【課題】本発明は、前フレームの走査によって生じる帯電の影響の抑制と、同じ順番にて走査されることによって生じる走査パターン固有の帯電現象の抑制の両立を実現する荷電粒子線走査方法、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、所定の走査パターンにて荷電粒子ビームを走査する荷電粒子ビーム走査方法、及び装置において、フレーム更新に従って、走査線の垂直方向における走査始点を、所定の方向に、所定量ずつ変化させる方法、及び装置を提案する。このような構成によれば、前フレームでのビーム走査によって、帯電が最も蓄積されていると考えられる最終走査線位置を避けつつ、フレーム毎に走査パターンを変化させることができるため、部分的な明るさの偏りがない荷電粒子ビーム画像を形成することが可能となる。 （もっと読む）

検査用サンプルホルダ及び加熱のアセンブリを含む、サブミクロンスケールの特性検査用装置である。アセンブリは、サブミクロン検査器具と電気機械式トランスデューサとのアセンブリに結合するように構成されたホルダ底部を含む。アセンブリは、ホルダ底部と結合した検査用サンプルステージをさらに含む。検査用サンプルステージは、ホルダ底部から熱的に分離される。検査用サンプルステージは、検査用サンプルを受けるように構成されたステージ検査用サンプル表面と、ステージ検査用サンプル表面を固定するステージプレートを含む。ステージプレートは、ステージ検査用サンプル表面の下にある。検査用サンプルステージは、ステージ検査用サンプル表面に隣接する加熱エレメントをさらに含み、加熱エレメントは、ステージ検査用サンプル表面で熱を発生させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子線装置における試料への５段構造の磁場印加装置は、試料を中心に上下対称に２回ずつの偏向を必要とする。そのため、装置の構成が複雑となり形状が大型に成らざるを得なかった。
【解決手段】 磁場と電場の独立性と直交性、そして、それぞれの磁場/電場が荷電粒子線へ与える偏向の線形結合性を利用し、磁場と電場の混在領域を作り出し、それぞれの磁場/電場において荷電粒子線の偏向を制御する。 （もっと読む）

