物質またはエネルギー移動カートリッジおよびモジュール
マニホルドと、カートリッジと、カートリッジを収納するボウルとを含む、物質移動またはエネルギー移動モジュールが提供される。カートリッジおよびボウルは、ボウルのスロットに嵌合する少なくとも2つのフランジに互いに連結されて、単体構造を形成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本出願は、2002年3月28日に出願された仮出願第60/368279号から次に導き出された2002年12月20日に出願された仮出願第60/435650号から次に導き出された2003年2月11日に出願されたPCT出願番号PCT/US03/04165号から導き出される。
【0002】
本発明は、衛生的で交換および設置が簡単な物質またはエネルギー移動モジュールに関する。より詳細には、本発明は、物質移動またはエネルギー移動カートリッジと、再使用可能なボウルと、再使用可能なマニホルドと、物質移動またはエネルギー移動カートリッジと再使用可能なボウルとマニホルドとを一緒に連結する再使用可能な連結装置とから形成される、物質移動またはエネルギー移動モジュールに関する。
【背景技術】
【0003】
様々なモジュールが2つの流体の間で物質移動またはエネルギー移動をもたらすために使用される。代表的なモジュールは、一方の流体が気体を含む液体からなり他方の流体が準大気圧の気体である2つの流体が気体透過膜によって分離されている脱ガス装置を含む。別のそのようなモジュールは、1つの流体が超大気圧の気体であり第2の流体が気体がその中に溶解できる液体であり、その2つの流体が気体透過膜によって分離されているガス化装置である。第3のモジュールは、熱い流体および冷たい流体が非透過性の熱伝導材料によって分離されている熱交換器である。物質移動またはエネルギー移動モジュールはマニホルドと、1つの流体を収納するボウルと、第2流体を収納するカートリッジとを含んでもよい。したがって、物質移動またはエネルギー移動モジュールを構成するとき、カートリッジおよびボウルはマニホルドヘッドに別々に固定されかつそれに密封される。さらに、物質移動またはエネルギー移動が完了すると、ボウルおよびカートリッジはヘッドから別々に取り外される。この別々の取外しは、ボウルがカートリッジの全長よりも実質的に大きな距離移動され、それによって、カートリッジを露出させてその取外しを可能にすることを必要とする。その後で、露出されたカートリッジが手によってまたは手工具によって取り外される。ボウルはカートリッジの長さ移動されなければならないので、ボウルおよびカートリッジが内部に配置されるスペースはこの取外しのステップに対応しなければならない。
【0004】
マニホルドから単一ユニットとして分解され得るフィルター式カートリッジボウル構造を作り出すためにボウルと協働するフィルター式アセンブリを提供することが米国特許第5114572号明細書で提案された。このフィルター式アセンブリは、2つの流体間の物質移動またはエネルギー移動用には使用されない。それは流体をフィルタリングするために使用される。フィルター式カートリッジは、ボウルの内部面内の溝に嵌合するカートリッジ上のバヨネット連結によってボウルに連結される。バヨネット連結は、単一ユニットとして成形されることなどによってカートリッジと一体型で形成される。カートリッジがそのように構成されるとき、それは、バヨネットを受けるように構成されたボウルとだけ使用されることができる。そのように構成されたカートリッジが、このカートリッジを受け入れないように構成された現在作られているボウルと共に使用されることを妨げるので、これは望ましくない。したがって、そのように構成されたカートリッジ用の市場を大幅に狭くする。さらに、バヨネット連結はカートリッジの上面の下に配置され、したがってそれらは、これもまたカートリッジの上面の下に配置されたボウル内の溝に嵌合する。バヨネットがそのように配置されるとき、視界が限られるので、溝の中での位置決めがより難しくなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
したがって、様々な構成の複数のボウルでその使用を可能にする物質移動またはエネルギー移動媒体あるいはカートリッジを提供することが望ましいであろう。さらに、2つの流体を使用した物質移動またはエネルギー移動の間、カートリッジに対して移動ができない手段を備えた、カートリッジとボウルとの間の連結手段を含むそのようなカートリッジを提供することが望ましいであろう。さらに、はっきりと見ることができ、したがってボウルへのカートリッジの連結がたやすくされる連結手段をもつそのようなカートリッジを提供することが望ましいであろう。そのようなカートリッジは、ボウル内へのフィルター式カートリッジの挿入をさらに容易にし、物質移動またはエネルギー移動モジュールを設置するのに必要なスペースを低減させるであろう。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明によれば、マニホルドと、物質移動またはエネルギー移動カートリッジとボウルの組合せとを含み、カートリッジおよびボウルが共にロック固定されて設置され、かつマニホルドから1つの部品として取り外される物質移動またはエネルギー移動モジュールが提供される。カートリッジは、両端をエンドキャップで密封された物質移動またはエネルギー移動媒体を含む。