試料ホルダー及び荷電粒子線装置
【課題】本発明の目的は、蓋を容易に取付け取外すことができ、かつ、試料を空気にさらすことなく試料室内に導入することを可能にする試料ホルダーを提供する。
【解決手段】開口部を有し内部で試料３９を保持する試料台３７と、試料台３７の開口部を閉塞する蓋３６と、試料台３７に設けられた蓋押さえ３８と、蓋押さえ３８に設けられた第一の突合せ部と、前記第一の突合せ部との嵌合により、試料台３７に蓋３６を押し付け、蓋３６と試料台３７で囲まれた空間を密閉する蓋３６に設けられた第二の突合せ部と、備える試料ホルダー１００を提供する。
【解決手段】開口部を有し内部で試料３９を保持する試料台３７と、試料台３７の開口部を閉塞する蓋３６と、試料台３７に設けられた蓋押さえ３８と、蓋押さえ３８に設けられた第一の突合せ部と、前記第一の突合せ部との嵌合により、試料台３７に蓋３６を押し付け、蓋３６と試料台３７で囲まれた空間を密閉する蓋３６に設けられた第二の突合せ部と、備える試料ホルダー１００を提供する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は荷電粒子線装置における、特に電子顕微鏡のガス雰囲気で用いられる試料ホルダーに関する。
【背景技術】
【０００２】
荷電粒子線装置、特に電子顕微鏡で観察する試料には空気と反応して変形、変質する試料がある。電子顕微鏡の利点は高分解能観察だが、電子顕微鏡の試料室内に試料を導入する前に試料が空気にさらされると変形し、試料本来の構造を観察ができなくなる。この対策として例えば、特許文献１に示すように、特許文献１に記載のような上下方向に取外し可能な蓋材を備えた試料ホルダーを使用することが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−６７４６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の発明では、蓋材を試料ホルダーから取外しにくいという問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、蓋を容易に取付け取外すことができ、かつ、試料を空気にさらすことなく試料室内に導入することを可能にする試料ホルダーを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の態様によれば、開口部を有し内部で試料を保持する試料台と、該試料台の前記開口部を閉塞する蓋と、前記試料台に設けられた蓋押さえと、前記蓋押さえに設けられた第一の突合せ部と、前記第一の突合せ部との嵌合により、前記試料台に前記蓋を押し付け、前記蓋と前記試料台で囲まれた空間を密閉する前記蓋に設けられた第二の突合せ部と、備える試料ホルダーを提供する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、蓋を容易に取付け取外すことができ、かつ、試料を空気にさらすことなく試料室内に導入することを可能にする試料ホルダーを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第一の実施形態として荷電粒子装置としての電子顕微鏡を示す概略図である。
【図２】本発明の第一の実施形態に係る雰囲気を遮断可能に構成されている雰囲気遮断型の試料ホルダーの側面図である。
【図３】本発明の図３は、第一の実施形態に係る雰囲気遮断型の試料ホルダーの図２に示したＡ部の断面拡大図である。
【図４】本発明の第一の実施形態に係る雰囲気遮断型の試料ホルダーの使用方法を説明する図である。
【図５】本発明の施例を示す説明図である。
【図６】本発明の第一の実施形態に係る試料ホルダーの変形例としての外観斜視図である。
【図７】本発明の第一の実施形態に係る試料の装着手順を示すフローチャート図である。
【図８】本発明の第二の実施形態に係る試料ホルダーの側面図である。
【図９】本発明の第二の実施形態に係る電子顕微鏡を示す図である。
【図１０】本発明の第二の実施形態に係る試料ホルダーが試料室に在地されている際の試料室内と試料ホルダー内との気圧の状態を示している図である。
【図１１】本発明の第二の実施形態に係る試料ホルダーを試料室導入および蓋の取外し手順を示すフローチャート図である。
【図１２】本発明の第二の実施形態に係る観察後の蓋の試料台への取付け手順を示すフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
＜第一の実施形態＞
以下、図面を参照し、本発明の第一の実施形態について詳細に説明する。図１は本発明の第一の実施形態として、荷電粒子線を試料室内の試料ホルダーに収納された試料へ照射し試料の状態を観察可能に構成される荷電粒子装置としての電子顕微鏡５００を示す概略図である。まず、荷電粒子線としての電子線を試料へ照射する照射部について説明する。陰極１と第一陽極２に印加される電圧Ｖ１によって陰極１から放出された一次電子線３は第二陽極４に印加される電圧Ｖaccにより加速されて、後段の電磁レンズ系に進行する。加速電圧Ｖaccおよび電圧Ｖ１は、高電圧制御回路としての高電圧制御部２０で制御されている。一次電子線は第一集束レンズ制御回路としての第一集束レンズ制御部２２で制御された第一集束レンズ５で集束される。ここで一次電子線３は対物レンズ絞り６で電子線の試料照射電流が制限されるが、電子線の中心を対物レンズ絞り６の孔中心へ通過させるために、電子線中心軸調整用アライナー２８およびアライナー制御回路としてのアライナー制御部２１と、対物レンズ絞り６上で電子線を走査するための電子線中心調整用偏向器２９が設けられている。さらに、一次電子線３は第二集束レンズ制御回路としての第二集束レンズ制御部２３で制御される第二集束レンズ７で再び集束され、対物レンズ制御回路としての対物レンズ制御部２５によって制御される対物レンズ１０によって試料３９に細く絞られ、さらに偏向制御回路としての偏向制御部２４が接続された上段偏向コイル８および下段偏向コイル９で試料ホルダー１００に収納された試料３９上を二次元的に走査される。試料３９が収納された試料ホルダー１００は試料微動制御回路としての試料微動制御部２７によって制御される駆動装置としての試料微動装置１４上にある。試料微動装置１４は試料ホルダー１００を保持する駆動部として機能する。試料ホルダー１００及び試料微動装置１４等は、試料室５５０に収納されている。
