【課題】欠陥周辺に圧痕マーキングを行う際、試料の膜種によらず、一定の条件で行うと、周囲が割れてマーキングや欠陥が見にくくなったり、マーキングが小さすぎて見にくくなるという問題があった。また、パターン付きウェーハではマーキングに適さない方の膜上にマーキングしてしまうという問題があった。
【解決手段】マーキング予定位置を元素分析し、その結果に基づいて、圧子の荷重、下降速度、深さ等の圧痕マーキングの条件を変えることにより、膜種に適したマーキングを行う。また、登録された膜種と断定できない場合、手動設定に切り替えることにより、間違えた条件でマーキングすることを防ぐ。マーキングに適さない材質の場合、マーキングを施さないようにすることもできる。 （もっと読む）

【課題】試料を搭載するトップテーブルの微小振動を抑えて観察像の像質あるいは寸法測定値の精度を向上させることができる試料位置決め技術を提供する。
【解決手段】本発明に係る試料位置決め装置は、トップテーブルを停止させるアクティブブレーキ、アクティブブレーキを囲む内枠、内枠を囲む外枠、およびアクティブブレーキを駆動するアクチュエータを備える。アクチュエータは、アクティブブレーキを駆動してトップテーブルをステージに対して停止させた後、外枠を押圧してトップテーブルの位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】 半導体検査装置で大きさの異なる試料を検査する場合に、試料外縁付近を検査するときに試料近傍の等電位面の分布が乱れるため一次電子線が曲がってしまい、いわゆる位置ずれが発生する。
【解決手段】 試料の外側で且つ試料下面よりも低い位置に電位補正電極を設け、そこに試料よりも低い電位を印加する。また、検査位置と試料外縁との距離、試料の厚さ、および一次電子線の照射条件に応じて電位補正電極に印加する電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】
一次電子による帯電を抑制し、観察標体から明瞭なエッジコントラストを得て、試料の表面形状を高精度に計測する。
【解決手段】
試料上のイオン液体を含む液状媒体が薄膜状または網膜状である観察標体を用いる。また、この観察標体を用いる電子顕微法において、試料上のイオン液体を含む液状媒体の膜厚を計測する工程と、前記イオン液体を含む液状媒体の膜厚に基づき一次電子の照射条件を制御する工程と、前記一次電子の照射条件で一次電子を照射し前記試料の形態を画像化する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、蓋を容易に取付け取外すことができ、かつ、試料を空気にさらすことなく試料室内に導入することを可能にする試料ホルダーを提供する。
【解決手段】開口部を有し内部で試料３９を保持する試料台３７と、試料台３７の開口部を閉塞する蓋３６と、試料台３７に設けられた蓋押さえ３８と、蓋押さえ３８に設けられた第一の突合せ部と、前記第一の突合せ部との嵌合により、試料台３７に蓋３６を押し付け、蓋３６と試料台３７で囲まれた空間を密閉する蓋３６に設けられた第二の突合せ部と、備える試料ホルダー１００を提供する。 （もっと読む）

【課題】 試料内複数点の測定時に生じる像ドリフトを低減する。
【解決手段】 測長画像の取得後に測長画像取得より低倍走査での電子ビーム照射により除電を行う。その際に、走査領域が２０μｍ角以上、２００μｍ角以下の倍率に設定される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で静電チャックの吸着面に対するウェハの載置状態を判定する。
【解決手段】試料に対して一次荷電粒子線を照射する機能を備えた荷電粒子線装置において、試料を吸着させる静電チャックに、斜孔或いは切り欠きを設ける。また、当該斜孔或いは切り欠きを斜光した光軸が通過するように一対の投光器および受光器を配置する。さらに、受光器の出力信号を用いて静電チャックに対する試料の載置状態を判定する制御部を設ける。制御部は、試料が昇降部により下降し、光軸を試料が遮光した時の受光器の出力信号を用いて、試料の載置状態を判定する。 （もっと読む）

