表面分析装置
【課題】試料ホルダの形状や搭載状態を、ステージマップ上に表示できる表面分析装置を提供する。
【解決手段】複数の試料ホルダを搭載可能な試料ステージ１９、試料ステージ１９を駆動するステージ駆動手段１１、複数の試料ホルダにそれぞれ収納された試料に対して、逐次測定をする測定手段１２を有する測定ユニット１と、ホルダベース、複数の試料ホルダの装着位置座標及び複数の試料ホルダの形状に関する表示情報を生成するマップ表示情報生成手段２３１、複数の試料ホルダの装着位置及び複数の試料ホルダの種類の情報を含む配置情報を生成するホルダ配置情報生成手段２２２、配置情報からホルダ配置図を生成するホルダ配置図生成手段２２３、ホルダ配置図をステージマップ図に合成するステージマップ表示手段２２６を有する演算処理装置２２ａと、ステージマップ図を表示する表示装置２６とを備える。
【解決手段】複数の試料ホルダを搭載可能な試料ステージ１９、試料ステージ１９を駆動するステージ駆動手段１１、複数の試料ホルダにそれぞれ収納された試料に対して、逐次測定をする測定手段１２を有する測定ユニット１と、ホルダベース、複数の試料ホルダの装着位置座標及び複数の試料ホルダの形状に関する表示情報を生成するマップ表示情報生成手段２３１、複数の試料ホルダの装着位置及び複数の試料ホルダの種類の情報を含む配置情報を生成するホルダ配置情報生成手段２２２、配置情報からホルダ配置図を生成するホルダ配置図生成手段２２３、ホルダ配置図をステージマップ図に合成するステージマップ表示手段２２６を有する演算処理装置２２ａと、ステージマップ図を表示する表示装置２６とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）や電子顕微鏡等の表面分析装置に係り、特に分析の際に用いる試料ホルダの配置を示すステージマップ図の生成・表示技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＥＰＭＡや電子顕微鏡等の表面分析装置は、測定ユニットを構成する鏡筒の内部に収容された被測定試料（分析試料）に電子ビームなどの励起源を照射し、励起源により照射された被測定試料から放出される二次電子線、反射電子線、特性Ｘ線等を検出し、この検出信号によって画像を形成し、被測定試料の表面分析や元素分析を行う。
【０００３】
一般に、表面分析装置において表面分析を行う場合、被測定試料を固定した試料ホルダをホルダベースに装着し、ホルダベースを真空排気可能な鏡筒の内部の試料ステージ上に搭載し、ステージ座標を制御することにより、被測定試料上の目的位置を測定ユニットの分析位置に移動して、この分析位置において検出信号を取り出し、表面分析を行う。そのため、表面分析の際、被測定試料上の目的位置を、測定ユニットの内部の分析位置に正確に反映させる手法が待望されている。
【０００４】
このため、同一形状・同一寸法の複数の試料穴を備えた多試料ホルダに、ホルダ種類を表すホルダ端子を固定することにより、試料ステージに取付られた試料ホルダの種類を判定し、ホルダ形状データを画像として自動的に表示する発明が提案されている（特許文献１参照）。特許文献１に記載の発明によれば、これまで分析者がマニュアル操作で行っていた、試料穴の数等によって異なる試料ホルダの形状を識別するホルダ種類の入力等の操作を省略することができるため、人為的なミス無く、表面分析装置の表示装置の画面上に搭載試料ホルダの図形が表示されるため、表示された図形を用いて試料分析が正確且つ迅速に行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−７６６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の発明は、単一の多試料ホルダを試料ステージに搭載するタイプの表面分析装置に関するものであり、試料ホルダに同一形状・同一寸法の複数の試料穴を設けて、形状を揃えた複数の被測定試料を、試料ホルダの試料穴に試料取付台等を介してそれぞれ固定し、被測定試料の分析位置を表示装置の画面で表示しているに過ぎない。即ち、大きさや形状が異なる被測定試料を試料ホルダに固定する場合や、異なる形状や寸法の複数の試料ホルダを試料ステージに搭載する場合の技術を提案するものではない。
【０００７】
このように、従来の表面分析装置では、大きさや形状の異なる複数の被測定試料を種々の試料ホルダに固定する場合において、それらの大きさや形状の異なる複数の試料ホルダをステージマップ上で表示することは難しく、そのため、ステージマップ上で被測定試料の目的の位置を分析位置として表示することが困難であるという不具合がある。
【０００８】
