異物回収方法及び異物回収装置、並びに磁気ディスク装置の製造方法
【課題】磁気ディスク装置の駆動環境を模して、異物を回収することが可能な異物回収方法、及び装置を提供する。
【解決手段】磁気ディスク装置駆動時に発生する気流速度に相当する吸引流速で異物を回収する方法及び装置であって、吸引回収した異物を、液体中に捕集し、液体中に捕集した異物を、高密度フィルタ上の狭小領域内のみに回収することを特徴とする異物回収方法及び装置。
【解決手段】磁気ディスク装置駆動時に発生する気流速度に相当する吸引流速で異物を回収する方法及び装置であって、吸引回収した異物を、液体中に捕集し、液体中に捕集した異物を、高密度フィルタ上の狭小領域内のみに回収することを特徴とする異物回収方法及び装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置の構成部品や製造装置などに付着する異物を回収し、解析することを目的とする異物回収方法及び異物回収装置、並びに磁気ディスク装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置が駆動する際、磁気記録媒体の回転により発生する気流の抵抗力等で、磁気ディスク装置の構成部品に付着する異物が脱離する。脱離した異物の一部は磁気記録媒体や、磁気記録媒体から一定の距離を保ち浮上する磁気記録素子の表面に付着する。付着した異物は、磁気記録媒体回転時や、磁気記録素子駆動時に、磁気記録媒体や磁気記録素子の表面を削ってしまい、不良を引き起こす。
【０００３】
磁気記録密度の向上に伴い、磁気記録媒体が高精度化し、また、磁気記録素子の浮上距離が小さくなり、磁気記録媒体と磁気記録素子との距離が近くなっている。この磁気記録媒体の高精度化と磁気記録素子の低浮上化により、上述した異物起因の不良増加が懸念される。そのため、磁気ディスク装置の構成部品清浄化への要求がますます強くなっている。
【０００４】
また、異物の材質により、磁気ディスク装置の異物起因不良発生頻度は異なるため、磁気ディスク装置構成部品に付着する異物を回収・材質解析し、その結果を基に、構成部品の清浄度を保持することは非常に重要となる。
【０００５】
磁気ディスク装置の不良原因となる異物を回収・材質解析するには、磁気ディスク装置駆動時を模して、磁気ディスク装置構成部品から異物を回収し、解析する必要がある。
【０００６】
従来の異物回収装置の構造の一例は、例えば、特許文献１に開示されている。すなわち、該異物回収装置は、液体を噴射するノズルと、加圧タンクとを備える。この液体噴射式異物回収装置を用いて、磁気記録部装置の構成部品に付着する異物を回収する場合、治具で固定された磁気ディスク装置構成部品に、液体を噴射し、液体の流体抵抗力で磁気ディスク装置構成部品から付着異物を除去し、液体回収容器内の液体に、異物を回収する。
異物を回収する従来技術としては、特許文献１〜４がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】ＵＳ２００７／０２８９３９４ Ａ１
【特許文献２】特開２００８−２９８６５７号公報
【特許文献３】特開２００１−１１３１１３号公報
【特許文献４】特開２００５−１５２６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図２は気中と水中における異物の付着力と異物径の関係を表す。液中では異物の付着力が気中の１０分の１になるため、気中よりも異物が脱離しやすくなる。そのため、従来の液体噴射式異物回収装置では、気中で動作する磁気ディスク装置が駆動する際に脱離しない異物も回収してしまい、不良原因となる異物と、不良原因とならない異物の判別が困難である。このように、液体を用いて異物を回収する液体噴射式異物回収装置では、磁気ディスク装置の不良原因となる異物を正確に回収することはできない。
【０００９】
磁気ディスク装置駆動時を模して、異物を回収するには、磁気ディスク装置駆動時に発生する気流で異物を回収する必要がある。
【００１０】
従来の気流を用いた異物回収装置は、異物を吸引するノズルと、吸引した気体と異物を捕集するボトルと、吸引ポンプとを備え、ボトル内には異物を回収するフィルタを有する（例えば、特許文献２参照）。
【００１１】
この従来の気流吸引型異物回収装置は、フィルタによる圧力損失が非常に高いため、磁気ディスク装置駆動時に発生するような速い気流速度(約６０ｍ／ｓ)で異物を回収することができない。さらに、捕集された異物はフィルタ全面に回収されてしまうため、捕集される異物数が非常に少ない場合、フィルタ上の異物を発見することが非常に困難となる。
【００１２】
本発明は、磁気ディスク装置の駆動環境を模して異物を回収するために、磁気ディスク装置駆動時に発生する気流速度に相当する速い気流速度で、磁気ディスク装置構成部品から異物を回収し、さらに回収した異物を分析に好都合に高密度フィルタ上の狭小領域に集約することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の異物回収装置は、異物を気体とともに吸引するノズルと、吸引した異物を含む気体を通すチューブと、異物を溶解させずに捕集する捕集用液体と、捕集用液体が入った液体収容容器と、捕集した異物を高密度フィルタ上に回収する濾過部と、捕集した異物を含む捕集用液体を通し濾過部に送る濾過部接続部と、気体を吸引する吸引力を付与するポンプとを備える。濾過部は、孔が開けられたフィルタホルダと、フィルタ保持具と、孔が開けられたフィルタ支持具と、高密度フィルタを備える。フィルタホルダとフィルタ保持具とフィルタ支持具の孔によって、捕集された異物を含む液体が流れる流路が形成される。高密度フィルタは流路を横断するように配置され、捕集された異物を含む液体が、高密度フィルタを介して流れることにより、高密度フィルタの表面に異物が回収される。
【００１４】
速い吸引流速で異物を回収し、さらに回収した異物を分析に好都合に狭小領域に集約するために、吸引した異物を含む気体を通すチューブの径は、高密度フィルタのすぐ上流の流路の口径よりも大きい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、磁気ディスク装置駆動時に発生するような速い気流速度で、磁気ディスク装置構成部品に付着する異物を、高密度フィルタの狭小領域に回収することができる。また回収した異物を各種分析装置で解析する際に、使用する分析装置の分析可能領域に合わせて異物を高密度フィルタ上の狭小領域に集約することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】従来の液体噴射式異物回収装置を示す図である。
【図２】水中と気中における異物の付着力を示す図である。
【図３】第１の実施の形態における本発明の異物回収装置を示す図である。
【図４】ａ）、ｂ）は、第１の実施の形態における本発明の濾過部の断面を示す図である。
