耐腐食性多段式真空ポンプ

【課題】流通ガス（腐食性ガス）と接触するロータ，ケーシング，段間仕切板やサイドフレームの部位には隙間を設けて厚肉のテフロンライニングが設けると共に隣接ケーシング間にテフロンライニングのない部位を形成して隙間保持とテフロンライニングの変位を防止する耐腐食性多段式真空ポンプを提供する。
【解決手段】例えば、第１段ケーシング９Ａと第２段ケーシング９Ｂとの接触面の一部（◎印で示す）にはテフロンライニングが施されていない部位があり、金属接触するように形成される。これにより、締結固定時においてもテフロンライニングの変形が防止され、隙間５を所定の寸法に保持することができる。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、腐食性の流通ガスを使用する多段式真空ポンプにおいて前記流通ガスと接触する部位に厚肉のテフロンライニングを施すと共にロータや段間仕切板との間やケーシングやサイドフレームと間に内部性能保持のための微少隙間を形成保持する構造の耐腐食性多段式真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
多段式真空ポンプとしては各種のものがあるが本発明と同一の出願人の製作している多段式真空ポンプとしては「非特許文献１」に示すものが挙げられる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】ＣＡＴＡＬＯＧＮｏ１０９（図４に示されている）この「非特許文献１」は図４に示すようにシャフトに挿着されている３段のロータとこれを囲むケーシングとロータ及びケーシング間に介設されている中間仕切板（段間仕切板とも言う）やロータやケーシングに接触している両側のサイドフレーム等とからなり、冷却液や吸気は図４の矢印等で示す経路で流通している。なお、この多段式真空ポンプの各構成要素の材質や構造としては標準材料や標準材料にニッケルメッキをしたものやステンレス材を用いたものや標準材料に２０μ乃至３０μのテフロンコーティング膜を形成したものがある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の適用される多段式真空ポンプとしては図３に示すものが一例として挙げられる。この多段式真空ポンプは、シャフト７に挿着されている第１段ロータ８Ａ，第２段ロータ８Ｂ，第３段ロータ８Ｃ及び第４段ロータ８Ｄからなり、これ等は第１段ケーシング９Ａ，第２段ケーシング９Ｂ，第３段ケーシング９Ｃ及び第４段ケーシング９Ｄ内に回転可能に収納されている。また、夫々のロータ８Ａ等やケーシング９Ａ等間には段間仕切板１０ＡＢ，１０ＢＣ，１０ＣＤが夫々介設されている。また、第１段ロータ８Ａや第１段ケーシング９Ａ及び第４段ロータ８Ｄや第４段ケーシング９Ｄは夫々両側のサイドフレーム１１，１１に当接して配設される。なお、図３におけるその他の各構成要素についての構造の説明や冷却水や吸気（ガス）の流通経路等については特別のものではなく、その説明を省略する。
【０００５】
夫々のロータとケーシングや段間仕切板やサイドフレーム間には熱変位等による夫々の部材の直接接触を防止するための微少隙間（例えば、０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍ程度）が設けられている（図３には明示されていない）。
【０００６】
流通ガスとしては腐食性ガスでないものもあるが、腐食性ガスが流通ガスとして使用される場合には前記した標準材料や標準材料にニッケルメッキしたものやステンレス材では腐食性ガスにより腐食され長時間使用できない問題点がある。このためテフロンライニングを施す必要があるが、従来ではこのテフロンライニングは２０μ乃至３０μ程度の厚みのものであった。この２０μ乃至３０μのテフロンコーティングは腐食性を有するものではあるが多数のピンホールが存在し、長時間の耐腐食性を保持することができない問題点があった。
【０００７】
一方、テフロンライニング（テフロンコーティングで１５０μを越えるものはテフロンライニングとも称している）の厚みを例えば３００μのものを採用すると４段の多段式真空ポンプの場合には全体のテフロンライニングの厚みが０．３ｍｍ×１０＝３ｍｍとなる。また、テフロンライニングは組立時における締結固定によってクリープ減少を起こして変形して薄くなり、前記の厚み３ｍｍが大きく変化し１ｍｍ乃至２ｍｍ程度の厚みになる。この厚み変化が発生すると各構成部材間に０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍの隙間を保持することができない問題点がある。