本発明は、上述した従来技術の欠点を除くためになされたものであって、大きさや形状の異なる複数の試料ホルダをホルダベースを介して試料ステージに搭載した場合において、多様な試料ホルダの形状や搭載状態及び被測定試料の現在位置を、ステージマップ上に表示し、表面分析の進行を容易にする表面分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の態様は、（イ）複数の試料ホルダをホルダベースを介して搭載可能な試料ステージ、この試料ステージを駆動するステージ駆動手段、複数の試料ホルダにそれぞれ収納された試料に対して、逐次測定をする測定手段を有する測定ユニットと、（ロ）ホルダベース、複数の試料ホルダ、複数の試料ホルダのそれぞれの装着位置座標、複数の試料ホルダのそれぞれの形状の表示情報を生成するマップ表示情報生成手段、ホルダベース上の複数の試料ホルダのそれぞれの装着位置及び複数の試料ホルダのそれぞれの種類の情報を含む配置情報を生成するホルダ配置情報生成手段、配置情報からホルダ配置図を生成するホルダ配置図生成手段、ホルダ配置図をステージマップ図に合成するステージマップ表示手段を有する演算処理装置と、（ハ）ステージマップ図を表示する表示装置とを備える表面分析装置であることを要旨とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、大きさや形状の異なる複数の試料ホルダをホルダベースを介して試料ステージに搭載した場合において、多様な試料ホルダの形状や搭載状態及び被測定試料の現在位置を、ステージマップ上に表示し、表面分析の進行を容易にする表面分析装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る表面分析装置の論理構成の一例を表す概略ブロック図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るステージマップ図の表示方法の一例を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係るホルダ装着位置情報の一例である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係るステージマップ表示情報の一例である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係るホルダベース上におけるホルダの選択方法の一例を説明するためのフローチャートである。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係るホルダ配置情報の一例である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係るホルダベースID情報の表示の一例である。
【図８】本発明の第１の実施の形態に係るホルダ装着位置情報の他の例である。
【図９】本発明の第１の実施の形態に係るホルダ形状情報の一例として円形の試料ホルダを示す模式図である。
【図１０】本発明の第１の実施の形態に係るホルダ形状情報の一例として矩形の試料ホルダを示す模式図である。
【図１１】本発明の第１の実施の形態に係るホルダ配置図の一例である。
【図１２】本発明の第２の実施の形態に係る表面分析装置の論理構成の一例を表す概略ブロック図である。
【図１３】本発明の第２の実施の形態に係るステージマップ図の表示方法の一例を説明するためのフローチャートである。
【図１４】本発明の第２の実施の形態に係るホルダ配置図の一例である。
【図１５】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である。
【図１６】本発明の第３の実施の形態に係る表面分析装置の論理構成の一例を表す概略ブロック図である。
【図１７】本発明の第３の実施の形態に係るステージマップ図の表示方法の一例を説明するためのフローチャートである。
【図１８】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である（その１）。
【図１９】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である（その２）。
【図２０】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である（その３）。
【図２１】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である（その４）。
【図２２】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である（その５）。
【図２３】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である（その６）。
【図２４】本発明のその他の実施の形態に係る表面分析装置の論理構成の一例を表す概略ブロック図である。
【図２５】本発明のその他の実施の形態に係る標準試料配置情報を示すステージマップ図の一例である（その１）。
【図２６】本発明のその他の実施の形態に係る標準試料配置情報を示すステージマップ図の一例である（その２）。
【図２７】従来のホルダ配置図の一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