【図５】第１の実施の形態における本発明の異物回収フローを示す図である。
【図６】磁気ディスク装置構成部品から、本発明で回収した異物と従来の液体噴射式異物回収法で回収した異物の材質毎の数を示す図である。
【図７】第２の実施の形態における本発明の磁気ディスク装置製造ラインの磁気ディスク装置製造フローを示す図である。
【図８】第３の実施の形態における本発明の磁気ディスク装置製造ラインの磁気ディスク装置製造フローを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面と実施フローを用いて説明する。
【００１８】
図１は従来の異物回収装置の構造の一例である。異物回収装置は、液体を噴射するノズル１１と、加圧タンク１０とを備える。この液体噴射式異物回収装置を用いて、磁気記録部装置の構成部品に付着する異物を回収する場合、治具２０で固定された磁気ディスク装置構成部品２１に、液体を噴射し、液体の流体抵抗力で磁気ディスク装置構成部品２１から付着異物を除去し、液体回収容器３０内の液体３１に、異物を回収する。
【実施例１】
【００１９】
図３は、本発明の第１の実施の形態に係る異物回収装置の全体構成を示す。異物回収装置は、吸引ノズル１２０と、液体収容容器１１０と、吸引ノズル１２０と液体収容容器１１０を接続するチューブ１１６ａと、濾過部１４０と、液体収容容器１１０と濾過部１４０を接続する接続部１１５と、第１の吸引ポンプ１３０ａと、液体収容容器１１０と第１の吸引ポンプ１３０ａを接続するチューブ１１６ｂと、第２の吸引ポンプ１３０ｂと、濾過部１４０と第２の吸引ポンプ１３０ｂを接続するチューブ１１６ｃと、液体貯蓄槽１５０と、液体貯蓄槽１５０と第２のポンプを接続するチューブ１１６ｄとを備える。
【００２０】
液体収容容器１１０は、洗浄液供給管１１１と、洗浄液排水口１１４と、洗浄液排水バルブ１１２と、濾過部接続部１１５と、濾過部接続バルブ１１３と、液体供給管１１７と、捕集液体供給バルブ１１８とを有する。
【００２１】
さらに、本装置には制御部１００が備えられ、この制御部１００には、演算装置や記憶装置、操作端末などを通常備えている。制御部１００は、信号線１０１を介して上記の各バルブ（１１２、１１３、１１８）の開閉操作や各モータ（１３０ａ、１３０ｂ）の運転操作を指示する信号を送り、本装置を制御する。
【００２２】
液体収容容器１１０には、捕集された異物が溶解しない液体が入っている。液体中の不純物数が多いと、回収された異物の解析が困難になるため、液体の清浄度は高い方がよい。例えば、異物捕集用の液体に水を用いる場合、０．０５μｍの大きさの不純物数が1個／ｍｌ以下の超純水であることが望ましい。
【００２３】
図４ａ）およびｂ）に濾過部１４０の拡大断面図を示す。濾過部１４０は、フィルタ保持具１４３と、フィルタ支持具１４４と、高密度フィルタ１４２と、フィルタ保持具１４３とフィルタ支持具１４４と高密度フィルタ１４２を包括するフィルタホルダ１４１で構成される。フィルタ保持具１４３は、高密度フィルタ１４２に対し吸引上流側に配置され、フィルタ支持具１４４は高密度フィルタ１４２に対し、吸引下流側に配置される。フィルタホルダ１４１と、フィルタ保持具１４３と、フィルタ支持具１４４には、それぞれ孔が設けられている。図４ａ）では、フィルタホルダ１４１とフィルタ保持具１４３を貫通する管１４５と、フィルタ支持具１４４を貫通する管１４６が設けられ、それぞれの管の内側は、液体を通過させる孔が設けられている。フィルタ保持具１４３フィルタホルダ１４１と、フィルタ保持具１４３と、フィルタ支持具１４４の孔によって、捕集された異物を含む液体が流れる流路が形成される。高密度フィルタ１４２は、流路を横断するように配置される。捕集された異物を含む液体がフィルタ保持具１４３の孔を介して、高密度フィルタ１４２を通過し、フィルタ支持具１４４の孔を介して排出されることで、高密度フィルタ１４２表面には、フィルタ保持具の孔の領域のみに異物が回収される。そのため、回収した異物を分析に都合の良いように、高密度フィルタ１４２上の狭小領域に回収することができる。
【００２４】
図４ｂ）には、図４ａ）で示した濾過部１４０の拡大断面図を示す。図４ａ）との違いは、接続部１１５を構成する管１４７の内径が、管１４６と異なる点である。管１４７の内径は、高密度フィルタ１４２と接する位置での内径と、上流側の内径とが異なり、上流側でその内径は大きく、高密度フィルタ１４２側でその内径は小さくなっている。上述したように、そのため、回収した異物を分析に都合の良いように、高密度フィルタ１４２上の狭小領域に回収することができる。
【００２５】
磁気ディスク装置駆動時に発生する速い気流速度で異物を回収するには、チューブ１１６ａの径を大きくする必要がある。また、吸引ポンプ１３０ａの吸引流量は１２０L／min(ダイアフラム式吸引ポンプの最大値)程度が望ましい。吸引流量が少ない場合、吸引流速が低下してしまい、磁気ディスク装置駆動時に発生する気流速度を再現することができない。また、気流速度低下を抑制するために、吸引ノズル１２０から液体収容容器１１０までのチューブ１１６ａには、フィルタを設けないか、目の粗い低密度フィルタを大きな径で設けることしかできない。高密度フィルタ（特に径の小さなもの）は、圧力損失を大きくしてしまうからである。吸引ポンプ１３０ａとしては、ダイアフラム式の定流量機能を内蔵する吸引ポンプが望ましい。こうしたポンプは、オイルを使用しないため、クリーンルーム内で使用する場合にもクリーンルーム内を汚染する可能性が低い。
【００２６】
磁気ディスク装置駆動時に発生するような速い吸引流速で異物を回収し、さらに回収した異物を分析に好都合に狭小領域に集約するために、吸引した異物を含む気体を通すチューブ１１６ａの径は、高密度フィルタ１４２のすぐ上流の流路の断面積よりも大きい。
【００２７】
また、濾過部１４０の高密度フィルタ１４２の上流の濾過部接続部１１５の口径を小さくすることにより、高密度フィルタ１４２の特定の狭小領域に異物を集めることができるので、異物の量が少なくても分析しやすい。
【００２８】
濾過部１４０を通過した液体を、第２の吸引ポンプで吸引し、液体貯蓄槽１５０に貯蓄することで、異物を捕集する液体を再利用することができる。
【００２９】
図５に異物回収時の回収フローを示す。
（手順１）濾過部１４０に高密度フィルタ１４２をセットする。（Ｓ５０１）
（手順２）第１の吸引ポンプ１３０ａを駆動する。（Ｓ５０２）
（手順３）吸引ノズル１２０で磁気ディスク装置構成部品から異物を回収する。回収した異物は、液体収容容器１１０内の液中に捕集される。（Ｓ５０３）
（手順４）異物を捕集した後、第１の吸引ポンプ１３０ａを停止する。（Ｓ５０４）
（手順５）第２の吸引ポンプ１３０ｂを駆動する。（Ｓ５０５）
（手順６）濾過部接続バルブ１１３を開け、捕集した異物を含む液体を濾過部１４０に通す。濾過部１４０を通過する際に、異物は高密度フィルタ１４２上に回収される。（Ｓ５０６）