エンドキャップの1つは、少なくとも2つのフランジと、マニホルドとカートリッジの内部との間の流体連通用の流体通路とを含む。フランジはエンドキャップから、物質移動またはエネルギー移動媒体の外側の垂直面を越えて外向きに延びる。フランジはボウル内のスロットに嵌合し、それによってカートリッジのボウルへの連結をもたらすように設計される。カートリッジをボウルに固定する、エンドキャップ上のフランジは、カートリッジおよびボウルをマニホルドから1つの部品として取り外されることを可能にする。エンドキャップは任意の構造のカートリッジの端部に結合されることができ、したがってカートリッジはボウルに固定されることができる。本発明の別の態様では、エンドキャップのフランジを収容する少なくとも2つのスロットを備えるカラーをもつボウルが提供される。ボウルおよびカラーは単体構造でよく、または、ねじ山などで結合されることができる2つの別々の部品から形成されてもよい。
【0007】
本発明は、物質移動またはエネルギー移動カートリッジ、ならびにマニホルドと物質移動またはエネルギー移動カートリッジとボウルとから形成される物質移動またはエネルギー移動モジュールを提供する。マニホルドは、カートリッジへの第1流体の供給、カートリッジからの任意選択の第1流体の除去、ならびに第2流体の供給およびボウルからの第2流体の除去のための流体通路を提供する。カートリッジまたはボウルからの流体の除去は、マニホルドを通して行われる。カートリッジの外側からあるいはカートリッジの内部から、流体の供給はマニホルドを通してカートリッジの中に導入されることができる。とにかく、カートリッジを通した物質またはエネルギーの通過なしに、第1流体および第2流体の混合を妨げるために密封が提供される。
【0008】
物質移動またはエネルギー移動カートリッジおよびボウルは、それらがマニホルドで密封されまたはマニホルドとの接触面から1つの部品として取り外されるように構成される。カートリッジは2つのエンドキャップで密封され、少なくともそのうちの1つは流体通路を備えている。エンドキャップの1つは、流体通路と、そのエンドキャップと一体に形成された少なくとも2つのフランジとをもつ。流体通路はカートリッジの入口または出口として機能し得る。フランジはボウルの上部部分にカートリッジをロック固定するように構成される。フランジは物質移動またはエネルギー移動媒体の上に配置されるので、カートリッジを、ボウルの本体より大きい直径をもつボウルの上部部分に固定することができ、フランジによる流体の遮蔽は、フランジがカートリッジとボウルの本体の間に配置されるときよりも小さい。カートリッジの使用に続いて、ボウルおよびカートリッジは、2つの部品ではなく、単体の部品としてマニホルドから取り外される。ボウルおよびカートリッジが一緒に取り外されるので、カートリッジをマニホルドから別のステップで取り外す必要はない。したがって、マニホルドから物質移動またはエネルギー移動カートリッジを取り外すために、カートリッジの長さとボウルの長さの和に実質的に等しいスペースを提供する必要はない。実質的にボウルの長さと同じだけの長さのスペースのみを提供する必要はない。これは、現在の物質移動またはエネルギー移動モジュールで必要なスペースと比べて、本発明の物質移動またはエネルギー移動を、より小さいスペースの内部に設置することを可能にする。さらに、カートリッジがボウルと共に取り外されるので、それは作業者によって、手または手工具で取り扱われる必要がない。これはボウルの内部で作業者と流体が接触する可能性を大幅に少なくする。ボウルは、取外しの前に流体を除去するためのドレインを任意選択で含んでもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【0009】
図1を参照すると、物質移動モジュール10はマニホルド12と、入口9を有するボウル14と、物質移動カートリッジ16とを備える。物質移動カートリッジ16は気体透過性のプリーツ膜などの膜でよい。そのような物質移動カートリッジは、液体用の脱ガス装置または液体中に気体の溶解をもたらす気体接触器として使用されることができる。適切な膜が、本明細書に参照により組み込まれている米国特許第4990294号明細書に開示されているように(四フッ化エチレンパーフルオロ(アルキルビニルエーテル))共重合体(PFA)または(四フッ化エチレン六フッ化プロピレン)共重合体(FEP)から形成される。そのような膜は、液体から溶解した気体を取り除く、「脱ガス」、または液体に気体物質を加えるのに有用である。例えば、オゾンが半導体ウェーハの洗浄に使用される非常に純度の高い水に加えられる。ねじ山を切ったリング18がボウル14の外面20上に配置され、ボウル14およびリップ24の円周の周りに延びるビード22によってその上に維持される。ビード22の大きさおよび柔軟性を調整することによって、リング18は、リング18を配置するためにビード18の上に滑り込ませることができ、またはリング18が、図示したように配置された後で、ビード22はボウル14上に形成されることができる。
【0010】
リング18は、ボウル14に対して所定位置に実質的に固定され、すなわち、それは、ボウル14の長さに沿って任意の実質的な距離を移動することができない。そのねじ山26および28が引きつけられるとき、リング18はマニホルド12との積極的な接触へとカートリッジ16を導き、またはそれを駆動し、Oリング11および13によって密封をもたらす。反対に、リング18が、ねじ26および28が離れて駆動するように回転されるとき、カートリッジ16は、マニホルド12から離れるように積極的に導かれまたは駆動される。当接するマニホルド12へのボウル14の密封は、Oリング11および13によってもたらされる。ボウルは、ボウル14を回転させることなく、マニホルド12と垂直に接触させられる。