【課題】絶縁部及び導電部を含む回路パターンが形成された基板に対して、導電部であるべき部位が絶縁部となっている欠陥の検査を高精度に行うこと。
【解決手段】絶縁部及び導電部を含む回路パターンがその表層部に形成された基板（ウエハＷ）を真空容器２１内の載置台２２に載置する。次いで前記ウエハＷに対して電荷密度が６．７×１０^-３Ｃ／ｎｍ^２以下の電子線を照射し、前記電子線の照射により放出された２次電子を検出する。電子線の照射位置と載置台とを相対的に移動させて、ウエハＷの検査対象領域全体において、放出された２次電子の検出結果と、ウエハＷ上の電子線の照射位置とを対応付けたデータを取得し、このデータに基づいて、導電部であるべき部位が絶縁部となっている欠陥の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】生物試料を培養し、かつこの生物試料に対して高効率でＸ線を照射することのできるシャーレを得る。
【解決手段】このシャーレ１０における本体１１は、円形の底面１２と、その周囲の側壁１３で構成され、底面１２上に液体（培養液等）を収容できる。底面１２の中央部には、円形の開口部１４が設けられ、開口部１４の周囲は、底面が掘り下げられた窓枠固定部１５となっている。Ｘ線は、この開口部１４を通してシャーレ１０の内部に照射される。窓枠固定部１５に矩形形状の窓枠部２０が嵌合して固定される。窓枠部２０は、上下のシリコーンゴム膜（弾性膜）２１に窒化シリコン膜２２が挟まれた矩形体形状の構成を具備する。上下のシリコーンゴム膜２１の中央部には、丸形の弾性膜開口（開口）２１１が設けられており、弾性膜開口２１１の中心は、シャーレ１０の底面の開口部１４の中心と略一致するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】電子顕微鏡において温度制御デバイスを用いる方法。デバイス構造の温度を制御して、以前は取得することができなかった反応及びプロセスに関する情報を抽出することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空室内の真空悪化及び導入ガスによる荷電粒子線装置の装置内部品へのダメージを抑えつつ、試料汚染を除去することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】本発明は、荷電粒子源を有し、当該荷電粒子線から放出される荷電粒子線を試料に照射し、発生する二次荷電粒子を検出する荷電粒子線装置において、前記試料の前記荷電粒子線を照射する位置に試料上の汚染を除去するガスを噴射するノズルと、当該ノズルの噴射口の前記電子線照射位置からの距離を調整する調整機構及び／又は前記ガスのノズルからの噴射量を調整する調整機構を設けたことを特徴とする。また、試料の荷電粒子線を照射する位置に試料上の汚染を除去するガスを噴射するノズルと、当該ノズルの先端部の形状は、試料の荷電粒子線照射位置を覆い、且つ荷電粒子線を通過する開口部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査装置内部の汚染に起因した、形状観察、寸法精度の観察分解能の低下を防止及び観察対象の汚染を抑制する。
【解決手段】検査装置内部の汚染をモニターする手段として、固体表面に汚染成分を吸着し、吸着した汚染成分を加熱ガス化して気体分析装置により検出する。
モニターした汚染量に応じて、検査装置内の清浄化を実施する。検査装置清浄化は、試料観察室に酸素の活性種を生成する手段を設け、観察室内部に残留している汚染を低減し、汚染影響による観察分解能の低下が少ない形状観察や寸法測定を可能とするとともに、観察対象の試料の汚染を防止する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、放出ガスの発生個所であると考えられる摺動部から放出される放出ガスを高効率、且つ簡単な構成で除去する真空排気方法及び真空排気装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、真空室内に移動装置を備えた真空装置において、前記移動装置の移動に伴って、摺動する摺動機構を備え、当該摺動機構の被摺動部を、活性金属材料を含むゲッタ面とし、摺動部を当該ゲッタ面を摩擦する摩擦部材とすることを特徴とする真空装置、及び移動機構の移動に伴って、活性金属材料表面を摩擦することで、ゲッタ面を新生する真空排気方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】本発明は試料観察装置に関し、薄膜が破損した時に真空室内に試料溶液が飛翔することを防止することができる試料観察装置を提供することを目的としている。
【解決手段】第１の面に試料が保持される薄膜４１と、該薄膜４１の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室と、該真空室に接続され、前記薄膜４１を介して試料２０に１次線を照射する１次線照射手段と、該１次線の照射により試料から発生する２次的信号を検出する信号検出手段４を具備する試料観察装置において、前記薄膜４１をその中央部に配置するシャーレ４０と、該シャーレ４０を支持する台座４２’よりなる試料保持手段を有し、該試料保持手段の台座４２’の真空室側に試料溶液が飛翔することを防止するための溶液飛翔防止壁４７を設けて構成される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡における試料の検査方法を提供する。
【解決手段】試料キャリア500は、パッド505,508と接続する電極504,507を有する。領域A上に試料は設けられる。前記試料を前記試料キャリア上に設けた後、前記試料上に伝導性パターンが堆積される。それにより前記試料の特定部分に電圧又は電流を印加することが可能となる。前記試料上への前記パターンの堆積は、たとえばビーム誘起堆積又はインクジェットプリントによって行われて良い。前記試料内での電子部品-たとえばレジスタ、キャパシタ、インダクタ、及びFETのような能動素子-の構成についても教示する。 （もっと読む）

【課題】リターディング電圧印加方式によってナノインプリント用フォトマスク上のパターン寸法を正確に測定することができる微小寸法測定走査電子顕微鏡（CD-SEM）等の荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】ナノインプリント用フォトマスクをホールダに装着するためのアタッチメントを用いる。倍率ずれを求め、それを用いて、ナノインプリント用フォトマスク上のパターンの寸法の測定結果を修正する。倍率ずれは、ホールダの寸法校正用試料とナノインプリント用フォトマスクの寸法校正用試料を用いて求める。更に、倍率ずれは、ナノインプリント用フォトマスクの帯電電圧から求めてもよい。 （もっと読む）

【課題】被検査試料の外周部と中心部とで帯電特性が異なることから、被検査試料外周部と中心部とで同等の検査感度を得ることができない。
【解決手段】被検査試料を載置する試料ホルダの外周部に試料カバーを設け、被検査試料の帯電特性にあわせて試料カバーの帯電特性を変更する。これにより、試料外周部と中心部とで均質な帯電状態を形成でき、試料外周部の検査・観察が従来よりも高感度に実現可能となる。 （もっと読む）

