【課題】エネルギー線照射システムにおいて、異なる寸法のワークに効率的にエネルギー線を照射できるコンパクトで低コストの搬送機構を実現する。
【解決手段】異なる寸法のワークＷ１、Ｗ２がそれぞれ搭載される第１、第２ワークホルダ３１ａ、３２ａと、各々のワークホルダを各々のワーク授受領域とエネルギー線照射領域ＡＲ１との間で進退移動させる進退機構３３と、互いに異なる位置に設けられた第１及び第２ワーク収容部２１ａ、２２ａと、第１のワーク授受領域にある第１ワークホルダ３１ａと第１ワーク収容部２１ａとの間でワークＷ１を搬送する第１搬送アームと、第２のワーク授受領域にある第２ワークホルダ３２ａと第２ワーク収容部２２ａとの間でワークを搬送する第２搬送アームとを設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、蓋を容易に取付け取外すことができ、かつ、試料を空気にさらすことなく試料室内に導入することを可能にする試料ホルダーを提供する。
【解決手段】開口部を有し内部で試料３９を保持する試料台３７と、試料台３７の開口部を閉塞する蓋３６と、試料台３７に設けられた蓋押さえ３８と、蓋押さえ３８に設けられた第一の突合せ部と、前記第一の突合せ部との嵌合により、試料台３７に蓋３６を押し付け、蓋３６と試料台３７で囲まれた空間を密閉する蓋３６に設けられた第二の突合せ部と、備える試料ホルダー１００を提供する。 （もっと読む）

【課題】所定の材料を真空チャンバー内部の任意の箇所に正確に搬送する真空フィードスルーを提供する。
【解決手段】真空フィードスルー１０Ａは、パイプ１１とその内部空間に位置するシャフト１２とパイプ１１の外周面を長さ方向へスライド可能なマグネットスライダー１３とシャフト１２の後端部に取り付けたマグネットホルダーとを有し、パイプ１１の内部空間前端部に取り付けたシャフト１２を径方向中央に保持する固定ホルダーと、シャフト１２の後端部に取り付けたシャフトを径方向中央に保持する移動ホルダーとを含み、固定ホルダーは、シャフト１２の外周面をスライド可能に支持するスライドベアリングを備えた支持ハウジングを有し、移動ホルダーは、弾性変形可能なアームと、長さ方向へ回転可能なローラと、アームをパイプの内周面に向かって強制的に弾性変形させてローラをパイプの内周面に押し当てるテーパープラグとを有する。 （もっと読む）

【課題】複数の自由度を備える試料ステージにおける試料の交換を簡単な手順で迅速に行う。
【解決手段】試料設置装置は、試料室１７内に配置され、電子ビームの照射対象となる試料が載置される試料ステージ４０と、試料室１７に取り付けられ試料室の壁面に形成されたポート２１から試料ステージ４０に向け外部から試料を移送する試料移送装置８０と、を備えている。試料ステージ４０及び試料移送装置８０は、一体となってＹ方向への移動及び傾斜駆動される共に、試料ステージ４０は、Ｘ方向、Ｚ方向への移動及び水平回転駆動され、試料の設置、交換に際して、位置合わせを簡単にした。 （もっと読む）

【課題】試料交換回数を減らし装置の稼動率を向上することで、試料作製の経済性を向上したイオンビームエッチング装置を実現する。
【解決手段】試料テーブル１００は、試料１０４を取りつける受容機構１０６とマスク１０５及び、少なくとも１つの位置決めユニット１０１、１０２、１０３を備えている。試料１０４はマスク１０５に対して相対的に位置決め可能である。試料テーブル１００は、１つの試料１０４がイオンビームにさらされている間、残りの位置決めユニット１０１、１０２、１０３がイオンビームから回避される様に配置し、回転機構により試料１０４を順次エッチング加工する事ができる。 （もっと読む）

【課題】複数個の試料を配置し、少なくとも一つの試料台が移動可能であり、試料ホルダ内に配置した全ての試料から高空間分解能で、透過型電子顕微鏡像等を取得可能な荷電粒子装置用試料ホルダを実現する。
【解決手段】試料ホルダ１８の先端部で試料ステージ３０、３１にそれぞれ試料台４０、４１が設置された後、押さえ板４２、４３が試料台４０、４１上に載せられ、その後、固定ネジ４４、４５により試料台４０、４１及び押さえ板４２、４３の両者が試料ステージ３０、３１に固定される。除振機構４６は、試料ホルダ１８の先端部側に配置されている。除振機構４６が試料台４１に接触した状態となることにより試料台４１の振動を防止または抑制することができる。これにより、高空間分解能で、透過型電子顕微鏡像等が取得可能となる。 （もっと読む）