【００１０】
次に検出系について説明する。一次電子線３が試料３９に到達した後、試料３９から出射される二次電子１８を検出する二次電子検出器１２が設けられている。二次電子検出器１２からの信号を増幅器１６により増幅し、該増幅した信号が信号制御回路としての信号制御部２６に伝わるように構成されている。高電圧制御部２０、アライナー制御部２１、第一集束レンズ制御部２２、第二集束レンズ制御部２３、偏向制御部２４、対物レンズ制御部２５、信号制御部２６、試料微動制御部２７は、装置全体を制御するための全体制御部としてのコンピュータ１２９に電気的に接続されている。コンピュータ１２９は、画像を表示する画面等の表示装置３０、画像を取得する画像取得手段３１、画像を処理する画像処理手段３２、所定の計算を行う計算手段３３、内部メモリとしての記憶手段３４、入力手段３５に電気的に接続されている。なお、高電圧制御部２０、アライナー制御部２１、第一集束レンズ制御部２２、第二集束レンズ制御部２３、偏向制御部２４、対物レンズ制御部２５、信号制御部２６、コンピュータ１２９、表示装置３０、画像取得手段３１、画像処理手段３２、計算手段３３、記憶手段３４、入力手段３５の全て、若しくは、少なくともそれらの一部を有するもの、または、電子顕微鏡全体を制御する制御部として一つで構成されても良い。
【００１１】
図２は第一の実施形態に係る雰囲気を遮断可能に構成されている雰囲気遮断型の試料ホルダー１００の側面図であり、図３は、第一の実施形態に係る雰囲気遮断型の試料ホルダーの図２に示したＡ部の断面拡大図である。また、図４は、第一の実施形態に係る雰囲気遮断型の試料ホルダー１００の使用方法を説明する図である。
【００１２】
図２に示すように雰囲気遮断型の試料ホルダー１００は、開口部を有し内部で試料を保持する試料台３７と、試料台３７の開口部を閉塞する蓋３６と、試料台３７に設けられた蓋押さえ３８で構成されている。試料台３７の下方には、試料微動装置１４に保持される試料台座部３７０が形成されている。なお、蓋押さえ３８は、試料台３７と一体として形成されていても良いし、別体として形成しボルト等にて接合されるように構成されても良い。
【００１３】
図４を用いて雰囲気遮断型の試料ホルダー１００の使用方法を説明する。蓋３６は試料台３７から矢印の方向にスライドして外れる構造になっている。また、蓋３６は、矢印と反対の方向にスライドして試料台３７に取付け可能な構造になっている。
【００１４】
試料台３７の上端面には、蓋３６との密着面となるように構成されており、試料台３７の上端面が真空シール面となるよう、図３に示すように、Ｏリング溝３７０および該Ｏリング溝３７０内に、Ｏリング３７１が設けられている。これにより、試料ホルダー１００内外での雰囲気を遮断することができ試料ホルダー１００内の真空状態を保持できるようになっている。なお、Ｏリング溝３７０及びＯリング３７１を設けることに代えて、真空グリースを塗布するように構成しても同様の効果を奏することができる。
【００１５】
図３は、第一の実施形態に係る雰囲気遮断型の試料ホルダーの図２に示したＡ部の断面拡大図である。図３を用いて蓋押さえ３８に設けられた突合せ部と、蓋押さえ３８に設けられた突合せ部との嵌合により、試料台３７に蓋３６を押し付け、蓋３６と試料台３７で囲まれた空間を密閉する蓋３６に設けられた突合せ部について説明する。蓋３６の突合せ部として、凸突合せ部３６６と蓋押さえ３８の突合せ部として、凹突合せ部３８８として設定されている。蓋３６の凸突合せ部３６６は試料台３７に取付いている蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８と突合せ可能なように構成されている。
【００１６】
蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８と蓋３６の凸突合せ部３６６は嵌合可能なように構成されている。試料台３７の開口部は平坦に形成されており、凸突合せ部３６６は、蓋３６が試料台３７の開口部をスライドし凹突合せ部３８８に嵌合可能に構成されている。また、凹突合せ部３８８と凸突合せ部３６６は共にテーパ状に形成されている。蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８と蓋３６の凸突合せ部３６６は共に上面が同じ角度同じ方向にテーパ状に形成され、下面が水平状に形成されている。具体的には、凹突合せ部３８８は、溝状に形成されており、溝深側から溝浅側（図３では左側から右側）にかけて溝幅が大きくなるように形成されている。また、凹突合せ部３６６は、蓋３６の一端側（図３では左側）の上方側の部位が突き出すように形成されており、上面が中央側から先端側（図３では右側から左側）にかけて幅が小さくなるように形成されている。図４に示すように蓋３６を矢印と反対の方向にスライドし、蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８に蓋３６の凸突合せ部３６６に挿入し、嵌合すると、蓋押さえ３８に蓋３６が押し付けられ、蓋３６に試料台３７に密着する方向に力が働く。これにより蓋３６が試料台に固定される構造になっている。
【００１７】
例えば、減圧した容器としてのグローブボックス内で試料３９を作製し、試料３９を試料台３７に載せる。
【００１８】
蓋３６を試料台３７に装着したあと、グローブボックスに空気を導入すると、蓋３６は試料台３７に気圧により押さえ付けられる。このとき図５の点線内部（試料ホルダー内部）減圧した状態となる。この状態では、蓋３６は試料ホルダー１００内部が減圧状態であることと蓋押さえ３８により試料台３７に押し付けられているため、蓋３６は大気中で容易に外れなくなる。このとき、試料ホルダー１００内部の真空度を保持するためには、蓋３６と蓋押さえ３８との突き合わせ状態が正確である必要がある。突き合わせ状態が不十分だと試料ホルダー１００内に空気が導入されてしまうため、試料３９が空気に暴露して劣化してしまう。また、例えば、特許文献１に記載のような上下方向に取外し可能な蓋材を備えた試料ホルダーでは、蓋材を取外しにくいという問題がある。
【００１９】