濾過部１４０を通過した液体は、液体貯蓄槽１５０に送られる。
（手順７）異物を高密度フィルタ１４２上に回収した後、濾過部接続バルブ１１３を閉める。（Ｓ５０７）
（手順８）第２の吸引ポンプ１３０ｂを停止する。（Ｓ５０８）
（手順９）洗浄液供給管１１１より、洗浄液を液体収容容器１１０に注入し、液体収容容器１１０内を洗浄する。（Ｓ５０９）
（手順１０）洗浄後、洗浄液排水バルブ１１２を開け、洗浄液排水口１１４より、洗浄液を排出する。（Ｓ５１０）
（手順１１）洗浄液排水後、洗浄液排水バルブ１１２を閉め、超純水を液体収容容器１１０に注入し、液体収容容器１１０内をリンス処理する。（Ｓ５１１）
（手順１２）リンス後、洗浄液排水バルブ１１２を開け、超純水を排出する。排出後、洗浄液排水バルブ１１２を閉める。リンス処理は複数回実施することが望ましい。（Ｓ５１２）
（手順１３）濾過部１４０から高密度フィルタ１４２を取り出し、回収された異物を解析する。（Ｓ５１３）
（手順１４）捕集液体供給バルブ１１８を開け、液体貯蓄槽１５０から、液体を液体収容容器１１０に送液する。（Ｓ５１４）
（手順１５）捕集液体供給バルブ１１８を閉める。（Ｓ５１５）
本発明の異物回収装置を用い、高密度フィルタ１４２上に回収した異物に対しては、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による異物形状観察や異物数計測、エネルギー分散型Ｘ線解析（ＥＤＸ）による元素分析や、オージェ電子分光分析（ＡＥＳ）、電子線マイクロアナライザーＥＰＭＡ）、蛍光Ｘ線分析等による分析が好ましい。また、有機異物に対する分析では、フーリエ変換赤外光分析（ＦＴ−ＩＲ）やラマン光分析による分析も好ましい。
【００３０】
以下の本発明の実施例を示すが、本発明の技術的範囲は以下の実施例に限られるものではない。
【００３１】
本実施例では、磁気ディスク装置の構成部品に付着する異物を回収し、ＥＤＸで解析した。使用したＥＤＸの分析可能領域は直径２ｍｍ。直径１３ｍｍ、孔径０．８μｍのポリカーボネート製高密度フィルタを用い、異物回収液体には超純水を使用した。吸引ノズルと液体収容容器を接続するチューブと、液体収容容器と濾過部を接続するチューブと、液体収容容器と吸引ポンプを接続するチューブには直径６ｍｍのテフロン（登録商標）製チューブを使用した。濾過部には、中心部に直径２ｍｍの孔を開けたフィルタ保持具と、直径６ｍｍの孔を開けたフィルタ支持具を使用した。吸引ポンプの吸引流量は１２０L／minのポンプを使用し、吸引流速は６０ｍ／ｓとなるように、レギュレーターで吸引流量を調整した。
【００３２】
図６に、本発明を用いて磁気ディスク装置構成部品から回収した異物を、ＥＤＸで解析した結果を示す。解析した磁気ディスク装置構成部品からは、ＳＵＳ４００、ＳｉＯ、ＳｉＡｌ合金、銅等の異物が検出された。このことから、解析した磁気ディスク装置構成部品からは、磁気ディスク装置駆動時に、ＳＵＳ４００、ＳｉＯ、ＳｉＡｌ合金、銅等の異物が脱離することが予想される。
【００３３】
比較のため、従来の液体噴射式異物回収法で、同様の解析を行った。異物回収用の液体には超純水を使用した。回収された異物は、ＳＵＳ３００とＳＵＳ４００が主異物であり、本手法の解析結果と大きく異なる。
【００３４】
また、気流で回収される異物数は非常に少ないため、異物が高密度フィルタの全面に回収されてしまう場合、分析可能領域が数ｍｍ、あるいは数μｍしかないような分析装置を用いて回収異物を解析する際に、高密度フィルタ上の異物位置確認に非常に時間がかかる。本発明では吸引された異物が、高密度フィルタ上の狭小領域に回収されるため、上記問題を解決することができる。
【００３５】
本実施例では、吸引した異物を含む気体を通すチューブの径（６ｍｍ）が、捕集した異物を含む捕集用液体を高密度フィルタ上に通すフィルタ保持具の孔径（２ｍｍ）よりも大きいため、磁気ディスク装置駆動時に発生する気流速度（６０ｍ／ｓ）のような速い吸引流速で異物を回収することができる。さらに、フィルタ保持具の孔径が小さいため、回収した異物を高密度フィルタの狭小領域に集約することができる。
【００３６】
本発明を用いることで、磁気ディスク装置構成部品に付着する異物のうち、磁気ディスク装置駆動時に発生する速い気流速度により、磁気ディスク装置構成部品から脱離しうる異物を、分析に好都合なように、高密度フィルタ上の狭小領域に解析することができる。
【実施例２】
【００３７】
磁気ディスク装置製造ラインは、組立途中の磁気ディスク装置を搬送する搬送工程と、磁気ディスク装置構成部品を組立てる組立工程と、前記組み立て途中の磁気ディスク装置に付着する異物を吸引する吸引工程と、組立てた磁気ディスク装置を封止する封止工程からなり、封止工程前の工程間に異物回収装置を有する。なお、図７の矢印で示す各工程間で発塵する異物を該異物回収装置により回収する。異物回収は、各工程間の全てで行っても良いし、あるいはいずれか１ヶ所でも良いし、あるいはいずれか複数の箇所で行っても良い。適宜、製造ラインの状態、あるいは磁気ディスク装置に要求される仕様になどにより決定される。
【００３８】
異物回収装置は、吸引ノズルと、液体収容容器と、吸引ノズルと液体収容容器を接続するチューブと、濾過部と、液体収容容器と濾過部を接続するチューブと、第１の吸引ポンプと、液体収容容器と第１の吸引ポンプを接続するチューブとを備える。
【００３９】
吸引ノズルは、製造ライン内の一部に取り付けられており、製造時の発塵異物を回収する。
【００４０】
図７に磁気ディスク装置製造ラインにおける磁気ディスク装置製造フローを示す。
（手順１）濾過部に高密度フィルタをセットする。（Ｓ７０１）
（手順２）磁気ディスク装置構成部品を準備する。（Ｓ７０２）
（手順３）異物回収装置の第１の吸引ポンプの電源を入れる。（Ｓ７０３）
（手順４）磁気ディスク装置構成部品を磁気ディスク装置組立工程に搬送する。（Ｓ７０４）
（手順５）磁気ディスク装置構成部品を組立てる。（Ｓ７０５）
（手順６）組立てた磁気ディスク装置を洗浄用吸引工程に搬送する。（Ｓ７０６）
（手順７）磁気ディスク装置を吸引洗浄する。（Ｓ７０７）
（手順８）洗浄した磁気ディスク装置を封止工程に搬送する。（Ｓ７０８）
（手順９）磁気ディスク装置を封止する。（Ｓ７０９）
（手順１０）異物回収装置の第１の吸引ポンプを停止する。（Ｓ７１０）
高密度フィルタ上に異物を回収するシーケンスは、実施例１と同様であり、説明を省略する。
【００４１】
本発明を用いることにより、磁気ディスク装置製造ライン内において、磁気ディスク装置製造中に発塵し、磁気ディスク装置製造ライン内に浮遊する異物を解析することができる。
【実施例３】
【００４２】
磁気ディスク装置製造ラインは、組立途中の磁気ディスク装置を搬送する搬送工程と、磁気ディスク装置構成部品を組立てる組立工程と、前記組み立て途中の磁気ディスク装置に付着する異物を吸引する吸引工程と、組立てた磁気ディスク装置を封止する封止工程からなる。