【課題】試料台とその上に被せられる蓋体を有する試料導入用ホルダーであって、分析の際に、分析装置の外部からの操作を要せずに、蓋を取外して試料を開放することができる試料導入用ホルダーを提供する。
【解決手段】分析用試料を保持する試料台及びこの試料台に被せられる蓋体を有し、前記試料台と蓋体により試料及びガスを包含する空間を形成し、前記空間内と蓋体外部との圧力差が所定値以下では、前記空間内と蓋体外部間が雰囲気遮断状態となるように、試料台と蓋体がかん合しており、かつ前記かん合における試料台と蓋体間の接着力が、前記圧力差が前記所定値を超えたとき前記圧力差により蓋体が試料台上から除去される大きさであることを特徴とする試料導入用ホルダー。 （もっと読む）

【課題】 試料を大気中に取り出すことなく試料の断面加工と断面観察が行える荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 イオン加工時、試料ホルダ２２の第２の被取付部３４がホルダ取付部１６に取付けられる。そして、遮蔽材４０のエッジ部４２から突出した試料部分４１がイオンビームによってエッチングされる。その後、試料ステージが電子光学系の光軸上に配置されて、イオンエッチングで現れた試料断面５０がＳＥＭ観察される。一方、試料表面４５をＳＥＭ観察する場合には、試料ホルダの第１の被取付部３１がホルダ取付部１６に取付けられる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料室内を大気開放することなく容易な作業により短時間で差動排気絞りの着脱，位置調整，交換が行え、高分解能化が可能になる環境制御型電子線装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は上記の目的を達成するために、電子線を放出する電子銃と、電子銃から放出された一次電子線を試料上に集束する対物レンズと、前記対物レンズ下に配置される試料室と、前記試料室内に備えられた試料微動装置と、前記試料室内の真空度を制御する排気系とを備えた電子顕微鏡において、前記試料微動装置に、差動排気絞りを着脱する交換部材を設置し、前記試料微動装置による前記交換部材の駆動により差動排気絞りを前記対物レンズに対して着脱することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査試料の外周部と中心部とで帯電特性が異なることから、被検査試料外周部と中心部とで同等の検査感度を得ることができない。
【解決手段】被検査試料を載置する試料ホルダの外周部に試料カバーを設け、被検査試料の帯電特性にあわせて試料カバーの帯電特性を変更する。これにより、試料外周部と中心部とで均質な帯電状態を形成でき、試料外周部の検査・観察が従来よりも高感度に実現可能となる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置の試料を保持するリングばねの飛散をなくし、薄型化かつ操作性の向上を可能にした試料支持装置を提供する。
【解決手段】試料支持台部２０１には、試料押さえ用のあり溝２０２が設けられ、且つ試料固定機構部Ｂは、あり溝と協働して試料２０７を押さえるリングばね２０３を有する。リングばね２０３は、試料の外縁部を押さえるリング部２０３ｂとリング部両端から延びる２本の脚部２０３ａを有する。この２本の脚部を介して、リングばね２０３が試料支持台部２０１から外れないように且つあり溝に対して装脱可能な上下方向の回動動作をなし得るように試料支持装置に取付けられている。リングばね２０３をあり溝２０２に装脱させる場合には、スライダー２０５によりばね脚部２０３ａを少し閉じてリング部２０３ｂの径をあり溝よりも縮めておこなう。 （もっと読む）