しかしながら、本実施形態のように、蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８と蓋３６の凸突合せ部３６６は嵌合可能なように構成されているので、たとえばグローブボックス内での作業でも再現性良くかつ正確に蓋３６を取付けることができる。特に、蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８と蓋３６の凸突合せ部３６６は共にテーパ状に形成されている。具体的には、上面が同じ角度同じ方向にテーパ状に形成され、下面が水平状に形成されているので、蓋３６を容易にスライドさせることができるので蓋３６の取付け取外し作業を容易にし、かつ、再現性良くかつ正確に蓋３６を取付けることができる。
【００２０】
また、本実施形態によれば、試料３９をガス雰囲気と隔離し、試料室５５０に導入したあとに蓋３６を取外すため試料３９への空気の暴露を回避できる。
【００２１】
また、例えば、試料３９を空気に暴露することなく導入するための機構として雰囲気遮断型の試料交換室があるが、電子顕微鏡の試料交換室部分の改造が必要であるため、容易には試料交換室を雰囲気の遮断した仕様とすることができなく、また、このような改造をしていない電子顕微鏡では試料が空気と反応して変形、変質し、観察できなくなってしまうため、試料交換室に改造を施した特定の電子顕微鏡でしか観察することができなかったが、試料交換室がある場合にも、試料交換室を改造しなくても、試料を空気にさらすことなく試料室内に導入することを可能にすることができる。また、試料交換室の改造を必要としないため機械的制約が少なく、汎用性を向上させ、また、雰囲気遮断型の試料交換室と比べて非常に安価で構成することができる。
【００２２】
図６は、本発明の第一の実施形態に係る試料ホルダー１００の変形例としての外観斜視図である。
【００２３】
先に述べた実施形態では、図３に示したように、蓋３６の一端としての凸突合せ部３６６の上面全面をテーパ状に形成するように説明したが、本変形例では、図６に示すように、蓋３６の一端としての凸突合せ部３６６の上面の一部のみをテーパ状に形成した試料ホルダー１０１である。なお、蓋３６の一端としての凸突合せ部３６６の上面の一部のみをテーパ状に形成したことを除き、それ以外は、先に述べた実施形態と同様である。凸突合せ部３６６は、凹突合せ部３８８に対向する位置に溝状に形成されている。図６に示すように、凸突合せ部３６６の上面の蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８に対向する位置に溝３６７を形成し、溝３６７をテーパ状に形成し、凸突合せ部３６６の上面のそれ以外の部位を、テーパ状としないようにする。最も密着するように突合せるためにはテーパ形状に合わせて蓋３６を試料台３７に装着する必要があるため、図３で示した蓋３６の凸突合せ部３６６に溝３６７を形成し、この溝３６７と蓋押さえ３８とが合致するようにすると、さらに、溝３６７の側壁と蓋押さえ３８の側壁とが当たることにより水平方向にずれることを抑制することになり、蓋３６の位置決めを容易にすることができる。この構造により、たとえばグローブボックス内での作業でも再現性良くかつ正確に蓋３６を取付けることができる。
【００２４】
図７は、本発明の第一の実施形態に係る試料３９の装着手順を示すフローチャート図である。これらの動作は制御部により制御されている。
【００２５】
図７に示すように、まず、グローブボックス内を減圧した状態で試料を作成する（Ｓ１）。次に、試料台３７に試料３９を搭載する（Ｓ２）。次に、蓋３６を試料台３７に装着する（Ｓ３）。続いて、グローブボックスを大気圧にする（Ｓ４）。
【００２６】
気圧差により蓋３６が試料台３７に密着し、試料が真空で隔離される（Ｓ５）。
【００２７】
蓋３６を試料台３７から取外すためには蓋３６をスライドさせる前に試料台内部の圧力より低い圧力の環境で取外す。例えば電子顕微鏡５００の試料室５５０内などでは蓋３６と試料台３７で作られた空間よりも十分に減圧してあれば、蓋３６をスライドさせて容易に取外すことができる。
【００２８】
なお、上述したように、試料３９をグローブボックス内で作製し、減圧して封じれば、試料ホルダー１００は、簡易の試料保管容器としても使用することができる。
【００２９】
＜第二の実施形態＞
図８は、本発明の第二の実施形態に係る試料ホルダー１１０の側面図である。図９は、本発明の第二の実施形態に係る電子顕微鏡５５０であり、第一の実施形態で示した電子顕微鏡５００の試料室５１０に隣接して試料交換室５１０が設けられている。
【００３０】
図８に示すように、第二の実施形態に係る試料ホルダー１１０と第一の実施形態にかかる試料ホルダー１００と異なる点は、蓋３６５と試料台３７１にそれぞれ同一形状のフック４０、４００が取付けられている点と、であり、それ以外の点は同様である。図８に示すように、好適には、試料台３７の試料台座部３７５に設けると良い。
【００３１】
また、図９に示すように、本実施形態では、第一の実施形態で示した電子顕微鏡５００の試料室５５０に隣接して試料交換室５１０が設けられ、試料室５５０内にある蓋３６５を試料台５５０から取付け取外し、かつ試料ホルダー１１０を試料室５５０内外へ移動する移動部としての試料交換棒５２０が設けられるように電子顕微鏡５８０が構成されている。
【００３２】
図８、図９に示すように、試料台３７１のフック４００は、電子顕微鏡５８０の試料交換室５１０から試料室５５０に試料交換棒５２０を用いて導入する際に用い、蓋３６５についたフック４０は試料台３７１から蓋３６５を取外すために用いる。電子顕微鏡５８０内での蓋３６５の取外し手順を説明する前に、電子顕微鏡５８０の試料交換室５１０を用いた試料導入方法を説明する。電子顕微鏡５８０の試料室５５０内は電子を通過させるために真空状態が保たれているため、試料３９を試料室５５０へ導入する際には、試料３９を試料ホルダー１１０に収納、蓋３６５により閉塞した状態で、試料交換室５１０に入れる。その後試料交換室５１０を減圧排気し、試料交換室５１０と試料室５５０とを同圧化する。その後、試料交換室５１０と試料室５５０間の開口部を開閉するゲートバルブ５９０を開く。その後、試料交換棒５２０でフック４００にて試料ホルダー１１０を保持し、試料ホルダー１１０を試料交換室５１０から試料室５１０へ移動させ、試料微動装置１４に装着する。このように試料交換室５２０から試料室５５０への試料３９（試料ホルダー１１０）の導入は試料交換棒５２０を用いて行う。図１０は、試料ホルダー１１０が試料室５５０に在地されている際の試料室５５０内と試料ホルダー１１０内との気圧の状態を示している図である。試料室５５０内の気圧Ｐscは十分に低いので雰囲気遮断ホルダー内の気圧Ｐｉとの関係はＰsc≦Ｐｉ（参照は図）とすることで、蓋３６が容易に外れる状態とすることができる。
