【課題】
半導体装置製造プロセスで形成されるパターンの検査前に実行されるプリチャージの最適な条件を簡易に設定できるようにし、プリチャージの良否を自動判定し、その後の動作にフィードバックするようにして、検査結果の信頼性の低下を防ぎ、常に安定した検査ができるようにする。
【解決手段】
電子ビームを照射する前に、電子ビームを発生させる電子源とは別の第二の電子源から電子を発生させて基板の表面に帯電を形成させる帯電形成手段と、該帯電形成手段により基板の表面に帯電が形成された状態で、基板に流れる電流の値を計測する電流計測手段と、該電流計測手段により計測された電流の値が予め定められた目標値になるように帯電形成手段により形成される帯電を調整する調整手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】光照射による試料の電気特性の変化を検出することができる試料ホルダ及びこの試料ホルダを用いた観測方法を提供する。
【解決手段】試料ホルダ１は、電気特性検出部８と光照射部２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型で低価格でありながら、検査対象のパターン微細化に対応した検査精度が向上された荷電粒子線装置を実現する。
【解決手段】被検査試料の検査位置（ウェハー座標系）を検査機構の配置位置（ステージ座標系（極座標系））に変換し、回転アーム１０２を回転させると共に、回転ステージ１０３を回転させて、検査機構の配置位置に、被検査試料の検査位置を移動させる。このとき、回転ステージ１０３の中心のずれ量等を算出して、補正することを可能としたので、２軸回転ステージ機構を有する荷電粒子線装置において、検査対象のパターン微細化に対応して、検査精度を向上することができる。また、回転アーム１０２の回転により描かれる回転ステージ１０３の中心の移動軌跡上に、複数の検査装置を配置する構成としたので、小型でありながら、複数種類の検査が可能な荷電粒子線装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】真空引きしても、粘着剤層表面に気泡による凹凸が生じにくい電子顕微鏡用導電性両面粘着シートを提供するを提供する。
【解決手段】カーボン粉、銀粉、銅粉又はニッケル粉などからなる導電性フィラーと、アクリル系樹脂、天然ゴム又はスチレン・ブタジエン系樹脂などからなる粘着性樹脂とで形成され、実質的に有機溶媒を含まず、導電性を有する粘着剤層２の両面に、剥離紙又は剥離ライナーなどからなる剥離層３ａ，３ｂを設けることにより、基材を使用しない電子顕微鏡用導電性両面粘着シート１を構成する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、試料から放出された電子が、他部材に衝突した結果、生じる電子量を制御可能とすることを目的とした走査電子顕微鏡、及び電子量の制御による試料帯電制御方法の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するために、電子ビームが通過可能な開口を複数備え、前記電子ビームに対して前記複数の開口を切り替える機構を備えた走査電子顕微鏡、及び開口の切り替えによって、試料の帯電を制御する方法を提案する。前記複数の開口は、少なくとも２つの開口であって、当該少なくとも２つの開口の周囲部であって、前記試料に対向する側には、それぞれ異なる二次電子放出効率を持つ部分が設けられている。この開口の切り替えによって、試料から放出された電子の衝突によって生じる電子の量をコントロールすることが可能とする。 （もっと読む）

【課題】基板への帯電が抑制可能となっているか否かを描画前に確認できる基板カバーを提供する。
【解決手段】基板カバーは、マスク基板の周縁領域に対応した形状の導電部と、導電部に設けられ、接地可能な電極が導電部から露出する複数の電極部とを有する。電極部１０５ａは、導電部および他の電極部１０５ｂ、１０５ｃと絶縁されており、電極部１０５ａと他の電極部１０５ｂ、１０５ｃとの間に電圧を印加することにより、これらの電極がマスク基板に導通していることを検出できる。電極部は、基板カバー自体を支持する機能も有するため、導電部の荷重が略等分布となるように３箇所に配置されていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】分析装置の大型化を必要とせず、かつ、真空排気後に試料の分析が行われる分析装置にも適用可能な、分析試料交換方法を提供する。
【解決手段】移動可能な保持台を備える観察室と、保持台へ嵌合可能な試料台及び少なくとも該試料台の一部を覆う蓋材を備えるホルダと、ホルダを観察室へと移動可能であり、かつ、少なくとも蓋材へ嵌合可能なホルダ移動部材と、を備える分析装置における分析試料交換方法であって、分析試料が配置された試料台へ蓋材を被せる被覆工程と、蓋材とホルダ移動部材とを嵌合させる蓋材嵌合工程と、試料台と保持台とを嵌合させる試料台嵌合工程と、被覆工程、蓋材嵌合工程、及び、試料台嵌合工程の後に、保持台をホルダ移動部材と嵌合している蓋材から遠ざかる方向へと移動させることにより、試料台と蓋材とを分離する分離工程とを有する、分析試料交換方法とする。 （もっと読む）