【課題】複数本の探針を有し、前記探針により電子顕微鏡試料の任意箇所の電気測定と電子顕微鏡観察が同時に可能な装置を提供することにある。特に、試料周辺の領域が制限されている電子顕微鏡内で、真空保持空間が狭小であっても、軽量な機構で複数本の探針が独立に移動可能とする装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料を保持可能な試料ホルダにおいて、試料に接触する複数の探針と、当該複数の探針を移動する微動機構と、前記微動機構と接続された駆動体を備え、前記複数の微動機構は、前記複数の探針を独立して移動し、前記駆動体は前記複数の探針を同時に移動することを特徴とする試料ホルダを提供する。 （もっと読む）

【課題】観察試料又は欠陥部の帯電状態が最適になった時点で信号検出をできる荷電粒子顕微鏡装置及び荷電粒子ビーム制御方法を提供する。
【解決手段】観察試料１００に対しての始めの帯電促進用の電子ビーム２１の照射から次の試料観察用の電子ビーム２１の照射までのを帯電待ち時間Ｔを、観察試料１００又は観察試料１００に発生する欠陥部１１２の状態に応じて設定し、この帯電待ち時間Ｔに基づいて観察試料１００に対して帯電促進用の電子ビーム２１の照射と試料観察用の電子ビーム２１の照射とを行う。 （もっと読む）

【課題】試料保持用の膜により覆われた基板の開口部を、光学顕微鏡により効率良く探し出すことのできる試料保持体を提供する。
【解決手段】試料を保持するための膜１０により覆われた開口部２０を有する基板を備え、開口部２０を覆っている膜の部分１０ａに保持された試料のＳＥＭ観察・検査ができるように構成された試料保持体において、該基板上には、開口部２０の位置する方向を識別するためのパターン５０１，５０２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は透過型電子顕微鏡の試料作製方法及び試料保持体に関し、試料片への通電を容易に行なうことができる透過型電子顕微鏡の試料作製方法及び試料保持体を提供することを目的としている。
【解決手段】真空外で、半月状の導電性部材１の弦の部分に電気的絶縁膜３を形成し、該電気的絶縁膜３の上に金線４を接着し、アクチュエータを用いて、予め作製されていた試料片を前記半月状の導電性部材１の弦の部分に取り付けて固定し、真空内で、前記試料片部分に電気的導通のためのデポジションを行ない、前記金線４と試料片２ａとの間に導電性プローブを固定のためのデポジションにより取り付け、前記導電性プローブを切断することにより透過型電子顕微鏡の試料を作製するように構成する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置には、評価対象である試料の外周縁部の近傍において、等電位分布の対称性が乱れて荷電粒子線が偏向する不具合がある。
【解決手段】静電吸着式の試料保持機構の内部に設置される電極板を、同心円状に配置される内側の電極板と外側の電極板との２つで構成する。外側の電極板の外径は、試料の外径よりも大きい値に形成する。更に、外側の電極板と試料との重なり面積と、内側の電極板の面積とが概略等しい大きさになるように形成する。そして、内側の電極板には、基準電圧に対して正極性の任意の電圧を印加し、外側の電極板には基準電圧に対して負極性の任意の電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】試料台の回転中心位置を特定する回転中心探索方法及び回転中心探索システムを提供する。
【解決手段】観察対象の試料７を固定する平面部４２を有する試料台４１の平面部４２に予め定めた観察点１０を設ける。試料台４１を平面部４２に沿う方向に回転しつつ、観察点１０の各角度における座標を記憶する。記憶された座標に基づいて図形１１を描画する。描画された図形１１の内部の点を試料台４１の平面部４２における回転中心を特定する。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜付き試料のアースとの導通状態を、単一のコンタクトピンを用いる場合でも、正確に判断可能な荷電粒子線装置を実現する。
【解決手段】試料２０の上側、数ミリメートルには表面電位計４０を配置し、試料２０の表面電位を計測する。試料２０を表面電位計４０に対して水平方向に移動させ、試料２０の表面電位分布が計測される。試料２０とコンタクトピン３とが非導通の場合、試料２０の表面に観測される電位は、不均一な電位分布を有する。一方、試料２０とコンタクトピン３とが導通していると、電位シフト値は著しく低減する。試料２０の表面電位シフトを判断する事によって、試料２０とコンタクトピン３との導通、非導通を正しく判定する事が可能となる。 （もっと読む）