【００３３】
次に試料交換棒５２０を用いた蓋３６５の取外し例を説明する。図１１は、本実施形態に係り、試料ホルダー１１０を試料室５５０導入および蓋３６５の取外し手順を示すフローチャート図である。これらの動作は制御部により制御されている。
【００３４】
まず、試料３９を試料室５５０に導入するため、試料交換棒５２０は試料台３７５のフック４０に取付ける（Ｓ１１）。次に試料交換室５１０を減圧排気する（Ｓ１２）。試料交換室５１０と試料室５５０間の開口部を開閉するゲートバルブ５９０を開く。そして、その後、試料交換棒５２０でフック４００にて試料ホルダー１１０を保持し、試料ホルダー１１０を試料交換室５１０から試料室５１０へ移動させ、試料微動装置１４に搭載する（Ｓ１３）。試料微動装置１４への試料ホルダー１１０の搭載が完了したら、フック４００から試料交換棒５２０を外し、試料交換棒５２０を試料室５５０から引き抜く（Ｓ１４）。このとき、試料室５５０内の気圧Ｐscは十分に低いので試料ホルダー１１０内の気圧Ｐｉとの関係はＰsc≦Ｐｉ（参照は図）となっており、蓋３６が容易に外れる状態になっている。その後、試料微動装置１４を移動させ、試料交換棒５２０の位置と蓋３６５のフック４０の高さ位置が一致するように試料微動装置１４を移動させ、試料交換棒５２０にて蓋３６５をスライドさせて取外す（Ｓ１５）。その後、試料微動装置１４を所定の位置に移動させて、電子線を試料３９に照射し、試料３９から出射する二次電子を検出することで試料３９を観察する（Ｓ１６）。
【００３５】
この手順により試料交換室５１０部分を改造することなく、雰囲気遮断した試料を電子顕微鏡５８０で観察することができる。さらに、第一の実施形態で示した試料作製方法を用いれば試料３９の作製から試料室５５０導入まで大気に暴露することなく観察することができる。例えば、本実施形態では、電子顕微鏡５８０で観察した後に試料室５５０内で蓋３６５を試料台３７１に装着し、密閉して電子顕微鏡５８０外に取り出すことができる。観察後の蓋３６５の試料台３７１への取付け手順を図１２のフローチャート図に示す。観察後、試料交換室５１０の試料交換棒５２０の位置に試料台３７１の蓋３６５の取付け位置が一致するように試料微動装置１４を移動させる（Ｓ２２）。観察時は図１１で示したように、蓋３６５は試料交換棒５２０に取付いた状態である。試料交換棒５２０をスライドさせ蓋３６５を試料台３７１に取付ける（Ｓ２３）。その後、試料交換棒５２０のみを引き抜き、試料台３７１側のフック４００の位置に試料交換棒５２０の位置が一致するように試料微動装置１４を移動させる（Ｓ２４）。再度試料交換棒５２０を挿入し試料室５５０から試料交換室５１０側に蓋３６５が装着された試料台３７１を引き出す（Ｓ２５）。蓋３６５と試料台３７１は減圧状態で閉じたので、試料交換室５２０に空気を導入すると、気圧により蓋３６５と試料台３７１が密閉される。その後、試料交換室５２０から試料ホルダー１１０を取外し保管する（Ｓ２６）。この状態で試料３９を空気にさらすことなく保護することができる。
【符号の説明】
【００３６】
１ 陰極
２ 第一陽極
３ 一次電子線
４ 第二陽極
５ 第一収束レンズ
６ 対物レンズ絞り
７ 第二収束レンズ
８ 上段偏向コイル
９ 下段偏向コイル
１０ 対物レンズ
１１ 反射電子検出器
１２ 二次電子検出器
１３ 直交電磁界装置
１４ 試料微動装置
１６、１７ 増幅器
１８ 二次電子
１９ 透過電子検出器
２０ 高電圧制御部
２１ アライナー制御部
２２ 第一集束レンズ制御部
２３ 第二集束レンズ制御部
２４ 偏向制御部
２５ 対物レンズ制御部
２６ 信号制御部
２７ 試料微動制御部
２８ 電子線中心軸調整用アライナー
２９ 電子線中心軸調整用偏向器
３０ 表示装置
３１ 画像取得手段
３２ 画像処理手段
３３ 計算手段
３４ 記憶手段
３５ 入力手段
３６ 蓋
３７ 試料台
３８ 蓋押さえ
３９ 試料
４０ フック
【技術分野】
【０００１】
本発明は荷電粒子線装置における、特に電子顕微鏡のガス雰囲気で用いられる試料ホルダーに関する。
【背景技術】
【０００２】
荷電粒子線装置、特に電子顕微鏡で観察する試料には空気と反応して変形、変質する試料がある。電子顕微鏡の利点は高分解能観察だが、電子顕微鏡の試料室内に試料を導入する前に試料が空気にさらされると変形し、試料本来の構造を観察ができなくなる。この対策として例えば、特許文献１に示すように、特許文献１に記載のような上下方向に取外し可能な蓋材を備えた試料ホルダーを使用することが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−６７４６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の発明では、蓋材を試料ホルダーから取外しにくいという問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、蓋を容易に取付け取外すことができ、かつ、試料を空気にさらすことなく試料室内に導入することを可能にする試料ホルダーを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の態様によれば、開口部を有し内部で試料を保持する試料台と、該試料台の前記開口部を閉塞する蓋と、前記試料台に設けられた蓋押さえと、前記蓋押さえに設けられた第一の突合せ部と、前記第一の突合せ部との嵌合により、前記試料台に前記蓋を押し付け、前記蓋と前記試料台で囲まれた空間を密閉する前記蓋に設けられた第二の突合せ部と、備える試料ホルダーを提供する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、蓋を容易に取付け取外すことができ、かつ、試料を空気にさらすことなく試料室内に導入することを可能にする試料ホルダーを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第一の実施形態として荷電粒子装置としての電子顕微鏡を示す概略図である。
