８には、テープ８１〜８３を位置決めする際に観察されるアライメントマークＡＭが、例えばそれぞれ３個ずつ形成されている。なお、アライメントマークＡＭの形状は、計測方法等によって各種存在するが、ここでは円形のマークとし、矩形の作業領域８８の３つのコーナー部に配置されるものとして図示している。
【００３９】
次に、上記のガイドローラ６１（６２）の使用方法について説明する。
フランジ体６５をガイド軸６３に取り付ける際には、まず、引張バネ７１を装着していない状態で、一対の分割体６５Ａによりガイド軸６３を挟み込む。
このとき、使用するテープ８０の幅に対応する溝部７３Ａ〜７３Ｃにフランジ体６５の突部７２を嵌合させる。
【００４０】
次いで、各分割体６５Ａの溝部６９に引張バネ７１を挿入し、ポスト材７０に引張バネ７１を係合させる。これにより、引張バネ７１の付勢力が分割体６５Ａを一体化させる方向に作用し、フランジ体６５はフランジ部６８間の距離Ｌがテープ８０の幅に設定された状態でガイド軸６３にＸ軸方向に位置決めされて取り付けられる。
【００４１】
また、機種変更等によりテープ８０の幅が変更される場合には、引張バネ７１の付勢力に抗して分割体６５Ａ、６５Ａを分離する（離間させる）方向に引っ張る。
そして、フランジ体６５の突部７２と、ガイド軸６３の溝部（７３Ａ〜７３Ｃのいずれか）との嵌合が解除される位置まで分割体６５Ａを離間させると、分割体６５ＡをＸ軸方向に移動させて、変更されるテープの幅に対応する溝部（例えば７３Ｂ）にフランジ体６５の突部７２を嵌合させる。
そして、分割体６５Ａへの引張を解除すると、引張バネ７１の付勢力により、フランジ体６５は、フランジ部６８間の距離Ｌが変更されたテープ幅に設定された状態でガイド軸６３にＸ軸方向に位置決めされて取り付けられる。
【００４２】
次に、上述した描画装置１の使用方法について説明する。
ここでは、上述したテープ８１を用いるものとして説明する。
また、本実施形態では、４つの作業領域８８からなる作業領域８８’に対して、一括して描画処理を行うものとし、作業領域８８’における一端側（＋Ｙ側）に位置するアライメントマークＡＭ１と、他端側（−Ｙ側）に位置し、アライメントマークＡＭ１と同列（同じＸ位置）に位置するアライメントマーク（第２マーク）ＡＭ２とを計測することにより、テープ８１を位置決めするものとする。
【００４３】
まず、図２に示す繰出しローラ８４と巻取りローラ８５との間にテープ８０（ここではテープ８１）を掛け渡し、両者間に配置された吸着装置５０（多孔質板５１）の表面にテープ８１を載置する。
次に、描画ユニット２２またはＵＶ照射ユニット２６が吸着装置５０と対向する位置にある場合は、当該ユニットを吸着装置５０との対向位置から予め退避させておく。
【００４４】
続いて、アライメントユニット２４をフレーム２０に沿って移動させ、図３（ａ）に示すように、吸着装置５０と対向する位置に位置決めする。
このとき、カメラ３２の計測範囲にアライメントマークＡＭ１が位置するように、移動フレーム３１のＸ方向の位置を調整する。また、アライメントマークＡＭ１、ＡＭ２の相対位置関係は既知であるため、この相対位置関係に応じた距離、スライダ３５を介してカメラ３３をＹ軸方向に移動させる。
【００４５】
次に、支持フレーム４０をガイドフレーム４１に沿って下降させることにより、図３（ｂ）に示すように、押さえ部３６をテープ８１に当接させる。このとき、押さえ部３６は、予め支持フレーム３８を支持フレーム４０に対してＸ軸方向に移動させることにより、テープ８１の幅方向の側縁に当接するように調整されている。
この後、負圧吸引装置を作動させて、テープ８１を多孔質板５１の表面に吸着保持させる。テープ８１の両側は、押さえ部３６によって押さえられているため、テープに反り、撓みが生じていた場合も矯正されて、浮き等が生じることなく多孔質板５１の表面に平滑に吸着保持される。
【００４６】
テープ８１が吸着装置５０に吸着保持されると、カメラ３２によりアライメントマークＡＭ１を撮影・計測し、カメラ３３によりアライメントマークＡＭ２を撮影・計測する。これらの撮影結果から、制御部９９はテープ８１の作業領域の現在位置を算出し、さらに所定位置からのオフセット量を算出する。その算出結果に基づいて、スライダ１４およびモータ１６を駆動して吸着装置５０をＹ方向およびθｚ方向に移動させ、吸着装置５０の表面に吸着されたテープ８１を（液滴吐出ヘッド９０に対して）位置合わせする。なおテープ８１のＸ方向の位置合わせは、描画ユニット２２の移動量を調整することによって行われる。
【００４７】
テープ８１の位置合わせが完了すると、フレーム２０に沿ってアライメントユニット２４を移動させて、吸着装置５０（すなわちテープ８１）との対向位置から退避させるとともに、描画ユニット２２をＸ方向に移動させて吸着装置５０との対向位置に配置する。そして、液滴吐出ヘッド９０からインクを吐出することにより、テープ８１の作業領域８８に所定パターンの金属配線等が、例えば既に形成されている配線パターンと接続させるように描画される。
【００４８】
テープ８１に対する液滴吐出処理が完了すると、フレーム２０に沿って描画ユニット２２を移動させて、吸着装置５０（すなわちテープ８１）との対向位置から退避させるとともに、ＵＶ照射ユニット２６をＸ方向に移動させて吸着装置５０との対向位置に配置する。そして、ＵＶ照射装置２７からＵＶを照射することにより、テープ８１に吐出されたインクを乾燥させる。
【００４９】
なお、上述した液滴吐出工程およびＵＶ照射工程を繰り返し行うことにより、同種または異種の被膜を積層形成することが可能である。異種の被膜を積層形成する場合には、１つの描画ユニットに異なるインクを吐出する複数の液滴吐出ヘッドを搭載してもよいし、異なるインクを吐出する液滴吐出ヘッドを備えた複数の描画ユニットを設けてもよい。
【００５０】
以上により、作業領域に対する描画処理が終了したら、テープ８１を送って未処理の作業領域を吸着装置５０の表面に載置し、上述した描画処理を繰り返す。
また、テープ８１の全ての作業領域に対する描画処理が終了したら、図２に示す繰出しローラ８４および巻取りローラ８５とともにテープ８１を交換するとともに、上述した手順でフランジ体６５を移動させて新たなテープ幅に対応させる。
なお、テープサイズ（幅寸法）を変更する場合でも、テープの幅方向の中心線を吸着装置５０の中心線と一致させる。これにより、テープサイズの変更にともなう描画装置の段取り換えを最小限にとどめることができる。
【００５１】
以上説明したように、本実施形態の搬送装置では、引張バネ７１の付勢力に抗して分割体６５Ａを分離させた後に、所望のテープ幅に対応する溝部７３Ａ〜７３Ｃに突部７２を嵌合させるという簡単な作業でテープ幅の変更に対応することが可能であり、工具を用いることなく容易に作業を行うことができる。また、本実施形態では、フランジ体６５の摺接等が生じないので、クリーン度を低下させることなく、テープ幅の変更に対応することができる。
