【課題】
したがって、本発明の目的は、像への影響を低減する試料ホルダー先端部を提供することにある。
【解決手段】
【００７０】
本発明の試料ホルダー先端部は、試料と、前記試料を搭載する先端部とを有する試料ホルダー先端部であって、前記先端部の回転軸と、前記試料の回転軸とが略一致することを特徴とする。本発明の試料ホルダー先端部の製造方法は、試料を切りだす工程と、試料ホルダー先端部の試料搭載部分へ、前記切りだした試料を取り付ける工程と、前記試料搭載部分の回転軸に合わせて、前記試料を加工して、前記試料を回転軸を中心とした柱状にする工程とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、蓋を容易に取付け取外すことができ、かつ、試料を空気にさらすことなく試料室内に導入することを可能にする試料ホルダーを提供する。
【解決手段】開口部を有し内部で試料３９を保持する試料台３７と、試料台３７の開口部を閉塞する蓋３６と、試料台３７に設けられた蓋押さえ３８と、蓋押さえ３８に設けられた第一の突合せ部と、前記第一の突合せ部との嵌合により、試料台３７に蓋３６を押し付け、蓋３６と試料台３７で囲まれた空間を密閉する蓋３６に設けられた第二の突合せ部と、備える試料ホルダー１００を提供する。 （もっと読む）

【課題】環境制御型透過型電子顕微鏡（ETEM）において、活性雰囲気下でサンプルを評価研究する際に、発生するサンプルのドリフトが取得画像の解像度の制限因子とならないようにする。
【解決手段】ドリフトを避けるため、または抑制するため、サンプルを所望の温度で不活性ガスに暴露し、その後不活性ガスを活性ガスに置換する。光、X線、または走査型プローブ顕微鏡に適用できる。 （もっと読む）

【課題】冷媒により試料を冷却しながら、冷媒を散逸することなく、顕微鏡内で試料を３６０度自在に回転させることができる透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーを提供する。また、試料表面への霜の付着を抑制する試料冷却ホルダーを提供する。
【解決手段】本発明の透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーは、冷媒槽と、冷媒槽を貫通し、内壁が円筒状の空洞を有する冷却部と、冷却部の空洞内に、空洞の内壁との間に熱良導性材料層を挟んで移動自在に嵌合する熱伝導棒とを有する。また、この試料冷却ホルダーは、熱伝導棒を内部に収容するパイプ部を備え、熱伝導棒は、先端に、試料を装着する試料装着部を有する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、試料ホルダーが有する固有振動を少しでも緩和するゴニオステージを提供することにある。
【解決手段】
本発明のゴニオステージは、試料ホルダーの固有振動を低減するための制振手段を有することを特徴とする。本発明のゴニオステージの好ましい実施態様において、前記制振手段が、コレット機構によるものであることを特徴とする。本発明のゴニオステージの好ましい実施態様において、前記コレット機構が、前記試料ホルダーの軸重心位置で前記試料ホルダーをクランプすることを特徴とする。また、本発明の電子顕微鏡は、本発明のゴニオステージを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所定雰囲気ガス圧状態での試料観察を行うことを可能にする。
【解決手段】
電子光学軸上に電子ビーム通過孔が開けられており、その内部にガス供給系からガスが供給されるガス雰囲気容器２１と、先端部に試料を保持し，該試料を真空外から前記ガス雰囲気容器２１内に導入する試料ホルダ１８とを備えた電子顕微鏡における試料観察方法であって、前記試料ホルダ１８を前記ガス雰囲気容器２１内に導入する前に、圧力測定用素子３１が取付られた圧力測定用ホルダ３０を該ガス雰囲気容器２１内に導入し、該圧力測定用素子３１が検出する該ガス雰囲気容器２１内の圧力が所定の圧力に成る様に該ガス雰囲気容器２１内を前記ガス供給系により調整し、次に、前記圧力測定用ホルダ３０に代えて前記試料ホルダ１８を前記ガス雰囲気容器２１内に導入し、電子ビーム発生手段からの電子ビームを前記試料Ｓに照射し、該試料Ｓを透過した電子ビームに基づく試料像を観察する。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡において、広い範囲の観察が可能な試料ホルダーを提供する。
【解決手段】透過電子顕微鏡１００は、試料支持部１０が設けられた軸部２０と、試料室における試料支持部１０の位置を変える第１試料支持部移動機構３０と、を含み、ステージ移動機構は、試料室における電子線の進行方向に対して交差する第１方向に試料支持部１０を移動させ、ステージ移動機構による試料支持部１０の第１方向の移動可能範囲は、第１距離であり、第１試料支持部移動機構３０は、試料支持部１０を、第１方向に、第１距離以下ずつ移動させ、第１試料支持部移動機構３０による試料支持部１０の第１方向の移動可能範囲は、第２距離であり、試料支持部１０は、試料室において電子線を通過させるための開口部１１を有し、開口部１１の第１方向の大きさは、第１距離と第２距離との和以上である。 （もっと読む）