【図２】本発明の第一の実施形態に係る雰囲気を遮断可能に構成されている雰囲気遮断型の試料ホルダーの側面図である。
【図３】本発明の図３は、第一の実施形態に係る雰囲気遮断型の試料ホルダーの図２に示したＡ部の断面拡大図である。
【図４】本発明の第一の実施形態に係る雰囲気遮断型の試料ホルダーの使用方法を説明する図である。
【図５】本発明の施例を示す説明図である。
【図６】本発明の第一の実施形態に係る試料ホルダーの変形例としての外観斜視図である。
【図７】本発明の第一の実施形態に係る試料の装着手順を示すフローチャート図である。
【図８】本発明の第二の実施形態に係る試料ホルダーの側面図である。
【図９】本発明の第二の実施形態に係る電子顕微鏡を示す図である。
【図１０】本発明の第二の実施形態に係る試料ホルダーが試料室に在地されている際の試料室内と試料ホルダー内との気圧の状態を示している図である。
【図１１】本発明の第二の実施形態に係る試料ホルダーを試料室導入および蓋の取外し手順を示すフローチャート図である。
【図１２】本発明の第二の実施形態に係る観察後の蓋の試料台への取付け手順を示すフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
＜第一の実施形態＞
以下、図面を参照し、本発明の第一の実施形態について詳細に説明する。図１は本発明の第一の実施形態として、荷電粒子線を試料室内の試料ホルダーに収納された試料へ照射し試料の状態を観察可能に構成される荷電粒子装置としての電子顕微鏡５００を示す概略図である。まず、荷電粒子線としての電子線を試料へ照射する照射部について説明する。陰極１と第一陽極２に印加される電圧Ｖ１によって陰極１から放出された一次電子線３は第二陽極４に印加される電圧Ｖaccにより加速されて、後段の電磁レンズ系に進行する。加速電圧Ｖaccおよび電圧Ｖ１は、高電圧制御回路としての高電圧制御部２０で制御されている。一次電子線は第一集束レンズ制御回路としての第一集束レンズ制御部２２で制御された第一集束レンズ５で集束される。ここで一次電子線３は対物レンズ絞り６で電子線の試料照射電流が制限されるが、電子線の中心を対物レンズ絞り６の孔中心へ通過させるために、電子線中心軸調整用アライナー２８およびアライナー制御回路としてのアライナー制御部２１と、対物レンズ絞り６上で電子線を走査するための電子線中心調整用偏向器２９が設けられている。さらに、一次電子線３は第二集束レンズ制御回路としての第二集束レンズ制御部２３で制御される第二集束レンズ７で再び集束され、対物レンズ制御回路としての対物レンズ制御部２５によって制御される対物レンズ１０によって試料３９に細く絞られ、さらに偏向制御回路としての偏向制御部２４が接続された上段偏向コイル８および下段偏向コイル９で試料ホルダー１００に収納された試料３９上を二次元的に走査される。試料３９が収納された試料ホルダー１００は試料微動制御回路としての試料微動制御部２７によって制御される駆動装置としての試料微動装置１４上にある。試料微動装置１４は試料ホルダー１００を保持する駆動部として機能する。試料ホルダー１００及び試料微動装置１４等は、試料室５５０に収納されている。
【００１０】
次に検出系について説明する。一次電子線３が試料３９に到達した後、試料３９から出射される二次電子１８を検出する二次電子検出器１２が設けられている。二次電子検出器１２からの信号を増幅器１６により増幅し、該増幅した信号が信号制御回路としての信号制御部２６に伝わるように構成されている。高電圧制御部２０、アライナー制御部２１、第一集束レンズ制御部２２、第二集束レンズ制御部２３、偏向制御部２４、対物レンズ制御部２５、信号制御部２６、試料微動制御部２７は、装置全体を制御するための全体制御部としてのコンピュータ１２９に電気的に接続されている。コンピュータ１２９は、画像を表示する画面等の表示装置３０、画像を取得する画像取得手段３１、画像を処理する画像処理手段３２、所定の計算を行う計算手段３３、内部メモリとしての記憶手段３４、入力手段３５に電気的に接続されている。なお、高電圧制御部２０、アライナー制御部２１、第一集束レンズ制御部２２、第二集束レンズ制御部２３、偏向制御部２４、対物レンズ制御部２５、信号制御部２６、コンピュータ１２９、表示装置３０、画像取得手段３１、画像処理手段３２、計算手段３３、記憶手段３４、入力手段３５の全て、若しくは、少なくともそれらの一部を有するもの、または、電子顕微鏡全体を制御する制御部として一つで構成されても良い。
【００１１】
図２は第一の実施形態に係る雰囲気を遮断可能に構成されている雰囲気遮断型の試料ホルダー１００の側面図であり、図３は、第一の実施形態に係る雰囲気遮断型の試料ホルダーの図２に示したＡ部の断面拡大図である。また、図４は、第一の実施形態に係る雰囲気遮断型の試料ホルダー１００の使用方法を説明する図である。
【００１２】
図２に示すように雰囲気遮断型の試料ホルダー１００は、開口部を有し内部で試料を保持する試料台３７と、試料台３７の開口部を閉塞する蓋３６と、試料台３７に設けられた蓋押さえ３８で構成されている。試料台３７の下方には、試料微動装置１４に保持される試料台座部３７０が形成されている。なお、蓋押さえ３８は、試料台３７と一体として形成されていても良いし、別体として形成しボルト等にて接合されるように構成されても良い。
【００１３】
図４を用いて雰囲気遮断型の試料ホルダー１００の使用方法を説明する。蓋３６は試料台３７から矢印の方向にスライドして外れる構造になっている。また、蓋３６は、矢印と反対の方向にスライドして試料台３７に取付け可能な構造になっている。
【００１４】
試料台３７の上端面には、蓋３６との密着面となるように構成されており、試料台３７の上端面が真空シール面となるよう、図３に示すように、Ｏリング溝３７０および該Ｏリング溝３７０内に、Ｏリング３７１が設けられている。これにより、試料ホルダー１００内外での雰囲気を遮断することができ試料ホルダー１００内の真空状態を保持できるようになっている。なお、Ｏリング溝３７０及びＯリング３７１を設けることに代えて、真空グリースを塗布するように構成しても同様の効果を奏することができる。
【００１５】