【００４３】
吸引工程では、吸引洗浄装置による、磁気ディスク装置洗浄が行われる。吸引洗浄装置は、吸引洗浄ノズルと、異物回収装置と、第１の吸引ポンプを備える。異物回収装置は、吸引口と、液体収容容器と、吸引口と液体収容容器を接続するチューブと、濾過部と、液体収容容器と濾過部を接続するチューブと、第１の吸引ポンプと、液体収容容器と吸引ポンプを接続するチューブとを備える。
【００４４】
図８に磁気ディスク装置製造ラインにおける磁気ディスク装置製造フローを示す。
（手順１）濾過部に高密度フィルタをセットする。（Ｓ８０１）
（手順２）磁気ディスク装置構成部品を準備する。（Ｓ８０２）
（手順３）異物回収装置の第１の吸引ポンプの電源を入れる。（Ｓ８０３）
（手順４）磁気ディスク装置構成部品を磁気ディスク装置組立工程に搬送する。（Ｓ８０４）
（手順５）磁気ディスク装置構成部品を組立てる。（Ｓ８０５）
（手順６）組立てた磁気ディスク装置を洗浄用吸引工程に搬送する。（Ｓ８０６）
（手順７）磁気ディスク装置を吸引洗浄する。（Ｓ８０７）
（手順８）洗浄した磁気ディスク装置を封止工程に搬送する。（Ｓ８０８）
（手順９）磁気ディスク装置を封止する。（Ｓ８０９）
（手順１０）異物回収装置の第１の吸引ポンプを停止する。（Ｓ８１０）
高密度フィルタ上に異物を回収するシーケンスは、実施例１と同様であり、説明を省略する。
【００４５】
本発明を用いることにより、磁気ディスク装置製造ライン内の、吸引洗浄部により、磁気ディスク装置から除去される異物を解析することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明の異物回収方法及び装置は、異物の数と材質により品質が左右される磁気ディスク装置や半導体素子、光学素子などの付着異物解析、又は清浄度管理用途に使用することが可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１０…加圧タンク、
１１…スプレーノズル、
２０…試料保持具、
２１…試料、
３０…タンク、
３１…液体、
１１０…液体収容容器、
１１１…洗浄液供給ノズル、
１１２…洗浄液排出用バルブ、
１１３…濾過部接続バルブ、
１１４…洗浄液排出口、
１１５…濾過部接続口、
１１６ａ,１１６ｂ,１１６ｃ,１１６ｄ…チューブ、
１１７…液体供給管、
１１８…捕集用液体供給バルブ、
１２０…吸引ノズル、
１３０ａ,１３０ｂ…吸引ポンプ、
１４０…濾過部、
１４１…フィルタホルダ、
１４２…高密度フィルタ、
１４３…フィルタ保持具、
１４４…フィルタ支持具、
１５０…捕集用液体貯蓄槽。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置の構成部品や製造装置などに付着する異物を回収し、解析することを目的とする異物回収方法及び異物回収装置、並びに磁気ディスク装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置が駆動する際、磁気記録媒体の回転により発生する気流の抵抗力等で、磁気ディスク装置の構成部品に付着する異物が脱離する。脱離した異物の一部は磁気記録媒体や、磁気記録媒体から一定の距離を保ち浮上する磁気記録素子の表面に付着する。付着した異物は、磁気記録媒体回転時や、磁気記録素子駆動時に、磁気記録媒体や磁気記録素子の表面を削ってしまい、不良を引き起こす。
【０００３】
磁気記録密度の向上に伴い、磁気記録媒体が高精度化し、また、磁気記録素子の浮上距離が小さくなり、磁気記録媒体と磁気記録素子との距離が近くなっている。この磁気記録媒体の高精度化と磁気記録素子の低浮上化により、上述した異物起因の不良増加が懸念される。そのため、磁気ディスク装置の構成部品清浄化への要求がますます強くなっている。
【０００４】
また、異物の材質により、磁気ディスク装置の異物起因不良発生頻度は異なるため、磁気ディスク装置構成部品に付着する異物を回収・材質解析し、その結果を基に、構成部品の清浄度を保持することは非常に重要となる。
【０００５】
磁気ディスク装置の不良原因となる異物を回収・材質解析するには、磁気ディスク装置駆動時を模して、磁気ディスク装置構成部品から異物を回収し、解析する必要がある。
【０００６】
従来の異物回収装置の構造の一例は、例えば、特許文献１に開示されている。すなわち、該異物回収装置は、液体を噴射するノズルと、加圧タンクとを備える。この液体噴射式異物回収装置を用いて、磁気記録部装置の構成部品に付着する異物を回収する場合、治具で固定された磁気ディスク装置構成部品に、液体を噴射し、液体の流体抵抗力で磁気ディスク装置構成部品から付着異物を除去し、液体回収容器内の液体に、異物を回収する。
異物を回収する従来技術としては、特許文献１〜４がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】ＵＳ２００７／０２８９３９４ Ａ１
【特許文献２】特開２００８−２９８６５７号公報
【特許文献３】特開２００１−１１３１１３号公報
【特許文献４】特開２００５−１５２６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図２は気中と水中における異物の付着力と異物径の関係を表す。液中では異物の付着力が気中の１０分の１になるため、気中よりも異物が脱離しやすくなる。そのため、従来の液体噴射式異物回収装置では、気中で動作する磁気ディスク装置が駆動する際に脱離しない異物も回収してしまい、不良原因となる異物と、不良原因とならない異物の判別が困難である。このように、液体を用いて異物を回収する液体噴射式異物回収装置では、磁気ディスク装置の不良原因となる異物を正確に回収することはできない。
【０００９】
磁気ディスク装置駆動時を模して、異物を回収するには、磁気ディスク装置駆動時に発生する気流で異物を回収する必要がある。
【００１０】
従来の気流を用いた異物回収装置は、異物を吸引するノズルと、吸引した気体と異物を捕集するボトルと、吸引ポンプとを備え、ボトル内には異物を回収するフィルタを有する（例えば、特許文献２参照）。
【００１１】
この従来の気流吸引型異物回収装置は、フィルタによる圧力損失が非常に高いため、磁気ディスク装置駆動時に発生するような速い気流速度(約６０ｍ／ｓ)で異物を回収することができない。さらに、捕集された異物はフィルタ全面に回収されてしまうため、捕集される異物数が非常に少ない場合、フィルタ上の異物を発見することが非常に困難となる。
【００１２】