【課題】試料を加熱しながらガス雰囲気を吹き付けて、ガスとの反応過程を観察する機能を有し、一度吹き付けたガスが再び試料に戻らずに、一定の温度と濃度のガス雰囲気で試料の反応過程を観察できる電子顕微鏡用の試料ホルダを提供する。
【解決手段】
電子ビームを通過させるための開口４３が形成された試料支持フレーム４２と、前記開口４３のほぼ中央を横切るように張架された試料支持ワイヤ１６と、前記試料支持ワイヤ１６の両端に接続された接続線３３，３４と、前記試料支持ワイヤ１６にガスを吹き付ける試料支持フレーム４２に前記試料支持ワイヤ１６に対向するように取り付けられた導管１７Ａを備え、前記導管１７先端のノズル１７Ｂから発生し前記試料支持ワイヤ１６を通過したガスを受ける連結フレーム４２Ｃの面に、前記ガスの進行方向に対して後退する斜面と共に平行な複数の溝を設けたことを特徴とする電子線装置及び電子顕微鏡用ガス反応試料ホルダ。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡観察で用いられている、広域の観察が可能な、プラスチック基材に薄膜形成された試料の表層を、剥離して観察する剥離法において、プラスチック基材と非常に強固に密着してしまう無機蒸着膜を、透過電子顕微鏡用観察試料としてスムーズに基材フィルムであるプラスチックから剥離する方法を提供すること。
【解決手段】熱可塑性樹脂からなる基材フィルムに成膜した薄膜の電子顕微鏡平面観察用試料の作成方法であって、前記基材フィルム上に薄膜を備える成膜フィルムの基材フィルムを変質させる工程と、前記変質させた成膜フィルムの薄膜面に接着テープを貼る工程と、前記接着テープを剥離する工程と、剥離した接着テープの接着剤を溶解させる工程と、前記接着剤を溶解させた溶液上に浮遊する試料膜を観察用薄片グリッド上に転写する工程を備えること。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡用試料の薄膜化を可能とすること。
【解決手段】一端３４が他端より膜厚の小さい先細り形状の支持台の前記一端に、前記一端側から前記他端側をみて、試料の正面がみえるように前記試料を前記一端に搭載する工程と、前記試料の正面から、前記試料に集束イオンビームを照射する工程と、前記試料の背面から、前記試料の前記支持台の膜厚方向の面である上面４４ａ、４４ｂにイオンビーム８２を照射することにより、前記上面をイオンミリングする工程と、を備えることを特徴とする電子顕微鏡用試料の製造方法。 （もっと読む）

【課題】所定の材料を真空チャンバー内部の任意の箇所に正確に搬送する真空フィードスルーを提供する。
【解決手段】真空フィードスルー１０Ａは、パイプ１１とその内部空間に位置するシャフト１２とパイプ１１の外周面を長さ方向へスライド可能なマグネットスライダー１３とシャフト１２の後端部に取り付けたマグネットホルダーとを有し、パイプ１１の内部空間前端部に取り付けたシャフト１２を径方向中央に保持する固定ホルダーと、シャフト１２の後端部に取り付けたシャフトを径方向中央に保持する移動ホルダーとを含み、固定ホルダーは、シャフト１２の外周面をスライド可能に支持するスライドベアリングを備えた支持ハウジングを有し、移動ホルダーは、弾性変形可能なアームと、長さ方向へ回転可能なローラと、アームをパイプの内周面に向かって強制的に弾性変形させてローラをパイプの内周面に押し当てるテーパープラグとを有する。 （もっと読む）

【課題】試料台のドリフトの影響による画像の歪を補正するため、観測用画像より短時間に補正用参照画像を計測し、観測用画像の形状を補正用参照画像の形状を比較することにより補正し、観測用画像の歪を低減する。試料台の移動が停止するまで待たずに、また、より少ない画像より歪を補正することが必要とされる。
【解決手段】観察のために取得する画像と同一の位置と倍率で、歪補正のための参照用画像を計測する。このとき、参照用画像においては、ドリフトの影響を低減するため、本来の観測用画像より短時間で計測を実行する。参照用画像と観測用画像の形状を比較し、観測用画像の形状を、参照用画像の形状に合わせて補正することにより、観測用画像の形状を補正する。 （もっと読む）