図３は、第一の実施形態に係る雰囲気遮断型の試料ホルダーの図２に示したＡ部の断面拡大図である。図３を用いて蓋押さえ３８に設けられた突合せ部と、蓋押さえ３８に設けられた突合せ部との嵌合により、試料台３７に蓋３６を押し付け、蓋３６と試料台３７で囲まれた空間を密閉する蓋３６に設けられた突合せ部について説明する。蓋３６の突合せ部として、凸突合せ部３６６と蓋押さえ３８の突合せ部として、凹突合せ部３８８として設定されている。蓋３６の凸突合せ部３６６は試料台３７に取付いている蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８と突合せ可能なように構成されている。
【００１６】
蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８と蓋３６の凸突合せ部３６６は嵌合可能なように構成されている。試料台３７の開口部は平坦に形成されており、凸突合せ部３６６は、蓋３６が試料台３７の開口部をスライドし凹突合せ部３８８に嵌合可能に構成されている。また、凹突合せ部３８８と凸突合せ部３６６は共にテーパ状に形成されている。蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８と蓋３６の凸突合せ部３６６は共に上面が同じ角度同じ方向にテーパ状に形成され、下面が水平状に形成されている。具体的には、凹突合せ部３８８は、溝状に形成されており、溝深側から溝浅側（図３では左側から右側）にかけて溝幅が大きくなるように形成されている。また、凹突合せ部３６６は、蓋３６の一端側（図３では左側）の上方側の部位が突き出すように形成されており、上面が中央側から先端側（図３では右側から左側）にかけて幅が小さくなるように形成されている。図４に示すように蓋３６を矢印と反対の方向にスライドし、蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８に蓋３６の凸突合せ部３６６に挿入し、嵌合すると、蓋押さえ３８に蓋３６が押し付けられ、蓋３６に試料台３７に密着する方向に力が働く。これにより蓋３６が試料台に固定される構造になっている。
【００１７】
例えば、減圧した容器としてのグローブボックス内で試料３９を作製し、試料３９を試料台３７に載せる。
【００１８】
蓋３６を試料台３７に装着したあと、グローブボックスに空気を導入すると、蓋３６は試料台３７に気圧により押さえ付けられる。このとき図５の点線内部（試料ホルダー内部）減圧した状態となる。この状態では、蓋３６は試料ホルダー１００内部が減圧状態であることと蓋押さえ３８により試料台３７に押し付けられているため、蓋３６は大気中で容易に外れなくなる。このとき、試料ホルダー１００内部の真空度を保持するためには、蓋３６と蓋押さえ３８との突き合わせ状態が正確である必要がある。突き合わせ状態が不十分だと試料ホルダー１００内に空気が導入されてしまうため、試料３９が空気に暴露して劣化してしまう。また、例えば、特許文献１に記載のような上下方向に取外し可能な蓋材を備えた試料ホルダーでは、蓋材を取外しにくいという問題がある。
【００１９】
しかしながら、本実施形態のように、蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８と蓋３６の凸突合せ部３６６は嵌合可能なように構成されているので、たとえばグローブボックス内での作業でも再現性良くかつ正確に蓋３６を取付けることができる。特に、蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８と蓋３６の凸突合せ部３６６は共にテーパ状に形成されている。具体的には、上面が同じ角度同じ方向にテーパ状に形成され、下面が水平状に形成されているので、蓋３６を容易にスライドさせることができるので蓋３６の取付け取外し作業を容易にし、かつ、再現性良くかつ正確に蓋３６を取付けることができる。
【００２０】
また、本実施形態によれば、試料３９をガス雰囲気と隔離し、試料室５５０に導入したあとに蓋３６を取外すため試料３９への空気の暴露を回避できる。
【００２１】
また、例えば、試料３９を空気に暴露することなく導入するための機構として雰囲気遮断型の試料交換室があるが、電子顕微鏡の試料交換室部分の改造が必要であるため、容易には試料交換室を雰囲気の遮断した仕様とすることができなく、また、このような改造をしていない電子顕微鏡では試料が空気と反応して変形、変質し、観察できなくなってしまうため、試料交換室に改造を施した特定の電子顕微鏡でしか観察することができなかったが、試料交換室がある場合にも、試料交換室を改造しなくても、試料を空気にさらすことなく試料室内に導入することを可能にすることができる。また、試料交換室の改造を必要としないため機械的制約が少なく、汎用性を向上させ、また、雰囲気遮断型の試料交換室と比べて非常に安価で構成することができる。
【００２２】
図６は、本発明の第一の実施形態に係る試料ホルダー１００の変形例としての外観斜視図である。
【００２３】
先に述べた実施形態では、図３に示したように、蓋３６の一端としての凸突合せ部３６６の上面全面をテーパ状に形成するように説明したが、本変形例では、図６に示すように、蓋３６の一端としての凸突合せ部３６６の上面の一部のみをテーパ状に形成した試料ホルダー１０１である。なお、蓋３６の一端としての凸突合せ部３６６の上面の一部のみをテーパ状に形成したことを除き、それ以外は、先に述べた実施形態と同様である。凸突合せ部３６６は、凹突合せ部３８８に対向する位置に溝状に形成されている。図６に示すように、凸突合せ部３６６の上面の蓋押さえ３８の凹突合せ部３８８に対向する位置に溝３６７を形成し、溝３６７をテーパ状に形成し、凸突合せ部３６６の上面のそれ以外の部位を、テーパ状としないようにする。最も密着するように突合せるためにはテーパ形状に合わせて蓋３６を試料台３７に装着する必要があるため、図３で示した蓋３６の凸突合せ部３６６に溝３６７を形成し、この溝３６７と蓋押さえ３８とが合致するようにすると、さらに、溝３６７の側壁と蓋押さえ３８の側壁とが当たることにより水平方向にずれることを抑制することになり、蓋３６の位置決めを容易にすることができる。この構造により、たとえばグローブボックス内での作業でも再現性良くかつ正確に蓋３６を取付けることができる。
【００２４】
