電子顕微鏡検査のサンプル担体のための保持器

【課題】安定でストレスフリーな電子顕微鏡検査のサンプル担体の保持が可能なマウントを提供する。
【解決手段】マウントは、中央領域に貫通する開口部を有する基板と、開口部の周囲に少なくとも部分的に延在するサンプル担体の支持表面と、基板に備えられた支持表面で、サンプル担体を摩擦的な系合によって保持するための保持装置とを含み、保持装置は、サンプル担体を摩擦的な系合によって保持するための、少なくとも２つの相互に独立的なクリップ部材を含み、クリップ部材が、基板から開口部の方向に向かって延在し、クリップ部材が、互いに間隔を空けて離れた電子顕微鏡検査のサンプル担体の端部領域でサンプル担体を支持表面に保持可能である。電子顕微鏡検査のサンプル担体を搭載したマウントを載置するための載置装置及び当該載置装置を使用する方法も提供する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡検査のサンプル担体を保持するためのマウントないし保持器に関し、特に、電子顕微鏡検査のサンプル担体を保持するためのマウントであって、中央領域に貫通する（中央）開口部を有する基板と、（中央）開口部の周囲に少なくとも部分的に延在するサンプル担体の支持表面と、基板に備えられた支持表面で、サンプル担体を摩擦的な係合によって保持するための保持装置と、を含むマウントに関連する。
【０００２】
本発明は、更に、顕微鏡検査のサンプル担体を搭載したマウントの載置装置及び載置方法に関し、特に、電子顕微鏡検査のサンプル担体を搭載したマウントの載置装置及び載置方法に関する。
【０００３】
本発明は、更に、顕微鏡の標本保持装置、特にマウントを含む電子顕微鏡の標本保持装置に関する。
【背景技術】
【０００４】
顕微鏡、特に、電子顕微鏡検査の能力、特に高分解能の透過型電子顕微鏡の能力はかなりのものである。この技術のおかげで、例えば、生物学的な超微細構造や半導体構造の検査という意味合いにおいて、研究や情報回収に大きな進歩をもたらすことができている。
【０００５】
透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）に存在する高真空と、高エネルギー性の電子ビームとのために、構造を固定するサンプル調製プロセスが通常必要である。このことは、生物学的なサンプルを用いる場合には特に顕著である。更に、高分解能の透過型電子顕微鏡による画像処理のためには、サンプルが十分に薄いことが絶対的に必要である。ＴＥＭのサンプルは、検査に適するサンプル担体に適用される。サンプル担体は、典型的には、直径２〜３ｍｍの非常に小さく、丸い、繊細なグリッドである。該グリッドは、種々の形状の穴（ハニカム状、スリット状など）や、所定のメッシュカウントの格子を有する。該グリッドは、通常、薄いフィルムで覆われるが、更なるコーティングを含むこともできる。
【０００６】
電子顕微鏡下での検査のためには、サンプルを搭載したサンプル担体は、適切な標本保持装置によって保持しなければならない。ほとんどの適用形態では、標本保持装置はゴニオメータとして備えられ、サイドエントリ型のゴニオメータが主に使用される。一筐体型の標本保持装置では、サンプル担体は、サンプル保持装置の開口部に載置されて、保持される。他には、欧州特許公開ＥＰ１８６８２２５Ａ１号（特許文献１）、及び欧州特許公開ＥＰ１９４７６７５Ａ１号（特許文献２）などに記載された複数筐体部分から成る標本保持装置が追加的に使用される。これらの複数筐体部分型の装置では、先ず、サンプル担体がフレームのようなマウント（「カートリッジ」とも称される）に保持され、次に、当該マウントが標本保持装置の対応する保持器へ、反転可能な態様で留め付けられる。
【０００７】
電子顕微鏡の標本保持装置及びマウント装置は、特定の必要条件を満足しなければならない。
【０００８】
非常に高い力学的安定性と高真空の両立に加えて、使用されるサンプル担体の繊細な性質に起因して、標本保持装置におけるサンプル担体の適切な保持及びマウントが高度に要求される。適切な検査のためとサンプル担体の損失を防ぐためには、サンプル担体は、安定でかつ振動しない様式で保持されなければならない。更に、繊細なサンプル担体が歪むことは回避されなければならず、さもなくば、サンプル担体は容易にダメージを負ってしまう。公知の標本保持装置（例えば、欧州特許公開ＥＰ１９４７６７５Ａ１号（特許文献２）及び米国特許ＵＳ６，００２，１３６号（特許文献３）などに開示されているもの）では、グリッドは、固定リング（Sicherungsringe、securing ring）の助けによって標本保持装置の開口部に保持される。
【０００９】
多くの適用形態において、標本（プレパラート）の平面における１本以上の軸を中心とした非常に正確かつ安定なチルト運動のための機能が備えられている。例えば、国際公開ＷＯ００／１０１９１号（特許文献４）は、ダブルチルト機能を有するサイドエントリ型の標本保持装置を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】欧州特許公開ＥＰ１８６８２２５Ａ１号
【特許文献２】欧州特許公開ＥＰ１９４７６７５Ａ１号
【特許文献３】米国特許ＵＳ６，００２，１３６号
【特許文献４】国際公開ＷＯ００／１０１９１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
以下の分析は、本発明者により与えられる。特許文献２、３に記載の固定リングは、通常、工具を使用して圧着させられるが、このことはサンプル担体のコーティングに対する不利な影響を有する。これらのコーティングは、典型的には非常に脆く、サンプル担体及び固定リングのインストールの際の歪みによって容易に破壊され得る。更に、固定リングは取り扱いが厄介な小さい部材であり、特に、インストール工具へ載置することが必要な時に、容易に喪失し得る。
【００１２】
固定リングを使用する上記の構成では、そのような適用形態の可能性は全体的に利用されていないという欠点がある。固定リングは、サンプル担体を開口部における環状の支持体に押し付けるために溝を必要とする。固定リング及び溝は、グリッドの直径よりもわずかに小さい環状の構成を必要とする。このことはチルト運動の角度を限定し、かくて、電子顕微鏡観察から得られる情報が減少する。
【００１３】
電子顕微鏡の特定の適用形態においては、更にサンプルをサンプル調製装置からＴＥＭへ運搬可能であることが必要であり、ＥＭ標本保持装置とサンプルとの間における良好な熱的接触関係が必要とされる。このことは、特に、構造生物学に低温電子顕微鏡を適用する場合には必要不可欠である。この技術では、水性のサンプルは低温固定される。すなわち、非常に急速に冷却することで、氷結晶の形成が回避される。そのことによって、検査の目的物（例えば、細胞、酵素、ウィルス又は油層）は、薄くてガラス状の氷層の中に包埋される。低温固定したサンプルの運搬は厳密な取り扱いを必要とし、異物混入のおそれがある。特に、低温固定したサンプルを運搬することが可能な低温型のＥＭ標本保持装置及びマウントが、このことに使用される。