【００５２】
さらに、本実施形態では、ガイド軸６３に形成する溝部を増加させることにより、種々のテープ幅に容易に対応することができ、汎用性を向上させることができる。
加えて、本実施形態では、ガイド軸６３への溝部を追加形成するとともに、フランジ体６５及び引張バネ７１を用意することにより、既存の搬送装置に対しても、本発明を容易に適用することが可能である。
【００５３】
また、本実施の形態では、テープ８１を多孔質板５１により吸着するので、幅の異なる種々のテープにも容易に対応することができ、テープの種類変更に伴う作業を一層効率化することができる。
加えて、本実施形態では、テープ押さえ装置３４によりテープ８１の側縁を押さえる構成としているので、テープ８１に反り、撓みが生じていた場合も矯正されて、浮き等が生じることなく多孔質板５１の表面に平滑に吸着保持することが可能になり、アライメントマークを精度よく計測でき、所定位置にパターンを高精度に形成することができる。
【００５４】
（液晶表示装置）
続いて、上記描画装置１により配線パターンが形成されたテープを有する液晶表示装置について説明する。
図９は、電気光学装置である液晶表示装置の分解斜視図である。
この図に示す液晶表示装置（電気光学装置）１０１は、大別するとカラーの液晶パネル（電気光学パネル）１０２と、液晶パネル１０２に接続される回路基板１０３とを備えている。また、必要に応じて、バックライト等の照明装置、その他の付帯機器が液晶パネル１０２に付設されている。
【００５５】
液晶パネル１０２は、シール材１０４によって接着された一対の基板１０５ａ及び基板１０５ｂを有し、これらの基板１０５ｂと基板１０５ｂとの間に形成される間隙、いわゆるセルギャップには液晶が封入されている。これらの基板１０５ａ及び基板１０５ｂは、一般には透光性材料、例えばガラス、合成樹脂等によって形成されている。基板１０５ａ及び基板１０５ｂの外側表面には偏光板１０６ａ及び偏光板１０６ｂが貼り付けられている。なお、図６においては、偏光板１０６ｂの図示を省略している。
【００５６】
また、基板１０５ａの内側表面には電極１０７ａが形成され、基板１０５ｂの内側表面には電極１０７ｂが形成されている。これらの電極１０７ａ、１０７ｂはストライプ状または文字、数字、その他の適宜のパターン状に形成されている。また、これらの電極１０７ａ、１０７ｂは、例えばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ：インジウムスズ酸化物）等の透光性材料によって形成されている。
基板１０５ａは、基板１０５ｂに対して張り出した張り出し部を有し、この張り出し部に複数の端子１０８が形成されている。これらの端子１０８は、基板１０５ａ上に電極１０７ａを形成するときに電極１０７ａと同時に形成される。従って、これらの端子１０８は、例えばＩＴＯによって形成されている。これらの端子１０８には、電極１０７ａから一体に延びるもの、及び導電材（不図示）を介して電極１０７ｂに接続されるものが含まれる。
【００５７】
なお、実際の電極１０７ａ，１０７ｂ及び端子１０８は、極めて狭い間隔をもって多数本が基板１０５ａ及び基板１０５ｂ上にそれぞれ形成されているが、図９においては、液晶パネル１０２の構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、それらの内の数本のみを図示することにして他の部分を省略してある。また、端子１０８と電極１０７ａとの接続状態及び端子１０８と電極１０７ｂとの接続状態も図９においては図示を省略している。
【００５８】
また、回路基板１０３には、配線基板（配線）１０９上の所定位置に液晶駆動用ＩＣとしての半導体素子（半導体装置）１００が実装されている。配線基板１０９は、例えばポリイミド等の可撓性を有するベース基板（基板）１１１の上に形成されたＣｕ等の金属膜をパターニングして配線パターン１１２を形成することによって製造されている。
なお、実際の配線パターン１１２は、極めて狭い間隔をもって多数本がベース基板１１１上に形成されているが、図９においては、構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、構造を簡略化して図示してある。また、図示は省略しているが、半導体素子１００が実装される部位以外の部位の所定位置には抵抗、コンデンサ、その他のチップ部品が実装されていてもよい。
【００５９】
本実施形態では、この回路基板１０３が、上述した描画装置１によりパターンが形成されたテープをデバイス毎に切断することにより製造される。
本実施形態に係る液晶表示装置は、上述した描画装置１を用いて回路基板３が製造されているため、高精度に配線パターンが形成された高品質の液晶表示装置を得ることができる。
【００６０】
（電子機器）
図１０（ａ）〜（ｃ）は、前述した液晶表示装置を有する電子機器の実施の形態例を示す図である。
図１０（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１０（ａ）において、符号１０００は携帯電話本体（電子機器）を示し、符号１００１は表示部を示している。
図１０（ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１０（ｂ）において、符号１１００は時計本体（電子機器）を示し、符号１１０１は表示部を示している。
図１０（ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１０（ｃ）において、符号１２００は情報処理装置（電子機器）、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は表示部を示している。
図１０（ａ）〜（ｃ）に示すそれぞれの電子機器は、本発明の描画装置及び描画方法を用いて製造された液晶表示装置を備えているので、配線パターンの描画精度が向上した高品質の電子機器となる。
【００６１】
また、上記実施形態では、電子機器として、携帯電話機、腕時計、情報処理装置を例に挙げて説明したが、これらに限らず、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用することが可能である。
【００６２】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００６３】
例えば、上記実施形態では、テープ押さえ装置３４によってテープ８１を押さえた後に、負圧吸引装置を作動させて多孔質板５１の表面に吸着保持する手順としたが、逆の手順であってもよい。
また、上記実施形態では、カメラ３３がカメラ３２に対してＹ軸方向の１軸で相対移動可能な構成としたが、これに限定されるものではなく、Ｙ軸方向及びＸ軸方向の２軸で相対移動可能な構成であってもよい。