【0011】
カートリッジ16は、カラー34内のスロット32と噛み合う、エンドキャップ30上のフランジ15によってボウル14に連結される。カラー34は、ねじ36によってボウル14にねじ込まれる。カラー34は、ボウル14の内側円周全体の周りに延びる。あるいは、ボウルおよびカラーは、成形などによってボウル14およびカラー34の形状で1つの部品で形成してもよい。流体通路42を含むエンドキャップ30は、Oリング11および13によってマニホルド12に差し込まれる。フランジ15はエンドキャップ30の円周全体の周りに延びていないので、流体はエンドキャップ30をバイパスして、マニホルド12へまたはそれから流れることができる。モジュール10が脱ガス装置として使用されるとき、真空が入口44のところで引かれ、脱ガスされるべき液体は入口9を通って導入され通路8および出口46を通って取り出される。モジュール10が液体に気体を導入するために使用されるとき、超大気圧の気体が入口44を入り、液体が入口9を入り出口46を通って取り出される。カラー34の構造は、図3に関連して、より完全に説明されるであろう。
【0012】
図2を参照すると、モジュール17はマニホルド19と、カートリッジ21と、ボウル25とを含む。カートリッジ21は、フランジ27によって、ボウル25上のカラー32で、ボウル25に連結される。通路33は入口35に連結される。通路33は、ステンレス鋼などの非多孔性の熱伝導材料または化学的に融和性の重合体から作られた複数の中空繊維37の管腔に連結される。第1流体は、入口35を通って中空繊維37中に、それからカートリッジ21から出て、出口39を通って導かれることができる。第2流体は、入口41を通って中空繊維37の外面の上に、それから出口43を通って導かれることができる。図2のモジュール17は2つの流体の間の熱交換をもたらすために使用されることができる。ねじ26およびリップ24は、上で図1のために説明したのと同じ方法で回転可能リング(図1)と相互作用するために機能する。任意選択の気体通気孔44が設けられてもよい。
【0013】
図3を参照すると、カラー34は2つのカットアウト41と2つの垂直な延長部43とを含む。各垂直な延長部43は、スロット32(1つは図示せず)を含む。スロット32はフランジ15(図1)と嵌合しそれを収納する。スロット32によって定められる角度は、エンドキャップ30およびカラー34を作るために使用された材料の柔軟性によって決まる。スロット32は、エンドキャップ30およびカラー34が、パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)(PFA)などの比較的軟質の重合体から作られる場合、少なくとも約15度、好ましくは約30度と約45度の間の角度を定める。エンドキャップ30およびカラー34が、ポリプロピレンなどの比較的硬質の重合体材料から作られる場合、これらの角度はPFAに対する角度の約半分でよい。これらの例示的材料に関するこの角度の大きさは、モジュール10の使用の間、エンドキャップ30がカラー34から分離しないように、フランジ15とスロット32の間に望ましい接触面を提供する。カラー34は、フランジ15の外面上の任意選択の垂直な延長部と嵌合しそれを収納する移動止め45を場合によって含む。カラー34は、カラー34とマニホルド12との間の流体の排流を可能にする任意選択の垂直なスロット17も含む。
【0014】
図2の実施形態は、フランジ15をカットアウト41に位置合わせすることによって図3のカラー内に挿入される。それからエンドキャップ30およびフィルター式カートリッジ16は回転させられ、したがってフランジ15がスロット32に嵌合し、それによってカートリッジ16をカラー34に固定する。
【0015】
図4を参照すると、本発明のボウルおよびカラーの構造が示される。カラー34はボウル14にねじ込まれる。あるいは、カラー34およびボウル14は1つの部品として成形されてもよい。ボウル14は締付リング18(図1)を支持する複数のストップ50を含む。ボウル14は開閉可能な入口17を含む。
【0016】
本発明で使用されるエンドキャップは2つの対向するフランジに関して説明されてきたが、エンドキャップは2つより多いフランジを備えてもよいことが理解されるべきである。少なくとも2つのフランジが、ボウルに対するカートリッジの軸の位置合わせを維持するために必要である。フランジ15によって定められる方向付けおよび角度は、カラー34のスロット32中にフランジを挿入することを可能にするようなものである。
【0017】
本発明の1つの態様では、フランジをもつエンドキャップは、ボウルの内部でそれが取り付けられるフィルター式カートリッジを中心に置くために、ボウルに取り付けられたカラーの内面構造と噛み合う外面構造を備えている。ボウルの内部でカートリッジを中心に置くことは、フランジがカラーに回転挿入されるとき、フランジとカラーとの滑らかな噛合せを可能にする。フランジの外面構造は小さな溝を含んでもよい。フランジの外面構造は本発明に必須ではないが、それがない場合、フランジがカラーの内部で横から横へ滑り、それによってフランジおよびカラーを係合する困難が増加する。
【0018】