【００１４】
従って、本発明の一視点において、上述のような背景技術に存在する欠点を取り除くこと、更には、上記のストリンジェントな必要条件に対応するマウントを利用可能にすることを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
第１の視点において、電子顕微鏡検査のサンプル担体を保持するためのマウントが提供される。当該マウントは、中央領域に貫通する（中央）開口部を有する基板と、（中央）開口部の周囲に少なくとも部分的に延在するサンプル担体の支持表面と、基板に備えられた支持表面で、サンプル担体を摩擦的な係合によって保持するための保持装置と、を含む。前記保持装置は、サンプル担体を摩擦的な係合によって保持するための、少なくとも２つの相互に独立的なクリップ部材を含む。前記クリップ部材は、基板から（中央）開口部へ向かって延在する。前記クリップ部材は、互いに間隔を空けて離れた電子顕微鏡検査のサンプル担体の端部領域でサンプル担体を支持表面に保持することができる。
【００１６】
第２の視点において、電子顕微鏡検査のサンプル担体を搭載したマウントを載置するための載置装置が提供される。当該載置装置は、上記のマウントと、マウントを載置することが可能な載置補助要素とを含む。前記載置補助要素は、当接部材を含み、前記当接部材は、マウントの基板における各クリップ部材の下に配設された開口部（開孔）を通過する。また、前記当接部材は、マウントのクリップ部材の保持力に対抗して、基板から離れる方向へクリップ部材を移動させる。
【００１７】
第３の視点において、前記載置装置によって電子顕微鏡検査のサンプル担体を搭載したマウントを載置する方法が提供される。当該方法は、ａ）載置補助要素にマウントを載置するステップと、ｂ）載置補助要素の当接部材がクリップ部材を、基板から離れる方向であって上昇した位置へ移動させるステップと、ｃ）マウントの支持表面にサンプル担体を載置するステップと、ｄ）マウントを載置補助要素から取り出して、クリップ部材が元の位置へ戻ることによって、サンプル担体を摩擦的な係合様式で支持表面において保持するステップとを含む方法、が提供される。
【００１８】
第４の視点において、電子顕微鏡の標本保持装置であって、分離可能なように受容可能な前記マウントを含む標本保持装置、が提供される。
【００１９】
なお、本願の特許請求の範囲に付記した図面参照符号は、専ら理解を助けるための補助であり、図示の態様に限定することを意図するものではない。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の各視点によれば、上述のような背景技術に存在する欠点を取り除くことが可能であり、更には、上記のストリンジェントな必要条件に対応するマウントが提供される。かくて、電子顕微鏡検査のサンプル担体のためのマウントが提供される。当該マウントによって、安定でストレスフリーなサンプル担体の保持が可能になり、サンプルを有するサンプル担体がネガティブな影響を受けなくなる。更には、マウントとサンプル担体との間の良好な熱的接触関係を保障することができる。更には、マウントを、最大の傾きの角度でチルト運動させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
本発明は、更なる利点とともに、添付の図面を参照して非限定的な例示の実施例について説明される。
【図１】図１は、本発明に係る第１の実施例のカートリッジ（マウント）の斜視図である。
【図２】図２は、図１のカートリッジの下側の斜視図である。
【図３】図３は、本発明に係る第２の実施例のカートリッジ（マウント）の透視図である。
【図４】図４は、カートリッジが搭載されていない載置補助要素の斜視図である。
【図５】図５は、図１のカートリッジを搭載している図４の載置補助要素を示す。
【図６】図６は、カートリッジ内に偏心状態で載置された電子顕微鏡検査のサンプル担体を含む図５の載置補助要素を示す。
【図７】図７は、カートリッジ内のサンプル担体が保持位置に滑り込んだ状態の図６の載置補助要素を示す。
【図８】図８は、図１のカートリッジがインストールされたゴニオメータの領域の斜視図である。
【図９】図９は、図３のカートリッジがインストールされたゴニオメータの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明において、以下の形態が可能である。
【００２３】
（形態１）
第１の視点に記載のとおり、電子顕微鏡検査のサンプル担体を保持するためのマウントは、中央領域に貫通する（中央）開口部を有する基板と、該（中央）開口部の周囲に少なくとも部分的に延在するサンプル担体の支持表面と、基板に備えられた支持表面で、サンプル担体を摩擦的な係合によって保持するための保持装置と、を含む。前記保持装置は、サンプル担体を摩擦的な係合によって保持するための、少なくとも２つの相互に独立的なクリップ部材を含む。前記クリップ部材は、基板から（中央）開口部へ向かって延在する。前記クリップ部材は、互いに間隔を空けて離れた電子顕微鏡検査のサンプル担体の端部領域でサンプル担体を支持表面に保持することができる。
【００２４】
（形態２）
第２の視点に記載のとおり、電子顕微鏡検査のサンプル担体を搭載したマウントを載置するための載置装置は、上記のマウントと、マウントを載置することが可能な載置補助要素とを含む。前記載置補助要素は、当接部材を含み、前記当接部材が、マウントの基板における各クリップ部材の下に配設された開口部（開孔）を通過する。前記当接部材は、マウントのクリップ部材の保持力に対抗して、基板から離れる方向へクリップ部材を移動させる。
【００２５】
（形態３）
第３の視点に記載のとおり、前記載置装置によって電子顕微鏡検査のサンプル担体を搭載したマウントを載置する方法は、以下のステップを含む。すなわち、ａ）載置補助要素にマウントを載置するステップと、ｂ）載置補助要素の当接部材がクリップ部材を、基板から離れる方向であって上昇した位置へ移動させるステップと、ｃ）マウントの支持表面にサンプル担体を載置するステップと、ｄ）マウントを載置補助要素から取り出して、クリップ部材が元の位置へ戻ることによって、サンプル担体を摩擦的な係合様式で支持表面において保持するステップとを含む方法、が提供される。
【００２６】
（形態４）