【００６４】
また、上記実施形態では、突部７２がテープの幅方向と直交する面でガイド軸６３の溝部７３Ａ〜７３Ｃと嵌合する構成としたが、これに限定されるものではなく、例えば図１１（ａ）に示すように、突部７２における嵌合面７２ａ、７２ａ同士及び溝部７３Ａ〜７３Ｃにおける嵌合面７３ａ、７３ａ同士が互いに交差する、いわゆるテーパ合わせで嵌合する構成であってもよい。この場合、フランジ体６５をがたつきなくガイド軸６３に取り付けることが可能になり、精度よくテープを保持することができる。
さらに、図１１（ｂ）に示すように、嵌合面の中、図中、左側の嵌合面７２ｂ、７３ｂのように、テープの幅方向（テープ保持方向）と直交するように設ける構成も好適である。この構成では、テーパ合わせにより、がたつきがない状態でフランジ体６５を取り付けられるとともに、嵌合面７２ｂ、７３ｂによりフランジ体６５のテープ幅方向の位置を高精度に位置決めすることができ、より高精度にテープを保持することが可能になる。
【符号の説明】
【００６５】
ＡＭ，ＡＭ１…アライメントマーク（マーク）、ＡＭ２…アライメントマーク（第２マーク）、ＣＯＮＴ…制御装置、１…描画装置、３２…カメラ（撮像装置）、３３…カメラ（第２撮像装置）、５０…吸着装置、５１…多孔質板、６１，６２…ガイドローラ（ローラ）、６３，６４…ガイド軸（軸体）、６５…フランジ体（保持体）、７１…引張バネ（付勢部材）、７２…突部（位置決め部）、７２ａ，７３ａ…嵌合面、７３Ａ〜７３Ｃ…溝部、８０〜８３…テープ（ワーク）、８４…繰出しローラ、８５…巻取りローラ、９０…液滴吐出ヘッド（吐出ヘッド）。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置及び搬送方法並びに描画装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶表示装置に用いられるＣＯＦ（Chip On Film）には、各種配線が形成されるが、近年では金属配線形成技術として、液体吐出方式の利用が拡大する傾向にある。液体吐出方式による塗布技術は、一般に、基板と液体吐出ヘッドとを相対的に移動させながら、液体吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから金属材料を含む液状体を液滴として吐出し、その液滴を基板上に繰り返し付着させて塗布膜を描画形成するものであり、液状体の消費に無駄が少なく、任意のパターンをフォトリソグラフィーなどの手段を用いず直接塗布することが出来るといった利点を有している。
【０００３】
この種の配線形成においては、前工程で配線が形成されたテープ状（帯状）のフィルム上に液滴吐出方式で金属材料を含む液滴を吐出して金属配線を形成する場合がある。
このテープ状フィルムは、フィルムを幅方向両側から保持するフランジを有するローラにより連続的に送られるが、フィルムの幅は機種に応じて変動するため、ローラにおいてもフランジによる保持幅を対応させる必要がある。
【０００４】
そこで、特許文献１には、リンク機構を用いてガイドローラによる帯状部材の保持幅を調整する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実開平５−２６３５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
保持幅調整にリンク機構を用いるため、装置が大型化するという問題が生じる。
また、ローラをフィルム（テープ）の幅方向（回転軸の軸方向）に分割し、それぞれ回転軸にフィルム幅に応じた位置で取付ネジやプランジャを用いて固定する方法も考えられるが、この場合、取付ネジの取り付け、取り外しにレンチ等の工具が必要になり、作業が繁雑になるという問題が生じる。
【０００７】
また、プランジャによるローラの固定は、プランジャが回転軸に摺接するため、クリーン度に問題が生じてしまう。
さらに、取付ネジやプランジャを用いたローラの固定では、フィルムに対する十分な位置決め精度を確保しづらいという問題もある。
【０００８】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、クリーン度を低下させることなくワーク幅の変更に簡便に対応できる搬送装置及び搬送方法並びに描画装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の搬送装置は、帯状のワークを幅方向で保持するローラを備えた搬送装置であって、前記ローラは、前記幅方向で分割されそれぞれが前記ワークを保持する一対の保持体を有し、前記一対の保持体のそれぞれは、分離一体可能な複数の分割体と、前記複数の分割体を一体化する方向に付勢する付勢部材と、前記複数の分割体が一体化されたときに、当該保持体を前記幅方向に位置決めさせる位置決め部とを有することを特徴とするものである。
【００１０】
従って、本発明の搬送装置では、付勢部材の付勢力に抗して分割体を分割することにより、保持体のワークの幅方向の位置決めを解除することが可能になり、ワークの幅に応じた位置で分割体を一体化することにより、一対の保持体をそれぞれワークの保持位置で位置決めすることができる。
そのため、本発明では、工具等を用いることなく、簡便にワーク幅の変更に対応することができる。また、本発明では、付勢部材の付勢力に抗して分割体を分離させる方向に力を加えればよいため、プランジャ等による摺接が生じず、クリーン度の低下も防止することができる。
【００１１】
また、本発明の搬送装置では、前記ローラに挿通され、外周面に溝部が形成された軸体を有し、前記位置決め部が、前記溝部に嵌合する突部を有する構成を好適に採用できる。
また、この構成では、前記保持体は、前記分割体が一体化されたときに前記突部が前記溝部に嵌合し、前記分割体が前記付勢部材の付勢力に抗して分離されたときに前記突部と溝部との嵌合が解除される構成を採用できる。
従って、本発明では、分割体が一体化されたときに、保持体の突部が軸体の溝部に嵌合することにより、保持体が軸体に対して位置決めされる。
この溝部としては、前記ワークの幅に応じて複数設けられる構成が好適である。
従って、本発明では、変更されるワークの幅に対応する溝部に保持体の突部を嵌合させることにより、保持体によりワークを幅方向に保持することが可能になる。
【００１２】
また、本発明では、前記溝部及び前記突部が互いに交差する嵌合面で嵌合する構成も好適である。
従って、本発明では、軸体と保持体とが、いわゆるテーパ合わせにて位置決めされるため、保持体を軸体に対してがたつきなく、取り付けることが可能になり、ワークを精度よく保持することが可能になる。
また、この構成においては、前記嵌合面の少なくとも一つは、前記幅方向と略直交して設けられることが好ましい。
これにより、本発明では、保持体のワークの幅方向の位置を、前記幅方向と略直交する嵌合面により規定することができる。
