液体供給装置
【課題】単純な構成で容易に容器の載置が可能であり、内部の液体を残らず送出可能な不定形液体容器内の液体を送出する液体供給装置を提供する。
【解決手段】柔軟なフィルム状部材からなる袋部と、袋部の口に装着された筒状の首部５２の上端外周から外側へ張り出す環状フランジ５４とを備えた注出口とを有する不定形液体容器８内の液体４９を送出する液体供給装置６であって、底板５６から立設された柱５８に支持され中央に向かって形成された環状フランジ５４の外径より小さく首部５２の直径より大きい幅の案内溝６２を有する天井板６０とを含む枠体７と、注出口から袋部内に挿入される送出用パイプとの途中に介装された吸い上げポンプ２０とを含む液体供給手段とを具備し、環状フランジ５４を案内溝６２に挿入し袋部を枠体７内に収容すると、袋部が枠体７内に垂下して固定され、送出用パイプは枠体７内に垂下した袋部の底部近傍に到達する長さを有している。
【解決手段】柔軟なフィルム状部材からなる袋部と、袋部の口に装着された筒状の首部５２の上端外周から外側へ張り出す環状フランジ５４とを備えた注出口とを有する不定形液体容器８内の液体４９を送出する液体供給装置６であって、底板５６から立設された柱５８に支持され中央に向かって形成された環状フランジ５４の外径より小さく首部５２の直径より大きい幅の案内溝６２を有する天井板６０とを含む枠体７と、注出口から袋部内に挿入される送出用パイプとの途中に介装された吸い上げポンプ２０とを含む液体供給手段とを具備し、環状フランジ５４を案内溝６２に挿入し袋部を枠体７内に収容すると、袋部が枠体７内に垂下して固定され、送出用パイプは枠体７内に垂下した袋部の底部近傍に到達する長さを有している。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、柔軟なフィルム状の袋部内の液体を外部へ供給する液体供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
飲料水や工業用の薬液等の液体を保存したり搬送したりするために、缶や瓶、硬質の樹脂製ボトル等の様々な定形型容器が使用されている（例えば、特開２００５−３３５７１３号公報及び特開２００７−２０４１２０号公報参照）。
【０００３】
近年では、空となった容器の容易な廃棄や、容器自体の軽量化のため、定形型容器にかわって柔軟なフィルム状の袋状容器が広い用途で使用され始めている。こうした柔軟な袋状容器は、使用後折りたたんで収納可能であったり、容器自体の重さが非常に軽いため、輸送コストの大幅削減等の大きな効果が期待されている。また、こうした柔軟な袋状容器等の不定形な液体容器の中に保存された液体、例えば飲料水や工業用の薬液等を外部に送出する液体供給装置も開発されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３３５７１３号公報
【特許文献２】特開２００７−２０４１２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、不定形な液体容器を用いた液体供給装置の場合、容器自体の形状が不定形であるという特徴から定型容器とは違った工夫が必要となる。例えば、容器の固定方法の工夫、内部の液体を残らず注出する方法の工夫、内部の液体の残量を正確に把握する工夫等が必要である。
【０００６】
容器自体が不定形であるため、容器の固定は何らかの枠体内に載置するか、又は箱の中に収めた後箱ごと装置内部に載置する必要があるが、内容物が液体であるためその重量は重い場合が多く、上方から箱内に収めるのは容易ではない。
【０００７】
更に、容器が不定形であるため、残量無く液体を注出するには袋の外部から圧力等をかけて搾り出したり、容器の底近くに注出口を設ける等の工夫が必要であるが、圧力手段が必要であったり、注出口が低くなり使いにくいといった課題が残る。また、定形型の容器であれば、液面の高さを見れば即座に残量が把握可能であるが、容器の形状が変化してしまえば液面高さによる残量把握は正確とは言えない。