【課題】基板から試料を抽出するための効率的な方法。
【解決手段】集束イオンビームのようなビームを使って複数回の重なり合う切り込みを入れて試料のまわりに溝を作り、次いで当該試料の下を切って切り離す。切り込みの側壁が垂直でないため、重なり合う切り込みは以前の切り込みによって形成された傾きのある側壁上に入射する。大きな入射角のため、切削スピードが大幅に向上し、複数回の重なり合う切り込みを行って広い溝を生成することに必要な時間は、試料の周に沿って単一の深い切り込みを入れるよりも短くできる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビームリソグラフィシステム、及びターゲットの荷電粒子ビーム露光のために最適化されたターゲット位置決め装置を使用する動作方法を提供する。
【解決手段】ターゲット３上に荷電粒子ビーム２を投影するための真空チャンバ５０に配置され、荷電粒子ビーム２を偏向方向に偏向させるための偏向手段を有する荷電粒子光学カラム４と、ターゲット３を保持するためのキャリア及び偏向方向とは異なる第１の方向に沿ってキャリアを保持し移動させるためのステージ５２を有するターゲット位置決め装置５と、を具備し、このターゲット位置決め装置５は、荷電粒子光学カラム４に対する第１の方向にステージ５２を移動させるための第１のアクチュエータ５３を有し、キャリアは、ステージ５２に移動可能に配置されており、ターゲット位置決め装置５は、第１の相対位置にステージ５２に対してキャリアを保持するための保持手段を有する。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子ビームを用いた計測装置ないし検査装置において、検査の高感度と高安定性とを両立する。
【解決手段】
帯電制御電極A４２０の被計測試料ないし検査試料側に帯電制御電極B４２１を設置し，試料の帯電状態に応じて、帯電制御電極Bの帯電制御電極制御部４２３から一定の電圧を与えることにより、検査前に形成した試料表面の帯電状態と電位障壁の変動を抑制する。帯電制御電極制御部６６によりリターディング電位が印加され、試料と同電位に調整される帯電制御電極A４２０の更に下部に帯電制御電極B４２１が設けられることにより、一次電子ビーム19が照射されるウェハ９などの試料から放出された二次電子４０９の試料への戻り量を調整することが可能になり，高感度な検査条件を検査中安定的に維持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】検査物の急速放電のためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームシステム１００の変調器９００が、インダクタ４００に供給する変調信号を生成するように構成され、インダクタ４００が、この変調信号を受け取って、荷電粒子ビームシステム１００のための供給電圧信号をインダクタンスにより変調する。供給電圧信号の変調により、荷電粒子ビームシステム１００により生成された荷電粒子ビームの焦点距離を変更する。 （もっと読む）

【課題】安全性（感電防止機構）を備えつつ操作性が考慮された高電圧印加試料ホルダーを装着可能な電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明は、試料を装填する試料台に電圧を印加する機能を備えた試料ホルダーと、前記試料台に印加される電圧を供給する電圧源と、一端が前記試料ホルダーに接続される電圧ケーブルとを備え、更に、前記電圧ケーブルの他端が接続される中継器が、電子顕微鏡の鏡筒を支持する架台上に設置されたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】深さ方向に高アスペクト比を有するパターンの検査又は測定時に使用する予備帯電（プリドーズ）において、適切な照射条件の設定が、プリドーズ後に撮像された画像を目視するオペレータの判断に委ねられている。すなわち、照射条件の設定が属人的である。
【解決手段】予備帯電（プリドーズ）に使用する電子ビームの照射条件を変更しながら撮像された画像を画像分析し、分析結果に基づいて適切な照射条件を定量的に自動判定する。 （もっと読む）

【課題】観察サンプルを載置する可動テーブルをウォーキング形ピエゾモータにより駆動するピエゾステージと、前記ピエゾステージの移動を制御するステージ制御装置を有するステージ装置において、ピエゾステージの周期的な速度変動を抑制して、観察者がサンプルの移動を行う際の操作性と位置決め精度を向上する。
【解決手段】ピエゾステージ１のウォーキング形ピエゾモータ１０２を駆動する指令電圧標準データ３０４と、前記ウォーキング形ピエゾモータ１０２の出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データ３０５と、少なくとも前記指令電圧標準データ３０４および前記指令電圧出力タイミング補正データ３０５から前記ウォーキング形ピエゾモータ１０２を駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部３０２を有するステージ装置３が提供される。 （もっと読む）