【００１３】
一方、本発明の描画装置は、帯状のワークを搬送する搬送装置と、搬送された前記ワークに対して液滴を吐出して描画する吐出ヘッドとを備えた描画装置であって、前記搬送装置として先に記載の搬送装置が用いられることを特徴とするものである。
従って、本発明の描画装置では、上述した搬送装置を備えているため、簡便にワーク幅の変更に対応でき、クリーン度の低下も防止できる描画装置を提供することができる。
【００１４】
また、本発明の搬送方法は、帯状のワークを幅方向で保持し軸体が挿通するローラにより搬送する方法であって、前記ローラを、前記幅方向で分割され、それぞれが前記ワークを保持する一対の保持体で構成し、前記一対の保持体のそれぞれを、分離一体可能で、且つ一体化する方向に付勢され、前記軸体と嵌合したときに前記幅方向に位置決めされる複数の分割体で構成し、前記複数の分割体を付勢される力に抗して分割して、前記軸体との嵌合を解除する工程と、前記ワークに応じた位置で前記分割体を前記軸体に嵌合させる工程とを有することを特徴とするものである。
【００１５】
従って、本発明では、複数の分割体を付勢される力に抗して分割して、前記軸体との嵌合を解除した後に、ワークの幅に応じた位置で軸体と嵌合させることにより、工具等を用いることなく、簡便にワーク幅の変更に対応することができる。また、本発明では、付勢力に抗して分割体を分離させる方向に力を加えればよいため、プランジャ等による摺接が生じず、クリーン度の低下も防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る描画装置の平面図である。
【図２】吸着装置及びアライメントユニットの外観斜視図である。
【図３】テープ押さえ装置の構成及び動作を示す図である。
【図４】ガイド軸に挿通されるフランジ体の外観斜視図である。
【図５】図４における一部断面図である。
【図６】フランジ体の平面図である。
【図７】液滴吐出ヘッドの側面断面図である。
【図８】様々なＴＡＢテープの部分平面図である。
【図９】液晶表示装置の分解斜視図である。
【図１０】電子機器の例を示す図である。
【図１１】フランジ体の突部とガイド軸の溝部との別の嵌合形態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の搬送装置及び搬送方法並びに描画装置の実施の形態を、図１ないし図１１を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１８】
図１は描画装置１の平面図である。
描画装置１は、Ｙ方向に沿って送られる帯状のテープ（ワーク）８０に対して配線等のパターンを描画形成するものであって、テープ８０を吸着保持する吸着装置５０、吸着装置の上方にＸ方向に延びて設けられる一対のフレーム２０、フレーム２０に架設され、それぞれ図示しないリニアモータ等の駆動装置によりＸ方向に独立して駆動される描画ユニット２２、アライメントユニット２４およびＵＶ照射ユニット２６、図２に示すように、ガイドローラ（ローラ）６１を介してテープ８０を繰り出す繰出しローラ８４およびガイドローラ６２を介してテープ８０を巻き取る巻取りローラ８５を主体に構成されている。
これらガイドローラ６１、６２、繰出しローラ８４、巻取りローラ８５により、本発明に係る搬送装置が構成される。
テープ８０は、ガイドローラ６１、６２の間に掛け渡され、両者間において吸着装置５０の上面に載置されるようになっている。
【００１９】
図２は、吸着装置５０及びアライメントユニット２４の外観斜視図である。
吸着装置５０は、定盤６０の表面に多孔質板５１を配置（埋設）して構成され、その多孔質板５１の表面に上述したテープ８０を吸着しうるようになっている。なお８０テープの吸着位置は、多孔質板５１の幅方向中央部であり、テープの中心線が多孔質板５１の中心線と一致する位置に設定されている。これにより、テープサイズの変更にともなう描画装置の段取り換えを最小限にとどめることができるようになっている。
【００２０】
この多孔質板５１は、樹脂材料を焼結成形した樹脂焼結材で構成されている。焼結成形は、原料粉末を金型内に充填して加熱し、原料粉末の表層同士を融着（焼結）させることにより、粉末間の空間を残したまま成形する手法である。その原料粉末として、ポリエチレン（ＰＥ）やポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド（ＰＡ）、アクリル樹脂（ＰＭＭＡ）、フッ素樹脂（ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥ）等の熱可塑性樹脂材料を採用することが可能である。このように多孔質板５１を樹脂材料で構成することにより、多孔質板５１の表面に吸着されるテープの損傷を防止することができる。
【００２１】
多孔質板５１には、図示しない負圧吸引装置が接続されており、多孔質板５１の表面全体に亘ってほぼ均一に負圧が供給される。従って、幅の異なる複数種のテープに対しても、一様に吸着保持可能な構成となっている。
【００２２】
また、吸着装置５０は、その下方に配置された中間プレート１８に固定されている。この中間プレート１８は、モータ１６によりθｚ方向（ｚ軸周りの回転方向）に回動しうるようになっている。そのモータ１６はスライダ１４に固定されている。このスライダ１４は、ベースプレート１２の表面をＹ方向に移動しうるようになっている。これにより吸着装置５０は、ベースプレート１２に対してθｚ方向およびＹ方向に移動しうるようになっている。
【００２３】
アライメントユニット２４は、上述したフレーム２０に沿って移動する移動フレーム３１、移動フレーム３１に搭載されたカメラ（撮像装置）３２、カメラ（第２撮像装置）３３及びテープ押さえ装置３４から構成されている。カメラ３２、３３は、ＣＣＤカメラ等で構成されるものであり、テープ８０に形成されたマーク（後述）を計測し、制御部９９に出力する。制御部９９は、カメラ３２、３３の計測結果に基づいて、モータ１６、スライダ１４、繰出しローラ８４及び巻取りローラ８５の駆動を制御する。
【００２４】
また、カメラ３２は、移動フレーム３１に一体的に固定されているが、カメラ３３は、移動フレーム３１に対してＹ軸方向に移動自在に設けられたスライダ３５に搭載されることにより、制御部９９の制御下でカメラ３２に対してＹ軸方向に移動する。
【００２５】
図３は、主としてテープ押さえ装置３４に関する図２における右側面図である。
テープ押さえ装置３４は、Ｙ軸方向に延在する一対の押さえ部３６と、Ｙ軸方向に延び、支持柱３７を介して押さえ部３６の一方（−Ｙ側）を上方から支持する支持フレーム３８、支持柱３９を介して押さえ部３６の他方（＋Ｙ側）を上方から支持するとともに、支持フレーム３８をＹ軸方向に伸縮自在に支持する支持フレーム４０とを有している。
【００２６】