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、単純な構成で容易に容器の載置が可能であり、内部の液体を残らず送出可能で且つ残量の把握が可能な不定形液体容器内の液体を送出する液体供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によると、柔軟なフィルム状部材からなる袋部と、該袋部の口に装着された筒状の首部と該首部の上端外周から外側へ張り出す環状フランジとを備えた注出口と、を有する不定形液体容器内の液体を送出する液体供給装置であって、底部と、該底部から立設された側部と、該側部に支持され該側部から中央に向かって形成された該環状フランジの外径より小さく該首部の直径より大きい幅の案内溝を有する天井部とを含む枠体と、該注出口から該袋部内に挿入される送出用パイプと、該送出用パイプの途中に介装された吸い上げポンプとを含む液体供給手段とを具備し、該注出口の該環状フランジを該天井部より上方にして該首部を該案内溝に挿入しつつ該袋部を該枠体内に収容すると、該袋部内の液体の重量で該案内溝に該環状フランジが係合し該袋部が該枠体内に垂下して固定され、該送出用パイプは該枠体内に垂下した該袋部の底部近傍に到達する長さを有していることを特徴とする液体供給装置が提供される。
【００１０】
好ましくは、前記枠体内に前記不定形液体容器が固定される際は、前記注出口の前記首部が前記案内溝の所定の位置に固定され、該枠体の該底部を構成する底板は、該案内溝の前記所定の位置の直下に窪み部若しくは開口部を有し、該窪み部若しくは該開口部周囲の該底板の少なくとも一部は該窪み部若しくは該開口部に向かって下方に傾斜して形成されており、該不定形液体容器内の液体が該傾斜によって該窪み部内若しくは該開口部内に落ち込んだ袋部に溜まり易くなっている。
【００１１】
好ましくは、枠体は重量測定器上に配設されており、これにより不定形液体容器内の残量を容易に把握することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の液体供給装置によると、枠体に側方から不定形液体容器を挿入するので、不必要に重い容器を持ち上げる必要がない。更に注出口が上方にあるので、注出口にパイプを挿入するのも容易である。パイプが不定形容器の底部にまで届く長さを有しているため、内部の液体を残量無く送出できる。
【００１３】
底部に窪み若しくは開口部が形成されている実施形態においては、不定形液体容器の固定に効果がある上、液体がパイプの吸込口付近に溜まるような構成となっているため、容器の変形による液体の送出残が発生しないという効果を奏する。更に、枠体が重量測定器上に載置されているため、液体の残量を常に正確に把握することが可能であり、容器の大きさや材質の変更があっても、容易に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の液体供給装置が適用可能な混合液供給装置の全体構成図である。
【図２】不定形液体容器の一例を示す斜視図である。
【図３】本発明第１実施形態に係る液体供給装置の分解斜視図である。
【図４】液体供給装置内に不定形液体容器を装着した状態の斜視図である。
【図５】本発明第２実施形態に係る液体供給装置に不定形液体容器を装着した状態の斜視図である。
【図６】図５のＶＩ―ＶＩ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明の液体供給装置を採用した混合液供給装置の全体構成図が示されている。符号２で示された混合液供給装置は、研磨装置４に液体と研磨剤が混合された混合液（スラリー）を供給する。後で詳細に説明する液体供給装置６内には、純水等の液体とシリカ等の研磨剤が混合された濃度の高い研磨剤原液９が収容された不定形液体容器８が収容されている。
【００１６】
１０は希釈タンクであり、不定形液体容器８内の濃度の高い研磨剤原液９が管路（研磨剤原液供給路）１４を介して希釈タンク１０内に供給されるとともに、液体供給路１６を介して純水等の液体が希釈タンク１０内に供給され、研磨剤原液９が液体により希釈され、希釈タンク１０は濃度が希釈されたスラリー（混合液）１８を収容する。
【００１７】
希釈タンク１０内には図示しない攪拌装置が設置されており、この攪拌装置で研磨剤源液９と液体供給路１６を介して送られた液体とを攪拌して、濃度が希釈された一様濃度のスラリー１８とする。２０は吸い上げポンプであり、管路１４には開閉弁２２が挿入されている。一方、液体供給路１６には流量調整弁２４が挿入されている。
【００１８】