第４の視点に記載のとおり、電子顕微鏡の標本保持装置であって、分離可能なように受容可能な前記マウントを含む標本保持装置、が提供される。
【００２７】
さらに、本発明の実施形態としては、以下の展開形態が可能である。
（形態５）
本発明において、保持装置が、クリップ部材として２つのクリップ部材を含むことが好ましい。
【００２８】
（形態６）
本発明において、クリップ部材が、互いに対向して配設されることが好ましい。
【００２９】
（形態７）
本発明において、クリップ部材が帯状に構成され、基板と実質的に平行に配設されることが好ましい。
【００３０】
（形態８）
本発明において、クリップ部材がバネ部材として構成されることが好ましい。
【００３１】
（形態９）
本発明において、各クリップ部材が、基板へ固定される第１の末端と、（中央）開口部に向けられて、支持表面にサンプル担体を摩擦的な係合によって保持する第２の末端とを含むことが好ましい。
【００３２】
（形態１０）
本発明において、（中央）開口部において、クリップ部材の第２の末端が、支持表面の端の位置に揃っていることが好ましい。
【００３３】
（形態１１）
本発明において、基板に配設されるカバープレートが、中央領域に、サンプル担体及びクリップ部材へのアクセスを可能にする中央開口領域を含むことが好ましい。
【００３４】
（形態１２）
本発明において、各クリップ部材の第１の末端が、基板とカバープレートとの間で固定されていることが好ましい。
【００３５】
（形態１３）
本発明において、中間プレートが基板とカバープレートとの間に配設され、クリップ部材が中間プレートの構成要素であることが好ましい。
【００３６】
（形態１４）
本発明において、カバープレートの中央開口領域が、偏心状態でサンプル担体を載置することが可能な大きさを有すること、すなわち、先ず、マウント内でサンプル担体を保持することが可能な位置の横側にサンプル担体を載置することができ、次に、マウント内でサンプル担体を保持することが可能な位置へ載置されたサンプル担体を横方向移動させることができることが好ましい。
【００３７】
（形態１５）
本発明において、基板を貫通して延在する開口部（開孔）が各クリップ部材の下に配設されることが好ましい。
【００３８】
（形態１６）
本発明において、マウントが回転対称的な構造を有する外側の端部輪郭を含み、４回回転対称に相当することが好ましい。
【００３９】
（形態１７）
本発明において、マウントが実質的に丸い外側の端部輪郭を有することが好ましい。
【００４０】
（形態１８）
本発明において、マウントは、電子顕微鏡の標本保持装置に受容可能なように構成されることが好ましい。
【００４１】
（形態１９）
本発明において、標本保持装置は、ゴニオメータの形状、特にサイドエントリ型のゴニオメータの形状であることが好ましい。
【００４２】
（形態２０）
本発明において、マウントが、サンプル担体の平面における少なくとも１本の軸を中心として、好ましくは、サンプル担体の平面における２本の軸を中心として、チルト運動が可能なように載置されることが好ましい。
【００４３】
本発明の目的は、主に採用される種類のマウントによって達成されるが、特に、保持装置は、サンプル担体を摩擦的な係合によって保持するための、少なくとも２つの相互に独立的なクリップ部材を含み、クリップ部材が、基板から（中央）開口部の方向に向かって延在すること、クリップ部材が、互いに間隔を空けて離れた電子顕微鏡検査のサンプル担体の端部領域でサンプル担体を支持表面に保持することができること、を特徴とする。
【００４４】
本発明によれば、安定でストレスフリーのサンプル担体の保持が可能になる。特に、本発明によれば、背景技術から知られる固定リングと比較して、サンプル担体がストレスフリーの様式で保持される。サンプル担体の載置も実質的に単純になり、インストールの間にサンプル担体が歪むことが回避される。そのことによって、サンプル担体及び該担体に搭載されたサンプルが損傷するリスクが非常に低く保たれる。
【００４５】
マウントにおいてサンプル担体はストレスフリーな状態で保持されるが、それにもかかわらず、マウント及びサンプル担体の間には良好な熱的接触関係が存在する。検査の間に特定の温度レベルで維持されなければならない標本に関しては、このことは特に重要である。
【００４６】
環状の溝及び環状の留め付け部材を使用しないので、本発明に係るマウントは、固定リングを使用する構成と比較して、より大きい角度でチルト運動させることが可能である。
【００４７】
小さくて、喪失し易く、取り扱いが困難な部材を省くことができるので、構成が単純になり、マウントの取り扱いが単純で実用的になるという更なる利点がある。本発明によれば、サンプル担体を容易に載置することができるだけではなく、サンプル担体にダメージを与えることなしにマウントから取り出すことも可能である。
【００４８】
更に、コストを抑えた様式で本発明に係るマウントを製造することが可能なことも分かっている。例えば、使い捨ての製品として製造することも可能である。
【００４９】
好ましくは、本発明に係るマウントは、高真空状態での使用に適した材料から製造される。高真空状態での使用に適した材料は水分子を含んではいけない。更に、該材料は、多孔質の（poroese）表面を有するべきではない。好ましい材料は、銅及びベリリウム銅である。
【００５０】
本発明に係るマウントは、主に、電子顕微鏡の標本保持装置に受容させることを目的として提供される。標本保持装置は、好ましくは、ゴニオメータとして、特に好ましくは、サイドエントリ型のゴニオメータの形態で備えられる。ゴニオメータやサイドエントリ型のゴニオメータの操作の仕方及び基本的な構造は、その分野における通常の技術を有する者にはよく知られている。この意味合いにおいて、本発明に係るマウントは、標本保持装置又はゴニオメータの対応する保持器に受容可能であり、分離可能なように固定される。
例えば、欧州特許公開ＥＰ１９４７６７５Ａ１号（特許文献２）は、２本の平行する保持棒を含む標本保持装置を開示しており、当該保持棒はマウントの外側の端部輪郭の周辺に延在する溝と噛み合う。欧州特許公開ＥＰ１８６８２２５Ａ１号（特許文献１）では、マウントは、スナップ機構によって標本保持装置に固定される。
【００５１】
本発明は、かくて、分離可能なように受容可能な本発明に係るマウントを含む電子顕微鏡の標本保持装置についても言及する。
【００５２】
多くの適用形態において、標本の平面における１本以上の軸を中心として、高度に精密で安定な標本のチルト運動が必要である。本発明に係るマウントが、サンプル担体の平面における少なくとも１本の軸を中心として、好ましくは、サンプル担体の平面における２本の軸を中心として、チルト運動（傾動）が可能なように標本保持装置に載置される場合には、結果的に有利である。そのようなチルト運動のメカニズムは、背景技術から知られ、例えば、国際公開ＷＯ００/１０１９１号に開示されている。