図5および6を参照すると、エンドキャップ70は、カラー80の面78と噛み合う、レッグ74および76上に溝72を含む。図8および9はボス82を含むが、それらは溝72の機能に必要ではない。ボス82の目的は、以下に説明される。
【0019】
図7、8および9を参照すると、カラー84は、エンドキャップ90がカラー84内の所定位置に回転挿入されるとき、ボス82がそれに嵌合する2つの対向するスロット86および88を含む。互いから離れるようなスロットの拡大が、カラー84の内面とボス82を接触させることによってもたらされる。ボス82の外面間の距離は、カラー84の対向する内面間の距離より幾分大きい。スロット86および88はカラー88の厚さによって延びる。スロット86および88はエンドキャップ90上のボス82と噛み合い、したがってカラー84とエンドキャップ90との間の改良された嵌合を提供する。ボス82が開いたスロット86および88に嵌合するまで、エンドキャップ90が所定位置に回転挿入されるとき、ボスは、カラー84上の噛合いスロット86および88を外向きに拡大させるように構成される。嵌合の時点で、スロット86および88は互いに向かって収縮し、したがってボス82と重なり合い、それによってエンドキャップ90が、使用中にカラー84から外れることをより困難にする。
【0020】
図10を参照すると、本発明のエンドキャップ92は、Oリング96と98とを備える流体通路94を含む。エンドキャップ92はフランジ102と104とを備えるプレート100を含む。フランジ102および104は、図2に示されるように、エンドキャップが、結合などによって、フィルター式カートリッジの端部に確実に固定されることを促進するボス106および108も備えている。
【0021】
図11を参照すると、本発明の代替エンドキャップ150が示されている。エンドキャップ110は図10のエンドキャップのボスを含まない。エンドキャップ110はプレート100と、フランジ102および104と、流体通路94と、Oリング96および98とを含む。フランジ102および104は、図9によって示されるようにボウルのカラーのスロットに嵌合する。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】本発明の物質移動またはエネルギー移動モジュールの断面図である。
【図2】本発明のカートリッジトップを含む本発明の代替モジュールの断面図である。
【図3】図2のカートリッジと共に使用されるカラーの等角図である。
【図4】本発明のボウルおよびカラーを示す等角図である。
【図5】本発明の代替エンドキャップの下面斜視図である。
【図6】図7に示されたカラー上における図5のエンドキャップの位置の部分断面図である。
【図7】図5のエンドキャップを収納するスロットをもつカラーの斜視図である。
【図8】本発明の代替エンドキャップの上面斜視図である。
【図9】図7のカラーに嵌合する図8のエンドキャップの斜視図である。
【図10】本発明の1つのエンドキャップの斜視図である。
【図11】本発明の代替エンドキャップの斜視図である。
【技術分野】
【0001】
本出願は、2002年3月28日に出願された仮出願第60/368279号から次に導き出された2002年12月20日に出願された仮出願第60/435650号から次に導き出された2003年2月11日に出願されたPCT出願番号PCT/US03/04165号から導き出される。
【0002】
本発明は、衛生的で交換および設置が簡単な物質またはエネルギー移動モジュールに関する。より詳細には、本発明は、物質移動またはエネルギー移動カートリッジと、再使用可能なボウルと、再使用可能なマニホルドと、物質移動またはエネルギー移動カートリッジと再使用可能なボウルとマニホルドとを一緒に連結する再使用可能な連結装置とから形成される、物質移動またはエネルギー移動モジュールに関する。
【背景技術】
【0003】
様々なモジュールが2つの流体の間で物質移動またはエネルギー移動をもたらすために使用される。代表的なモジュールは、一方の流体が気体を含む液体からなり他方の流体が準大気圧の気体である2つの流体が気体透過膜によって分離されている脱ガス装置を含む。別のそのようなモジュールは、1つの流体が超大気圧の気体であり第2の流体が気体がその中に溶解できる液体であり、その2つの流体が気体透過膜によって分離されているガス化装置である。第3のモジュールは、熱い流体および冷たい流体が非透過性の熱伝導材料によって分離されている熱交換器である。物質移動またはエネルギー移動モジュールはマニホルドと、1つの流体を収納するボウルと、第2流体を収納するカートリッジとを含んでもよい。したがって、物質移動またはエネルギー移動モジュールを構成するとき、カートリッジおよびボウルはマニホルドヘッドに別々に固定されかつそれに密封される。さらに、物質移動またはエネルギー移動が完了すると、ボウルおよびカートリッジはヘッドから別々に取り外される。この別々の取外しは、ボウルがカートリッジの全長よりも実質的に大きな距離移動され、それによって、カートリッジを露出させてその取外しを可能にすることを必要とする。その後で、露出されたカートリッジが手によってまたは手工具によって取り外される。ボウルはカートリッジの長さ移動されなければならないので、ボウルおよびカートリッジが内部に配置されるスペースはこの取外しのステップに対応しなければならない。
【0004】