希釈タンク１０からは管路（第１混合液供給路）２６を介して希釈された混合液（スラリー）１８が供給タンク１２に供給され、供給タンク１２は濃度の希釈された混合液１８を収容する。管路２６にはポンプ２８及び開閉弁３０が挿入されている。
【００１９】
供給タンク１２からは管路（第２混合液供給路）３２を介して濃度の希釈された混合液（スラリー）１８が研磨装置４に供給され、研磨装置４で半導体ウエーハ等の板状物の研磨が実施される。管路３２にはポンプ３４及び開閉弁３６が挿入されている。
【００２０】
液体供給装置６は重量測定器３８上に搭載されている。同様に、希釈タンク１８も重量測定器４０上に搭載されている。重量測定器３８，４０は制御手段（コントローラ）４２に接続されている。
【００２１】
制御手段４２のメモリには予め液体供給装置６の重量と不定形液体容器８本体の重量の和が記憶されており、制御手段４２では重量測定器３８で測定した液体供給装置６と研磨剤原液９を含む不定形液体容器８の総重量から液体供給装置６と不定形液体容器８本体の重量を減算することにより、研磨剤原液９の正確な残量を算出することができ、この研磨剤原液の残量は液晶ディスプレイ等の残量表示手段４４に表示される。
【００２２】
供給タンク１２には、複数の液面センサ４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄが設置されている。液面センサ４６ａ〜４６ｄは制御手段４２に接続されており、供給タンク１２内の混合液（スラリー）１８の液面が液面センサ４６ｃと４６ｄの間に来た場合に、制御手段４２で開閉弁３０を開くとともにポンプ２８を駆動して、希釈タンク１０内の混合液（スラリー）１８を供給タンク１２内に供給する。
【００２３】
ポンプ２０，２８，３４は制御手段４２に接続されており、制御手段４２によりその駆動が制御される。流量調整弁２４も制御手段４２に接続されており、流量調整弁２４で純水等の液体の供給量を調整して、研磨剤原液９を所望の濃度の混合液（スラリー）１８に調整する。
【００２４】
希釈タンク１０内の混合液（スラリー）１８の残量は、重量測定器４０上に希釈タンク１０を搭載することにより、不定形液体容器８内の研磨剤原液の残量と同様な方法により、制御手段４２で容易に算出することができる。
【００２５】
希釈タンク１０内の混合液（スラリー）１８の濃度調整は、ポンプ２０の駆動時間及び流量調整弁２４を介して供給される液体の量を制御するとともに、更に希釈タンク１０内の混合液（スラリー）１８の残量に基づいて、所望の濃度に調整することができる。
【００２６】
特に図示しないが、研磨剤原液供給路１４及び液体供給路１６中に流量計を設けて、希釈タンク１０内に供給される研磨剤原液９及び液体供給源１５から供給される純水等の液体の量を正確に測定することにより、希釈タンク１０内の混合液（スラリー）１８の濃度をより正確に調整することができる。
【００２７】
以上の説明は、本発明の液体供給装置６を混合液供給装置２の研磨剤原液の供給に適用した例についての説明であるが、以下図２乃至図６を参照して、液体供給装置６の詳細な構造について説明する。
【００２８】
図２を参照すると、不定形液体容器８の一例の斜視図が示されている。不定形液体容器８は、柔軟なフィルム状部材からなる袋部４８と、袋部４８の口に装着された筒状の首部５２と該首部５２の上端外周から外側へ張り出す環状フランジ５４とを備えた注出口５０とを有している。袋部４８内には、上述した研磨剤原液、飲料水、工業用の薬液等の液体４９が収容されている。
【００２９】
図３を参照すると、本発明第１実施形態の液体供給装置６の分解斜視図が示されている。液体供給装置６は、底板５６と、底板５６に立設された４本の柱５８と、柱５８で支持された天井板６０とを有する枠体７を含んでいる。
【００３０】
天井板６０には、天井板６０の側部から中央に向かって伸長する図２に示した不定形液体容器８の環状フランジ５４の外径より小さく首部５２の直径より大きい幅の案内溝６２が形成されている。天井板６０の側部には切欠き６５を有するブラケット６４が突設されている。
【００３１】
６６は液体供給手段であり、図２に示した不定形液体容器８の注出口５０から袋部４８内に挿入される送出用パイプ６８と、送出用パイプ６８の途中に介装された吸い上げポンプ２０とから構成される。
【００３２】
送出用パイプ６８の出口部近傍にはコック（栓）７０が装着されている。液体供給手段６６は、その不使用時には、送出用パイプ６８が矢印Ａで示すように枠体７のブラケット６４の切欠き６５内に収容されて、ブラケット６４で支持されている。