【００５３】
ここにおいて言及されるべき更なるマウントの利点は、マウントが移動可能であることであり、特に、サンプル調製装置（例えば、低温電子顕微鏡検査のサンプルを調整するための低温チャンバなど）から電子顕微鏡へ移動可能であることである。本発明に係るマウントは、透過型電子顕微鏡検査（特に、透過型低温電子顕微鏡検査）での使用に特に適する。
【００５４】
本発明に係るマウント（Fassung）は、標準的な電子顕微鏡検査のサンプル担体を保持することに適するように設計される。この点については、製造という意味合いにおいて、基板における（中央）開口部の寸法、サンプル担体の支持表面の寸法、及びクリップ部材の寸法は、サンプル担体ごとに採用される。典型的には、そのようなンプル担体は標準的な大きさを有する。本願で使用する用語「サンプル担体（Probentraeger）」は、本発明の分野における通常の知識を有する者に知られており、電子顕微鏡検査、及び電子顕微鏡検査のサンプル調製に適する全ての担体を意味する。用語「サンプル担体」は、特に、既に上述したグリッド（Grids）（「グリッド担体（Netztraeger）」、「ミクログリッド（Netzchen）」「グリッド（Netz）」）を意味する。この意味合いにおいて、グリッドは、種々の形状（ハニカム、スリットなど）の穴、又は、所定のメッシュカウントを有する格子を含むことができる。そして、サンプル担体は、更に、あるいは、単に、フィルム（例えば、Ｑｕａｎｔｉｆｏｉｌ社製のコートグリッド）で被覆することもできるし、炭素蒸着でコートすることも可能である。標準的なグリッドの直径は、典型的には２〜３ｍｍである。
【００５５】
本願において、用語「マウント」の代わりに用語「カートリッジ（Kartusche）」も同一の意味で用いられる。
【００５６】
本発明によれば、マウントは、２つ以上のクリップ部材を含むことができる。本発明に係るマウントは、好ましくは２〜３個のクリップ部材を含む。特に好ましい実施形態において、保持装置は、２つのクリップ部材を含む。この特徴は、電子顕微鏡観察を邪魔しないように、一方では最も単純なデザインを表し、そして、他方ではサンプル担体の安定でストレスフリーのインストール及び載置を可能にする。更に、非常に良好な熱的コンタクト（接触関係）が保障される。サンプル担体がマウント内で２つの端部領域においてのみ保持されるので、大きい角度でのチルト運動が可能である。例えば、２ｍｍの直径を有するサンプル表面は電子顕微鏡下で７０°の角度で観察することができる（「０°」はサンプル表面に対する直角方向を意味する）。
【００５７】
この実施形態においては、マウント内でのサンプル担体の安定な保持のために、好ましくはクリップ部材が互いに対向して配設される。
【００５８】
クリップ部材が帯状の（舌状の）様式で構成され、そして、基板に対して実質的に平行に配設されるときに、特に、マウント内での穏やかで（schonend）ストレスフリーなサンプル担体の保持がもたらされる。上記の理由により帯状の構成が好ましいが、もちろん、丸い切断面を有するワイヤ状のクリップ部材を構成することもできる。
【００５９】
特に好ましく、かつ、容易に実施される実施形態において、クリップ部材はバネ（弾性）部材として構成される。この意味合いにおいて、サンプル担体は、プリロードによるバネ作用によって、基板の表面又は支持表面へ向かって保持される。好ましくは、バネ部材は上述のように帯状の（舌状の）様式で構成される。
【００６０】
好ましくは、各クリップ部材が、基板へ固定される第１の末端と、（中央）開口部に向けられて、支持表面にサンプル担体を摩擦的な係合によって保持する第２の末端とを含む。クリップ部材の第１の末端は、好ましくは、スポット溶接によって基板に固定される。
【００６１】
クリップ部材の第２の末端は、好ましくは、（中央）開口部において支持表面の端の位置に揃っている。支持表面の全体の幅が利用されるので、サンプル担体は特に安全にマウントに保持される。その一方では、クリップ部材の第２の末端は基板の表面において（中央）開口部内へは延在しないので、電子ビームが阻害されることなく通過することが許容される。
【００６２】
マウントが基板に配設されるカバープレートを含み、当該カバープレートが、（中央）開口部に、サンプル担体及びクリップ部材へのアクセスを可能にする（中央）開口部領域
を含む場合には、特に有利である。好ましくは、サンプル担体がこの（中央）開口部領域
にフィットすることができるように、サンプル担体へのアクセスを可能にする（中央）開口部が形成される。このことは、マウントにおけるサンプル担体の配向（Orientieren）を促進する。クリップ部材へのアクセスに関しては、サンプル担体の載置の際にクリップ部材を操作することが可能なように、カバープレートの中央開口領域が形成される。
【００６３】
有利な実施形態において、各クリップ部材の第１の末端は、基板とカバープレートの間に固定される。各クリップ部材の第２の末端は、カバープレートの中央開口領域に配設され、そのために、アクセス可能である。そのことによって、非常にコンパクトで、かつ、容易に操作されるマウントが提供される。基板、クリップ部材及びカバープレートは、好ましくは、スポット溶接によって互いに結合される。カバープレートの中央開口領域は、実質的には基板の（中央）開口部領域に対応する。２枚のプレートから組み立てられるこのマウントでは、基板への溶接を可能にする、適宜エラスティック（ないし可撓性）に形成、構成される上側のカバープレートが構成される。
【００６４】
更に有利な実施形態において、マウントは、基板とカバープレートの間に配設された中間プレートを含み、クリップ部材は中間プレートの構成要素である。好ましくは、中間プレートは中央において、カバープレートの中央開口領域に実質的に対応する中央開口領域を含み、クリップ部材は当該中央開口領域へ延在する。３枚のプレートから組み立てられるこのマウントでは、好ましくは、中間プレートはクリップ部材と一体的に構成され、好ましくは、中間プレートの厚さはクリップ部材の厚さに対応する。
【００６５】
マウントにサンプル担体を穏やかに低ストレスで簡便にインストールするために、カバープレートの中央開口領域の寸法が、偏心状態でサンプル担体を載置することが可能な大きさを有することは、実用上の理由から有利である。すなわち、先ず、マウント内でサンプル担体を保持することが可能な位置の横側にサンプル担体を載置することができ、次に、マウント内でサンプル担体を保持することが可能な位置へ載置されたサンプル担体を横方向移動させることができることは、実用上の理由から有利である。上述のように、中間プレートを使用する実施形態では中間プレートの中央開口領域がカバープレートの中央開口領域に実質的に対応するので、支持表面及びサンプル担体へのアクセスが保障される。クリップ部材は、中央開口領域へ延在する。