次に、図面を参照して、本発明の第１〜第３の実施の形態を説明する。以下の図面において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。但し、図面は模式的なものであり、縦横の比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。又、図面相互間においても互いの比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１３】
又、以下に示す第１〜第３の実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の技術的思想は、構成物品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の技術的思想は、特許請求の範囲において種々の変更を加えることができる。
【００１４】
（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態に係る表面分析装置は、図１に示すように、測定ユニット１と、測定ユニット１に接続され、測定ユニット１を制御し、且つ分析結果やステージマップ図等の必要な情報を表示させる演算処理を実行するコントローラ２ａとを備える。測定ユニット１は、真空排気可能な鏡筒（図示省略）と、この鏡筒の試料室の内部に配置された、複数の試料ホルダをホルダベースを介して搭載可能な試料ステージ１９、試料ステージ１９を駆動するステージ駆動手段１１及び複数の試料ホルダにそれぞれ収納された被測定試料に対して、逐次測定をする測定手段１２等を備える。図示を省略しているが、鏡筒の試料室には、ゲートバルブを介してロードロック室（試料準備室）が接続され、ロードロック機構を構成している。
【００１５】
ステージ駆動手段１１は、コントローラ２ａから送信されてくる測定領域座標の情報（ステージ駆動信号）を受信し、座標情報に基づいて試料ステージ１９をモータドライブ等により、例えば、水平移動（Ｘ，Ｙ）、上下運動（Ｚ）、傾斜（Ｔ）、回転（Ｒ）の５軸に沿って駆動する。測定手段１２は、電子線を発生する電子銃と、電子線を試料ホルダに収納された被測定試料に照射するように調整する電子レンズと、電子線を試料表面に走査させる偏向器と、試料から放出される二次電子線、反射電子線、特性Ｘ線等を検出する検出器等を備える。ステージ駆動手段１１が、試料ステージ１９を予め定めた分析位置の座標まで移動すると、測定手段１２が分析位置において、試料ホルダに収納された被測定試料を測定する。
【００１６】
一方、コントローラ２ａは、表面分析装置の使用者（分析者）がデータや必要な指示を入力する入力装置２４と、分析結果やステージマップ図等を出力する出力装置２５及び分析結果やステージマップ図等を表示する表示装置２６と、コントローラ２ａと測定ユニット１との間のデータのやりとりを仲介する入出力インターフェース２１と、マイクロプロセッサ等の演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａと、ステージマップ図を記憶するステージマップ図記憶装置２７と、試料ホルダの装着位置座標を記憶する装着位置座標記憶装置２８と、試料ホルダの形状を記憶する形状記憶装置２９と、試料ホルダの配置情報を記憶するホルダ配置情報記憶装置３０と、マップ表示情報を記憶するマップ表示情報記憶装置３３と、移動先のステージ座標を記憶する移動先ステージ座標記憶装置３９とを備える。更に、コントローラ２ａは、入力装置２４、出力装置２５及び表示装置２６が、それぞれ演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａとデータの送受信をする際に仲介する入出力インターフェース２３等を備えてノイマン型コンピュータシステムと同様な構造をなす。
【００１７】
コントローラ２ａの一部をなす演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａは、論理構造として、ステージマップ図切換手段２２１、ホルダ配置情報生成手段２２２、ホルダ配置図生成手段２２３、マップ座標/ステージ座標変換手段２２４、ステージ座標/マップ座標変換手段２２５、ステージマップ表示手段２２６、ステージ制御手段２２７、マップ表示情報生成手段２３１とを有する。物理的には、ＣＰＵ２２ａは演算をする演算論理装置（ＡＬＵ）、データを一時記憶するレジスタ（置数器）やバッファ（緩衝用記憶装置）、データや命令等の情報を伝達するバス（情報運搬路）、外部記憶装置（メモリ）や周辺機器との入出力を行うインターフェース、ＣＰＵ全体を制御する制御部分、この制御に必要なクロック信号を生成するクロック（時計）回路などで構成される中央処理装置であることは周知のコンピュータシステムと同様である。
【００１８】