【００３３】
図２に示した不定形液体容器８を液体供給装置６内に収容するには、注出口５０の環状フランジ５４を液体供給装置６の天井板６０より上方にして、図４に示すように首部５２を案内溝６２中に挿入する。
【００３４】
これにより、不定形液体容器８の袋部４８が枠体７内に収容され、袋部４８内の液体４９の重量で案内溝６２に環状フランジ５４が係合し、袋部４８が枠体７内に垂下して不定形液体容器８が固定される。
【００３５】
ブラケット６４に支持されている液体供給手段６６をブラケット６４から取り外して、送出用パイプ６８を注出口５０から不定形液体容器８内に挿入し、環状フランジ５４で吸い上げポンプ２０を支持する。この状態が図４に示されており、送出用パイプ６８は枠体７内に垂下した袋部４８の底部近傍に到達する長さを有している。
【００３６】
不定形液体容器８内の液体４９を外部に供給するには、コック７０を開けてから吸出し用ポンプ２０を駆動する。これにより、例えば図１に示した実施形態に示されるように液体４９が管路１４内に送り出される。
【００３７】
図５を参照すると、本発明第２実施形態の液体供給装置６Ａの斜視図が示されている。図６は図５のＶＩ−ＶＩ線断面図である。図５に示すように、不定形液体容器８が枠体７Ａ内に固定される際は、注出口５０の首部５２が案内溝６２の所定の位置で固定される。
【００３８】
枠体７Ａの底板５６Ａは、案内溝６２の所定の位置の直下に開口５７を有している。図６に示すように、底板５６Ａは角度θ傾斜して取り付けられている。これにより、不定形液体容器８内の液体４９は、底板５６Ａの開口５７内に落ち込んだ袋部４８ａ内に底板５６Ａの傾斜取付によって溜まり易くなっている。
【００３９】
送出用パイプ６８の下端は開口５７内に落ち込んだ袋部４８ａ内に到達する長さに形成されている。底板５６Ａに開口５７を形成するのに替えて、厚い底板を採用して底板に窪みを形成するようにしてもよい。
【００４０】
本実施形態によると、底板５６Ａに開口５７が形成されているため、不定形液体容器８の固定に効果がある上、液体４９が送出用パイプ６８の吸引口付近の袋部４８ａ内に溜まるような構成となっているため、容器８の変形による液体の送出残が発生しない。
【００４１】
また、図１に示すように液体供給装置６を重量測定器３８上に載置すると、不定形液体容器８内の液体の残量を常に正確に把握することが可能であり、容器の大きさや材質の変更があっても、容易に対応することができる。
【符号の説明】
【００４２】
２ 混合液供給装置
４ 研磨装置
６ 液体供給装置
７ 枠体
８ 不定形液体容器
９ 研磨剤原液
１０ 希釈タンク
１２ 供給タンク
１８ 混合液（スラリー）
２０ 吸い上げポンプ
３８，４０ 重量測定器
４８ 袋部
４９ 液体
５０ 注出口
５２ 首部
５４ 環状フランジ
５６ 底板
５７ 開口
６０ 天井板
６２ 案内溝
６６ 液体供給手段
６８ 送出用パイプ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、柔軟なフィルム状の袋部内の液体を外部へ供給する液体供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
飲料水や工業用の薬液等の液体を保存したり搬送したりするために、缶や瓶、硬質の樹脂製ボトル等の様々な定形型容器が使用されている（例えば、特開２００５−３３５７１３号公報及び特開２００７−２０４１２０号公報参照）。
【０００３】
近年では、空となった容器の容易な廃棄や、容器自体の軽量化のため、定形型容器にかわって柔軟なフィルム状の袋状容器が広い用途で使用され始めている。こうした柔軟な袋状容器は、使用後折りたたんで収納可能であったり、容器自体の重さが非常に軽いため、輸送コストの大幅削減等の大きな効果が期待されている。また、こうした柔軟な袋状容器等の不定形な液体容器の中に保存された液体、例えば飲料水や工業用の薬液等を外部に送出する液体供給装置も開発されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３３５７１３号公報