マニホルドから単一ユニットとして分解され得るフィルター式カートリッジボウル構造を作り出すためにボウルと協働するフィルター式アセンブリを提供することが米国特許第5114572号明細書で提案された。このフィルター式アセンブリは、2つの流体間の物質移動またはエネルギー移動用には使用されない。それは流体をフィルタリングするために使用される。フィルター式カートリッジは、ボウルの内部面内の溝に嵌合するカートリッジ上のバヨネット連結によってボウルに連結される。バヨネット連結は、単一ユニットとして成形されることなどによってカートリッジと一体型で形成される。カートリッジがそのように構成されるとき、それは、バヨネットを受けるように構成されたボウルとだけ使用されることができる。そのように構成されたカートリッジが、このカートリッジを受け入れないように構成された現在作られているボウルと共に使用されることを妨げるので、これは望ましくない。したがって、そのように構成されたカートリッジ用の市場を大幅に狭くする。さらに、バヨネット連結はカートリッジの上面の下に配置され、したがってそれらは、これもまたカートリッジの上面の下に配置されたボウル内の溝に嵌合する。バヨネットがそのように配置されるとき、視界が限られるので、溝の中での位置決めがより難しくなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
したがって、様々な構成の複数のボウルでその使用を可能にする物質移動またはエネルギー移動媒体あるいはカートリッジを提供することが望ましいであろう。さらに、2つの流体を使用した物質移動またはエネルギー移動の間、カートリッジに対して移動ができない手段を備えた、カートリッジとボウルとの間の連結手段を含むそのようなカートリッジを提供することが望ましいであろう。さらに、はっきりと見ることができ、したがってボウルへのカートリッジの連結がたやすくされる連結手段をもつそのようなカートリッジを提供することが望ましいであろう。そのようなカートリッジは、ボウル内へのフィルター式カートリッジの挿入をさらに容易にし、物質移動またはエネルギー移動モジュールを設置するのに必要なスペースを低減させるであろう。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明によれば、マニホルドと、物質移動またはエネルギー移動カートリッジとボウルの組合せとを含み、カートリッジおよびボウルが共にロック固定されて設置され、かつマニホルドから1つの部品として取り外される物質移動またはエネルギー移動モジュールが提供される。カートリッジは、両端をエンドキャップで密封された物質移動またはエネルギー移動媒体を含む。エンドキャップの1つは、少なくとも2つのフランジと、マニホルドとカートリッジの内部との間の流体連通用の流体通路とを含む。フランジはエンドキャップから、物質移動またはエネルギー移動媒体の外側の垂直面を越えて外向きに延びる。フランジはボウル内のスロットに嵌合し、それによってカートリッジのボウルへの連結をもたらすように設計される。カートリッジをボウルに固定する、エンドキャップ上のフランジは、カートリッジおよびボウルをマニホルドから1つの部品として取り外されることを可能にする。エンドキャップは任意の構造のカートリッジの端部に結合されることができ、したがってカートリッジはボウルに固定されることができる。本発明の別の態様では、エンドキャップのフランジを収容する少なくとも2つのスロットを備えるカラーをもつボウルが提供される。ボウルおよびカラーは単体構造でよく、または、ねじ山などで結合されることができる2つの別々の部品から形成されてもよい。
【0007】
本発明は、物質移動またはエネルギー移動カートリッジ、ならびにマニホルドと物質移動またはエネルギー移動カートリッジとボウルとから形成される物質移動またはエネルギー移動モジュールを提供する。マニホルドは、カートリッジへの第1流体の供給、カートリッジからの任意選択の第1流体の除去、ならびに第2流体の供給およびボウルからの第2流体の除去のための流体通路を提供する。カートリッジまたはボウルからの流体の除去は、マニホルドを通して行われる。カートリッジの外側からあるいはカートリッジの内部から、流体の供給はマニホルドを通してカートリッジの中に導入されることができる。とにかく、カートリッジを通した物質またはエネルギーの通過なしに、第1流体および第2流体の混合を妨げるために密封が提供される。
【0008】
物質移動またはエネルギー移動カートリッジおよびボウルは、それらがマニホルドで密封されまたはマニホルドとの接触面から1つの部品として取り外されるように構成される。カートリッジは2つのエンドキャップで密封され、少なくともそのうちの1つは流体通路を備えている。エンドキャップの1つは、流体通路と、そのエンドキャップと一体に形成された少なくとも2つのフランジとをもつ。流体通路はカートリッジの入口または出口として機能し得る。フランジはボウルの上部部分にカートリッジをロック固定するように構成される。フランジは物質移動またはエネルギー移動媒体の上に配置されるので、カートリッジを、ボウルの本体より大きい直径をもつボウルの上部部分に固定することができ、フランジによる流体の遮蔽は、フランジがカートリッジとボウルの本体の間に配置されるときよりも小さい。カートリッジの使用に続いて、ボウルおよびカートリッジは、2つの部品ではなく、単体の部品としてマニホルドから取り外される。ボウルおよびカートリッジが一緒に取り外されるので、カートリッジをマニホルドから別のステップで取り外す必要はない。