樹脂封止装置の排気機構

【目的】樹脂封止装置において、ＴＣＰテープの搬入に伴ってキュア炉内に侵入してくるコンタミや微細なゴミ等を入口付近で直ちに排出し、キュア炉内部への侵入を防止出来るようにした排気機構を提供する。
【構成】ＴＣＰテープにボンディングされた半導体チップの表面に樹脂を滴下して保護膜を形成する樹脂封止装置において、この樹脂封止装置に配設されるキュア炉内の排気を行うダクトが、そのキュア炉の入口近傍に形成されていてキュア炉内部へのコンタミ等の侵入を防止する。

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、樹脂封止装置の排気機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】樹脂封止装置は、従来例えば図３に示すようにＴＣＰテープＡを送り出すローダ部Ｄと、ＴＣＰテープＡにボンディングされた半導体チップＢ（図４）に樹脂液を滴下するポッティング部Ｅと、ヒータを備えたキュア炉部Ｆと、ＴＣＰテープＡを巻き取るアンローダ部Ｇとから構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記樹脂封止装置においては、ポッティング部Ｅで滴下された樹脂をキュア炉部Ｆ内で仮乾燥（本乾燥はその後の工程で行われる）するが、ＴＣＰテープＡがキュア炉Ｆ内に搬送される際に、ＴＣＰテープＡと一緒にコンタミや微細なゴミ等が入り込み、保護膜内に混入し又はリードフレーム部Ｃに付着して品質の低下を来すという問題があった。本発明は、このような従来の問題点を解決するためになされ、ＴＣＰテープの搬入に伴ってキュア炉内へ侵入してくるコンタミ等を入口付近で直ちに炉外に排出し、キュア炉内部への侵入を防止出来るようにした、樹脂封止装置の排気機構を提供することを課題としたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決するための手段として、本発明は、ＴＣＰテープにボンディングされた半導体チップの表面に樹脂を滴下して保護膜を形成する樹脂封止装置において、この樹脂封止装置に配設されるキュア炉内の排気を行うダクトが、そのキュア炉の入口近傍に形成されていてキュア炉内部へのコンタミ等の侵入を防止した、樹脂封止装置の排気機構を要旨とする。
【０００５】
【作用】ＴＣＰテープの搬入に伴ってコンタミを含むエア及びＴＣＰテープに付着した微細なゴミ等がキュア炉内に侵入してきても、キュア炉の入口近傍に設けられたダクトにより入口付近で直ちに排出し、キュア炉内部への侵入を防止することが出来る。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳説する。図１において、１はローダ部の上部に装着された送り出し用リールであり、巻き付けられたＴＣＰテープ２が無テンションで、つまり自重により垂れ下がるようにしてある。自重により垂れ下がったＴＣＰテープ２は、中間部に設けられた一対の補助ガイド３及び固定ガイド４を介して案内され、且つテープ送りローラ５によりポッティング部の樹脂滴下領域まで搬送される。
【０００７】６はポッティング部に配設された樹脂滴下ノズルであり、前記樹脂滴下領域まで搬送されたＴＣＰテープ２の半導体チップの上に樹脂液を滴下する。
【０００８】７はキュア炉８の入口近傍に設けられたダクトであり、図２に示すようにＴＣＰテープ２が入口８ａから搬入されると、そのテープと一緒に入ってきたコンタミを含むエア及びテープの表面に付着しているゴミ等を直ちにキュア炉８外に強制的に排気する。従って、キュア炉８内部へのコンタミ等の侵入を未然に防止することが出来る。
【０００９】前記キュア炉８は、内部に複数のヒータ９とファンユニット１０が配設され、これらの乾燥手段に沿ってＴＣＰテープ２を移動させることにより、前記半導体チップの上に滴下された樹脂を仮乾燥する。
【００１０】又、キュア炉８内には後部側からＮ₂ ガスを流し込むことがあるが、前記のようにダクト７が入口８ａの近傍に設けられているため、Ｎ₂ ガスの流れは図２に点線の矢印で示すようにＴＣＰテープの搬走路を逆走し、入口８ａ付近に至ってダクト７から外部に排出される。従って、Ｎ₂ ガスの流れる方向が一定となり、キュア炉８内の温度制御を容易に行うことが出来る。
【００１１】キュア炉８内で仮乾燥されたＴＣＰテープ２は、送り出しローラ１１によってアンローダ部に搬送され、テープ巻き取り用リール１２に巻き取られる。このアンローダ部は前記ローダ部とほぼ対称形になっており、中間部に一対の補助ガイド１３及び固定ガイド１４が配設され、アンローダ部に搬入されたＴＣＰテープ２は自重により垂れ下がり、補助ガイド１３を経て前記リール１２に無テンション状態で巻き取られる。
【００１２】尚、１５、１６は保護テープ用リールであり、ローダ側に設けられたリール１５はＴＣＰテープ２を送り出す際にその上面に被覆されている保護テープを巻き取り、アンローダ側に設けられたリール１６は保護テープを送り出し、ＴＣＰテープ２の上面に合わせてリール１２に同時に巻き取られるようになっている。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、樹脂封止装置におけるキュア炉の入口近傍にダクトを設けたので、ＴＣＰテープの搬入に伴ってキュア炉に侵入してくるコンタミ等を直ちに排出し、キュア炉内部への侵入を防止することが出来、コンタミ等が保護膜内に混入し又はリードフレーム部に付着して品質低下を来す欠点を未然に防止する効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る樹脂封止装置の概略図である。
【図２】キュア炉の要部概略断面図である。
【図３】従来の樹脂封止装置の概略図である。
【図４】ＴＣＰテープの一部の平面図である。
【符号の説明】
１…リール２…ＴＣＰテープ３…補助ガイド４…固定ガイド
５…テープ送りローラ６…樹脂滴下ノズル７…ダクト８…キュア炉
８ａ…入口９…ヒータ１０…ファンユニット１１…送り出しローラ１２…リール１３…補助ガイド１４…固定ガイド１５、１６…保護テープ用リール

【特許請求の範囲】
【請求項１】ＴＣＰテープにボンディングされた半導体チップの表面に樹脂を滴下して保護膜を形成する樹脂封止装置において、この樹脂封止装置に配設されるキュア炉内の排気を行うダクトが、そのキュア炉の入口近傍に形成されていてキュア炉内部へのコンタミ等の侵入を防止した、樹脂封止装置の排気機構。

【図１】