【特許文献２】特開２００７−２０４１２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、不定形な液体容器を用いた液体供給装置の場合、容器自体の形状が不定形であるという特徴から定型容器とは違った工夫が必要となる。例えば、容器の固定方法の工夫、内部の液体を残らず注出する方法の工夫、内部の液体の残量を正確に把握する工夫等が必要である。
【０００６】
容器自体が不定形であるため、容器の固定は何らかの枠体内に載置するか、又は箱の中に収めた後箱ごと装置内部に載置する必要があるが、内容物が液体であるためその重量は重い場合が多く、上方から箱内に収めるのは容易ではない。
【０００７】
更に、容器が不定形であるため、残量無く液体を注出するには袋の外部から圧力等をかけて搾り出したり、容器の底近くに注出口を設ける等の工夫が必要であるが、圧力手段が必要であったり、注出口が低くなり使いにくいといった課題が残る。また、定形型の容器であれば、液面の高さを見れば即座に残量が把握可能であるが、容器の形状が変化してしまえば液面高さによる残量把握は正確とは言えない。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、単純な構成で容易に容器の載置が可能であり、内部の液体を残らず送出可能で且つ残量の把握が可能な不定形液体容器内の液体を送出する液体供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によると、柔軟なフィルム状部材からなる袋部と、該袋部の口に装着された筒状の首部と該首部の上端外周から外側へ張り出す環状フランジとを備えた注出口と、を有する不定形液体容器内の液体を送出する液体供給装置であって、底部と、該底部から立設された側部と、該側部に支持され該側部から中央に向かって形成された該環状フランジの外径より小さく該首部の直径より大きい幅の案内溝を有する天井部とを含む枠体と、該注出口から該袋部内に挿入される送出用パイプと、該送出用パイプの途中に介装された吸い上げポンプとを含む液体供給手段とを具備し、該注出口の該環状フランジを該天井部より上方にして該首部を該案内溝に挿入しつつ該袋部を該枠体内に収容すると、該袋部内の液体の重量で該案内溝に該環状フランジが係合し該袋部が該枠体内に垂下して固定され、該送出用パイプは該枠体内に垂下した該袋部の底部近傍に到達する長さを有していることを特徴とする液体供給装置が提供される。
【００１０】
好ましくは、前記枠体内に前記不定形液体容器が固定される際は、前記注出口の前記首部が前記案内溝の所定の位置に固定され、該枠体の該底部を構成する底板は、該案内溝の前記所定の位置の直下に窪み部若しくは開口部を有し、該窪み部若しくは該開口部周囲の該底板の少なくとも一部は該窪み部若しくは該開口部に向かって下方に傾斜して形成されており、該不定形液体容器内の液体が該傾斜によって該窪み部内若しくは該開口部内に落ち込んだ袋部に溜まり易くなっている。
【００１１】
好ましくは、枠体は重量測定器上に配設されており、これにより不定形液体容器内の残量を容易に把握することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の液体供給装置によると、枠体に側方から不定形液体容器を挿入するので、不必要に重い容器を持ち上げる必要がない。更に注出口が上方にあるので、注出口にパイプを挿入するのも容易である。パイプが不定形容器の底部にまで届く長さを有しているため、内部の液体を残量無く送出できる。
【００１３】
底部に窪み若しくは開口部が形成されている実施形態においては、不定形液体容器の固定に効果がある上、液体がパイプの吸込口付近に溜まるような構成となっているため、容器の変形による液体の送出残が発生しないという効果を奏する。更に、枠体が重量測定器上に載置されているため、液体の残量を常に正確に把握することが可能であり、容器の大きさや材質の変更があっても、容易に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の液体供給装置が適用可能な混合液供給装置の全体構成図である。
【図２】不定形液体容器の一例を示す斜視図である。
【図３】本発明第１実施形態に係る液体供給装置の分解斜視図である。
【図４】液体供給装置内に不定形液体容器を装着した状態の斜視図である。
【図５】本発明第２実施形態に係る液体供給装置に不定形液体容器を装着した状態の斜視図である。