図７は、本発明の第一の実施形態に係る試料３９の装着手順を示すフローチャート図である。これらの動作は制御部により制御されている。
【００２５】
図７に示すように、まず、グローブボックス内を減圧した状態で試料を作成する（Ｓ１）。次に、試料台３７に試料３９を搭載する（Ｓ２）。次に、蓋３６を試料台３７に装着する（Ｓ３）。続いて、グローブボックスを大気圧にする（Ｓ４）。
【００２６】
気圧差により蓋３６が試料台３７に密着し、試料が真空で隔離される（Ｓ５）。
【００２７】
蓋３６を試料台３７から取外すためには蓋３６をスライドさせる前に試料台内部の圧力より低い圧力の環境で取外す。例えば電子顕微鏡５００の試料室５５０内などでは蓋３６と試料台３７で作られた空間よりも十分に減圧してあれば、蓋３６をスライドさせて容易に取外すことができる。
【００２８】
なお、上述したように、試料３９をグローブボックス内で作製し、減圧して封じれば、試料ホルダー１００は、簡易の試料保管容器としても使用することができる。
【００２９】
＜第二の実施形態＞
図８は、本発明の第二の実施形態に係る試料ホルダー１１０の側面図である。図９は、本発明の第二の実施形態に係る電子顕微鏡５５０であり、第一の実施形態で示した電子顕微鏡５００の試料室５１０に隣接して試料交換室５１０が設けられている。
【００３０】
図８に示すように、第二の実施形態に係る試料ホルダー１１０と第一の実施形態にかかる試料ホルダー１００と異なる点は、蓋３６５と試料台３７１にそれぞれ同一形状のフック４０、４００が取付けられている点と、であり、それ以外の点は同様である。図８に示すように、好適には、試料台３７の試料台座部３７５に設けると良い。
【００３１】
また、図９に示すように、本実施形態では、第一の実施形態で示した電子顕微鏡５００の試料室５５０に隣接して試料交換室５１０が設けられ、試料室５５０内にある蓋３６５を試料台５５０から取付け取外し、かつ試料ホルダー１１０を試料室５５０内外へ移動する移動部としての試料交換棒５２０が設けられるように電子顕微鏡５８０が構成されている。
【００３２】
図８、図９に示すように、試料台３７１のフック４００は、電子顕微鏡５８０の試料交換室５１０から試料室５５０に試料交換棒５２０を用いて導入する際に用い、蓋３６５についたフック４０は試料台３７１から蓋３６５を取外すために用いる。電子顕微鏡５８０内での蓋３６５の取外し手順を説明する前に、電子顕微鏡５８０の試料交換室５１０を用いた試料導入方法を説明する。電子顕微鏡５８０の試料室５５０内は電子を通過させるために真空状態が保たれているため、試料３９を試料室５５０へ導入する際には、試料３９を試料ホルダー１１０に収納、蓋３６５により閉塞した状態で、試料交換室５１０に入れる。その後試料交換室５１０を減圧排気し、試料交換室５１０と試料室５５０とを同圧化する。その後、試料交換室５１０と試料室５５０間の開口部を開閉するゲートバルブ５９０を開く。その後、試料交換棒５２０でフック４００にて試料ホルダー１１０を保持し、試料ホルダー１１０を試料交換室５１０から試料室５１０へ移動させ、試料微動装置１４に装着する。このように試料交換室５２０から試料室５５０への試料３９（試料ホルダー１１０）の導入は試料交換棒５２０を用いて行う。図１０は、試料ホルダー１１０が試料室５５０に在地されている際の試料室５５０内と試料ホルダー１１０内との気圧の状態を示している図である。試料室５５０内の気圧Ｐscは十分に低いので雰囲気遮断ホルダー内の気圧Ｐｉとの関係はＰsc≦Ｐｉ（参照は図）とすることで、蓋３６が容易に外れる状態とすることができる。
【００３３】
次に試料交換棒５２０を用いた蓋３６５の取外し例を説明する。図１１は、本実施形態に係り、試料ホルダー１１０を試料室５５０導入および蓋３６５の取外し手順を示すフローチャート図である。これらの動作は制御部により制御されている。
【００３４】
まず、試料３９を試料室５５０に導入するため、試料交換棒５２０は試料台３７５のフック４０に取付ける（Ｓ１１）。次に試料交換室５１０を減圧排気する（Ｓ１２）。試料交換室５１０と試料室５５０間の開口部を開閉するゲートバルブ５９０を開く。そして、その後、試料交換棒５２０でフック４００にて試料ホルダー１１０を保持し、試料ホルダー１１０を試料交換室５１０から試料室５１０へ移動させ、試料微動装置１４に搭載する（Ｓ１３）。試料微動装置１４への試料ホルダー１１０の搭載が完了したら、フック４００から試料交換棒５２０を外し、試料交換棒５２０を試料室５５０から引き抜く（Ｓ１４）。このとき、試料室５５０内の気圧Ｐscは十分に低いので試料ホルダー１１０内の気圧Ｐｉとの関係はＰsc≦Ｐｉ（参照は図）となっており、蓋３６が容易に外れる状態になっている。その後、試料微動装置１４を移動させ、試料交換棒５２０の位置と蓋３６５のフック４０の高さ位置が一致するように試料微動装置１４を移動させ、試料交換棒５２０にて蓋３６５をスライドさせて取外す（Ｓ１５）。その後、試料微動装置１４を所定の位置に移動させて、電子線を試料３９に照射し、試料３９から出射する二次電子を検出することで試料３９を観察する（Ｓ１６）。
【００３５】
この手順により試料交換室５１０部分を改造することなく、雰囲気遮断した試料を電子顕微鏡５８０で観察することができる。さらに、第一の実施形態で示した試料作製方法を用いれば試料３９の作製から試料室５５０導入まで大気に暴露することなく観察することができる。例えば、本実施形態では、電子顕微鏡５８０で観察した後に試料室５５０内で蓋３６５を試料台３７１に装着し、密閉して電子顕微鏡５８０外に取り出すことができる。観察後の蓋３６５の試料台３７１への取付け手順を図１２のフローチャート図に示す。観察後、試料交換室５１０の試料交換棒５２０の位置に試料台３７１の蓋３６５の取付け位置が一致するように試料微動装置１４を移動させる（Ｓ２２）。観察時は図１１で示したように、蓋３６５は試料交換棒５２０に取付いた状態である。試料交換棒５２０をスライドさせ蓋３６５を試料台３７１に取付ける（Ｓ２３）。その後、試料交換棒５２０のみを引き抜き、試料台３７１側のフック４００の位置に試料交換棒５２０の位置が一致するように試料微動装置１４を移動させる（Ｓ２４）。再度試料交換棒５２０を挿入し試料室５５０から試料交換室５１０側に蓋３６５が装着された試料台３７１を引き出す（Ｓ２５）。蓋３６５と試料台３７１は減圧状態で閉じたので、試料交換室５２０に空気を導入すると、気圧により蓋３６５と試料台３７１が密閉される。その後、試料交換室５２０から試料ホルダー１１０を取外し保管する（Ｓ２６）。この状態で試料３９を空気にさらすことなく保護することができる。