ＣＰＵ２２ａの一部をなすステージマップ図切換手段２２１は、分析者が測定条件等を考慮して、入力装置２４を介して選択したステージマップ図選択条件を取得し、取得した選択条件に対応するステージマップ図を、ステージマップ図記憶装置２７から読み出し、ステージマップ表示手段２２６に送信する。ＣＰＵ２２ａの一部をなすマップ表示情報生成手段２３１は、入力装置２４を介して入力されたホルダベース種類の識別情報と、試料ホルダの種類の識別情報と、ホルダ装着位置情報とを取得する。更に、マップ表示情報生成手段２３１は、取得した情報を基に、ホルダベース種類毎にファイルされたホルダ装着位置座標情報を記憶している装着位置座標記憶装置２８から、入力されたホルダベースの識別情報に対応するホルダ装着位置座標を読み出し、試料ホルダの種類毎の形状情報を記憶している形状記憶装置２９から、入力された試料ホルダの種類の識別情報に対応する試料ホルダの形状を読み出し、試料ホルダの配置情報をそれぞれ読み出すことにより、マップ表示情報（図４参照。）を生成した後、マップ表示情報記憶装置３３に格納する。ＣＰＵ２２ａの一部をなすホルダ配置情報生成手段２２２は、ホルダベースの装着位置及び試料ホルダの形状に関する情報をそれぞれ読み出すことにより、ホルダベース上の試料ホルダの配置情報をデータ（数字）としての試料ホルダの配置情報として生成し、ホルダ配置情報記憶装置３０に格納する。
【００１９】
ＣＰＵ２２ａの一部をなすホルダ配置図生成手段２２３は、ホルダ配置情報生成手段２２２が生成した試料ホルダの配置情報に基づいてホルダ配置図を画像として生成し、ステージマップ表示手段２２６に送信する。又、マップ座標/ステージ座標変換手段２２４は、分析者が入力装置２４に、移動先ステージ座標をマップ座標（マップウィンドウ）指定により入力する場合に、入力されたマップ座標をステージ座標に変換し、ステージ制御手段２２７に送信する。ステージ座標/マップ座標変換手段２２５は、測定領域のステージ座標をマップ座標へと変換し、現在位置のマーカーをマップ座標のデータに変換する。ＣＰＵ２２ａの一部をなすステージマップ表示手段２２６は、ステージマップ図切換手段２２１から送信されるステージマップ図と、ホルダ配置図生成手段２２３から送信されるホルダ配置図と、ステージ座標/マップ座標変換手段２２５から送信される現在位置のマーカーが表現されたマップ座標とをそれぞれ受信して合成し、合成されたステージマップ図を表示装置２６の画面において表示する。
【００２０】
又、ＣＰＵ２２ａの一部をなすステージ制御手段２２７は、移動先ステージ座標記憶装置３９から、ステージ駆動プログラムに従い、移動先ステージ座標を読み出し、入出力インターフェース２１を介して、測定ユニット１のステージ駆動手段１１に、移動先のステージ座標と共に、移動先のステージ座標への移動命令（ステージ駆動信号）を送信する。なお、図１は論理的な構成を示すブロック図であるので、ステージマップ図記憶装置２７、装着位置座標記憶装置２８、形状記憶装置２９、ホルダ配置情報記憶装置３０、マップ表示情報記憶装置３３及び移動先ステージ座標記憶装置３９は、物理的には演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａの内部に内蔵されていても、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａの外部に接続されていても構わない。又、ステージマップ図記憶装置２７、装着位置座標記憶装置２８、形状記憶装置２９、ホルダ配置情報記憶装置３０、マップ表示情報記憶装置３３及び移動先ステージ座標記憶装置３９は、ハードウェア資源として個別にそれぞれ存在してもよく、単一ハードウェア資源の内部のセグメントをそれぞれ利用したファイルとして存在してもよい。
【００２１】
本発明の第１の実施の形態に係る表面分析装置は、上記のように構成されており、ホルダ配置情報生成手段２２２と、ホルダ配置図生成手段２２３と、ステージマップ表示手段２２６と、マップ表示情報生成手段２３１と、装着位置座標記憶装置２８と、形状記憶装置２９と、ホルダ配置情報記憶装置３０と、マップ表示情報記憶装置３３とを含むことにより、測定時に試料ホルダの形状を含めて、試料ホルダのホルダベース上における搭載状態をステージマップに表示させることができるので、それぞれの被測定試料の現在位置、試料ホルダの形状、分析の進行状況等を簡単に画面上で把握することが可能となる。
【００２２】
次に、図２のフローチャートを用いて、本発明の第１の実施の形態に係るステージマップ図の表示方法の一例について説明する。
【００２３】
（イ）まず、分析者が、ステップＳ１０１において、被測定試料を、例えば、図９、１０に示す試料ホルダ８１、８３に固定する。試料ステージ１９をホルダベース交換位置まで移動し、鏡筒（図示省略）の真空状態と鏡筒に接続されたロードロック室（試料準備室）の真空状態とを分離するゲートバルブを介して、ホルダベース４４を鏡筒からロードロック室に移動する。鏡筒の試料室からロードロック室へのホルダベース４４の移動は、例えば、鏡筒の試料室及びロードロック室に、それぞれ設けられた２本のレール等を介して行うことが可能である。その後、ゲートバルブを閉じ、ロードロック室の内部を大気開放して、ホルダベース４４をロードロック室から取り出す。ステップＳ１０２において、試料ホルダ８１、８３を、ホルダベース４４に装着する。
【００２４】