したがって、マニホルドから物質移動またはエネルギー移動カートリッジを取り外すために、カートリッジの長さとボウルの長さの和に実質的に等しいスペースを提供する必要はない。実質的にボウルの長さと同じだけの長さのスペースのみを提供する必要はない。これは、現在の物質移動またはエネルギー移動モジュールで必要なスペースと比べて、本発明の物質移動またはエネルギー移動を、より小さいスペースの内部に設置することを可能にする。さらに、カートリッジがボウルと共に取り外されるので、それは作業者によって、手または手工具で取り扱われる必要がない。これはボウルの内部で作業者と流体が接触する可能性を大幅に少なくする。ボウルは、取外しの前に流体を除去するためのドレインを任意選択で含んでもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【0009】
図1を参照すると、物質移動モジュール10はマニホルド12と、入口9を有するボウル14と、物質移動カートリッジ16とを備える。物質移動カートリッジ16は気体透過性のプリーツ膜などの膜でよい。そのような物質移動カートリッジは、液体用の脱ガス装置または液体中に気体の溶解をもたらす気体接触器として使用されることができる。適切な膜が、本明細書に参照により組み込まれている米国特許第4990294号明細書に開示されているように(四フッ化エチレンパーフルオロ(アルキルビニルエーテル))共重合体(PFA)または(四フッ化エチレン六フッ化プロピレン)共重合体(FEP)から形成される。そのような膜は、液体から溶解した気体を取り除く、「脱ガス」、または液体に気体物質を加えるのに有用である。例えば、オゾンが半導体ウェーハの洗浄に使用される非常に純度の高い水に加えられる。ねじ山を切ったリング18がボウル14の外面20上に配置され、ボウル14およびリップ24の円周の周りに延びるビード22によってその上に維持される。ビード22の大きさおよび柔軟性を調整することによって、リング18は、リング18を配置するためにビード18の上に滑り込ませることができ、またはリング18が、図示したように配置された後で、ビード22はボウル14上に形成されることができる。
【0010】
リング18は、ボウル14に対して所定位置に実質的に固定され、すなわち、それは、ボウル14の長さに沿って任意の実質的な距離を移動することができない。そのねじ山26および28が引きつけられるとき、リング18はマニホルド12との積極的な接触へとカートリッジ16を導き、またはそれを駆動し、Oリング11および13によって密封をもたらす。反対に、リング18が、ねじ26および28が離れて駆動するように回転されるとき、カートリッジ16は、マニホルド12から離れるように積極的に導かれまたは駆動される。当接するマニホルド12へのボウル14の密封は、Oリング11および13によってもたらされる。ボウルは、ボウル14を回転させることなく、マニホルド12と垂直に接触させられる。
【0011】
カートリッジ16は、カラー34内のスロット32と噛み合う、エンドキャップ30上のフランジ15によってボウル14に連結される。カラー34は、ねじ36によってボウル14にねじ込まれる。カラー34は、ボウル14の内側円周全体の周りに延びる。あるいは、ボウルおよびカラーは、成形などによってボウル14およびカラー34の形状で1つの部品で形成してもよい。流体通路42を含むエンドキャップ30は、Oリング11および13によってマニホルド12に差し込まれる。フランジ15はエンドキャップ30の円周全体の周りに延びていないので、流体はエンドキャップ30をバイパスして、マニホルド12へまたはそれから流れることができる。モジュール10が脱ガス装置として使用されるとき、真空が入口44のところで引かれ、脱ガスされるべき液体は入口9を通って導入され通路8および出口46を通って取り出される。モジュール10が液体に気体を導入するために使用されるとき、超大気圧の気体が入口44を入り、液体が入口9を入り出口46を通って取り出される。カラー34の構造は、図3に関連して、より完全に説明されるであろう。
【0012】
図2を参照すると、モジュール17はマニホルド19と、カートリッジ21と、ボウル25とを含む。カートリッジ21は、フランジ27によって、ボウル25上のカラー32で、ボウル25に連結される。通路33は入口35に連結される。通路33は、ステンレス鋼などの非多孔性の熱伝導材料または化学的に融和性の重合体から作られた複数の中空繊維37の管腔に連結される。第1流体は、入口35を通って中空繊維37中に、それからカートリッジ21から出て、出口39を通って導かれることができる。第2流体は、入口41を通って中空繊維37の外面の上に、それから出口43を通って導かれることができる。図2のモジュール17は2つの流体の間の熱交換をもたらすために使用されることができる。ねじ26およびリップ24は、上で図1のために説明したのと同じ方法で回転可能リング(図1)と相互作用するために機能する。任意選択の気体通気孔44が設けられてもよい。
【0013】