【課題】
ホルダー本体の略長手方向の軸周りに回転可能な機構を有する試料ホルダー及び試料ホルダー駆動装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、試料ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台とからなる試料ホルダーであって、前記試料ホルダーの内部において、顕微鏡の試料駆動装置とは無関係に、前記試料固定台を前記試料ホルダー本体の略長手方向の軸周りに360度回転可能とする回転機構を有することを特徴とする。また、本発明の試料ホルダーの好ましい実施態様において、さらに、前記ホルダー本体の略長手方向に直交する軸周りに回転可能な軸傾斜機構を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料のドリフトを抑制できる荷電粒子線装置の試料位置決め装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の試料位置決め装置１００は、減圧状態に維持可能な試料室１と、試料室１に連通する孔１２を有する管状部材１０と、孔１２に移動可能に装着される試料ホルダー２０と、試料ホルダー２０に装着され、管状部材１０の内面に接するＯリング３０と、試料室１における試料ホルダー２０の位置を変える駆動機構６０と、を含み、試料ホルダー２０は、先端部が試料室１に配置される第１部分２２と、孔１２に配置される第２部分２４と、を有し、第１部分２２は、先端部に、試料Ｓを保持可能な試料保持部２３を有し、第２部分２４は、リニアガイドを介して、第１部分２２を移動可能に支持し、Ｏリング３０は、第２部分２４に装着され、駆動機構６０は、第１部分２２を移動させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は試料ホルダの排気方法及び装置に関し、大気暴露を確実に防止したままで鏡筒に試料を挿入することができる試料ホルダの排気方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料を顕微鏡の鏡筒に挿入する試料ホルダシステムにおいて、真空排気シーケンスを制御するための排気制御手段を設け、該排気制御手段により前記気密室の気圧が一定の状態で、ゴニオメータ内を真空引きしてその内部が所定の低真空状態になるまで排気し、その内部が所定の低真空状態になったら、前記排気制御手段により前記気密室の仕切り弁を開いて気密室を前記低真空状態にし、その後、前記排気制御手段により前記ゴニオメータ及び気密室を高真空状態にし、その後、試料をゴニオメータの先端部まで移送して鏡筒に試料ホルダを挿入するように構成する。 （もっと読む）

【課題】数キロエルステッドの大磁場を試料に印加することのできる小型の磁場印加試料保持装置およびそれを用いた荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】試料５０に磁場を印加する磁場印加手段を備えた荷電粒子線装置用の磁場印加試料保持装置において、磁場印加手段は、線材２０３と線材が巻きつけられるボビン（２０１ａ、２０１ｂ、２０１ｃ）とを有する電磁コイルであり、ボビンは、その中心軸の周りにボビンの端面（２０１ａ、２０１ｃ）もしくは軸部（２０１ｂ）を経路とする周回電流を抑制する電気絶縁部を有し、ボビンの端面の内の一枚（２０１ａ）が高透磁率材で構成されている。 （もっと読む）

【課題】安定でストレスフリーな電子顕微鏡検査のサンプル担体の保持が可能なマウントを提供する。
【解決手段】マウントは、中央領域に貫通する開口部を有する基板と、開口部の周囲に少なくとも部分的に延在するサンプル担体の支持表面と、基板に備えられた支持表面で、サンプル担体を摩擦的な系合によって保持するための保持装置とを含み、保持装置は、サンプル担体を摩擦的な系合によって保持するための、少なくとも２つの相互に独立的なクリップ部材を含み、クリップ部材が、基板から開口部の方向に向かって延在し、クリップ部材が、互いに間隔を空けて離れた電子顕微鏡検査のサンプル担体の端部領域でサンプル担体を支持表面に保持可能である。電子顕微鏡検査のサンプル担体を搭載したマウントを載置するための載置装置及び当該載置装置を使用する方法も提供する。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子光学装置において試料キャリアの温度を決定する方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、荷電粒子光学装置において試料キャリアの温度を決定する方法に関し、該方法は、荷電粒子のビームを用いた試料キャリアの観測を含み、その観測は、その試料キャリアの温度に関する情報を与える。本発明は、TEM、STEM、SEM又はFIBなどの荷電粒子光学装置が、試料キャリアの温度に関する変化を観測するために使用することができるという見識に基づく。その変化は、力学的変化（例えば、二次金属）、結晶学的変化（例えば、ぺロブスカイトの）、及び発光変化（強度又は減衰期間）であってよい。望ましい実施形態において、異なる熱膨張係数を持つ金属（208、210）を示す2つの二次金属（210a、210b）を示し、反対方向に湾曲する。その2つの二次金属間の距離は、温度計として使用され得る。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡の３次元分析のための３軸駆動が可能な試片ホルダーを提供すること。
【解決手段】本発明は単一の試片または複雑な内部構造を分析するために３方向以上から高い精度の観察が行えるホルダーに係り、試片を支持するクラドルが回転できるだけではなく、前後および左右に移動できるようにして試片の方向を自由に変更して試片を一層正確に３次元的に分析できるようにした透過電子顕微鏡の３次元分析のための３軸駆動が可能な試片ホルダーに関する。 （もっと読む）

【課題】複数個の試料から同時にスペクトル像を取得し、スペクトル像より抽出された電子エネルギー損失スペクトルから、高精度のケミカルシフトを測定することが可能な透過型電子顕微鏡装置，試料ホルダ，試料台及びスペクトル像の取得方法を提供する。
【解決手段】透過電子顕微鏡装置１は、電子線３を放射する電子銃と、放射された電子線を収束する収束レンズ４と、収束された電子線が放射され、試料１８，１９を配置する複数個の試料台と、試料台を移動する試料移動制御装置と、複数個の試料を透過した電子線を結像する結像レンズ７と、結像された電子線の有するエネルギー量により電子線を分光し、エネルギー分散軸及びエネルギー分散軸と直交する方向とで収束位置を異ならせたスペクトル像を出力して複数個の試料より同時にスペクトル像を取得する電子分光器８と、取得したスペクトル像を表示する画像表示装置１４とを備える。 （もっと読む）