【図６】図５のＶＩ―ＶＩ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明の液体供給装置を採用した混合液供給装置の全体構成図が示されている。符号２で示された混合液供給装置は、研磨装置４に液体と研磨剤が混合された混合液（スラリー）を供給する。後で詳細に説明する液体供給装置６内には、純水等の液体とシリカ等の研磨剤が混合された濃度の高い研磨剤原液９が収容された不定形液体容器８が収容されている。
【００１６】
１０は希釈タンクであり、不定形液体容器８内の濃度の高い研磨剤原液９が管路（研磨剤原液供給路）１４を介して希釈タンク１０内に供給されるとともに、液体供給路１６を介して純水等の液体が希釈タンク１０内に供給され、研磨剤原液９が液体により希釈され、希釈タンク１０は濃度が希釈されたスラリー（混合液）１８を収容する。
【００１７】
希釈タンク１０内には図示しない攪拌装置が設置されており、この攪拌装置で研磨剤源液９と液体供給路１６を介して送られた液体とを攪拌して、濃度が希釈された一様濃度のスラリー１８とする。２０は吸い上げポンプであり、管路１４には開閉弁２２が挿入されている。一方、液体供給路１６には流量調整弁２４が挿入されている。
【００１８】
希釈タンク１０からは管路（第１混合液供給路）２６を介して希釈された混合液（スラリー）１８が供給タンク１２に供給され、供給タンク１２は濃度の希釈された混合液１８を収容する。管路２６にはポンプ２８及び開閉弁３０が挿入されている。
【００１９】
供給タンク１２からは管路（第２混合液供給路）３２を介して濃度の希釈された混合液（スラリー）１８が研磨装置４に供給され、研磨装置４で半導体ウエーハ等の板状物の研磨が実施される。管路３２にはポンプ３４及び開閉弁３６が挿入されている。
【００２０】
液体供給装置６は重量測定器３８上に搭載されている。同様に、希釈タンク１８も重量測定器４０上に搭載されている。重量測定器３８，４０は制御手段（コントローラ）４２に接続されている。
【００２１】
制御手段４２のメモリには予め液体供給装置６の重量と不定形液体容器８本体の重量の和が記憶されており、制御手段４２では重量測定器３８で測定した液体供給装置６と研磨剤原液９を含む不定形液体容器８の総重量から液体供給装置６と不定形液体容器８本体の重量を減算することにより、研磨剤原液９の正確な残量を算出することができ、この研磨剤原液の残量は液晶ディスプレイ等の残量表示手段４４に表示される。
【００２２】
供給タンク１２には、複数の液面センサ４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄが設置されている。液面センサ４６ａ〜４６ｄは制御手段４２に接続されており、供給タンク１２内の混合液（スラリー）１８の液面が液面センサ４６ｃと４６ｄの間に来た場合に、制御手段４２で開閉弁３０を開くとともにポンプ２８を駆動して、希釈タンク１０内の混合液（スラリー）１８を供給タンク１２内に供給する。
【００２３】
ポンプ２０，２８，３４は制御手段４２に接続されており、制御手段４２によりその駆動が制御される。流量調整弁２４も制御手段４２に接続されており、流量調整弁２４で純水等の液体の供給量を調整して、研磨剤原液９を所望の濃度の混合液（スラリー）１８に調整する。
【００２４】
希釈タンク１０内の混合液（スラリー）１８の残量は、重量測定器４０上に希釈タンク１０を搭載することにより、不定形液体容器８内の研磨剤原液の残量と同様な方法により、制御手段４２で容易に算出することができる。
【００２５】
希釈タンク１０内の混合液（スラリー）１８の濃度調整は、ポンプ２０の駆動時間及び流量調整弁２４を介して供給される液体の量を制御するとともに、更に希釈タンク１０内の混合液（スラリー）１８の残量に基づいて、所望の濃度に調整することができる。
【００２６】
特に図示しないが、研磨剤原液供給路１４及び液体供給路１６中に流量計を設けて、希釈タンク１０内に供給される研磨剤原液９及び液体供給源１５から供給される純水等の液体の量を正確に測定することにより、希釈タンク１０内の混合液（スラリー）１８の濃度をより正確に調整することができる。
【００２７】
以上の説明は、本発明の液体供給装置６を混合液供給装置２の研磨剤原液の供給に適用した例についての説明であるが、以下図２乃至図６を参照して、液体供給装置６の詳細な構造について説明する。
【００２８】