【０００８】
本発明は、以上の問題点を解消すべく発明されたものであり、各構成部材間に必要の隙間を保持すると共に腐食性ガスに対しても十分の耐腐食性を有する厚肉のテフロンライニングを部材間に設けることが出来る耐腐食性多段式真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以上の目的を達成するために、請求項１の発明は、ロータと段間仕切板とケーシング及びサイドフレームとの間に微少隙間を保持し隣接する前記ケーシング間及び前記サイドフレームと前記ケーシングとを締結固定してなる多段式真空ポンプの流通ガスと接触する部位に、隣接する前記ケーシング間及びケーシングとサイドフレームとの間の締結面の一部を除いて厚肉のテフロンライニングを施すことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２の発明は、前記テフロンライニングの厚みが１５０μ以上であることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３の発明は、隣接する前記ケーシングのテフロンライニングを施している接合面間にガス洩れ防止のためのＯリングを介設することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の請求項１の耐腐食性多段式真空ポンプによれば、各構成部材には肉厚の厚いテフロンライニングが施されているため腐食性ガスに対しても各構成部材を腐食から防ぐことができ、耐腐食性の向上が図られると共に、隣接するケーシングやケーシングとサイドフレームとの接触部位の一部にテフロンライニングを施さない部分を形成し、金属接触させることによりそれ以上のテフロンライニングの圧縮を防止することができ、各構成部材間の隙間を０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍ程度に保持することができる。
【００１３】
また、請求項２の耐腐食性多段式真空ポンプによれば、テフロンライニングの肉厚を１５０μ以上にすることによりテフロンライニング内のピンホールの発生を防止することができ、強耐腐食性を保持することができる。
【００１４】
また、請求項３の耐腐食性多段式真空ポンプによれば、隣接するケーシング間のテフロンライニングを施してある部位にＯリングを設けることにより各部材間の隙間からのガスの漏洩を有効に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の耐腐食性多段式真空ポンプの主要構成要素の全体構造を示す軸断面図。
【図２】図１におけるテフロンライニングを施してある部位やケーシング間の金属接触の状態やＯリングまわりの詳細構造を示す拡大部分断面図。
【図３】本発明の適用される多段式真空ポンプの全体構造を示す軸断面図。
【図４】従来の多段式真空ポンプの全体構造を示す非特許文献１を示す構造説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の耐腐食性多段式真空ポンプの実施の形態を図面を参照して詳述する。
【実施例】
【００１７】
まず、図１により本発明の耐腐食性多段式真空ポンプの全体構造を説明するが、本発明に関連しない各構成要素や冷却水や流通ガスの流通経路についての説明は省略する。
【００１８】
第１段ロータ８Ａ乃至第４段ロータ８Ｄのガスと接触する部位には例えば３００μのテフロンライニングが設けられている（符号として各段のテフロンライニング１Ａ，２Ａ，３Ａ，４Ａとする）。また、各段のケーシング９Ａ等のガスと接触する部位には図示における◎印の部位を除き３００μのテフロンライニングが設けられている（符号として各段のテフロンライニングを１Ｂ，２Ｂ，３Ｂ，４Ｂとする）。また、段間仕切板１０ＡＢ，１０ＢＣ，１０ＣＤ等のガスと接触する部位には３００μのテフロンライニングが設けられている（符号として各段用のテフロンライニングを１Ｃ，２Ｃ，３Ｃとする）。