支持フレーム３８は、制御部９９の制御により駆動する直動モータ等の駆動装置により支持フレーム４０に対してＹ軸方向に移動する構成となっている。
支持フレーム４０は、制御部９９の制御により駆動する直動モータ等の駆動装置により、移動フレーム３１にＺ方向に延びて設けられたガイドフレーム４１に沿ってＺ軸方向に移動する構成となっている。
【００２７】
図１に戻り、ガイドローラ６１、６２は、ポリプロピレン（ＰＰ）等の樹脂材で形成されており、Ｘ軸方向に延びＸ軸と平行な軸周りに回転するガイド軸（軸体）６３、６４が挿通し、テープ８０の幅方向（Ｘ軸方向）に分割して設けられた一対のフランジ体（保持体）６５、６５及び一対のフランジ体（保持体）６６、６６からそれぞれ構成されている。
なお、フランジ体６５、６６は同様の構成を有しているため、以下フランジ体６５についてのみ説明する。
【００２８】
図４は、ガイド軸６３に挿通されるフランジ体６５、６５の外観斜視図であり、図５は一部断面図であり、図６はフランジ体６５の平面図である。
各フランジ体６５は、内周面でガイド軸６３に嵌合する筒状に形成されており、外周面でテープ８０の裏面（液滴で描画される面と逆側の面）を支持する円筒部６７と、テープ８０の幅方向の側縁を保持するフランジ部６８とを有している。また、各フランジ体６５は、直径方向に沿って分離一体可能に２分割された分割体６５Ａ、６５Ａから構成されている。
【００２９】
また、各フランジ体６５には、各分割体６５Ａ同士の各接合面と直交して延びる溝部６９が対をなす分割体６５Ａに跨って連通して設けられている。各溝部６９の両端部には、ポスト材７０が圧入等によりそれぞれ固定されている。このポスト材７０には、引張バネ（付勢部材）７１の端部がそれぞれ係合している。各引張バネ７１は、端部において係合するポスト材７０が接近する方向に、すなわち、一対の分割体６５Ａが接近して一体化する方向に付勢する。
また、各分割体６５Ａには、図５及び図６に示すように、内周面からほぼ同じ高さで垂直に突出する突部７２が位置決め部として設けられている。
【００３０】
そして、ガイド軸６３の外周面には、フランジ体６５の突部７２とそれぞれ嵌合可能な複数（ここでは各分割体６５Ａ毎に３つ、合計６つ）の溝部７３Ａ〜７３Ｃが軸周り（周方向）に形成されている（図５では、右側のフランジ体６５に対応する溝部７３Ａ〜７３Ｃ、及び左側のフランジ体６５に対応する溝部７３Ｂ、７３Ｃのみ図示）。
溝部７３Ａ〜７３Ｃは、フランジ体６５の突部７２が嵌合したときに、対向するフランジ部６８間の距離Ｌがテープ８０の種類に応じた所定幅となる位置に形成されている。
なお、フランジ体６５の突部７２は、各分割体６５Ａの接合面近傍まで設けられた場合には、溝部７３Ａ〜７３Ｃから外す（嵌合解除させる）ためのストロークが大きくなるため、各分割体６５Ａの中央部のみに設けられている。
【００３１】
図１に戻り、描画ユニット２２には、液滴吐出ヘッド（吐出ヘッド）９０が搭載されている。図７は、液滴吐出ヘッドの側面断面図である。吐出ヘッド９０は、ヘッド本体９０Ａと、ヘッド本体９０Ａの一方面に装着されたノズルプレート９２と、ヘッド本体９０Ａの他方面に装着されたピエゾ素子９８とを主として構成されている。
【００３２】
インク吐出面を構成するノズルプレート９２には、液滴を吐出するための複数のノズル９１が整列配置されている。またヘッド本体９０Ａには、各ノズル９１と連通する複数の圧力室９３が形成されている。各圧力室９３はリザーバ９５に接続され、リザーバ９５はインク導入口９６に接続されている。そしてインク９は、インク導入口９６からリザーバ９５を通って各圧力室９３に供給されるようになっている。一方、ヘッド本体９０Ａの上端面には、可撓性を有する振動板９４が装着されている。その振動板９４を挟んで各圧力室９３の反対側には、それぞれピエゾ素子９８が設けられている。ピエゾ素子９８は、ＰＺＴ等の圧電材料を電極で挟持したものである。その電極は、制御部９９に接続されている。
【００３３】
そして制御部９９からピエゾ素子９８に駆動電圧を印加すると、ピエゾ素子９８が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子９８が収縮変形すると、圧力室９３内の圧力が低下して、リザーバ９５から圧力室９３にインク９が流入する。またピエゾ素子９８が膨張変形すると、圧力室９３内の圧力が増加して、ノズル９１からインク９の液滴が吐出される。なお、ピエゾ素子９８に印加する駆動電圧を制御することにより、液滴の吐出条件を制御しうるようになっている。
【００３４】
なお液滴吐出方式として、ピエゾ素子の変形により圧力室内の圧力を変化させる上記ピエゾ方式の他に、インクを加熱して気泡（バブル）を発生させることにより圧力室内の圧力を変化させる方式など、公知の種々の技術を適用することができる。このうちピエゾ方式は、インクを加熱しないので材料の組成に悪影響を与えないなどの点で優れている。
【００３５】
ＵＶ照射ユニット２６には、ＵＶランプ等のＵＶ照射装置２７が搭載されている。
本実施形態の描画装置１は、以上のように構成されている。
【００３６】
次に、上記の描画装置１により液滴が吐出されてパターンが形成されるテープ８０について説明する。
図８は、様々なテープ（ＴＡＢテープ；ワーク）８１〜８３の部分平面図である。テープ８１の幅方向両端部には、テープを巻き取るためのスプロケット孔８６が連続形成され、テープ８１の幅方向中央部には、半導体装置を形成するための作業領域８８が連続形成されている。この作業領域８８は、例えばデバイス毎に設定されるものである。
【００３７】
そして、上記の描画装置１は、この作業領域８８に金属配線パターンを描画形成するものであり、本実施形態の吸着装置は、金属配線パターンを描画すべきテープを吸着保持するものである。
上述した作業領域８８の大きさに対応して、また幅方向における作業領域８８の配列数に応じて、幅寸法の異なる複数種類のテープ８１，８２，８３が存在する。
【００３８】
各テープ８１〜８３における各作業領域８８には、テープ８１〜８３を位置決めする際に観察されるアライメントマークＡＭが、例えばそれぞれ３個ずつ形成されている。なお、アライメントマークＡＭの形状は、計測方法等によって各種存在するが、ここでは円形のマークとし、矩形の作業領域８８の３つのコーナー部に配置されるものとして図示している。
【００３９】
次に、上記のガイドローラ６１（６２）の使用方法について説明する。
フランジ体６５をガイド軸６３に取り付ける際には、まず、引張バネ７１を装着していない状態で、一対の分割体６５Ａによりガイド軸６３を挟み込む。
このとき、使用するテープ８０の幅に対応する溝部７３Ａ〜７３Ｃにフランジ体６５の突部７２を嵌合させる。
【００４０】