カソード（２）と、カソードに対して環状に配置されそのカソードから離間して構成されたアノード（１）と、グロー放電によってカソードで電子を生成する手段と、少なくとも１つの開口（２５）を内部に有する抽出プレート（３）であって、その開口を通じて、生成した電子を使用時に抽出できる抽出プレートとを備える、プラズマブリッジ中和装置（１０）。
（もっと読む）

【課題】 試料の薄膜加工終了を正しく判定して実行することができるイオンビーム加工装置を提供すること。
【解決手段】 イオンビーム加工開始時刻ｔ_０から所定期間Ｔ_２においては、第１光源７の輝度と第２光源８の輝度は、オペレータが像を観察しやすい明るさに任意に可変設定される。そして、イオンビーム加工開始時刻ｔ_０から所定期間Ｔ_２が経過して時刻ｔ_１となると、輝度設定手段１６は第１光源７の輝度を所定期間Ｔ_１にわたって所定値ａに固定設定すると共に、第２光源８の輝度を所定期間Ｔ_１にわたって所定値ｂに固定設定する。加工終了判定手段１８は、輝度ａ，ｂの光で照らされた試料５の像を加工終了判定用画像として撮像手段９から取り込んで加工終了判定を行う。前記輝度ａおよびｂは、加工終了判定が正確に行えるように設定されたものであり、予め実験により求められたものである。 （もっと読む）

【課題】試料分析装置において、観察しようとする試料に形成されたデバイスに含まれるプラグや配線構造をはじめとする試料特定箇所に、単一または多数系統の外部電圧を印加し、デバイスをオン・オフさせたときの構造、組成、電子状態の変化を分析できるものにおいて、試料を自由に回転・傾斜させることを可能にする。
【解決手段】試料傾斜機構を備えた試料ホルダ本体を有する試料分析装置において、サンプルキャリアは、第一の固定部材と、第二の固定部材と、前記第一の固定部材と前記第二の固定部材とを接続する変型可能な接続部と、当該接続部上に形成され前記第一の固定部材と第二の固定部材とを導通させる単一または多数の配線構造と、を備える。前記試料傾斜機構を操作して傾斜角を調整し、試料ホルダ本体先端に設けた回転ピボットを中心に試料ホルダ本体を回して回転角を調整する。 （もっと読む）

【課題】
本発明が解決しようとする課題は、試料微動装置において、装置使用者の誤操作や試料高さ設定の誤りによって発生する、試料とレンズ・検出器の接触・損傷を防止することである。
【解決手段】
試料微動装置を試料室に挿入時又は真空動作時のＺ位置以上にＺが上昇しない機構を設ける。
【効果】
試料を試料室に挿入したとき又は真空動作時のＺ位置以上に試料がレンズや検出器に近づくことは無いため、観察中に装置使用者が誤って試料微動装置を動かしても、Ｚ軸の移動が制限されるため、試料とレンズ／検出器の衝突を防止することができる。また、ゲートを併用することで、高さ設定を誤った場合には試料室に挿入できないので、Ｚ移動や試料高さ設定を誤ったとしても、レンズや試料の破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】
観察試料の周縁部での電界乱れを補正して分解能の低下を防ぐことができる試料保持装置、及び、荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
本発明の実施態様によれば、試料に荷電粒子線を照射し発生する二次信号から画像を生成する荷電粒子線装置に用いられる試料保持装置において、試料が載置される面に設けられた複数の電界補正電極と、荷電粒子線を減速させるリターディング電圧を試料へ印加するリターディング電圧印加用ケーブルとを備え、試料の画像に基づいて電界補正電極へ印加される電圧が調整されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】培養された細胞等からなる試料の観察又は検査を良好に行うことのできる試料保持体、試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料保持体４０は、外部からアクセス可能なように開放された試料保持面３７ａを有する本体部３７と、第１の面３２ａを試料保持面とする膜３２とを備え、該膜３２の第１の面３２ａに配置された試料３８に、該膜３２を介して試料観察又は検査のための一次線７が照射可能であり、該本体部３７における試料保持面３７ａの反対側の面（下面３０５）に、導電性を有する領域（導電膜３０１により覆われた領域）が存在するとともに、光が透過可能な領域３０２が設けられている。ここで、光が透過可能な当該領域３０２は、導電膜３０１により覆われていない。当該領域３０２を利用すれば、光学顕微鏡による試料３８の観察・検査を良好に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】一つの検査装置で複数種類の検査を行うことができる荷電粒子ビーム検査技術を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム検査装置１は、電子ビームを試料Ｓに照射する電子銃４１と、試料Ｓから得られる信号を検出する検出器４７と、検出器４７からの信号から像を形成する画像処理部６１と、試料Ｓへ照射する電子ビームのビームエネルギーを制御するエネルギー制御部６５とを備える。同一の荷電粒子ビーム検査装置１が複数種類の検査を行う。写像投影式の検査装置が適用されてよい。パターン欠陥検査、異物検査及び多層膜欠陥検査が行われる。それら検査のビームエネルギＥ１、Ｅ２、Ｅ３が、Ｅ１＞Ｅ２、Ｅ３＞Ｅ２の関係を有する。各検査の前に、搬送チャンバ９等の真空チャンバで除電が行われる。 （もっと読む）

