【課題】試料ホルダの形状や搭載状態を、ステージマップ上に表示できる表面分析装置を提供する。
【解決手段】複数の試料ホルダを搭載可能な試料ステージ１９、試料ステージ１９を駆動するステージ駆動手段１１、複数の試料ホルダにそれぞれ収納された試料に対して、逐次測定をする測定手段１２を有する測定ユニット１と、ホルダベース、複数の試料ホルダの装着位置座標及び複数の試料ホルダの形状に関する表示情報を生成するマップ表示情報生成手段２３１、複数の試料ホルダの装着位置及び複数の試料ホルダの種類の情報を含む配置情報を生成するホルダ配置情報生成手段２２２、配置情報からホルダ配置図を生成するホルダ配置図生成手段２２３、ホルダ配置図をステージマップ図に合成するステージマップ表示手段２２６を有する演算処理装置２２ａと、ステージマップ図を表示する表示装置２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】イオンビーム加工中の試料温度を任意の温度に保ちながらイオンビームエネルギーによる試料の温度上昇を抑制して、試料構造変化などのダメージを抑制して清浄な断面作製を実現する。
【解決手段】本発明は、イオンを発生するイオン銃と、試料を搭載する試料台と、試料と前記イオン銃の間に配置されたマスクと、前記イオン銃から放出されたイオンビームにより、前記マスクから突出した試料を削る加工装置において、前記マスクは前記試料の上面に接触し、当該マスクには、冷却機構が接続されていることを特徴とする。この冷却機構は、温度調節機構であってもよい。また、同様に、前記試料台に冷却機構を備えたことを特徴とする。さらに、前記試料台には、振動発生機構が取り付けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安価で、使い易く、例えば教室のテーブル上に置くことのできる十分に小さな寸法とすることができる走査型電子顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 小型の電子顕微鏡が、サンプルが存在する真空領域の一部を形成する壁を有する取外し可能なサンプルホルダを使用する。取外し可能なサンプルホルダを用いて真空を含むことによって、撮像の前に真空排気を必要とする空気の容積が著しく低減され、顕微鏡を迅速に真空排気することができる。好適な実施形態では、摺動真空シールが電子カラムの下にサンプルホルダを位置決めすることを可能にし、サンプルホルダは最初に真空バッファの下を通過されて、サンプルホルダ内の空気が除去される。 （もっと読む）

【課題】透過光検出用の撮像素子を真空室内部に別途設置することなく、簡易な構成の装置によって、一次線透過部を探し出すことのできる試料検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料保持体の一次線透過部に保持された試料２１に対して、一次線透過部を介して一次線を照射し、これより試料２１から発生して一次線透過部を通過した二次線を二次線検出手段３により検出して試料像の取得が可能であり、また、試料２１に対して一次線透過部が位置する側とは反対の側から光（照射光）２４を照射し、これによる反射光を検出して試料２１の光学像の取得が可能である試料検査方法及び装置において、照射光２４を試料２１に照射したときに、試料２１を介して一次線透過部を通過する通過光２４ａを二次線検出手段３によって検出することにより、試料２１上への照射光２４の照射領域と一次線透過部との位置合わせを行う。 （もっと読む）

本発明は、光学的装置に関し、特に電子顕微鏡に使用される光学的装置に関するものである。この装置は、サンプルの電子顕微鏡法による測定と、光学的セットアップによる及び／又は光源のプロービング用の操作装置又は走査プローブ装置を使用した測定と、を同時に測定することによる、サンプルの特性解析に使用される。本発明の電子顕微鏡のサンプルホルダー（６０１）は、構造的特性解析のためサンプル（２０３）を前記電子顕微鏡の電子ビームの中に位置決めするように構成された所定の画像化領域（２０５）と、光学的特性解析のため光を前記サンプル（２０３）上に配向するように構成された光源（７０３，８０１，９０１，１０５，１０７，１１３，１１７）と、を有し、ここにおいて前記構造的及び光学的特性解析は同時に行われる、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】 基板を取り外す前および取り外している間に、基板から蓄積電荷をより効率的に除去する静電クランプを開示する。現時点においては、注入処理後に基板から電荷を除去するべく用いられているメカニズムはリフトピンおよびグラウンドピンのみである。本開示は、グラウンドへの低抵抗経路が１以上追加されているクランプを説明する。このように追加されたコンジットによって、基板をクランプから取り外す前および取り外す間に、蓄積電荷を放散させる。基板１１４の裏面から十分に電荷を取り出すので、基板がクランプに張り付いてしまうという問題を抑制できる。この結果、基板の破損が減る。 （もっと読む）