図3を参照すると、カラー34は2つのカットアウト41と2つの垂直な延長部43とを含む。各垂直な延長部43は、スロット32(1つは図示せず)を含む。スロット32はフランジ15(図1)と嵌合しそれを収納する。スロット32によって定められる角度は、エンドキャップ30およびカラー34を作るために使用された材料の柔軟性によって決まる。スロット32は、エンドキャップ30およびカラー34が、パーフルオロ(アルキルビニルエーテル)(PFA)などの比較的軟質の重合体から作られる場合、少なくとも約15度、好ましくは約30度と約45度の間の角度を定める。エンドキャップ30およびカラー34が、ポリプロピレンなどの比較的硬質の重合体材料から作られる場合、これらの角度はPFAに対する角度の約半分でよい。これらの例示的材料に関するこの角度の大きさは、モジュール10の使用の間、エンドキャップ30がカラー34から分離しないように、フランジ15とスロット32の間に望ましい接触面を提供する。カラー34は、フランジ15の外面上の任意選択の垂直な延長部と嵌合しそれを収納する移動止め45を場合によって含む。カラー34は、カラー34とマニホルド12との間の流体の排流を可能にする任意選択の垂直なスロット17も含む。
【0014】
図2の実施形態は、フランジ15をカットアウト41に位置合わせすることによって図3のカラー内に挿入される。それからエンドキャップ30およびフィルター式カートリッジ16は回転させられ、したがってフランジ15がスロット32に嵌合し、それによってカートリッジ16をカラー34に固定する。
【0015】
図4を参照すると、本発明のボウルおよびカラーの構造が示される。カラー34はボウル14にねじ込まれる。あるいは、カラー34およびボウル14は1つの部品として成形されてもよい。ボウル14は締付リング18(図1)を支持する複数のストップ50を含む。ボウル14は開閉可能な入口17を含む。
【0016】
本発明で使用されるエンドキャップは2つの対向するフランジに関して説明されてきたが、エンドキャップは2つより多いフランジを備えてもよいことが理解されるべきである。少なくとも2つのフランジが、ボウルに対するカートリッジの軸の位置合わせを維持するために必要である。フランジ15によって定められる方向付けおよび角度は、カラー34のスロット32中にフランジを挿入することを可能にするようなものである。
【0017】
本発明の1つの態様では、フランジをもつエンドキャップは、ボウルの内部でそれが取り付けられるフィルター式カートリッジを中心に置くために、ボウルに取り付けられたカラーの内面構造と噛み合う外面構造を備えている。ボウルの内部でカートリッジを中心に置くことは、フランジがカラーに回転挿入されるとき、フランジとカラーとの滑らかな噛合せを可能にする。フランジの外面構造は小さな溝を含んでもよい。フランジの外面構造は本発明に必須ではないが、それがない場合、フランジがカラーの内部で横から横へ滑り、それによってフランジおよびカラーを係合する困難が増加する。
【0018】
図5および6を参照すると、エンドキャップ70は、カラー80の面78と噛み合う、レッグ74および76上に溝72を含む。図8および9はボス82を含むが、それらは溝72の機能に必要ではない。ボス82の目的は、以下に説明される。
【0019】
図7、8および9を参照すると、カラー84は、エンドキャップ90がカラー84内の所定位置に回転挿入されるとき、ボス82がそれに嵌合する2つの対向するスロット86および88を含む。互いから離れるようなスロットの拡大が、カラー84の内面とボス82を接触させることによってもたらされる。ボス82の外面間の距離は、カラー84の対向する内面間の距離より幾分大きい。スロット86および88はカラー88の厚さによって延びる。スロット86および88はエンドキャップ90上のボス82と噛み合い、したがってカラー84とエンドキャップ90との間の改良された嵌合を提供する。ボス82が開いたスロット86および88に嵌合するまで、エンドキャップ90が所定位置に回転挿入されるとき、ボスは、カラー84上の噛合いスロット86および88を外向きに拡大させるように構成される。嵌合の時点で、スロット86および88は互いに向かって収縮し、したがってボス82と重なり合い、それによってエンドキャップ90が、使用中にカラー84から外れることをより困難にする。
【0020】
図10を参照すると、本発明のエンドキャップ92は、Oリング96と98とを備える流体通路94を含む。エンドキャップ92はフランジ102と104とを備えるプレート100を含む。フランジ102および104は、図2に示されるように、エンドキャップが、結合などによって、フィルター式カートリッジの端部に確実に固定されることを促進するボス106および108も備えている。
【0021】
図11を参照すると、本発明の代替エンドキャップ150が示されている。エンドキャップ110は図10のエンドキャップのボスを含まない。エンドキャップ110はプレート100と、フランジ102および104と、流体通路94と、Oリング96および98とを含む。フランジ102および104は、図9によって示されるようにボウルのカラーのスロットに嵌合する。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】本発明の物質移動またはエネルギー移動モジュールの断面図である。
【図2】本発明のカートリッジトップを含む本発明の代替モジュールの断面図である。
【図3】図2のカートリッジと共に使用されるカラーの等角図である。
【図4】本発明のボウルおよびカラーを示す等角図である。
【図5】本発明の代替エンドキャップの下面斜視図である。
【図6】図7に示されたカラー上における図5のエンドキャップの位置の部分断面図である。
【図7】図5のエンドキャップを収納するスロットをもつカラーの斜視図である。
【図8】本発明の代替エンドキャップの上面斜視図である。