本発明は、磁気ディスク装置の駆動環境を模して異物を回収するために、磁気ディスク装置駆動時に発生する気流速度に相当する速い気流速度で、磁気ディスク装置構成部品から異物を回収し、さらに回収した異物を分析に好都合に高密度フィルタ上の狭小領域に集約することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の異物回収装置は、異物を気体とともに吸引するノズルと、吸引した異物を含む気体を通すチューブと、異物を溶解させずに捕集する捕集用液体と、捕集用液体が入った液体収容容器と、捕集した異物を高密度フィルタ上に回収する濾過部と、捕集した異物を含む捕集用液体を通し濾過部に送る濾過部接続部と、気体を吸引する吸引力を付与するポンプとを備える。濾過部は、孔が開けられたフィルタホルダと、フィルタ保持具と、孔が開けられたフィルタ支持具と、高密度フィルタを備える。フィルタホルダとフィルタ保持具とフィルタ支持具の孔によって、捕集された異物を含む液体が流れる流路が形成される。高密度フィルタは流路を横断するように配置され、捕集された異物を含む液体が、高密度フィルタを介して流れることにより、高密度フィルタの表面に異物が回収される。
【００１４】
速い吸引流速で異物を回収し、さらに回収した異物を分析に好都合に狭小領域に集約するために、吸引した異物を含む気体を通すチューブの径は、高密度フィルタのすぐ上流の流路の口径よりも大きい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、磁気ディスク装置駆動時に発生するような速い気流速度で、磁気ディスク装置構成部品に付着する異物を、高密度フィルタの狭小領域に回収することができる。また回収した異物を各種分析装置で解析する際に、使用する分析装置の分析可能領域に合わせて異物を高密度フィルタ上の狭小領域に集約することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】従来の液体噴射式異物回収装置を示す図である。
【図２】水中と気中における異物の付着力を示す図である。
【図３】第１の実施の形態における本発明の異物回収装置を示す図である。
【図４】ａ）、ｂ）は、第１の実施の形態における本発明の濾過部の断面を示す図である。
【図５】第１の実施の形態における本発明の異物回収フローを示す図である。
【図６】磁気ディスク装置構成部品から、本発明で回収した異物と従来の液体噴射式異物回収法で回収した異物の材質毎の数を示す図である。
【図７】第２の実施の形態における本発明の磁気ディスク装置製造ラインの磁気ディスク装置製造フローを示す図である。
【図８】第３の実施の形態における本発明の磁気ディスク装置製造ラインの磁気ディスク装置製造フローを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面と実施フローを用いて説明する。
【００１８】
図１は従来の異物回収装置の構造の一例である。異物回収装置は、液体を噴射するノズル１１と、加圧タンク１０とを備える。この液体噴射式異物回収装置を用いて、磁気記録部装置の構成部品に付着する異物を回収する場合、治具２０で固定された磁気ディスク装置構成部品２１に、液体を噴射し、液体の流体抵抗力で磁気ディスク装置構成部品２１から付着異物を除去し、液体回収容器３０内の液体３１に、異物を回収する。
【実施例１】
【００１９】
図３は、本発明の第１の実施の形態に係る異物回収装置の全体構成を示す。異物回収装置は、吸引ノズル１２０と、液体収容容器１１０と、吸引ノズル１２０と液体収容容器１１０を接続するチューブ１１６ａと、濾過部１４０と、液体収容容器１１０と濾過部１４０を接続する接続部１１５と、第１の吸引ポンプ１３０ａと、液体収容容器１１０と第１の吸引ポンプ１３０ａを接続するチューブ１１６ｂと、第２の吸引ポンプ１３０ｂと、濾過部１４０と第２の吸引ポンプ１３０ｂを接続するチューブ１１６ｃと、液体貯蓄槽１５０と、液体貯蓄槽１５０と第２のポンプを接続するチューブ１１６ｄとを備える。
【００２０】
液体収容容器１１０は、洗浄液供給管１１１と、洗浄液排水口１１４と、洗浄液排水バルブ１１２と、濾過部接続部１１５と、濾過部接続バルブ１１３と、液体供給管１１７と、捕集液体供給バルブ１１８とを有する。
【００２１】
さらに、本装置には制御部１００が備えられ、この制御部１００には、演算装置や記憶装置、操作端末などを通常備えている。制御部１００は、信号線１０１を介して上記の各バルブ（１１２、１１３、１１８）の開閉操作や各モータ（１３０ａ、１３０ｂ）の運転操作を指示する信号を送り、本装置を制御する。
【００２２】
液体収容容器１１０には、捕集された異物が溶解しない液体が入っている。液体中の不純物数が多いと、回収された異物の解析が困難になるため、液体の清浄度は高い方がよい。例えば、異物捕集用の液体に水を用いる場合、０．０５μｍの大きさの不純物数が1個／ｍｌ以下の超純水であることが望ましい。
【００２３】
図４ａ）およびｂ）に濾過部１４０の拡大断面図を示す。濾過部１４０は、フィルタ保持具１４３と、フィルタ支持具１４４と、高密度フィルタ１４２と、フィルタ保持具１４３とフィルタ支持具１４４と高密度フィルタ１４２を包括するフィルタホルダ１４１で構成される。フィルタ保持具１４３は、高密度フィルタ１４２に対し吸引上流側に配置され、フィルタ支持具１４４は高密度フィルタ１４２に対し、吸引下流側に配置される。フィルタホルダ１４１と、フィルタ保持具１４３と、フィルタ支持具１４４には、それぞれ孔が設けられている。図４ａ）では、フィルタホルダ１４１とフィルタ保持具１４３を貫通する管１４５と、フィルタ支持具１４４を貫通する管１４６が設けられ、それぞれの管の内側は、液体を通過させる孔が設けられている。フィルタ保持具１４３フィルタホルダ１４１と、フィルタ保持具１４３と、フィルタ支持具１４４の孔によって、捕集された異物を含む液体が流れる流路が形成される。高密度フィルタ１４２は、流路を横断するように配置される。捕集された異物を含む液体がフィルタ保持具１４３の孔を介して、高密度フィルタ１４２を通過し、フィルタ支持具１４４の孔を介して排出されることで、高密度フィルタ１４２表面には、フィルタ保持具の孔の領域のみに異物が回収される。そのため、回収した異物を分析に都合の良いように、高密度フィルタ１４２上の狭小領域に回収することができる。
【００２４】
図４ｂ）には、図４ａ）で示した濾過部１４０の拡大断面図を示す。図４ａ）との違いは、接続部１１５を構成する管１４７の内径が、管１４６と異なる点である。管１４７の内径は、高密度フィルタ１４２と接する位置での内径と、上流側の内径とが異なり、上流側でその内径は大きく、高密度フィルタ１４２側でその内径は小さくなっている。上述したように、そのため、回収した異物を分析に都合の良いように、高密度フィルタ１４２上の狭小領域に回収することができる。
【００２５】