【００６６】
特定の電子顕微鏡検査の適用形態では、マウントは回転対称的な構造を有する外側の端部輪郭を含み、特に４回回転対称に相当する。好ましくは、マウントは実質的に多角形に、特に、四角形に構成される。
【００６７】
更なる一実施形態において、マウントは、実質的に丸い外側の端部輪郭を含む。多くの適用形態では、標本の平面における１本以上の軸を中心とする、高度に正確で安定なチルト運動が必要である。「実質的に丸い」とは、好ましくは環状の外側の端部輪郭として理解されるべきである。しかしながら、外側の端部輪郭は卵型の構成でもあり得る。丸い外側の端部輪郭は、マウントが、いわゆる「ダブルチルト型の」ゴニオメータに利用される場合には、特に有利である。本発明の技術分野における通常の知識を有する者には、ダブルチルト型のゴニオメータはよく知られている。例えば、国際公開ＷＯ００／１０１９１は、ダブルチルト機能を備えたこの種のサイドエントリ型の標本保持装置を開示する。本発明は、かくて、本発明に係るマウントを含むダブルチルト型のゴニオメータにも関連する。
【００６８】
好ましい一実施形態において、マウントへサンプル担体をインストールするために、基板を貫通して延在する開口部（開孔）が各クリップ部材の下に配設される。クリップ部材を、開口部（開孔）を通って下から導入（挿通）される当接部材の助けによって持ち上げることができる。一度、サンプル担体が載置されると、サンプル担体は、マウント内において、工具を除去して元の位置へクリップ部材を沈降させることによって保持される。マウントにサンプル担体をインストールするための載置装置及び載置方法は、図４〜７に関して以下に詳細に記載される。
【００６９】
本発明は、更に、電子顕微鏡検査のサンプル担体を搭載したマウントを載置するための載置装置に関連し、当該載置装置は、基板を貫通して延在する開口部（開孔）が各クリップ部材の下に配設された本発明に係るマウントと、当該マウントを載置することが可能な載置補助要素とを含み、載置補助要素は、当接部材を含み、当接部材が、マウントの基板において各クリップ部材の下に配設された開口部（開孔）を通過し、当接部材が、マウントのクリップ部材の保持力に対抗して、基板から離れる方向へクリップ部材を移動させることを特徴とする。
【００７０】
載置補助要素に配設された当接部材は、好ましくは短軸（ペグないし突起）型である。載置補助要素は、好ましくは、ブロック状に構成され、載置の際のマウントの配向（配設）をより容易にするために、マウントの外側の形状に対応する凹状部を含む。そのことによって、マウントの基板に配設された開口部（開孔）を、載置補助要素に配設された当接部材へ向かって正確に配向することが可能である。
【００７１】
本発明は、更に、上述のような載置装置によって電子顕微鏡検査のサンプル担体を搭載したマウントを載置する方法に関連し、以下の各ステップを含む：
ａ）載置補助要素にマウントを載置するステップ、
ｂ）載置補助要素の当接部材がクリップ部材を、基板から離れる方向であって上昇した位置へ移動させるステップ、
ｃ）マウントの支持表面にサンプル担体を載置するステップ、及び
ｄ）マウントを載置補助要素から取り出して、クリップ部材が元の位置へ戻ることによって、サンプル担体を摩擦的な係合様式で支持表面において保持するステップ。
【００７２】
当該方法を実行するために、クリップ部材は、特にバネ部材として配設されることが好ましい。
【００７３】
以下にさらに図面を参照しつつ実施例について詳述する。
【実施例】
【００７４】
図１は、電子顕微鏡検査のサンプル担体を保持するための本発明に係るカートリッジ１００を示す。カートリッジ１００は、基板１０１、カバープレート１０２、基板１０１とカバープレートとの間に配設される中間プレート１１３、そして、基板１０１、中間プレート１１３、カバープレート１０２の中央領域を通過して延在する（中央）開口部１０３を含む。開口部１０３は、透過型電子顕微鏡のビームパス（光路）において、電子ビームの経路として定義される。開口部１０３は、電子顕微鏡検査のサンプル担体（図示されない、図示の例ではグリッドである）が載置される丸い（中央）開口部領域１０３ａを含む。開口部１０３は、更に、ピンセットによってサンプル担体を載置することが可能なように伸長する（長孔状）開口部領域１０３ｂを含む。カートリッジ１００は、更に、２つのクリップ部材１０４ａ及び１０４ｂを含む。クリップ部材１０４ａ、１０４ｂは中間プレート１１３の構成要素であり、中間プレート１１３と、クリップ部材１０４ａ、１０４ｂとは、一体的に構成される。中間プレート１１３の厚さは、クリップ部材１０４ａ、１０４ｂの厚さに対応する。クリップ部材１０４ａ、１０４ｂは、基板上を開口部１０３に向かって延在する帯状のバネ部材として構成される。
【００７５】
基板（ないしベースプレート）１０１は、更に、（中央）開口部１０３の周辺に部分的に延在する電子顕微鏡検査のサンプル担体のための支持表面１０７を含む。支持表面１０７は、もちろん（中央）開口部１０３の周辺全体に延在させることもできる（図示されない）。支持表面１０７は、第１の支持表面領域１０７ａと、より大きな第２の支持表面領域１０７ｂを含む。より大きな第２の支持表面領域１０７ｂは、図４〜７において以下に更に詳細に記載されるように、カートリッジへのサンプル担体のインストールを補けて容易にする。基板１０１は、更に、（中央）開口部１０３に対応する基板の開口領域１０８を含む。カバープレート１０２は、基板の開口領域１０８よりも大きくなるように構成されるカバープレートの開口領域１０９を含み、支持表面１０７及びクリップ部材１０４ａ、１０４ｂへのアクセスを可能にする。中間プレート１１３は中央領域に実質的にカバープレートの中央開口領域１０９に対応する中間プレートの開口領域を含み、クリップ部材１０４ａ、１０４ｂは中間プレートの開口領域に向かって延在する。
【００７６】
各クリップ部材１０４ａ、１０４ｂは、中間プレート１１３の方から伸長する第１の末端１０５ａ, １０５ｂと、（中央）開口部１０３の方向に向かって延在する第２の末端１０６ａ、１０６ｂとを有する。クリップ部材１０４ａ、１０４ｂのバネ作用は、基板１０１に向かって働く。図示した例では、クリップ部材１０４ａ、１０４ｂは、互いに対向して配設される。開口部１０３において、第２の末端１０６ａ、１０６ｂは、支持表面１０７の端位置に揃っている。
【００７７】