【課題】貫通孔と密封栓を備え、繰り返し開けることができ、試料に必要な気体又は液体を入れ、試料の動態観測時間を延長できる電子顕微鏡用試料ケースの提供。
【解決手段】本発明の電子顕微鏡用試料ケースは、第１基板、第２基板、１つ以上の光電素子、及び金属粘着層を含み、前記第１基板が第１表面、第２表面、第１陥凹部、１つ以上の第１貫通孔を備え、前記第１貫通孔が第１基板を貫通し、前記第２基板が第３表面、第４表面、第２陥凹部を備え、前記光電素子が第１基板及び第２基板間に設置され、前記金属粘着層が前記第１基板と前記第２基板の間に設置されて空間が形成され、試料がその中に収容され、本発明はさらに第１貫通孔を密封できる１つ以上の密封栓を含み、本発明の試料ケースを密封して電子顕微鏡でその場観察を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】試料箱を再び開いて試料に必要な気体又は液体を導入し、試料の動的変化を観察する時間を延ばすことが可能なガイド孔及びプラグを有する電子顕微鏡用試料箱を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡用試料箱は、第１の基板１１、第２の基板１２及び金属密着層１３を備える。第１の基板１１は、第１の表面１１１、第２の表面１１２、第１の凹溝１１３及び少なくとも１つの第１のガイド孔１１４を有する。第１の凹溝１１３は、第２の表面１１２に設けられる。第１の表面１１１上には、第１の凹溝１１３に対応した第１の薄膜１１５が形成される。第１のガイド孔１１４が、第１の凹溝１１３の外周に設けられるとともに第１の基板１１に穿設される。第２の基板１２は、第３の表面１２１、第４の表面１２２及び第２の凹溝１２３を有する。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡による試料の構造や特性を観察する方法において、２次電子信号で得られる試料情報の選択性と画質を向上させる。
【解決手段】電子線を用いて試料の構造観察や材料特性を評価するにあたって、断続的に電子線を照射し、断続的な電子線照射下で得られる２次電子の過渡応答の中で、必要な試料情報を反映した２次電子信号を検出時間により選択することで、不要な情報の重畳を防ぎ、高画質な観察を実現する。 （もっと読む）

【課題】非破壊的方法により基板の表面上の絶縁層を介して電気的に基板を接地する。
【解決手段】基板の表面上の絶縁層を介して、導電経路を形成する装置に関する。第１の放射線源は、絶縁層の第１の領域へ放射線を放出するように構成され、且つ、第１の電気接点は、第１の領域へ第１のバイアス電圧を印加するように構成される。第２の放射線源は、絶縁層の第２の領域へ放射線を放出するように構成され、且つ、第２の電気接点は、第２の領域へ第２のバイアス電圧を印加するように構成される。領域の伝導性は、伝導経路がそれらの領域で絶縁層を介して形成されるように、放射によって増加する。一実施態様において、装置は、電子ビーム装置において使用され得る。別の実施形態は、絶縁層を介して導電経路を形成する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】状況に応じた印加電圧とすることで装置の信頼性を向上させる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】前記課題を解決するために、本発明の荷電粒子線装置１は、試料ステージ２５に静電チャック３０によって保持された試料２４に電子線１６を照射し、試料２４の画像を生成する荷電粒子線装置１であって、試料２４を保持する際に、静電チャック３０のチャック電極２６に予め設定した初期電圧を印加するとともに、試料２４が静電チャック３０に正常に吸着したか否かを判定し、試料２４が静電チャック３０に正常に吸着していないと判定した場合は、試料２４が静電チャック３０に正常に吸着したと判定するまで、チャック電極２６に印加する電圧を上昇させる静電チャック制御部１３を備える。 （もっと読む）

【課題】ナノツールの交換を、試料の環境変化を起こさずに、例えば真空の試料室を大気開放せずに試料室内で、短時間かつ高精度に自動化するためのナノエクスチェンジャーシステムを提供する。
【解決手段】ナノエクスチェンジャーシステムは、異なるナノツール２に対しても固定・リリースを可能とするナノツールアダプター３と、ナノツールアダプター３を単数もしくは複数の収容が可能なナノツールホルダー１と、ナノツール２を使用するために位置決めを行うナノツール取り付け機構４のいずれかもしくは全てを備えた方法及び装置である。 （もっと読む）