また、サイドフレーム１１のロータ８Ａ等やケーシング９Ａと接触する部位にも３００μのテフロンライニングが設けられている（符号としてこのテフロンライニングを１Ｄ，４Ｄとする）。
【００１９】
サイドフレーム１１のテフロンライニング１Ｄと第１段ロータ８Ａのテフロンライニング１Ａとの間やサイドフレーム１１のテフロンライニング４Ｄと第４段ロータ８Ｄのテフロンライニング４Ａとの間には約０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍの隙間５が形成されている。また、夫々のロータ８Ａ等やケーシング９Ａ等との間やロータ８Ａ等及びケーシング９Ａ等と段間仕切板１０ＡＢ等の夫々のテフロンライニング（符号を省略する）間にも０．１５ｍｍ乃至０．３ｍｍの隙間５が設けられている。
【００２０】
次に、テフロンライニングが施されていないケーシング９Ａ等やサイドフレーム１１の部位における構造を図２により説明する。図２はケーシング９Ｂ等間における構造についてのみ説明されているがケーシング９Ａ等とサイドフレーム１１との間についても同一の構造のものからなるが重複説明を省略する。
【００２１】
図２に示すように、例えば第２段目のケーシング９Ｂと第３段目のケーシング９Ｃとの接触部位の一部にはテフロンライニングが施されていない部位（◎で示す）が形成されている。このため、この部位は金属接触することになり、ケーシング間はこれ以上の締め込みを防止することができる。この◎印の部位のテフロンライニングのない状態により、テフロンライニングの施されている部位は余分の変形が防止され、０．１５ｍｍ及び０．３ｍｍの隙間５を保持することができる。
【００２２】
隣接するケーシング９Ａ，９Ｂ等間が以上のように金属接触し板としてもこの面間からがガスの漏洩を防止するためテフロンライニングの施されているケーシング間の部位にはＯリング６が介設され、ガス洩れの防止を図っている。
なお、ケーシング９Ａ等のテフロンライニングを除去した金属接触面の形成についての形成手段についてはノウハウ的の内容でもあり、説明を省略する。
【００２３】
以上のように、隣接するケーシング９Ａ，９Ｂ等間の一部にテフロンライニングを施さない部位を形成する比較的簡便の手段により、従来の大きな問題点であった腐食性の大巾の改善ができ、本発明の価値が大きいことが証明される。
なお、本発明は、以上の内容のものではあるが、同一技術的範疇のものが適用されることは勿論である。又,以上の実施例ではテフロンライニングの厚みを３００μとしたがこれに限定するものではない。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明は多段式真空ポンプのすべてのタイプのものに適用可能であり、更に、腐食性を問題とするガス接触部位を有するその構造体にも適用可能であり、その利用範囲は広い。
【符号の説明】
【００２５】
１Ａテフロンライニング
２Ａテフロンライニング
３Ａテフロンライニング
３Ｄテフロンライニング
１Ｂテフロンライニング
２Ｂテフロンライニング
３Ｂテフロンライニング
４Ｂテフロンライニング
１Ｃテフロンライニング
２Ｃテフロンライニング
３Ｃテフロンライニング
１Ｄテフロンライニング
４Ｄテフロンライニング
５隙間
６Ｏリング
７シャフト
８Ａ第１段ロータ
８Ｂ第２段ロータ
８Ｃ第３段ロータ
８Ｄ第４段ロータ
９Ａ第１段ケーシング
９Ｂ第２段ケーシング
９Ｃ第３段ケーシング
９Ｄ第４段ケーシング
１０ＡＢ段間仕切板
１０ＢＣ段間仕切板
１０ＣＤ段間仕切板
１１サイドフレーム

【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータと段間仕切板とケーシング及びサイドフレームとの間に微少隙間を保持し隣接する前記ケーシング間及び前記サイドフレームと前記ケーシングとを締結固定してなる多段式真空ポンプの流通ガスと接触する部位に、隣接する前記ケーシング間及びケーシングとサイドフレームとの間の締結面の一部を除いて厚肉のテフロンライニングを施すことを特徴とする耐腐食性段式真空ポンプ。
【請求項２】
前記テフロンライニングの厚みが１５０μ以上であることを特徴とする請求項１に記載の耐腐食性段式真空ポンプ。
【請求項３】
隣接する前記ケーシングのテフロンライニングを施している接合面間にガス洩れ防止のためのＯリングを介設することを特徴とする請求項１に記載の耐腐食性段式真空ポンプ。

【図１】