図２を参照すると、不定形液体容器８の一例の斜視図が示されている。不定形液体容器８は、柔軟なフィルム状部材からなる袋部４８と、袋部４８の口に装着された筒状の首部５２と該首部５２の上端外周から外側へ張り出す環状フランジ５４とを備えた注出口５０とを有している。袋部４８内には、上述した研磨剤原液、飲料水、工業用の薬液等の液体４９が収容されている。
【００２９】
図３を参照すると、本発明第１実施形態の液体供給装置６の分解斜視図が示されている。液体供給装置６は、底板５６と、底板５６に立設された４本の柱５８と、柱５８で支持された天井板６０とを有する枠体７を含んでいる。
【００３０】
天井板６０には、天井板６０の側部から中央に向かって伸長する図２に示した不定形液体容器８の環状フランジ５４の外径より小さく首部５２の直径より大きい幅の案内溝６２が形成されている。天井板６０の側部には切欠き６５を有するブラケット６４が突設されている。
【００３１】
６６は液体供給手段であり、図２に示した不定形液体容器８の注出口５０から袋部４８内に挿入される送出用パイプ６８と、送出用パイプ６８の途中に介装された吸い上げポンプ２０とから構成される。
【００３２】
送出用パイプ６８の出口部近傍にはコック（栓）７０が装着されている。液体供給手段６６は、その不使用時には、送出用パイプ６８が矢印Ａで示すように枠体７のブラケット６４の切欠き６５内に収容されて、ブラケット６４で支持されている。
【００３３】
図２に示した不定形液体容器８を液体供給装置６内に収容するには、注出口５０の環状フランジ５４を液体供給装置６の天井板６０より上方にして、図４に示すように首部５２を案内溝６２中に挿入する。
【００３４】
これにより、不定形液体容器８の袋部４８が枠体７内に収容され、袋部４８内の液体４９の重量で案内溝６２に環状フランジ５４が係合し、袋部４８が枠体７内に垂下して不定形液体容器８が固定される。
【００３５】
ブラケット６４に支持されている液体供給手段６６をブラケット６４から取り外して、送出用パイプ６８を注出口５０から不定形液体容器８内に挿入し、環状フランジ５４で吸い上げポンプ２０を支持する。この状態が図４に示されており、送出用パイプ６８は枠体７内に垂下した袋部４８の底部近傍に到達する長さを有している。
【００３６】
不定形液体容器８内の液体４９を外部に供給するには、コック７０を開けてから吸出し用ポンプ２０を駆動する。これにより、例えば図１に示した実施形態に示されるように液体４９が管路１４内に送り出される。
【００３７】
図５を参照すると、本発明第２実施形態の液体供給装置６Ａの斜視図が示されている。図６は図５のＶＩ−ＶＩ線断面図である。図５に示すように、不定形液体容器８が枠体７Ａ内に固定される際は、注出口５０の首部５２が案内溝６２の所定の位置で固定される。
【００３８】
枠体７Ａの底板５６Ａは、案内溝６２の所定の位置の直下に開口５７を有している。図６に示すように、底板５６Ａは角度θ傾斜して取り付けられている。これにより、不定形液体容器８内の液体４９は、底板５６Ａの開口５７内に落ち込んだ袋部４８ａ内に底板５６Ａの傾斜取付によって溜まり易くなっている。
【００３９】
送出用パイプ６８の下端は開口５７内に落ち込んだ袋部４８ａ内に到達する長さに形成されている。底板５６Ａに開口５７を形成するのに替えて、厚い底板を採用して底板に窪みを形成するようにしてもよい。
【００４０】
本実施形態によると、底板５６Ａに開口５７が形成されているため、不定形液体容器８の固定に効果がある上、液体４９が送出用パイプ６８の吸引口付近の袋部４８ａ内に溜まるような構成となっているため、容器８の変形による液体の送出残が発生しない。
【００４１】
また、図１に示すように液体供給装置６を重量測定器３８上に載置すると、不定形液体容器８内の液体の残量を常に正確に把握することが可能であり、容器の大きさや材質の変更があっても、容易に対応することができる。
【符号の説明】
【００４２】
２ 混合液供給装置
４ 研磨装置
６ 液体供給装置
７ 枠体
８ 不定形液体容器
９ 研磨剤原液
１０ 希釈タンク
１２ 供給タンク
１８ 混合液（スラリー）
２０ 吸い上げポンプ
３８，４０ 重量測定器
４８ 袋部
４９ 液体
５０ 注出口
５２ 首部
５４ 環状フランジ
５６ 底板
５７ 開口
６０ 天井板
６２ 案内溝
６６ 液体供給手段
６８ 送出用パイプ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