図示されないが、図示された実施形態から容易に想到可能な他の実施形態においては、カートリッジは中間プレート１１３を有さずに、基板１０１及びカバープレート１０２のみを有する。この代替的な実施形態においては、各クリップ部材１０４ａ、１０４ｂの第１の末端１０５ａ、１０５ｂは、かくて、中間プレート１１３から伸長するのではなく、基板１０１及びカバープレート１０２の間に固定される。２枚のプレートから組み立てられるこのカートリッジでは、基板への溶接を可能にするために、上側のカバープレートは、適宜の弾性をもって（エラスティックに）構成される。
【００７８】
カートリッジ１００には、基板１０１、中間プレート１１３及びカバープレート１０２を貫通する貫通孔１１１が形成され、当該貫通孔１１１は、溶接の際に各プレートを互いに正しく位置付けるための単なる製造補助部としての役割を果たす。同様に製造補助部としての役割を果たすタブ１１２は、カートリッジ１００の外側の端部輪郭１１０に配設される。タブ１１２は、溶接の後にカートリッジから除去される。
【００７９】
基板１０１と、クリップ部材１０４ａ、１０４ｂを有する中間プレート１１３と、カバープレート１０２とは、スポット溶接によって互いに分離不可能なように結合される。カートリッジ１００が可能な限りにスムーズで研磨された状態の表面を有するように、個々の構成要素を、例えば、振動式研磨装置（Trowalisieren：登録商標）によって表面処理することができる。
【００８０】
カートリッジ１００は、特に、サイドエントリ型のゴニオメータ（Side-Entry-Goniometer）に受容するために提供される。しかしながら、トップエントリ型のゴニオメータ（Top-Entry-Goniometer）にカートリッジ１００を使用することも可能である。
【００８１】
図１に示したカートリッジ１００は、回転対称性の構造の外側の端部輪郭１１０を有し、特定の適用形態に必要な４回回転対称（９０度回転対称）に対応する。カートリッジ１００が挿入されるゴニオメータがチルト運動の軸を１本のみ有する場合には、カートリッジ１００を、透過型電子顕微鏡の外側から、定義された角度ずつ、すなわち９０度ずつ、回転させることができる。一度、回転操作を実行すると、透過型電子顕微鏡のチルト運動の角度は、結果的に同様に９０度回転し、２つの互いに直交する軸の周りの回転操作に対応する。
【００８２】
図２は、カートリッジ１００の下側の斜視図である。基板１０１は、クリップ部材１０４ａ、１０４ｂの直接下に配設され、クリップ部材１０４ａ、１０４ｂへのアクセスを可能にする、基板を貫通する２つの開口部（開孔）１２０ａ、１２０ｂを含む。図４〜７に関して後に記載のように、電子顕微鏡検査のサンプル担体を載置するために、クリップ部材１０４ａ、１０４ｂを、開口部（開孔）１２０ａ、１２０ｂを通って下方からガイドされるペグ（短軸）型の当接部材の助けによって、バネ作用に反して持ち上げることができる。
【００８３】
図３は、図１及び図２に示したカートリッジ１００とは異なり、丸い外側の端部輪郭２１０を有するカートリッジ２００を示す。図２のカートリッジ１００に示されていた製造補助部（貫通孔１１１、タブ１１２）は、カートリッジ２００には図示されない。カートリッジ２００の他の特徴は、カートリッジ１００のものと類似する。カートリッジ２００によって、ダブルチルトを実行することができる。結果的には、「ダブルチルト型の」ゴニオメータにおける使用に特に適する。本発明の分野における通常の技術を有する者（当業者）には、ダブルチルト型のゴニオメータは、よく知られている。
【００８４】
上記２つの実施例に示された各カートリッジ１００、２００は、経験上最も頻繁に使用されるので、上述のように、グリッド（グリッド３１０、図６及び図７参照）の形状のサンプル担体の受容のための寸法としてある。しかしながら、本発明に係るカートリッジが、標準的なグリッドとは異なる直径や異なる外部の形状を有する電子顕微鏡検査のサンプル担体の寸法であり得ることは、本発明の分野における当業者には明らかであろう。
【００８５】
以下の図４〜７は、電子顕微鏡検査のサンプル担体を有する本発明に係るカートリッジを載置するための載置装置を示し、載置方法を表す。
【００８６】
図５は載置装置３００を示し、当該載置装置３００は、本発明に係るカートリッジ（図５には、上記のカートリッジ１００が示されている）と、ブロック形状の載置補助要素３０１とを含む。図４は、凹状部３０２を含む載置補助要素を示す。当該凹状部３０２はカートリッジ１００の外部輪郭の形状に対応し、当該凹状部３０２には、図５に示すように、カートリッジ１００が載置される。カートリッジ１００は、ガイド部（溝）３０３を介して、外側から載置補助要素３０１へ挿入することができる。このことによって、側面からのカートリッジ１００の挿入と取り出しは、上方からのカートリッジ１００の載置・取り出しよりも、実質的により容易で、かつ、扱いやすいものとなる。カートリッジ１００の載置補助器への載置及びカートリッジ１００の載置補助器からの取り出しの際に、把握補助器（例えば、ピンセット）を用いてカートリッジ１００をつかむことを簡便にするために、載置補助要素３０１は、ガイド３０３の中央部に配設される窪み３０４を含む。凹状部３０２には、２つのペグ型の当接部材３０５ａ、３０５ｂも配設される。
当接部材３０５ａ、３０５ｂの目的は、以下に示す。
【００８７】
図５は、カートリッジ１００を載置した載置補助要素３０１を示す。当接部材３０５ａ、３０５ｂは、カートリッジ１００の下側に位置する開口部（開孔）１２０ａ、１２０ｂに対向してそれぞれ配設される。カートリッジ１００の載置補助要素３０１における凹状部３０２への沈降によって、ペグ型の当接部材３０５ａ、３０５ｂは開口部（開孔）１２０ａ、１２０ｂの中へ滑り込む。それによって、弾性クリップ部材１０４ａ、１０４ｂの下面は、当接部材３０５ａ、３０５ｂに当たり、それらのバネ作用に反して上方へ持ち上がり、支持表面１０７から上側に離れて位置する。
【００８８】
図６は、カートリッジ１００のより大きな第２の支持表面領域１０７ｂに位置するグリッド３１０を有する載置装置３００を示す。グリッド３１０は、先ず、偏心位置（エキセントリックな位置、符号３１１が付されている）に位置する。すなわち、グリッド３１０は、カートリッジ内でグリッド３１０が保持されるべき実際（本来）の保持位置の横側に位置する。次のステップにおいて、図７に示すように、カートリッジ１００の第１の支持表面領域１０７ａの保持位置（符号３１２が付されている）であり、かつ、上昇した位置にあるクリップ部材１０４ａ、１０４ｂの下にグリッド３１０が位置するように、グリッド３１０は外側から第１の支持表面領域１０７ａの方向に移動する。カートリッジ１００が持ち上がることによって、クリップ部材１０４ａ、１０４ｂに元の位置に戻ろうとするバネの復原作用が生じる。そして、カートリッジ１００の中で安全に保持されるように、グリッド３１０の端部領域３１３a、３１３bにおいてグリッド３１０が保持される。図７から明確なように、端部領域３１３ａ、３１３ｂは、間隔を空けて離れている。図４〜７に示した方法は、グリッド３１０の安定でストレスフリーの（spannungsfreie）インストール及び載置を可能にする。更に、グリッド３１０とカートリッジ１００との間で、非常に良好な熱的接触関係が保障される。グリッド３１０は、カートリッジ１００の中で、２つの端部領域３１３ａ、３１３ｂにおいてのみ保持されるので、大きく傾いた角度をとることも可能である。一度、グリッド３１０がカートリッジ１００の中に保持されると、カートリッジ１００を載置補助要素３０１から取り出し、ゴニオメータにインストールすることができる。