次いで、各分割体６５Ａの溝部６９に引張バネ７１を挿入し、ポスト材７０に引張バネ７１を係合させる。これにより、引張バネ７１の付勢力が分割体６５Ａを一体化させる方向に作用し、フランジ体６５はフランジ部６８間の距離Ｌがテープ８０の幅に設定された状態でガイド軸６３にＸ軸方向に位置決めされて取り付けられる。
【００４１】
また、機種変更等によりテープ８０の幅が変更される場合には、引張バネ７１の付勢力に抗して分割体６５Ａ、６５Ａを分離する（離間させる）方向に引っ張る。
そして、フランジ体６５の突部７２と、ガイド軸６３の溝部（７３Ａ〜７３Ｃのいずれか）との嵌合が解除される位置まで分割体６５Ａを離間させると、分割体６５ＡをＸ軸方向に移動させて、変更されるテープの幅に対応する溝部（例えば７３Ｂ）にフランジ体６５の突部７２を嵌合させる。
そして、分割体６５Ａへの引張を解除すると、引張バネ７１の付勢力により、フランジ体６５は、フランジ部６８間の距離Ｌが変更されたテープ幅に設定された状態でガイド軸６３にＸ軸方向に位置決めされて取り付けられる。
【００４２】
次に、上述した描画装置１の使用方法について説明する。
ここでは、上述したテープ８１を用いるものとして説明する。
また、本実施形態では、４つの作業領域８８からなる作業領域８８’に対して、一括して描画処理を行うものとし、作業領域８８’における一端側（＋Ｙ側）に位置するアライメントマークＡＭ１と、他端側（−Ｙ側）に位置し、アライメントマークＡＭ１と同列（同じＸ位置）に位置するアライメントマーク（第２マーク）ＡＭ２とを計測することにより、テープ８１を位置決めするものとする。
【００４３】
まず、図２に示す繰出しローラ８４と巻取りローラ８５との間にテープ８０（ここではテープ８１）を掛け渡し、両者間に配置された吸着装置５０（多孔質板５１）の表面にテープ８１を載置する。
次に、描画ユニット２２またはＵＶ照射ユニット２６が吸着装置５０と対向する位置にある場合は、当該ユニットを吸着装置５０との対向位置から予め退避させておく。
【００４４】
続いて、アライメントユニット２４をフレーム２０に沿って移動させ、図３（ａ）に示すように、吸着装置５０と対向する位置に位置決めする。
このとき、カメラ３２の計測範囲にアライメントマークＡＭ１が位置するように、移動フレーム３１のＸ方向の位置を調整する。また、アライメントマークＡＭ１、ＡＭ２の相対位置関係は既知であるため、この相対位置関係に応じた距離、スライダ３５を介してカメラ３３をＹ軸方向に移動させる。
【００４５】
次に、支持フレーム４０をガイドフレーム４１に沿って下降させることにより、図３（ｂ）に示すように、押さえ部３６をテープ８１に当接させる。このとき、押さえ部３６は、予め支持フレーム３８を支持フレーム４０に対してＸ軸方向に移動させることにより、テープ８１の幅方向の側縁に当接するように調整されている。
この後、負圧吸引装置を作動させて、テープ８１を多孔質板５１の表面に吸着保持させる。テープ８１の両側は、押さえ部３６によって押さえられているため、テープに反り、撓みが生じていた場合も矯正されて、浮き等が生じることなく多孔質板５１の表面に平滑に吸着保持される。
【００４６】
テープ８１が吸着装置５０に吸着保持されると、カメラ３２によりアライメントマークＡＭ１を撮影・計測し、カメラ３３によりアライメントマークＡＭ２を撮影・計測する。これらの撮影結果から、制御部９９はテープ８１の作業領域の現在位置を算出し、さらに所定位置からのオフセット量を算出する。その算出結果に基づいて、スライダ１４およびモータ１６を駆動して吸着装置５０をＹ方向およびθｚ方向に移動させ、吸着装置５０の表面に吸着されたテープ８１を（液滴吐出ヘッド９０に対して）位置合わせする。なおテープ８１のＸ方向の位置合わせは、描画ユニット２２の移動量を調整することによって行われる。
【００４７】
テープ８１の位置合わせが完了すると、フレーム２０に沿ってアライメントユニット２４を移動させて、吸着装置５０（すなわちテープ８１）との対向位置から退避させるとともに、描画ユニット２２をＸ方向に移動させて吸着装置５０との対向位置に配置する。そして、液滴吐出ヘッド９０からインクを吐出することにより、テープ８１の作業領域８８に所定パターンの金属配線等が、例えば既に形成されている配線パターンと接続させるように描画される。
【００４８】
テープ８１に対する液滴吐出処理が完了すると、フレーム２０に沿って描画ユニット２２を移動させて、吸着装置５０（すなわちテープ８１）との対向位置から退避させるとともに、ＵＶ照射ユニット２６をＸ方向に移動させて吸着装置５０との対向位置に配置する。そして、ＵＶ照射装置２７からＵＶを照射することにより、テープ８１に吐出されたインクを乾燥させる。
【００４９】
なお、上述した液滴吐出工程およびＵＶ照射工程を繰り返し行うことにより、同種または異種の被膜を積層形成することが可能である。異種の被膜を積層形成する場合には、１つの描画ユニットに異なるインクを吐出する複数の液滴吐出ヘッドを搭載してもよいし、異なるインクを吐出する液滴吐出ヘッドを備えた複数の描画ユニットを設けてもよい。
【００５０】
以上により、作業領域に対する描画処理が終了したら、テープ８１を送って未処理の作業領域を吸着装置５０の表面に載置し、上述した描画処理を繰り返す。
また、テープ８１の全ての作業領域に対する描画処理が終了したら、図２に示す繰出しローラ８４および巻取りローラ８５とともにテープ８１を交換するとともに、上述した手順でフランジ体６５を移動させて新たなテープ幅に対応させる。
なお、テープサイズ（幅寸法）を変更する場合でも、テープの幅方向の中心線を吸着装置５０の中心線と一致させる。これにより、テープサイズの変更にともなう描画装置の段取り換えを最小限にとどめることができる。
【００５１】
以上説明したように、本実施形態の搬送装置では、引張バネ７１の付勢力に抗して分割体６５Ａを分離させた後に、所望のテープ幅に対応する溝部７３Ａ〜７３Ｃに突部７２を嵌合させるという簡単な作業でテープ幅の変更に対応することが可能であり、工具を用いることなく容易に作業を行うことができる。また、本実施形態では、フランジ体６５の摺接等が生じないので、クリーン度を低下させることなく、テープ幅の変更に対応することができる。
【００５２】
さらに、本実施形態では、ガイド軸６３に形成する溝部を増加させることにより、種々のテープ幅に容易に対応することができ、汎用性を向上させることができる。
加えて、本実施形態では、ガイド軸６３への溝部を追加形成するとともに、フランジ体６５及び引張バネ７１を用意することにより、既存の搬送装置に対しても、本発明を容易に適用することが可能である。
【００５３】
また、本実施の形態では、テープ８１を多孔質板５１により吸着するので、幅の異なる種々のテープにも容易に対応することができ、テープの種類変更に伴う作業を一層効率化することができる。