柔軟なフィルム状部材からなる袋部と、該袋部の口に装着された筒状の首部と該首部の上端外周から外側へ張り出す環状フランジとを備えた注出口と、を有する不定形液体容器内の液体を送出する液体供給装置であって、
底部と、該底部から立設された側部と、該側部に支持され該側部から中央に向かって形成された該環状フランジの外径より小さく該首部の直径より大きい幅の案内溝を有する天井部とを含む枠体と、
該注出口から該袋部内に挿入される送出用パイプと、該送出用パイプの途中に介装された吸い上げポンプとを含む液体供給手段とを具備し、
該注出口の該環状フランジを該天井部より上方にして該首部を該案内溝に挿入しつつ該袋部を該枠体内に収容すると、該袋部内の液体の重量で該案内溝に該環状フランジが係合し該袋部が該枠体内に垂下して固定され、
該送出用パイプは該枠体内に垂下した該袋部の底部近傍に到達する長さを有していることを特徴とする液体供給装置。
【請求項２】
前記枠体内に前記不定形液体容器が固定される際は、前記注出口の前記首部が前記案内溝の所定の位置に固定され、
該枠体の該底部を構成する底板は、該案内溝の前記所定の位置の直下に窪み部若しくは開口部を有し、該窪み部若しくは該開口部周囲の該底板の少なくとも一部は該窪み部若しくは該開口部に向かって下方に傾斜して形成されており、
該不定形液体容器内の液体が該傾斜によって該窪み部内若しくは該開口部内に落ち込んだ袋部に溜まり易くなっていることを特徴とする請求項１記載の液体供給装置。
【請求項３】
前記枠体が重量測定器上に配設されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体供給装置。
【請求項１】
柔軟なフィルム状部材からなる袋部と、該袋部の口に装着された筒状の首部と該首部の上端外周から外側へ張り出す環状フランジとを備えた注出口と、を有する不定形液体容器内の液体を送出する液体供給装置であって、
底部と、該底部から立設された側部と、該側部に支持され該側部から中央に向かって形成された該環状フランジの外径より小さく該首部の直径より大きい幅の案内溝を有する天井部とを含む枠体と、
該注出口から該袋部内に挿入される送出用パイプと、該送出用パイプの途中に介装された吸い上げポンプとを含む液体供給手段とを具備し、
該注出口の該環状フランジを該天井部より上方にして該首部を該案内溝に挿入しつつ該袋部を該枠体内に収容すると、該袋部内の液体の重量で該案内溝に該環状フランジが係合し該袋部が該枠体内に垂下して固定され、
該送出用パイプは該枠体内に垂下した該袋部の底部近傍に到達する長さを有していることを特徴とする液体供給装置。
【請求項２】
前記枠体内に前記不定形液体容器が固定される際は、前記注出口の前記首部が前記案内溝の所定の位置に固定され、
該枠体の該底部を構成する底板は、該案内溝の前記所定の位置の直下に窪み部若しくは開口部を有し、該窪み部若しくは該開口部周囲の該底板の少なくとも一部は該窪み部若しくは該開口部に向かって下方に傾斜して形成されており、
該不定形液体容器内の液体が該傾斜によって該窪み部内若しくは該開口部内に落ち込んだ袋部に溜まり易くなっていることを特徴とする請求項１記載の液体供給装置。
【請求項３】
前記枠体が重量測定器上に配設されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体供給装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１１−１８４０４８（Ｐ２０１１−１８４０４８Ａ）
【公開日】平成２３年９月２２日（２０１１．９．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−４８００５（Ｐ２０１０−４８００５）
【出願日】平成２２年３月４日（２０１０．３．４）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年９月２２日（２０１１．９．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月４日（２０１０．３．４）
【出願人】（０００１３４０５１）株式会社ディスコ (2,397)
【Ｆターム（参考）】
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