磁気ディスク装置駆動時に発生する速い気流速度で異物を回収するには、チューブ１１６ａの径を大きくする必要がある。また、吸引ポンプ１３０ａの吸引流量は１２０L／min(ダイアフラム式吸引ポンプの最大値)程度が望ましい。吸引流量が少ない場合、吸引流速が低下してしまい、磁気ディスク装置駆動時に発生する気流速度を再現することができない。また、気流速度低下を抑制するために、吸引ノズル１２０から液体収容容器１１０までのチューブ１１６ａには、フィルタを設けないか、目の粗い低密度フィルタを大きな径で設けることしかできない。高密度フィルタ（特に径の小さなもの）は、圧力損失を大きくしてしまうからである。吸引ポンプ１３０ａとしては、ダイアフラム式の定流量機能を内蔵する吸引ポンプが望ましい。こうしたポンプは、オイルを使用しないため、クリーンルーム内で使用する場合にもクリーンルーム内を汚染する可能性が低い。
【００２６】
磁気ディスク装置駆動時に発生するような速い吸引流速で異物を回収し、さらに回収した異物を分析に好都合に狭小領域に集約するために、吸引した異物を含む気体を通すチューブ１１６ａの径は、高密度フィルタ１４２のすぐ上流の流路の断面積よりも大きい。
【００２７】
また、濾過部１４０の高密度フィルタ１４２の上流の濾過部接続部１１５の口径を小さくすることにより、高密度フィルタ１４２の特定の狭小領域に異物を集めることができるので、異物の量が少なくても分析しやすい。
【００２８】
濾過部１４０を通過した液体を、第２の吸引ポンプで吸引し、液体貯蓄槽１５０に貯蓄することで、異物を捕集する液体を再利用することができる。
【００２９】
図５に異物回収時の回収フローを示す。
（手順１）濾過部１４０に高密度フィルタ１４２をセットする。（Ｓ５０１）
（手順２）第１の吸引ポンプ１３０ａを駆動する。（Ｓ５０２）
（手順３）吸引ノズル１２０で磁気ディスク装置構成部品から異物を回収する。回収した異物は、液体収容容器１１０内の液中に捕集される。（Ｓ５０３）
（手順４）異物を捕集した後、第１の吸引ポンプ１３０ａを停止する。（Ｓ５０４）
（手順５）第２の吸引ポンプ１３０ｂを駆動する。（Ｓ５０５）
（手順６）濾過部接続バルブ１１３を開け、捕集した異物を含む液体を濾過部１４０に通す。濾過部１４０を通過する際に、異物は高密度フィルタ１４２上に回収される。（Ｓ５０６）
濾過部１４０を通過した液体は、液体貯蓄槽１５０に送られる。
（手順７）異物を高密度フィルタ１４２上に回収した後、濾過部接続バルブ１１３を閉める。（Ｓ５０７）
（手順８）第２の吸引ポンプ１３０ｂを停止する。（Ｓ５０８）
（手順９）洗浄液供給管１１１より、洗浄液を液体収容容器１１０に注入し、液体収容容器１１０内を洗浄する。（Ｓ５０９）
（手順１０）洗浄後、洗浄液排水バルブ１１２を開け、洗浄液排水口１１４より、洗浄液を排出する。（Ｓ５１０）
（手順１１）洗浄液排水後、洗浄液排水バルブ１１２を閉め、超純水を液体収容容器１１０に注入し、液体収容容器１１０内をリンス処理する。（Ｓ５１１）
（手順１２）リンス後、洗浄液排水バルブ１１２を開け、超純水を排出する。排出後、洗浄液排水バルブ１１２を閉める。リンス処理は複数回実施することが望ましい。（Ｓ５１２）
（手順１３）濾過部１４０から高密度フィルタ１４２を取り出し、回収された異物を解析する。（Ｓ５１３）
（手順１４）捕集液体供給バルブ１１８を開け、液体貯蓄槽１５０から、液体を液体収容容器１１０に送液する。（Ｓ５１４）
（手順１５）捕集液体供給バルブ１１８を閉める。（Ｓ５１５）
本発明の異物回収装置を用い、高密度フィルタ１４２上に回収した異物に対しては、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による異物形状観察や異物数計測、エネルギー分散型Ｘ線解析（ＥＤＸ）による元素分析や、オージェ電子分光分析（ＡＥＳ）、電子線マイクロアナライザーＥＰＭＡ）、蛍光Ｘ線分析等による分析が好ましい。また、有機異物に対する分析では、フーリエ変換赤外光分析（ＦＴ−ＩＲ）やラマン光分析による分析も好ましい。
【００３０】
以下の本発明の実施例を示すが、本発明の技術的範囲は以下の実施例に限られるものではない。
【００３１】
本実施例では、磁気ディスク装置の構成部品に付着する異物を回収し、ＥＤＸで解析した。使用したＥＤＸの分析可能領域は直径２ｍｍ。直径１３ｍｍ、孔径０．８μｍのポリカーボネート製高密度フィルタを用い、異物回収液体には超純水を使用した。吸引ノズルと液体収容容器を接続するチューブと、液体収容容器と濾過部を接続するチューブと、液体収容容器と吸引ポンプを接続するチューブには直径６ｍｍのテフロン（登録商標）製チューブを使用した。濾過部には、中心部に直径２ｍｍの孔を開けたフィルタ保持具と、直径６ｍｍの孔を開けたフィルタ支持具を使用した。吸引ポンプの吸引流量は１２０L／minのポンプを使用し、吸引流速は６０ｍ／ｓとなるように、レギュレーターで吸引流量を調整した。
【００３２】
図６に、本発明を用いて磁気ディスク装置構成部品から回収した異物を、ＥＤＸで解析した結果を示す。解析した磁気ディスク装置構成部品からは、ＳＵＳ４００、ＳｉＯ、ＳｉＡｌ合金、銅等の異物が検出された。このことから、解析した磁気ディスク装置構成部品からは、磁気ディスク装置駆動時に、ＳＵＳ４００、ＳｉＯ、ＳｉＡｌ合金、銅等の異物が脱離することが予想される。
【００３３】
比較のため、従来の液体噴射式異物回収法で、同様の解析を行った。異物回収用の液体には超純水を使用した。回収された異物は、ＳＵＳ３００とＳＵＳ４００が主異物であり、本手法の解析結果と大きく異なる。
【００３４】
また、気流で回収される異物数は非常に少ないため、異物が高密度フィルタの全面に回収されてしまう場合、分析可能領域が数ｍｍ、あるいは数μｍしかないような分析装置を用いて回収異物を解析する際に、高密度フィルタ上の異物位置確認に非常に時間がかかる。本発明では吸引された異物が、高密度フィルタ上の狭小領域に回収されるため、上記問題を解決することができる。
【００３５】
本実施例では、吸引した異物を含む気体を通すチューブの径（６ｍｍ）が、捕集した異物を含む捕集用液体を高密度フィルタ上に通すフィルタ保持具の孔径（２ｍｍ）よりも大きいため、磁気ディスク装置駆動時に発生する気流速度（６０ｍ／ｓ）のような速い吸引流速で異物を回収することができる。さらに、フィルタ保持具の孔径が小さいため、回収した異物を高密度フィルタの狭小領域に集約することができる。
【００３６】
本発明を用いることで、磁気ディスク装置構成部品に付着する異物のうち、磁気ディスク装置駆動時に発生する速い気流速度により、磁気ディスク装置構成部品から脱離しうる異物を、分析に好都合なように、高密度フィルタ上の狭小領域に解析することができる。
【実施例２】
【００３７】
磁気ディスク装置製造ラインは、組立途中の磁気ディスク装置を搬送する搬送工程と、磁気ディスク装置構成部品を組立てる組立工程と、前記組み立て途中の磁気ディスク装置に付着する異物を吸引する吸引工程と、組立てた磁気ディスク装置を封止する封止工程からなり、封止工程前の工程間に異物回収装置を有する。なお、図７の矢印で示す各工程間で発塵する異物を該異物回収装置により回収する。異物回収は、各工程間の全てで行っても良いし、あるいはいずれか１ヶ所でも良いし、あるいはいずれか複数の箇所で行っても良い。適宜、製造ラインの状態、あるいは磁気ディスク装置に要求される仕様になどにより決定される。