加えて、本実施形態では、テープ押さえ装置３４によりテープ８１の側縁を押さえる構成としているので、テープ８１に反り、撓みが生じていた場合も矯正されて、浮き等が生じることなく多孔質板５１の表面に平滑に吸着保持することが可能になり、アライメントマークを精度よく計測でき、所定位置にパターンを高精度に形成することができる。
【００５４】
（液晶表示装置）
続いて、上記描画装置１により配線パターンが形成されたテープを有する液晶表示装置について説明する。
図９は、電気光学装置である液晶表示装置の分解斜視図である。
この図に示す液晶表示装置（電気光学装置）１０１は、大別するとカラーの液晶パネル（電気光学パネル）１０２と、液晶パネル１０２に接続される回路基板１０３とを備えている。また、必要に応じて、バックライト等の照明装置、その他の付帯機器が液晶パネル１０２に付設されている。
【００５５】
液晶パネル１０２は、シール材１０４によって接着された一対の基板１０５ａ及び基板１０５ｂを有し、これらの基板１０５ｂと基板１０５ｂとの間に形成される間隙、いわゆるセルギャップには液晶が封入されている。これらの基板１０５ａ及び基板１０５ｂは、一般には透光性材料、例えばガラス、合成樹脂等によって形成されている。基板１０５ａ及び基板１０５ｂの外側表面には偏光板１０６ａ及び偏光板１０６ｂが貼り付けられている。なお、図６においては、偏光板１０６ｂの図示を省略している。
【００５６】
また、基板１０５ａの内側表面には電極１０７ａが形成され、基板１０５ｂの内側表面には電極１０７ｂが形成されている。これらの電極１０７ａ、１０７ｂはストライプ状または文字、数字、その他の適宜のパターン状に形成されている。また、これらの電極１０７ａ、１０７ｂは、例えばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ：インジウムスズ酸化物）等の透光性材料によって形成されている。
基板１０５ａは、基板１０５ｂに対して張り出した張り出し部を有し、この張り出し部に複数の端子１０８が形成されている。これらの端子１０８は、基板１０５ａ上に電極１０７ａを形成するときに電極１０７ａと同時に形成される。従って、これらの端子１０８は、例えばＩＴＯによって形成されている。これらの端子１０８には、電極１０７ａから一体に延びるもの、及び導電材（不図示）を介して電極１０７ｂに接続されるものが含まれる。
【００５７】
なお、実際の電極１０７ａ，１０７ｂ及び端子１０８は、極めて狭い間隔をもって多数本が基板１０５ａ及び基板１０５ｂ上にそれぞれ形成されているが、図９においては、液晶パネル１０２の構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、それらの内の数本のみを図示することにして他の部分を省略してある。また、端子１０８と電極１０７ａとの接続状態及び端子１０８と電極１０７ｂとの接続状態も図９においては図示を省略している。
【００５８】
また、回路基板１０３には、配線基板（配線）１０９上の所定位置に液晶駆動用ＩＣとしての半導体素子（半導体装置）１００が実装されている。配線基板１０９は、例えばポリイミド等の可撓性を有するベース基板（基板）１１１の上に形成されたＣｕ等の金属膜をパターニングして配線パターン１１２を形成することによって製造されている。
なお、実際の配線パターン１１２は、極めて狭い間隔をもって多数本がベース基板１１１上に形成されているが、図９においては、構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、構造を簡略化して図示してある。また、図示は省略しているが、半導体素子１００が実装される部位以外の部位の所定位置には抵抗、コンデンサ、その他のチップ部品が実装されていてもよい。
【００５９】
本実施形態では、この回路基板１０３が、上述した描画装置１によりパターンが形成されたテープをデバイス毎に切断することにより製造される。
本実施形態に係る液晶表示装置は、上述した描画装置１を用いて回路基板３が製造されているため、高精度に配線パターンが形成された高品質の液晶表示装置を得ることができる。
【００６０】
（電子機器）
図１０（ａ）〜（ｃ）は、前述した液晶表示装置を有する電子機器の実施の形態例を示す図である。
図１０（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１０（ａ）において、符号１０００は携帯電話本体（電子機器）を示し、符号１００１は表示部を示している。
図１０（ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１０（ｂ）において、符号１１００は時計本体（電子機器）を示し、符号１１０１は表示部を示している。
図１０（ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１０（ｃ）において、符号１２００は情報処理装置（電子機器）、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は表示部を示している。
図１０（ａ）〜（ｃ）に示すそれぞれの電子機器は、本発明の描画装置及び描画方法を用いて製造された液晶表示装置を備えているので、配線パターンの描画精度が向上した高品質の電子機器となる。
【００６１】
また、上記実施形態では、電子機器として、携帯電話機、腕時計、情報処理装置を例に挙げて説明したが、これらに限らず、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用することが可能である。
【００６２】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００６３】
例えば、上記実施形態では、テープ押さえ装置３４によってテープ８１を押さえた後に、負圧吸引装置を作動させて多孔質板５１の表面に吸着保持する手順としたが、逆の手順であってもよい。
また、上記実施形態では、カメラ３３がカメラ３２に対してＹ軸方向の１軸で相対移動可能な構成としたが、これに限定されるものではなく、Ｙ軸方向及びＸ軸方向の２軸で相対移動可能な構成であってもよい。
【００６４】
また、上記実施形態では、突部７２がテープの幅方向と直交する面でガイド軸６３の溝部７３Ａ〜７３Ｃと嵌合する構成としたが、これに限定されるものではなく、例えば図１１（ａ）に示すように、突部７２における嵌合面７２ａ、７２ａ同士及び溝部７３Ａ〜７３Ｃにおける嵌合面７３ａ、７３ａ同士が互いに交差する、いわゆるテーパ合わせで嵌合する構成であってもよい。この場合、フランジ体６５をがたつきなくガイド軸６３に取り付けることが可能になり、精度よくテープを保持することができる。
さらに、図１１（ｂ）に示すように、嵌合面の中、図中、左側の嵌合面７２ｂ、７３ｂのように、テープの幅方向（テープ保持方向）と直交するように設ける構成も好適である。この構成では、テーパ合わせにより、がたつきがない状態でフランジ体６５を取り付けられるとともに、嵌合面７２ｂ、７３ｂによりフランジ体６５のテープ幅方向の位置を高精度に位置決めすることができ、より高精度にテープを保持することが可能になる。