【００８９】
図３〜７に示した方法は、図３のカートリッジ２００と本発明に係る任意のカートリッジとを用いて、同様に実施することができる。その場合には、載置補助要素の凹状部は、もちろん、それぞれのカートリッジの寸法に従って形成されなければならない。
【００９０】
図８は、カートリッジ１００（電子顕微鏡検査のサンプル担体を除いた状態で図示）を受容したゴニオメータ４００の一部を示す。カートリッジ１００を受容するためのゴニオメータ４００の受容領域４０１は、フォーク様の形状である。カートリッジ１００は、（ゴニオメータの）受容領域４０１において延在する（ゴニオメータの）支持表面４０２に載置され、２つの弾性クリップ４０３によってゴニオメータに保持される。
【００９１】
図９は、図８と同様に、丸い外側の端部輪郭を有するカートリッジ２００を受容したゴニオメータ５００を示す。但し、カートリッジ２００を保持するための弾性クリップは、ゴニオメータ５００のフォーク様の形状の受容領域５０１には示されていない。
【００９２】
ゴニオメータにサンプル担体のカートリッジ（マウント）を保持するための更なる各種メカニズムが、背景技術から知られる。従って、本発明の分野の当業者は、これら各種メカニズムに本発明に係るカートリッジが利用可能なよう、本発明に係るカートリッジを形成することができるだろう。例えば、欧州特許公報ＥＰ１９４７６７５Ａ１号に示されたメカニズムも、本発明に係るカートリッジに適する。欧州特許ＥＰ１９４７６７５１号に開示されたゴニオメータは、平行する２つのロッドを有するフォーク様の形状の受容領域を含む。ロッドは、カートリッジの外側の端部輪郭の周辺に延在する溝と噛み合い、このようにして、カートリッジがゴニオメータに保持される。この保持メカニズムは、本発明に係るカートリッジに対しても備えることが可能であろう。そのためには、実施例に示されたカートリッジ１００、２００には、カートリッジの外側の端部輪郭の周辺に延在する溝（図示されない）が形成されるだろう。これに代り、本願において再度言及されるべき更なる例は、ダブルチルト型のゴニオメータであり、カートリッジはサンプル担体の面内にある２本の軸を中心として旋回可能なように載置される（国際公開ＷＯ００／１０１９１号参照）。他の公知のゴニオメータ（複数）としては、１本の軸のみを中心としたカートリッジのチルト運動を許容するものがある。
【００９３】
上述の本発明の実施態様は、単に、多様な例の中のいくつかに過ぎず、かくて、本発明は開示した実施態様に限定的に解釈されるべきではない。
【００９４】
本発明の全開示（請求の範囲を含む）の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素（各請求項の各要素、各実施形態ないし実施例の各要素、各図面の各要素等を含む）の多様な組み合わせ、ないし、選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。
【符号の説明】
【００９５】
１００：カートリッジ
１０１：基板（ベースプレート）
１０２：カバープレート
１０３：（中央）開口部
１０３ａ：（中央）開口部領域
１０３ｂ：（長孔状）開口部領域
１０４ａ、１０４ｂ：保持装置ないしクリップ部材
１０５ａ、１０５ｂ：第１の末端
１０６ａ、１０６ｂ：第２の末端
１０７：支持表面
１０７ａ、１０７ｂ：支持表面領域
１０８：基板の開口領域
１０９：カバープレートの中央開口領域
１１０：外側の端部輪郭
１１１：貫通孔
１１２：タブ
１１３：中間プレート
１２０ａ、１２０ｂ：開口部（開孔）
２００：カートリッジ
２１０：丸い外側の端部輪郭
３００：載置装置
３０１：載置補助要素
３０２：凹状部
３０３：ガイド部
３０４：窪み
３０５ａ、３０５ｂ：当接部材
３１０：グリッド
３１１：偏心位置
３１２：保持位置
３１３ａ、３１３ｂ：端部領域
４００：ゴニオメータ
４０１：（ゴニオメータの）受容領域
４０２：（ゴニオメータの）支持表面
４０３：弾性クリップ
５００：ゴニオメータ
５０１：（ゴニオメータの）受容領域

【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子顕微鏡検査のサンプル担体（３１０）を保持するためのマウント（１００、２００）であって、
当該マウント（１００、２００）は、
中央領域に貫通する開口部（１０３）を有する基板（１０１）と、
該開口部（１０３）の周囲に少なくとも部分的に延在するサンプル担体（３１０）の支持表面（１０７）と、
基板（１０１）に備えられた支持表面（１０７）で、サンプル担体（３１０）を摩擦的な係合によって保持するための保持装置（１０４ａ、１０４ｂ）と、
を含み、
前記保持装置（１０４ａ、１０４ｂ）は、サンプル担体（３１０）を摩擦的な係合によって保持するための、少なくとも２つの相互に独立的なクリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）を含み、
前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が、基板（１０１）から該開口部（１０３）へ向かって延在すること、
前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が、互いに間隔を空けて離れた電子顕微鏡検査のサンプル担体（３１０）の端部領域（３１３ａ、３１３ｂ）でサンプル担体（３１０）を支持表面（１０７）に保持することができること、
を特徴とするマウント。
【請求項２】
保持装置が、前記クリップ部材として２つのクリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）を含むことを特徴とする請求項１に記載のマウント。
【請求項３】
前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が、互いに対向して配設されることを特徴とする請求項２に記載のマウント。