【００３８】
異物回収装置は、吸引ノズルと、液体収容容器と、吸引ノズルと液体収容容器を接続するチューブと、濾過部と、液体収容容器と濾過部を接続するチューブと、第１の吸引ポンプと、液体収容容器と第１の吸引ポンプを接続するチューブとを備える。
【００３９】
吸引ノズルは、製造ライン内の一部に取り付けられており、製造時の発塵異物を回収する。
【００４０】
図７に磁気ディスク装置製造ラインにおける磁気ディスク装置製造フローを示す。
（手順１）濾過部に高密度フィルタをセットする。（Ｓ７０１）
（手順２）磁気ディスク装置構成部品を準備する。（Ｓ７０２）
（手順３）異物回収装置の第１の吸引ポンプの電源を入れる。（Ｓ７０３）
（手順４）磁気ディスク装置構成部品を磁気ディスク装置組立工程に搬送する。（Ｓ７０４）
（手順５）磁気ディスク装置構成部品を組立てる。（Ｓ７０５）
（手順６）組立てた磁気ディスク装置を洗浄用吸引工程に搬送する。（Ｓ７０６）
（手順７）磁気ディスク装置を吸引洗浄する。（Ｓ７０７）
（手順８）洗浄した磁気ディスク装置を封止工程に搬送する。（Ｓ７０８）
（手順９）磁気ディスク装置を封止する。（Ｓ７０９）
（手順１０）異物回収装置の第１の吸引ポンプを停止する。（Ｓ７１０）
高密度フィルタ上に異物を回収するシーケンスは、実施例１と同様であり、説明を省略する。
【００４１】
本発明を用いることにより、磁気ディスク装置製造ライン内において、磁気ディスク装置製造中に発塵し、磁気ディスク装置製造ライン内に浮遊する異物を解析することができる。
【実施例３】
【００４２】
磁気ディスク装置製造ラインは、組立途中の磁気ディスク装置を搬送する搬送工程と、磁気ディスク装置構成部品を組立てる組立工程と、前記組み立て途中の磁気ディスク装置に付着する異物を吸引する吸引工程と、組立てた磁気ディスク装置を封止する封止工程からなる。
【００４３】
吸引工程では、吸引洗浄装置による、磁気ディスク装置洗浄が行われる。吸引洗浄装置は、吸引洗浄ノズルと、異物回収装置と、第１の吸引ポンプを備える。異物回収装置は、吸引口と、液体収容容器と、吸引口と液体収容容器を接続するチューブと、濾過部と、液体収容容器と濾過部を接続するチューブと、第１の吸引ポンプと、液体収容容器と吸引ポンプを接続するチューブとを備える。
【００４４】
図８に磁気ディスク装置製造ラインにおける磁気ディスク装置製造フローを示す。
（手順１）濾過部に高密度フィルタをセットする。（Ｓ８０１）
（手順２）磁気ディスク装置構成部品を準備する。（Ｓ８０２）
（手順３）異物回収装置の第１の吸引ポンプの電源を入れる。（Ｓ８０３）
（手順４）磁気ディスク装置構成部品を磁気ディスク装置組立工程に搬送する。（Ｓ８０４）
（手順５）磁気ディスク装置構成部品を組立てる。（Ｓ８０５）
（手順６）組立てた磁気ディスク装置を洗浄用吸引工程に搬送する。（Ｓ８０６）
（手順７）磁気ディスク装置を吸引洗浄する。（Ｓ８０７）
（手順８）洗浄した磁気ディスク装置を封止工程に搬送する。（Ｓ８０８）
（手順９）磁気ディスク装置を封止する。（Ｓ８０９）
（手順１０）異物回収装置の第１の吸引ポンプを停止する。（Ｓ８１０）
高密度フィルタ上に異物を回収するシーケンスは、実施例１と同様であり、説明を省略する。
【００４５】
本発明を用いることにより、磁気ディスク装置製造ライン内の、吸引洗浄部により、磁気ディスク装置から除去される異物を解析することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明の異物回収方法及び装置は、異物の数と材質により品質が左右される磁気ディスク装置や半導体素子、光学素子などの付着異物解析、又は清浄度管理用途に使用することが可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１０…加圧タンク、
１１…スプレーノズル、
２０…試料保持具、
２１…試料、
３０…タンク、
３１…液体、
１１０…液体収容容器、
１１１…洗浄液供給ノズル、
１１２…洗浄液排出用バルブ、
１１３…濾過部接続バルブ、
１１４…洗浄液排出口、
１１５…濾過部接続口、
１１６ａ,１１６ｂ,１１６ｃ,１１６ｄ…チューブ、
１１７…液体供給管、
１１８…捕集用液体供給バルブ、
１２０…吸引ノズル、
１３０ａ,１３０ｂ…吸引ポンプ、
１４０…濾過部、
１４１…フィルタホルダ、
１４２…高密度フィルタ、
１４３…フィルタ保持具、
１４４…フィルタ支持具、
１５０…捕集用液体貯蓄槽。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体に付着した異物を気流の力でフィルタ上に回収する異物回収装置において、
前記異物を気体とともに吸引するノズルと、
前記気体を吸引する吸引力を付与する第１のポンプと、
前記異物を溶解させない捕集用液体を収容する捕集用液体貯蓄槽と、
前記捕集用液体を通して、前記吸引した異物を含む気体を捕集する液体収容容器と、
前記ノズルと前記液体収容容器とを接続する第１の接続部と、
前記異物が捕集された捕集用液体を通過させることにより前記異物を回収するフィルタを具備して成る濾過部と、
前記液体収容容器と前記濾過部を接続する第２の接続部と、を備え、
前記第２の接続部に設けられた前記捕集用液体を流す流路の前記濾過部と接続される受け口での断面積が、前記第１の接続部に設けられた流路のいずれかの断面積よりも小さいことを特徴とする異物回収装置。
【請求項２】
請求項１に記載の異物回収装置において、
前記濾過部は、前記フィルタと、前記第２の接続部側に設けられ前記フィルタを保持するフィルタ保持具と、前記フィルタを介して前記第２の接続部と対向する側に設けられ前記フィルタを支持するフィルタ支持具と、前記フィルタ保持具を囲むように配置されたフィルタホルダと、を備え、
前記フィルタ保持具と前記フィルタ支持具には、前記捕集用液体を流す流路となる貫通管を有することを特徴とする異物回収装置。
【請求項３】
請求項１に記載の異物回収装置において、
前記フィルタ上流側の流路の第１の位置における断面積は、前記第１の位置より、さらに上流側の流路の断面積よりも小さいことを特徴とする異物回収装置。
【請求項４】
請求項１に記載の異物回収装置において、
前記濾過部の下流に、第３の接続部を介して第２のポンプが接続されていることを特徴とする異物回収装置。
【請求項５】
請求項４に記載の異物回収装置において、
前記第２のポンプで吸引した前記捕集用液体を、前記液体収容容器に戻す手段を有することを特徴とする異物回収装置。
【請求項６】
請求項５に記載の異物回収装置において、
前記第２のポンプの駆動時は、前記第１のポンプが駆動しないように制御する手段を有することを特徴とする異物回収装置。