（ロ）次に、分析者は、ステップＳ１２１において、ホルダベース種類の識別情報、試料ホルダの種類の識別情報及びホルダ装着位置に関する情報を、コントローラ２ａの入力装置２４を介して入力する。ロードロック室のドアを閉めて、ロードロック室を真空排気し、ロードロック室の内部が予め規定した到達圧力に到達するまで待機する。ロードロック室の内部が到達圧力に到達したら、ステップＳ１０３において、ゲートバルブを開け、ホルダベース４４を鏡筒の試料室の試料ステージ１９上に、ロードロック室から移動する。ステップＳ１３１において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのマップ表示情報生成手段２３１は、入力装置２４を介して入力されたホルダベース種類の識別情報、試料ホルダの種類の識別情報及びホルダ装着位置に関する情報を取得する。マップ表示情報生成手段２３１は、取得した情報を基に、装着位置座標記憶装置２８から、取得したホルダベースの識別情報に対応するホルダベース４４を検索し、試料ステージ１９に搭載されている現在のホルダベース４４のホルダ装着位置座標を読み出す。加えて、マップ表示情報生成手段２３１は、形状記憶装置２９から、取得した試料ホルダの種類の識別情報に対応した試料ホルダの形状情報をそれぞれ読み出し、マップ表示情報（図４参照。）を生成した後、マップ表示情報記憶装置３３に格納する。次に、ステップＳ１３２において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのホルダ配置情報生成手段２２２は、マップ表示情報記憶装置３３から、ホルダベース、ホルダベースの装着位置及び試料ホルダの形状情報をそれぞれ読み出し、データ（数字）としての試料ホルダの配置情報を生成する。例えば図３（ｃ）に示すように、試料ホルダの装着位置ｇ11であれば、ネジ穴座標Ｘ＝２０，Ｙ＝２０から、ステージ座標Ｘ'＝２０−５＝１５，Ｙ'＝２０−５＝１５となる。次に、ステップＳ１３３において、ホルダ配置図生成手段２２３は、データ（数字）としての試料ホルダの配置情報からホルダ配置図を画像として生成し、ステージマップ表示手段２２６に送信する。
【００２５】
（ハ）次に、ステップＳ１２２において、分析者が電子顕微鏡の倍率や測定領域の大きさ等を考慮して、コントローラ２ａの入力装置２４を介して、適切なマトリクスサイズのステージマップ図を選択する。ステップＳ１３４で、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのステージマップ図切換手段２２１は、入力装置２４を介して選択されたステージマップ図の識別情報を取得する。ステップＳ１３５において、ステージマップ図切換手段２２１は、取得したステージマップ図の識別情報を基に、ステージマップ図記憶装置２７から選択されたステージマップ図を読み出し、ステージマップ表示手段２２６に送信する（なお、必要に応じて、この段階でステージマップ表示手段２２６が、受信したステージマップ図を、表示装置２６の画面において表示させるようにしてもよい）。
【００２６】
（ニ）次に、ステップＳ１２３ａにおいて、分析者が、コントローラ２ａの入力装置２４を介して、マップ座標（マップウィンドウ）を指定すると、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのマップ座標/ステージ座標変換手段２２４は、入力されたマップ座標を、マッピングにより走査される範囲（領域）のステージ座標に変換し、ステージ制御手段２２７に送信する。又は、ステップＳ１２３ｂにおいて、分析者が、マップ座標を用いずに、コントローラ２ａの入力装置２４を介して、移動先ステージ座標を直接入力すれば、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのステージ制御手段２２７は、入力された移動先ステージ座標を直接取得する。ステップＳ１３６において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのステージ制御手段２２７は取得した移動先ステージ座標を、移動先ステージ座標記憶装置３９に格納する。
【００２７】
（ホ）鏡筒の試料室の内部が規定の到達圧力に到達したら、測定手段１２の電子銃を起動し、所望の加速電圧に設定する。次に、ステップＳ１３７において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのステージ制御手段２２７は、ステージ駆動プログラムに従い、移動先ステージ座標記憶装置３９から、最初に移動する移動先ステージ座標を読み出し、読み出した移動先ステージ座標と共に、ステージの移動命令（ステージ駆動信号）を測定ユニット１のステージ駆動手段１１に送信する。測定ユニット１では、ステップＳ１０４において、ステージ駆動手段１１が、コントローラ２ａのステージ制御手段２２７から送信される移動先ステージ座標と、この移動先ステージ座標への移動命令に基づいて、試料ステージ１９を移動先ステージ座標ヘ移動する。この後、ステップＳ１０５において、ステージ駆動手段１１が移動した試料ステージ１９の移動先ステージ座標を分析位置として、測定手段１２が試料ホルダに収納された被測定試料に対して電子ビームを走査し、測定（マッピング分析）を実施する。