【課題】微小な固体試料を容易に固定、保持することができ、固体試料と試料ホルダとの隙間を軽減して、より正確な分析を行なうことができる、試料ホルダを提供する。
【解決手段】錘５と、錘５の上面に配置される弾性体４と、弾性体４の上面に配置され、弾性体４に付勢される試料固定部２とを備える。この試料固定部２の上面の周囲と接して弾性体４の付勢力に対抗する、開口部８を有するカバー３を備える。さらに、上面にカバー３、内面に錘５が連結され、錘５、弾性体４および試料固定部２を内包する外枠６とを備える。試料固定部２は、その上面に試料７を押圧されることにより、試料７の外形に合わせて変形可能な軟性を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子顕微鏡の試料コーティング方法に関し、絶縁試料の導電性処理を簡易な構成で行なうことができる電子顕微鏡の試料コーティング方法を提供することを目的としている。
【解決手段】走査型電子顕微鏡１０と集束イオンビーム装置１１との光学系を備え、これら二つの光学系の光軸が試料位置の一点で交わる構造のマルチビーム装置において、マルチビーム装置のチャンバ１にその先端部のプローブ１３の位置が移動可能なマニピュレータ１２を設置し、該設置されたマニピュレータ１２のプローブ先端に蒸着材料保持機構を設け、イオンビームによって加工された絶縁試料の加工断面近傍に前記蒸着材料保持機構を近づけ、該蒸着材料保持機構内の蒸着材料に前記集束イオンビーム装置１１からイオンビームを照射してスパッタリングを行ない絶縁試料の加工断面に該蒸着材料をコーティングさせるように構成する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバー内の真空を実現する方法および設備を提供する。
【解決手段】本発明は、真空チャンバー（４００）内の真空を実現する方法に関する。真空チャンバーは、複数の真空チャンバーによって共有されるポンプシステム（３００）に接続される。方法は、各真空チャンバーを別々にポンプ吸引することを有している。本発明はさらに、ポンプシステムに接続された複数の真空チャンバーの設備に関する。この設備では、ポンプシステムは、各真空チャンバーを別々にポンプ吸引するように用意される。
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複数の荷電粒子リソグラフィ装置を具備する構成体であって、各荷電粒子リソグラフィ装置は、真空チャンバ（４００）を有する。この構成体は、複数のリソグラフィ装置にウェーハを運搬するための共通のロボット（３０５）と、夫々の真空チャンバ（４００）の前面に配置された、各荷電粒子リソグラフィ装置のためのウェーハロードユニット（３０３）とをさらに具備する。複数のリソグラフィ装置は、これらリソグラフィ装置の前面が、各装置にウェーハを運搬するための共通のロボット（３０５）の通路を収容している通路（３１０）を面している状態で、列をなして配置され、各リソグラフィ装置の後面は、アクセス通路（３０６）に面し、各真空チャンバの後壁には、夫々のリソグラフィ装置へのアクセスのためのアクセスドアが設けられている。
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【課題】ＦＩＢ装置に組み込んだ微小マニピュレータ部をその場でエッチング加工することで、従来困難であった１μｍ以下の微小物のハンドリングの確実性を高めるとともに、マニピュレータの再利用により作業効率やメンテナンス性を向上する。
【解決手段】微小マニピュレータ部を位置および向きを変えることのできる移動機構で保持することにより、マニピュレーション作業前にマニピュレータ先端部をＦＩＢ加工するとともに、作業中のマニピュレータ先端の汚染や破損があった場合でも、加工により再度使用可能な形状に再生する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、アスペクト比の大きなパターンの高さ（深さ）測定を実現することが可能な試料高さ測定方法、及び装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、試料上の第１の部分の高さと、第２の部分の高さの差違に関する情報と、前記第２の部分の輝度に関する情報を関連付けて記憶媒体に記憶させ、前記試料に荷電粒子線を走査したときに検出される荷電粒子に基づいて、前記第２の部分の輝度に関する情報を検出し、当該検出された輝度に関する情報と、前記記憶媒体に記憶された情報に基づいて、前記試料上の第１の部分と第２の部分との差違を求める方法、及び装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】無限回転可能な試料ステージを有し、試料周辺の電界の乱れを抑制することで、試料全面を画像歪みなく観察可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】試料には回転ステージの回転中心にてホルダ受けと接触するリターディング電極を通じて電圧印加し、試料外周部には電界歪みを補正するための電界制御電極を備える。電界制御電極に電圧印加することで、電界制御電極上の等電位面を変化させ、それに伴い、試料端部における等電位面を補正し、試料端部まで観察可能とする。 （もっと読む）