【図9】図7のカラーに嵌合する図8のエンドキャップの斜視図である。
【図10】本発明の1つのエンドキャップの斜視図である。
【図11】本発明の代替エンドキャップの斜視図である。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
中を通って物質移動を可能にする、または第1流体から第2流体にエネルギー移動をもたらすための細長い媒体であって、第1端および第2端をもつ細長い媒体と、
前記第1端に密封された第1密封プレートと、
前記第2端に密封された、流体パッセージを備える流体通路をもつ第2密封プレートと、
前記媒体の開いた内部に流体連通をもたらすために前記第1密封プレートに密封された流体通路とを含み、
前記第1密封プレートが前記媒体の外部面を越えて延びる少なくとも2つのフランジをもつ、物質移動またはエネルギー移動カートリッジ。
【請求項2】
前記媒体がプリーツ膜である、請求項1に記載のカートリッジ。
【請求項3】
前記媒体が複数の多孔性の中空繊維膜を含む、請求項1に記載のカートリッジ。
【請求項4】
前記媒体が熱伝導材料から形成される複数の非多孔性の中空繊維を含む、請求項1に記載のカートリッジ。
【請求項5】
マニホルドと、請求項1に記載の細長い媒体と、媒体を収納するボウルと、前記ボウルを前記マニホルドにロック固定するための手段とを含み、
前記少なくとも2つのフランジが、前記フランジと前記ボウルの連結をもたらすために前記ボウル内のスロットに嵌合される、モジュール。
【請求項6】
前記ボウルおよびカラーが単体構造を含む、請求項5に記載のモジュール。
【請求項7】
第1エンドキャップが少なくとも1つの垂直な延長部を含み、前記少なくとも1つの垂直な延長部の各々が前記カラー内の垂直なスロットに嵌合される、請求項5または6のいずれか一項に記載のモジュール。
【請求項8】
前記フランジの各々が、前記フランジの各々の外面上にボスをもつ、請求項5または6のいずれか一項に記載のモジュール。
【請求項9】
少なくとも2つのフランジであって、前記フランジの各々が、前記フランジの各々の下面に溝を含み、前記溝が前記ボウルに取り付けられたカラーの内側面に噛み合うように形成される、請求項5または6のいずれか一項に記載のモジュール。
【請求項1】
中を通って物質移動を可能にする、または第1流体から第2流体にエネルギー移動をもたらすための細長い媒体であって、第1端および第2端をもつ細長い媒体と、
前記第1端に密封された第1密封プレートと、
前記第2端に密封された、流体パッセージを備える流体通路をもつ第2密封プレートと、
前記媒体の開いた内部に流体連通をもたらすために前記第1密封プレートに密封された流体通路とを含み、
前記第1密封プレートが前記媒体の外部面を越えて延びる少なくとも2つのフランジをもつ、物質移動またはエネルギー移動カートリッジ。
【請求項2】
前記媒体がプリーツ膜である、請求項1に記載のカートリッジ。
【請求項3】
前記媒体が複数の多孔性の中空繊維膜を含む、請求項1に記載のカートリッジ。
【請求項4】
前記媒体が熱伝導材料から形成される複数の非多孔性の中空繊維を含む、請求項1に記載のカートリッジ。
【請求項5】
マニホルドと、請求項1に記載の細長い媒体と、媒体を収納するボウルと、前記ボウルを前記マニホルドにロック固定するための手段とを含み、
前記少なくとも2つのフランジが、前記フランジと前記ボウルの連結をもたらすために前記ボウル内のスロットに嵌合される、モジュール。
【請求項6】
前記ボウルおよびカラーが単体構造を含む、請求項5に記載のモジュール。
【請求項7】
第1エンドキャップが少なくとも1つの垂直な延長部を含み、前記少なくとも1つの垂直な延長部の各々が前記カラー内の垂直なスロットに嵌合される、請求項5または6のいずれか一項に記載のモジュール。
【請求項8】
前記フランジの各々が、前記フランジの各々の外面上にボスをもつ、請求項5または6のいずれか一項に記載のモジュール。
【請求項9】
少なくとも2つのフランジであって、前記フランジの各々が、前記フランジの各々の下面に溝を含み、前記溝が前記ボウルに取り付けられたカラーの内側面に噛み合うように形成される、請求項5または6のいずれか一項に記載のモジュール。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【公表番号】特表2008−505760(P2008−505760A)
【公表日】平成20年2月28日(2008.2.28)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−521460(P2007−521460)
【出願日】平成17年5月5日(2005.5.5)
【国際出願番号】PCT/US2005/015727
【国際公開番号】WO2006/016923
【国際公開日】平成18年2月16日(2006.2.16)
【出願人】(505307471)インテグリス・インコーポレーテッド (124)
【Fターム(参考)】
【公表日】平成20年2月28日(2008.2.28)
【国際特許分類】
【出願日】平成17年5月5日(2005.5.5)
【国際出願番号】PCT/US2005/015727
【国際公開番号】WO2006/016923
【国際公開日】平成18年2月16日(2006.2.16)
【出願人】(505307471)インテグリス・インコーポレーテッド (124)
【Fターム(参考)】
[ Back to top ]