【課題】 試料を有するカートリッジを受け取るように備えられたその場試料ホルダを用いた試料の交換、及び全体が取り外されるホルダを用いた試料の交換に適した荷電粒子光学系のより簡便な構成を提案する。
【解決手段】 たとえば電子顕微鏡のような荷電粒子光学系(100)は、操作用に多数の試料のうちの特別な1つを収容するための空間(104)を備えた真空チャンバ(102)を有する。当該荷電粒子光学系は、前記空間に対して出し入れできるように動かすことのできる部分(108)を備えた装着体(106)を有する。前記部分は、当該光学系外部から運ばれる試料キャリア(110)を第1ホルダ(112)へ取り付け、又は前記第1ホルダから前記キャリアを外して当該光学系内部から前記キャリアを取り外すように備えられている。前記キャリアは第1試料を収容する。当該光学系は、前記第1ホルダ又は上に第2試料がマウントされる第2ホルダを取り外し可能なように供するため、前記チャンバの壁内にインターフェースを有する。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡等の真空機器に備えられた試料交換棒の折り曲げ操作をオペレータが良好に行うことのできる真空機器を提供する。
【解決手段】真空排気される試料室と、開閉バルブを介して試料室に接続された試料交換室と、試料交換室の側壁を貫通し、先端部に支持する試料を開閉バルブを通して試料室内と試料交換室内との間で搬送するための折り曲げ可能な試料交換棒１とを備えた真空機器において、試料交換棒１は、シャフト５と、シャフト５の周囲を覆うパイプ６を有しており、試料交換室の側壁１１の外側には、試料交換棒１のパイプ６側面に当接したときにはシャフト５への係合動作が制動されるとともに、試料交換棒１のパイプ６から露出されたシャフト５側面に当接したときにはシャフト５と係合するとともにパイプ６の一端と接触し、これによりパイプ６の移動を制限する係合部材５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】分析装置の大型化を必要とせず、かつ、真空排気後に試料の分析が行われる分析装置にも適用可能な、分析試料交換方法を提供する。
【解決手段】移動可能な保持台を備える観察室と、保持台へ嵌合可能な試料台及び少なくとも該試料台の一部を覆う蓋材を備えるホルダと、ホルダを観察室へと移動可能であり、かつ、少なくとも蓋材へ嵌合可能なホルダ移動部材と、を備える分析装置における分析試料交換方法であって、分析試料が配置された試料台へ蓋材を被せる被覆工程と、蓋材とホルダ移動部材とを嵌合させる蓋材嵌合工程と、試料台と保持台とを嵌合させる試料台嵌合工程と、被覆工程、蓋材嵌合工程、及び、試料台嵌合工程の後に、保持台をホルダ移動部材と嵌合している蓋材から遠ざかる方向へと移動させることにより、試料台と蓋材とを分離する分離工程とを有する、分析試料交換方法とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、試料の自重を押圧作用に変換して試料を保持する機構を備えると共に、試料の大きさに依らず安定して試料を保持する試料ホルダの提供を目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために、試料押圧機構による試料の押圧によって、試料を保持する試料ホルダであって、２つのてこを用いた試料ホルダを提案する。前記２つのてこは、試料を試料ホルダに載せたときの自重による押圧力を受ける第１のてこと、第１のてこによってもたらされる押圧力を、試料端部を押圧する押圧力とする第２のてこから構成される。 （もっと読む）

イオン源、システムおよび方法が開示されている。幾つかの実施形態では、イオン源、システムおよび方法は不都合な振動を比較的わずかにしか示さず、および／または不都合な振動を十分に減衰することができる。これにより、性能を向上させることができる（例えば、確実性、安定性などを増大することができる）。幾つかの実施形態では、イオン源、システムおよび方法は、所望の物理的特性（例えば、先端部の頂部における原子数）を有する先端部を形成する能力を高めることができる。
（もっと読む）

【課題】本発明は試料搬送機構に関し、試料搬送棒が突き出てじゃまにならないようにした試料搬送機構を提供することを目的としている。
【解決手段】試料室１と予備排気室３との間で試料５を搬送する搬送機構の一部に試料搬送棒７を用いた試料搬送機構において、前記予備排気室３の端部に試料搬送棒７と一体となった回転ユニット１０を設け、試料交換以外の時には、前記回転ユニット１０を所定角度回転させて、試料搬送棒７を試料搬送方向と上下左右の任意の方向となるように構成する。 （もっと読む）

【課題】上方に開口した容器の上面にエアベアリングを有し、容器の上面をエアベアリング面に押し当てた状態で容器内部を真空状態にして真空チャンバとして使用する真空装置において、エアベアリングを備えた容器自体の構造を複雑にすることなく容器内部へ試料を搬送する搬送手段を真空装置に設ける。
【解決手段】上方に開口した容器１１４の上面にエアベアリング１１５を有し、容器１１４の上面をエアベアリング面１０６に押し当てた状態で容器１１４内部を真空状態にして真空チャンバ１１７として使用する真空装置１において、容器１１４を昇降させることにより容器１１４の上面をエアベアリング面１０６へ押圧し及び上面を該エアベアリング面１０６から離す昇降手段２０２と、エアベアリング面１０６から上面が離れることにより開放された凹部の開口部を通して、凹部の内部へ試料１０３を搬送する試料搬送手段２２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング（摘出）して、分析／計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント（搭載）する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術
を用いる。
【効果】分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】 微小試料を把持するための機構では角度ズレ、先端形状に起因する試料の姿勢変化がある。
【解決手段】 把持体１８をＦＩＢなどの荷電粒子ビームで加工を施すことにより、ビームに対して平行な把持面を形成することができ、また把持面に付着したダストも除去する。荷電粒子ビーム照射される装置内でＴＥＭ試料に代表される微小試料を荷電粒子ビームによるエッチングで切り出すことで作製して運搬するとき、試料は荷電粒子ビーム照射方向にエッチングされるので把持体１８の把持面１９を試料の断面加工と同じ方向で加工することができるので、試料と把持面１９とを平行な面に作製することができ、試料を把持したときの試料の姿勢変化を少なくすることができる。 （もっと読む）