【符号の説明】
【００３６】
１ 陰極
２ 第一陽極
３ 一次電子線
４ 第二陽極
５ 第一収束レンズ
６ 対物レンズ絞り
７ 第二収束レンズ
８ 上段偏向コイル
９ 下段偏向コイル
１０ 対物レンズ
１１ 反射電子検出器
１２ 二次電子検出器
１３ 直交電磁界装置
１４ 試料微動装置
１６、１７ 増幅器
１８ 二次電子
１９ 透過電子検出器
２０ 高電圧制御部
２１ アライナー制御部
２２ 第一集束レンズ制御部
２３ 第二集束レンズ制御部
２４ 偏向制御部
２５ 対物レンズ制御部
２６ 信号制御部
２７ 試料微動制御部
２８ 電子線中心軸調整用アライナー
２９ 電子線中心軸調整用偏向器
３０ 表示装置
３１ 画像取得手段
３２ 画像処理手段
３３ 計算手段
３４ 記憶手段
３５ 入力手段
３６ 蓋
３７ 試料台
３８ 蓋押さえ
３９ 試料
４０ フック
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有し内部で試料を保持する試料台と、該試料台の前記開口部を閉塞する蓋と、前記試料台に設けられた蓋押さえと、前記蓋押さえに設けられた第一の突合せ部と、前記第一の突合せ部との嵌合により、前記試料台に前記蓋を押し付け、前記蓋と前記試料台で囲まれた空間を密閉する前記蓋に設けられた第二の突合せ部と、備える試料ホルダー。
【請求項２】
前記試料台の開口部が平坦に形成されており、前記第二の突合せ部は、前記蓋が前記開口部をスライドし前記第一の突合せ部に嵌合可能に構成されている請求項１記載の試料ホルダー。
【請求項３】
前記第一の突合せ部と前記第二の突合せ部が共にテーパ状に形成されている請求項２記載の試料ホルダー。
【請求項４】
前記第二の突合せ部は、前記第一の突合せ部に対向する位置に溝状に形成されている請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の試料ホルダー。
【請求項５】
荷粒子線を試料に照射する照射系と、前記試料から出射する荷電粒子線を検出する検出系と、
開口部を有し内部で試料を保持する試料台と、該試料台の前記開口部を閉塞する蓋と、前記試料台に設けられた蓋押さえと、前記蓋押さえに設けられた第一の突合せ部と、前記第一の突合せ部との嵌合により、前記試料台に前記蓋を押し付け、前記蓋と前記試料台で囲まれた空間を密閉する前記蓋に設けられた第二の突合せ部とを有する試料ホルダーを保持する駆動部と、前記駆動部及び前記試料ホルダーを収納する試料室と、前記蓋を前記試料室から取付け取外し、かつ前記試料ホルダーを前記試料室内外へ移動する移動部と、
前記移動部、前記駆動部、前記照射系及び前記検出系と、を制御する制御部とを有する荷電粒子線装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記第一の突合せ部及び前記第二の突合せ部とが取外され、前記蓋が前記試料台から取外された状態で、荷粒子線を試料に照射し、前記試料から出射する荷電粒子線を検出するよう制御する請求項５記載の荷電粒子線装置。
【請求項１】
開口部を有し内部で試料を保持する試料台と、該試料台の前記開口部を閉塞する蓋と、前記試料台に設けられた蓋押さえと、前記蓋押さえに設けられた第一の突合せ部と、前記第一の突合せ部との嵌合により、前記試料台に前記蓋を押し付け、前記蓋と前記試料台で囲まれた空間を密閉する前記蓋に設けられた第二の突合せ部と、備える試料ホルダー。
【請求項２】
前記試料台の開口部が平坦に形成されており、前記第二の突合せ部は、前記蓋が前記開口部をスライドし前記第一の突合せ部に嵌合可能に構成されている請求項１記載の試料ホルダー。
【請求項３】
前記第一の突合せ部と前記第二の突合せ部が共にテーパ状に形成されている請求項２記載の試料ホルダー。
【請求項４】
前記第二の突合せ部は、前記第一の突合せ部に対向する位置に溝状に形成されている請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の試料ホルダー。
【請求項５】
荷粒子線を試料に照射する照射系と、前記試料から出射する荷電粒子線を検出する検出系と、
開口部を有し内部で試料を保持する試料台と、該試料台の前記開口部を閉塞する蓋と、前記試料台に設けられた蓋押さえと、前記蓋押さえに設けられた第一の突合せ部と、前記第一の突合せ部との嵌合により、前記試料台に前記蓋を押し付け、前記蓋と前記試料台で囲まれた空間を密閉する前記蓋に設けられた第二の突合せ部とを有する試料ホルダーを保持する駆動部と、前記駆動部及び前記試料ホルダーを収納する試料室と、前記蓋を前記試料室から取付け取外し、かつ前記試料ホルダーを前記試料室内外へ移動する移動部と、
前記移動部、前記駆動部、前記照射系及び前記検出系と、を制御する制御部とを有する荷電粒子線装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記第一の突合せ部及び前記第二の突合せ部とが取外され、前記蓋が前記試料台から取外された状態で、荷粒子線を試料に照射し、前記試料から出射する荷電粒子線を検出するよう制御する請求項５記載の荷電粒子線装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１３−６５４８５（Ｐ２０１３−６５４８５Ａ）
【公開日】平成２５年４月１１日（２０１３．４．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２０４０５４（Ｐ２０１１−２０４０５４）
【出願日】平成２３年９月２０日（２０１１．９．２０）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月１１日（２０１３．４．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月２０日（２０１１．９．２０）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
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