【００２８】
（ヘ）この測定と同時、もしくは対象としたマップ座標の測定の終了後に、ステップＳ１３８において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのステージ座標/マップ座標変換手段２２５は、ステップＳ１０５での測定に対応する現在のステージ座標をマップ座標へと変換する。更に、ステップＳ１３８では、ステージマップ表示手段２２６が、ステージマップ図切換手段２２１から送信されたステージマップ図と、ホルダ配置図生成手段２２３から送信されたホルダ配置図とを合成し、更に、現在の測定領域に対し現在位置のマーカーを、ステージマップ図上で合成する。その後、ステップＳ１３９において、ステージマップ表示手段２２６は、合成したステージマップ図を表示装置２６の画面に表示させる。この際、表面形状像や元素分析像等の２次元画像とステージマップ図とを重ね合わせて表示装置２６に表示してもよく、測定された２次元画像とステージマップ図とを、上下、又は左右に並べて表示してもよい。その後、ステップＳ１４０において、分析者は、指定されたすべてのステージ座標で測定が実行されたかどうかを確認し、すべてのステージ座標で測定が実行されていなければ、ステップＳ１３７に戻り、次の移動先ステージ座標に移動して、ステップＳ１３７〜Ｓ１４０までの処理手順を繰り返す。
【００２９】
図３に、ホルダ装着位置情報の一例を示す。図３（ａ）は、破線（かくれ線）で示した試料ステージ１９の上にホルダベース４４を搭載した状態を示している。試料ステージ１９は、ステージ基準位置（原点）（ｘ＝０，ｙ＝０）４１から、試料交換位置（ｘ＝９０，ｙ＝０付近）４２まで、Ｘ軸方向に９０ｍｍ、及び図３（ａ）に示したＹ軸方向に９０ｍｍ移動可能である。図３（ａ）に示した例では、ホルダベース４４上に１８個の試料ホルダの装着位置ｇ11〜ｇ28が割り振ってある。
【００３０】
図３（ｂ）には、図３（ａ）に示したホルダベース４４の情報として、ホルダベース名（ホルダベース種類の識別情報）、ホルダベースサイズＸ、ホルダベースサイズＹ、原点座標Ｘ及び原点座標Ｙが示されている。即ち、図３（ａ）で用いられているホルダベース４３のホルダベース名（ホルダベース種類の識別情報）は、標準ホルダベースであり、ホルダベースサイズはＸ＝１００ｍｍ、Ｙ＝１００ｍｍで、又、ステージ基準位置（原点）４１に対するホルダベース基準位置４９の座標はＸ＝−５、Ｙ＝−５であることが示されている。
【００３１】
加えて、図３（ｃ）には、図３（ａ）で示しているホルダの装着位置ｇ11〜ｇ28のネジ穴座標（装着位置座標）に対応したステージ座標値が表で示してあり、分析位置がマトリクス上にそれぞれ定義されている。例えば、装着位置ｇ11のネジ穴座標（装着位置座標）（Ｘ＝２０，Ｙ＝２０）は、ステージ座標（Ｘ'＝１５，Ｙ'＝１５）に対応することが分かる。同様に、装着位置ｇ12〜ｇ28のネジ穴座標（装着位置座標）の値から、Ｘ座標、Ｙ座標ともに５ずつ差し引いた値がステージ座標となる。図３（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すホルダ装着位置情報は、ホルダベースの種類毎に装着位置座標記憶装置２８に格納されており、対象となるホルダベースの識別情報（ホルダベース名）を入力すれば、表示装置２６に表示させることができる。
【００３２】
図４に、ステージマップ表示情報の一例を示す。図４（ａ）には、図３（ｂ）においても示したように、ホルダベースの情報として、ホルダベース名（ホルダベース種類の識別情報）、ホルダベースサイズＸ、ホルダベースサイズＹ、原点座標Ｘ及び原点座標Ｙに関する情報が表示されている。即ち、ホルダベースのホルダベース名（ホルダベース種類の識別情報）が、標準ホルダベースであり、ホルダベースサイズがＸ＝１００ｍｍ、Ｙ＝１００ｍｍで、又、ステージ基準位置（原点）４１に対するホルダベース基準位置４９の座標がＸ＝−５、Ｙ＝−５である。又、図４（ｂ）には、試料ホルダの装着位置情報として、装着位置ｇ11における試料ホルダの種類（ＩＤ）、ネジ穴座標（装着位置座標）（Ｘ，Ｙ）、ステージ座標（Ｘ’，Ｙ’）の情報がそれぞれ表示されている。図４（ｃ）には、図４（ｂ）で示した試料ホルダに固定されている被測定試料の名前（サンプル名）や形状等に関する情報が表示されている。図４（ｄ）は、ホルダの装着位置情報として、装着位置ｇ12において試料ホルダが装着されていないことを示している。即ち、この場合は、”ホルダなし”と表示され、ネジ穴座標及びステージ座標は表示されない。図４（ｅ）には、試料ホルダの装着位置情報として、装着位置ｇ13における試料ホルダの種類（ＩＤ）、ネジ穴座標（装着位置座標）（Ｘ，Ｙ）、ステージ座標（Ｘ’，Ｙ’）の情報がそれぞれ表示されている。図４（ｆ）には、図４（ｅ）で示した試料ホルダに固定されている被測定試料の名前や形状等に関する情報が表示されている。
【００３３】
次に、図５のフローチャートを用いて、ホルダベース上におけるホルダの選択方法の一例を説明する。
【００３４】
（イ）まず、分析者は、ステップＳ１１において、ホルダベースとして、例えば図３（ｂ），（ｃ）に示した標準ホルダベースを選択する。