【請求項４】
前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が帯状に構成され、基板（１０１）と実質的に平行に配設されることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のマウント。
【請求項５】
前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）がバネ部材として構成されることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のマウント。
【請求項６】
各クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が、基板（１０１）へ固定される第１の末端（１０５ａ、１０５ｂ）と、該開口部（１０３）に向けられて、支持表面（１０７）にサンプル担体（３１０）を摩擦的な係合によって保持する第２の末端（１０６ａ、１０６ｂ）とを含むことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のマウント。
【請求項７】
該開口部（１０３）において、前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）の第２の末端（１０６ａ、１０６ｂ）が、支持表面（１０７）の端の位置に揃っていることを特徴とする請求項６に記載のマウント。
【請求項８】
基板（１０１）に配設されるカバープレート（１０２）が、中央領域に、サンプル担体（３１０）及び前記クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）へのアクセスを可能にする中央開口領域（１０９）を含むことを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載のマウント。
【請求項９】
各クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）の第１の末端（１０５ａ、１０５ｂ）が、基板（１０１）とカバープレート（１０２）との間に固定されていることを特徴とする請求項８に記載のマウント。
【請求項１０】
中間プレートが基板（１０１）とカバープレート（１０２）との間に配設され、クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が中間プレートの構成要素であることを特徴とする請求項８に記載のマウント。
【請求項１１】
カバープレート（１０２）の前記中央開口領域（１０９）が、偏心状態でサンプル担体（３１０）を載置することが可能な大きさを有すること、
すなわち、先ず、マウント（１００、２００）内でサンプル担体（３１０）を保持することが可能な位置（３１２）の横側にサンプル担体（３１０）を載置することができ、次に、マウント（１００、２００）内でサンプル担体（３１０）を保持することが可能な位置（３１２）へ載置されたサンプル担体（３１０）を横方向移動させることができること、
を特徴とする請求項８〜１０の何れか１項に記載のマウント
【請求項１２】
基板（１０１）を貫通して延在する開口部（１２０ａ、１２０ｂ）が各クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）の下に配設されることを特徴とする請求項１〜１１の何れか１項に記載のマウント。
【請求項１３】
マウント（１００）が回転対称的な構造を有する外側の端部輪郭（１１０）を含み、４回回転対称に相当することを特徴とする請求項１〜１２の何れか１項に記載のマウント。
【請求項１４】
マウント（２００）が実質的に丸い外側の端部輪郭（２１０）を有することを特徴とする請求項１〜１２の何れか１項に記載のマウント。
【請求項１５】
電子顕微鏡の標本保持装置（４００、５００）に受容可能なように構成されることを特徴とする請求項１〜１４の何れか１項に記載のマウント。
【請求項１６】
電子顕微鏡検査のサンプル担体を搭載したマウント（１００、２００）を載置するための載置装置（３００）であって、
当該載置装置（３００）は、請求項１〜１５の何れか１項に記載のマウント（１００、２００）と、該マウント（１００、２００）を載置することが可能な載置補助要素（３０１）とを含み、
前記載置補助要素（３０１）は、当接部材（３０５ａ、３０５ｂ）を含み、
前記当接部材（３０５ａ、３０５ｂ）が、該マウント（１００、２００）の基板（１０１）における各クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）の下に配設された開口部（１２０ａ、１２０ｂ）を通過すること、
前記当接部材（３０５ａ、３０５ｂ）が、該マウント（１００、２００）のクリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）の保持力に対抗して、基板（１０１）から離れる方向へクリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）を移動させること、
を特徴とする載置装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の載置装置（３００）によって電子顕微鏡検査のサンプル担体（３１０）を搭載したマウント（１００、２００）を載置する方法であって、
ａ）載置補助要素（３０１）にマウント（１００、２００）を載置するステップと、
ｂ）載置補助要素（３０１）の当接部材（３０５ａ、３０５ｂ）がクリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）を、基板（１０１）から離れる方向であって上昇した位置へ移動させるステップと、
ｃ）マウント（１００、２００）の支持表面（１０７）にサンプル担体（３１０）を載置するステップと、
ｄ）マウント（１００、２００）を載置補助要素（３１０）から取り出して、クリップ部材（１０４ａ、１０４ｂ）が元の位置へ戻ることによって、サンプル担体（３１０）を摩擦的な係合様式で支持表面（１０７）において保持するステップと、
を含む方法。
【請求項１８】
電子顕微鏡の標本保持装置（４００、５００）であって、
分離可能なように受容可能な請求項１〜１５の何れか１項に記載のマウント（１００、２００）を含む標本保持装置。
【請求項１９】
ゴニオメータの形状であることを特徴とする請求項１８に記載の標本保持装置。
【請求項２０】
マウントが、サンプル担体の平面における少なくとも１本の軸を中心としてチルト運動が可能なように載置されることを特徴とする請求項１８又は１９に記載の標本保持装置。

【図１】