【課題】２つの結晶の方位関係と結晶粒界の特性をリアルタイムで正確に確認できることを特徴とし、透過電子顕微鏡のゴニオメ−タを利用した隣り合う結晶粒の結晶学的方位関係と結晶粒界の特性を測定する測定装置及びその測定方法を提示する。
【解決手段】このため結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対してゴニオメ−タを利用してＸ傾斜軸及びＹ傾斜軸にそれぞれ垂直する軸である（Ｔｘ，Ｔｙ）値を測定し、測定された結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対する３つの（Ｔｘ，Ｔｙ）値から（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）結晶軸の挟角を求める。次いで（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の結晶指数から結晶学的な方法で（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角を求める。次いで、測定された（Ｔｘ，Ｔｙ）値から得た（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角と結晶学的に算出した挟角とを比較して、その差を最小化する（Ｔｘ，Ｔｙ）値を正確な測定値として選択して、傾斜軸と結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）間の関係を樹立する。次いで２つの結晶間の脱角行列を利用して結晶粒界の特性を糾明する。 （もっと読む）

【課題】観察すべき試料の数が非常に多い場合であっても、観察された試料の種類と得られた電子顕微鏡画像との対応関係を容易に取れるようにする。
【解決手段】所定の色の種類ｃ_jを情報の一単位とし、前記所定の色を有するエレメントｅ_kの集合を識別情報として利用する走査型電子顕微鏡用試料の識別子Ｐであって、前記エレメントｅ_kのそれぞれは前記所定の色の種類に対応した所定の二次電子放出強度ｉ_jまたは反射電子放出強度を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明はイオン液体を用いた試料の処理方法及び処理システムに関し、大気中を搬送しても試料表面が大気に曝されないようにすることができるイオン液体を用いた試料の処理方法及び処理システムを提供することを目的としている。
【解決手段】イオンビーム加工装置等の真空中で試料２に加工処理を施し、加工処理が施された試料２にイオン液体を塗布し、イオン液体が塗布された試料２を電子顕微鏡等の予備排気室８に搬送し、該予備排気室８でイオン液体を除去し、該イオン液体が除去された試料２を電子顕微鏡本体で観察するように構成される。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭにより検鏡される電気的絶縁試料の表面に金属薄膜を成膜する際に、簡易な方法により電気的絶縁試料に対して金属薄膜を高い密着度で成膜し、ＳＥＭから照射される電子線による電気的絶縁試料の帯電を低減して二次電子放出を効率的に行うと共に放出方向を一定にして電気的絶縁試料の表面を高精度、かつ鮮明に検鏡する。
【解決手段】電気的絶縁試料の表面に金属薄膜を成膜するに先立って、チャンバー内に炭化水素ガスを導入した状態で両電極間に電圧を印加してグロー放電を発生させて炭化水素成分をイオン化して電気的絶縁試料の表面に炭化水素膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】培養された細胞等からなる試料に散布される薬品の使用量を低減することのできる試料保持体等を提供する。
【解決手段】試料保持体４０は、開放された試料保持面３７ａの少なくとも一部が膜３２と膜３２の周囲のテーパ部３７ｂで構成され、膜３２の試料保持面３２ａにおいて試料３８を培養可能である。テーパ部３７ｂがあるので、使用する試薬の量を少なくすることができる。試料３８には、膜３２を介して、試料観察又は検査のための一次線が照射可能となっている。これにより、細胞等の試料３８を培養させた状態で生きたままでの観察又は検査を良好に行うことができる。特に、一次線として電子線を用いれば、生きた状態での試料のＳＥＭ観察・検査を良好に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】
静電チャック使用時の試料位置決めの機構を単純化しつつ、残留吸着時の試料の離脱を容易にし、且つ試料外周部全域において観察を可能にする。
【解決手段】
試料を保持する試料保持システムであって、試料をその外周部裏面で保持し昇降させる外周部品と、該外周部品を昇降させる駆動部と、試料をその裏面で吸着する静電チャックと、試料が静電チャックに吸着された状態で試料の周辺部の高さとほぼ同じ高さの電界補正部品とを備える。 （もっと読む）