【００３５】
（ロ）次に、分析者は、ステップＳ１２において、ホルダベースの装着位置として、例えば、図３（ａ），（ｃ）に示した装着位置ｇ11を選択する。
【００３６】
（ハ）更に、分析者は、ステップＳ１３において、選択されたホルダベースに装着するホルダとして、例えばサンプルホルダ１０−Ｂを選択（図６参照。）し、その後は、図２に示したステップＳ１３１へと進む。
【００３７】
図６には、図５で示した方法によって表示されるホルダ配置情報の一例を示している。ホルダベース名として標準ホルダベースが示され、装着位置として、装着位置ｇ11，ｇ12，ｇ13…が示されている。更に、各装着位置ｇ11，ｇ12，ｇ13において、装着位置ｇ11，ｇ13にはサンプルホルダ１０−Ｂ，サンプルホルダ３２がそれぞれ装着されていて、装着位置ｇ12にはホルダが装着されていないことが示されている。
【００３８】
図７には、ホルダベースにおける各装着位置ｇ11，ｇ12，ｇ13…でのホルダ装着状態の有無を表記する方法の一例を示している。ホルダベースの種類（ＩＤ）毎に、各装着位置でのホルダ装着状態の有無を一覧として表示することができる。
【００３９】
図８（ａ），（ｂ）は、横軸をＸ、縦軸をＹとしたときの、ホルダ装着位置情報の他の例を示し、このホルダ装着位置情報を基礎に、ホルダベース４４にどの試料ホルダをどこの装着位置座標に装着しているのかを示す試料ホルダの配置情報が作成される。図８（ａ）に示すホルダ装着位置情報おいては、ホルダベース４４はｍ11〜ｍ21の１１箇所のホルダ装着位置に、試料ホルダが配置可能であることが示されている。ｍ11，ｍ12，ｍ13は、等間隔で順番に並んでおり、Ｘ軸に対して並行である。同様に、ｍ15，ｍ16，ｍ17も、等間隔で順番に並んでおり、Ｘ軸に対して並行である。又、ｍ19，ｍ20，ｍ21も同様の条件で並んでいる。加えて、ｍ11とｍ15とｍ19はＹ軸方向にも順番に並んでおり、ｍ12とｍ16とｍ20、及びｍ13とｍ17とｍ21もそれぞれ同様の条件で並んでいる。更に、ｍ14は、ｍ11とｍ16を直線で結び、ｍ12とｍ15を直線で結んだときにできる直線と直線の交点の付近に位置している。又、同様に、ｍ18も、ｍ16とｍ17を直線で結び、ｍ20とｍ21を直線で結んだときの直線と直線の交点の付近に位置している。
【００４０】
図８（ｂ）に示すホルダ装着位置情報においては、ホルダベース４４はｎ11〜ｎ15の５箇所のホルダ装着位置に試料ホルダが配置可能であることが示されている。ｎ11とｎ12はＸ軸と並行に順番に並んでおり、同様にｎ14とｎ15もＸ軸と並行に順番に並んでいる。加えて、ｎ11とｎ14はＹ軸方向に順番に並んでおり、同様に、ｎ12とｎ15もＹ軸方向に順番に並んでいる。又、ｎ13は、ｎ11とｎ15を結んだ直線と、ｎ12とｎ14を結んだ直線との交点付近に位置している。図８（ａ），（ｂ）に示すホルダ装着位置情報は、ホルダベースの種類毎に分類して装着位置座標記憶装置２８に格納されており、対象となるホルダベースの識別情報を入力すれば、表示装置２６に表示させることができる。又、表示装置２６上で画面をクリックして選択することも可能である。
【００４１】
図９は、試料ホルダの種類毎の形状情報の一例として、円形の試料ホルダ８１を示す。図９（ａ）は、試料ホルダ８１の斜視図であり、図９（ｂ）は試料ホルダ８１の上面図である。試料ホルダ８１は、円形の底面６３と、内側に被測定試料を収納できる空間を形成する円筒形状の側壁６１と、ホルダベースに試料ホルダを固定するための押しネジ６２等を備える。
【００４２】
図１０は、試料ホルダの種類毎の形状情報の他の例として、矩形の試料ホルダ８３を示す。図１０（ａ）は試料ホルダ８３の斜視図であり、図１０（ｂ）は試料ホルダ８３の上面図である。試料ホルダ８３は、四角形の底面７３と、内側に被測定試料７８を固定できる空間を形成する１対の側壁７１とによりコの字形状をなし、底面７３にホルダベースに試料ホルダを固定するための押しネジ７２等を備える。
【００４３】
図１１においては、ホルダ配置図の表示例の一例を示している。１１箇所のホルダ装着位置ｑ11〜ｑ21を有するホルダベース４４上において、ホルダ装着位置ｑ11，ｑ12，ｑ15及びｑ16に、円形の試料ホルダ８１，８２，８４及び８５がそれぞれ固定されており、ホルダ装着位置ｑ13とｑ17には、矩形の試料ホルダ８３と８６がそれぞれ固定されている。又、他のホルダ装着位置ｑ14，ｑ18，ｑ19，ｑ20，ｑ21には試料ホルダは装着されていないことも確認できる。図２７に示した従来のホルダ配置図では、形状が不明の試料ホルダ２０１〜２０９が、マトリクス状に分割されたステージマップ内において均等に表示されているのみであるが、図１１では、ホルダ装着位置、固定されている試料ホルダの位置及び形状等を示す試料ホルダの配置情報（ホルダ配置図）が、ステージマップ図上においてより詳しく表示されていることが分かる。又、ステージマップ図を切り換えることにより、現在測定中の試料ホルダの拡大図や、被測定試料の拡大図を得ることも可能である。
【００４４】