【符号の説明】
【００６５】
ＡＭ，ＡＭ１…アライメントマーク（マーク）、ＡＭ２…アライメントマーク（第２マーク）、ＣＯＮＴ…制御装置、１…描画装置、３２…カメラ（撮像装置）、３３…カメラ（第２撮像装置）、５０…吸着装置、５１…多孔質板、６１，６２…ガイドローラ（ローラ）、６３，６４…ガイド軸（軸体）、６５…フランジ体（保持体）、７１…引張バネ（付勢部材）、７２…突部（位置決め部）、７２ａ，７３ａ…嵌合面、７３Ａ〜７３Ｃ…溝部、８０〜８３…テープ（ワーク）、８４…繰出しローラ、８５…巻取りローラ、９０…液滴吐出ヘッド（吐出ヘッド）。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状のワークを幅方向で保持するローラを備えた搬送装置であって、
前記ローラは、前記幅方向で分割されそれぞれが前記ワークを保持する一対の保持体を有し、
前記一対の保持体のそれぞれは、分離一体可能な複数の分割体と、
前記複数の分割体を一体化する方向に付勢する付勢部材と、
前記複数の分割体が一体化されたときに、当該保持体を前記幅方向に位置決めさせる位置決め部とを有することを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の搬送装置において、
前記ローラに挿通され、外周面に溝部が形成された軸体を有し、
前記位置決め部は、前記溝部に嵌合する突部を有することを特徴とする搬送装置。
【請求項３】
請求項２記載の搬送装置において、
前記溝部は、前記ワークの幅に応じて複数設けられることを特徴とする搬送装置。
【請求項４】
請求項２または３記載の搬送装置において、
前記保持体は、前記分割体が一体化されたときに前記突部が前記溝部に嵌合し、前記分割体が前記付勢部材の付勢力に抗して分離されたときに前記突部と溝部との嵌合が解除されることを特徴とする搬送装置。
【請求項５】
請求項２から４のいずれかに記載の搬送装置において、
前記溝部及び前記突部は、互いに交差する嵌合面で嵌合することを特徴とする搬送装置。
【請求項６】
請求項５記載の搬送装置において、
前記嵌合面の少なくとも一つは、前記幅方向と略直交して設けられることを特徴とする搬送装置。
【請求項７】
帯状のワークを搬送する搬送装置と、搬送された前記ワークに対して液滴を吐出して描画する吐出ヘッドとを備えた描画装置であって、
前記搬送装置として請求項１から６のいずれかに記載の搬送装置が用いられることを特徴とする描画装置。
【請求項８】
帯状のワークを幅方向で保持し軸体が挿通するローラにより搬送する方法であって、
前記ローラを、前記幅方向で分割され、それぞれが前記ワークを保持する一対の保持体で構成し、
前記一対の保持体のそれぞれを、分離一体可能で、且つ一体化する方向に付勢され、前記軸体と嵌合したときに前記幅方向に位置決めされる複数の分割体で構成し、
前記複数の分割体を付勢される力に抗して分割して、前記軸体との嵌合を解除する工程と、
前記ワークに応じた位置で前記分割体を前記軸体に嵌合させる工程とを有することを特徴とする搬送方法。
【請求項１】
帯状のワークを幅方向で保持するローラを備えた搬送装置であって、
前記ローラは、前記幅方向で分割されそれぞれが前記ワークを保持する一対の保持体を有し、
前記一対の保持体のそれぞれは、分離一体可能な複数の分割体と、
前記複数の分割体を一体化する方向に付勢する付勢部材と、
前記複数の分割体が一体化されたときに、当該保持体を前記幅方向に位置決めさせる位置決め部とを有することを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の搬送装置において、
前記ローラに挿通され、外周面に溝部が形成された軸体を有し、
前記位置決め部は、前記溝部に嵌合する突部を有することを特徴とする搬送装置。
【請求項３】
請求項２記載の搬送装置において、
前記溝部は、前記ワークの幅に応じて複数設けられることを特徴とする搬送装置。
【請求項４】
請求項２または３記載の搬送装置において、
前記保持体は、前記分割体が一体化されたときに前記突部が前記溝部に嵌合し、前記分割体が前記付勢部材の付勢力に抗して分離されたときに前記突部と溝部との嵌合が解除されることを特徴とする搬送装置。
【請求項５】
請求項２から４のいずれかに記載の搬送装置において、
前記溝部及び前記突部は、互いに交差する嵌合面で嵌合することを特徴とする搬送装置。
【請求項６】
請求項５記載の搬送装置において、
前記嵌合面の少なくとも一つは、前記幅方向と略直交して設けられることを特徴とする搬送装置。
【請求項７】
帯状のワークを搬送する搬送装置と、搬送された前記ワークに対して液滴を吐出して描画する吐出ヘッドとを備えた描画装置であって、
前記搬送装置として請求項１から６のいずれかに記載の搬送装置が用いられることを特徴とする描画装置。
【請求項８】
帯状のワークを幅方向で保持し軸体が挿通するローラにより搬送する方法であって、
前記ローラを、前記幅方向で分割され、それぞれが前記ワークを保持する一対の保持体で構成し、
前記一対の保持体のそれぞれを、分離一体可能で、且つ一体化する方向に付勢され、前記軸体と嵌合したときに前記幅方向に位置決めされる複数の分割体で構成し、
前記複数の分割体を付勢される力に抗して分割して、前記軸体との嵌合を解除する工程と、
前記ワークに応じた位置で前記分割体を前記軸体に嵌合させる工程とを有することを特徴とする搬送方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１２−７１９９０（Ｐ２０１２−７１９９０Ａ）
【公開日】平成２４年４月１２日（２０１２．４．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２４４２７８（Ｐ２０１１−２４４２７８）
【出願日】平成２３年１１月８日（２０１１．１１．８）
【分割の表示】特願２００９−１７７４５１（Ｐ２００９−１７７４５１）の分割
【原出願日】平成１７年８月３０日（２００５．８．３０）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年４月１２日（２０１２．４．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月８日（２０１１．１１．８）
【分割の表示】特願２００９−１７７４５１（Ｐ２００９−１７７４５１）の分割
【原出願日】平成１７年８月３０日（２００５．８．３０）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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