【請求項７】
物体に付着した異物を気流の力でフィルタ上に回収する異物回収方法において、
ノズルを介して物体に付着した異物を、ポンプを用いて気体に吸引力を付与し該気体とともに通気路を通して吸引する吸引工程と、
前記吸引した異物を含む気体を、該異物を溶解させない捕集用液体中に通し、該捕集用液体に前記異物を捕集する捕集工程と、
前記異物を捕集した捕集用液体を吸引してフィルタを含む濾過部に通し、前記異物を該フィルタ表面に回収する回収工程と、を含み、
前記捕集用液体を流す流路が前記濾過部と接続される受け口での断面積が、前記通気路のいずれの断面積よりも小さいことを特徴とする異物回収方法。
【請求項８】
請求項７に記載の異物回収法方法において、
前記フィルタの上流部に、貫通管を有するフィルタ保持具が配置されていることを特徴とする異物回収方法。
【請求項９】
磁気ディスク装置の製造方法において、
磁気ディスク装置を構成する構成部品を準備する準備工程と、
前記準備した構成部品を用いて磁気ディスク装置を組立てる組立工程と、
前記組立てた磁気ディスク装置を封止する封止工程と、
を含み、
前記準備工程、組立工程、封止工程のいずれかの工程の間、または前記封止工程の後に、請求項１記載の異物回収装置を用いて、前記構成部品または前記磁気ディスク装置の異物を回収することを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の磁気ディスク装置の製造方法において、
前記準備工程、組立工程、封止工程のそれぞれの工程間、または前記封止工程の後のいずれかの少なくとも２箇所で、前記構成部品および前記磁気ディスク装置の異物回収を行うことを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法。
【請求項１】
物体に付着した異物を気流の力でフィルタ上に回収する異物回収装置において、
前記異物を気体とともに吸引するノズルと、
前記気体を吸引する吸引力を付与する第１のポンプと、
前記異物を溶解させない捕集用液体を収容する捕集用液体貯蓄槽と、
前記捕集用液体を通して、前記吸引した異物を含む気体を捕集する液体収容容器と、
前記ノズルと前記液体収容容器とを接続する第１の接続部と、
前記異物が捕集された捕集用液体を通過させることにより前記異物を回収するフィルタを具備して成る濾過部と、
前記液体収容容器と前記濾過部を接続する第２の接続部と、を備え、
前記第２の接続部に設けられた前記捕集用液体を流す流路の前記濾過部と接続される受け口での断面積が、前記第１の接続部に設けられた流路のいずれかの断面積よりも小さいことを特徴とする異物回収装置。
【請求項２】
請求項１に記載の異物回収装置において、
前記濾過部は、前記フィルタと、前記第２の接続部側に設けられ前記フィルタを保持するフィルタ保持具と、前記フィルタを介して前記第２の接続部と対向する側に設けられ前記フィルタを支持するフィルタ支持具と、前記フィルタ保持具を囲むように配置されたフィルタホルダと、を備え、
前記フィルタ保持具と前記フィルタ支持具には、前記捕集用液体を流す流路となる貫通管を有することを特徴とする異物回収装置。
【請求項３】
請求項１に記載の異物回収装置において、
前記フィルタ上流側の流路の第１の位置における断面積は、前記第１の位置より、さらに上流側の流路の断面積よりも小さいことを特徴とする異物回収装置。
【請求項４】
請求項１に記載の異物回収装置において、
前記濾過部の下流に、第３の接続部を介して第２のポンプが接続されていることを特徴とする異物回収装置。
【請求項５】
請求項４に記載の異物回収装置において、
前記第２のポンプで吸引した前記捕集用液体を、前記液体収容容器に戻す手段を有することを特徴とする異物回収装置。
【請求項６】
請求項５に記載の異物回収装置において、
前記第２のポンプの駆動時は、前記第１のポンプが駆動しないように制御する手段を有することを特徴とする異物回収装置。
【請求項７】
物体に付着した異物を気流の力でフィルタ上に回収する異物回収方法において、
ノズルを介して物体に付着した異物を、ポンプを用いて気体に吸引力を付与し該気体とともに通気路を通して吸引する吸引工程と、
前記吸引した異物を含む気体を、該異物を溶解させない捕集用液体中に通し、該捕集用液体に前記異物を捕集する捕集工程と、
前記異物を捕集した捕集用液体を吸引してフィルタを含む濾過部に通し、前記異物を該フィルタ表面に回収する回収工程と、を含み、
前記捕集用液体を流す流路が前記濾過部と接続される受け口での断面積が、前記通気路のいずれの断面積よりも小さいことを特徴とする異物回収方法。
【請求項８】
請求項７に記載の異物回収法方法において、
前記フィルタの上流部に、貫通管を有するフィルタ保持具が配置されていることを特徴とする異物回収方法。
【請求項９】
磁気ディスク装置の製造方法において、
磁気ディスク装置を構成する構成部品を準備する準備工程と、
前記準備した構成部品を用いて磁気ディスク装置を組立てる組立工程と、
前記組立てた磁気ディスク装置を封止する封止工程と、
を含み、
前記準備工程、組立工程、封止工程のいずれかの工程の間、または前記封止工程の後に、請求項１記載の異物回収装置を用いて、前記構成部品または前記磁気ディスク装置の異物を回収することを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の磁気ディスク装置の製造方法において、
前記準備工程、組立工程、封止工程のそれぞれの工程間、または前記封止工程の後のいずれかの少なくとも２箇所で、前記構成部品および前記磁気ディスク装置の異物回収を行うことを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１１−１２０９８２（Ｐ２０１１−１２０９８２Ａ）
【公開日】平成２３年６月２３日（２０１１．６．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２７９５８３（Ｐ２００９−２７９５８３）
【出願日】平成２１年１２月９日（２００９．１２．９）
【出願人】（５０３１１６２８０）ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ (1,121)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年６月２３日（２０１１．６．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１２月９日（２００９．１２．９）
【出願人】（５０３１１６２８０）ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ (1,121)
【Ｆターム（参考）】
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