【課題】ガイドに移動可能係合したステージの位置決め装置に関し、ステージの可動範囲の全域にわたってｎｍオーダの位置決めが可能なステージ移動装置を提供することを課題とする。
【解決手段】Ｘステージ１３に設けられた送りナット（ナット部材）８と、送りナット８に螺合するボールねじ７と、ボールねじ７を回転駆動する超音波リニアモータ３７とで構成する。更に、ナット８と、ボールねじ７のねじ軸７ａとの間に予圧が発生するように、予圧発生手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】ポインティングデバイスの操作時において、その時点での試料画像の視野中心が所定時間後にどの方向にどの距離まで移動するのかをオペレータに示す。
【解決手段】試料画像の視野を移動させる移動方向を演算制御手段に入力するための移動方向入力手段（ポインティングデバイス）を備えた試料画像表示装置において、取得される試料画像の視野中心のＮ秒後における予測位置及び該予測位置に至るまでの予測進路を、試料ステージ４の移動に基づく視野中心位置の移動履歴から求めて試料画像に重ねて表示する。 （もっと読む）

【課題】電気的なコンタクトの取りにくい試料を荷電粒子で安定的に観察する。
【解決手段】被測定試料と電気的なコンタクトをとる試料保持パレットと電気的なコンタクトをとらない試料保持パレットとを設け、被測定試料に応じてパレットを選択する。また、真空内での試料の測定電位と、大気中で測定した試料の測定電位をもとにした予測電位との差を電位オフセットとして記憶し、後段の測定にフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、半導体ウェハ等の表面や内部にある異物や欠陥などをＴＥＭもしくはＳＴＥＭで観察や分析など解析するために加工された薄片試料を迅速に採取することに関する。
【解決手段】
本発明は、ＴＥＭ／ＳＴＥＭ試料作製の全体工程を、ＦＩＢを利用した微小試料の加工作業と、微小試料の採取及び試料ホルダへの移設作業と、を別の装置で行い、微小試料の加工作業と、微小試料の採取作業と、を並行して行うことに関する。好ましくは、キャリアにおいて微小試料を設置する箇所を液体とすると、採取具に付着した微小試料を確実、且つ迅速にキャリアに移設できる。本発明によれば、事前に集束イオンビーム装置で試料上に作製された微小試料を迅速に採取し、キャリアに設置することができるため、１個の試料を加工するためのＦＩＢ装置の占有時間が短縮し、試料作製効率が高まる。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で安価に平面観察用半導体薄片試料を作製することを可能にする集束イオンビーム加工装置の試料ステージおよびこの試料ステージを用いた透過型電子顕微鏡平面観察用半導体薄片試料の作製方法の提供。
【解決手段】試料ステージ面は、該試料ステージ面に対してメッシュ挟持用の傾斜溝を有する。集束イオンビームの照射により試料基板から微小試料片を切り出し、マイクロプローブで分離摘出後、前記試料ステージ面の傾斜溝に挟み込まれたメッシュを、メッシュの側面が前記集束イオンビームに垂直な向きとなるように傾ける。微小試料片の観察平面が集束イオンビームと垂直な向きとなるように前記メッシュの端面に接着した後、傾斜した試料ステージを回転軸の周りに１８０度回転させる。集束イオンビームを照射して透過型電子顕微鏡平面観察用半導体薄片試料を作製する。 （もっと読む）

【課題】ＴＥＭ試料の観察時間を短縮することのできる技術を提供する。
【解決手段】プローブ１０は、中央部より先端部の径が小さい棒状のガラス体１１と、ガラス体１１の先端部１１ａの径断面１３よりも大きな面積の採取面１２ａを含むガラス体１２と、を有する。ガラス１２体は、採取面１２ａとそれとは反対の裏面１２ｂとを含む板状体である。ガラス体１１の先端部１１ａにガラス体１２が形成されている。棒状のガラス体１１の先端部１１ａは屈曲している。 （もっと読む）

【課題】
電子線を利用して試料を観察する電子線観察装置において、試料表面への炭化水素系分子の堆積量を評価する。
【解決手段】
試料室内の汚染度合を評価するための評価用基板を試料室に出し入れ可能な機構部を設け、電子線を評価用基板上に一点集中照射させることによって形成させた堆積物の形状から汚染度合を推測する。そして、この形状を表すパラメータ（高さ、底面の幅、体積）が所定の範囲を超えたとき、既存のクリーニング方法を併用して試料室内の清浄化を図ることにより、観察用試料のパターン幅を精度良く、安定的に計測可能にする。 （もっと読む）