上記のように、本発明の第１の実施の形態に係る表面分析装置及びステージマップ図の表示方法によれば、分析者は、ホルダベース上における異なる種類の複数の試料ホルダの形状を含めた、被測定試料の配置状態が表示されたステージマップ図を得ることができるので、従来の方法に比べて、それぞれの被測定試料の現在位置、試料ホルダの形状、分析の進行状況等を簡単に画面上で把握することが容易になる。
【００４５】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態に係る表面分析装置の基本構成は、概略としては第１の実施の形態と基本的に同様であり、図１２に示すように、電子線を試料ホルダに収納された被測定試料に照射して、被測定試料の表面分析を実施する測定ユニット１と、測定ユニット１に接続され、測定ユニット１を制御し、且つ分析結果やステージマップ図等の必要な情報を表示させる演算処理を実行するコントローラ２ｂとを備える。ここで、測定ユニット１に関しては第１の実施の形態と実質的に同様であるので、重複した記載を省略する。
【００４６】
コントローラ２ｂは、分析者がデータや必要な指示を入力する入力装置２４と、分析結果やステージマップ図等を出力する出力装置２５及び分析結果やステージマップ図等を表示する表示装置２６と、コントローラ２ｂと測定ユニット１との間のデータのやりとりを仲介する入出力インターフェース２１と、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂと、ステージマップ図を記憶するステージマップ図記憶装置２７と、試料ホルダの装着位置座標を記憶する装着位置座標記憶装置２８と、試料ホルダの形状を記憶する形状記憶装置２９と、試料ホルダの配置情報を記憶するホルダ配置情報記憶装置３０と、マップ表示情報を記憶するマップ表示情報記憶装置３３と、移動先のステージ座標を記憶する移動先ステージ座標記憶装置３９と、入力装置２４、出力装置２５及び表示装置２６が、それぞれ演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂとデータの送受信をする際に仲介する入出力インターフェース２３とを備える点では第１の実施の形態とほぼ同様である。
【００４７】
しかし、本発明の第２の実施の形態に係る表面分析装置は、図１２に示すように、コントローラ２ｂにおいて、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂが、論理構造として、現在のステージ座標と配置情報に基づいて、現在のステージ座標を内包する該当ホルダが存在するか否かを判定する該当ホルダ判定手段２２８と、現在のステージ座標を内包する該当ホルダが存在すると判定された場合、該当ホルダのホルダ登録情報をホルダ配置情報記憶装置３０から読み出し、表示装置２６に表示させる該当ホルダ登録情報表示手段２２９とを含んでいる点で、第１の実施の形態に係る表面分析装置とは異なる。
【００４８】
該当ホルダ判定手段２２８は、現在のステージ座標と配置情報に基づいて、現在のステージ座標（分析位置）を内包する該当ホルダが存在するか否かを判定し、その結果を該当ホルダ登録情報表示手段２２９に送信する。該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、現在のステージ座標（分析位置）を内包する該当ホルダが存在すると判定された場合、該当ホルダのホルダ登録情報をホルダ配置情報記憶装置３０から読み出し、表示装置２６の画面において表示する。該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、ホルダ登録情報を分析実行時に生成される分析データの情報の一部に自動的に取り込む機能を有するようにしてもよい。なお、該当ホルダ判定手段２２８が、ホルダ配置情報生成手段２２２が生成したデータ（数字）としての試料ホルダの配置情報と、移動先ステージ座標記憶装置３９から読み出した移動先のステージ座標とを基に、それぞれの試料ホルダの占有する領域が、複数の分析位置を含む大きさを有する大型試料ホルダの存在を判定した場合、該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、複数の分析位置を含む大型試料ホルダを該当ホルダとして表示装置２６の画面に表示する。
【００４９】
なお、第１の実施の形態に係る表面分析装置で説明したのと同様に、図１２は、論理的な構成を示すブロック図であるので、ステージマップ図記憶装置２７、装着位置座標記憶装置２８、形状記憶装置２９、ホルダ配置情報記憶装置３０、マップ表示情報記憶装置３３、移動先ステージ座標記憶装置３９は、物理的には演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂの内部に内蔵されていても、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂの外部に接続されていても構わない。他は、第１の実施の形態と実質的に同様であるので、重複した記載を省略する。
【００５０】
本発明の第２の実施の形態に係る表面分析装置は、上記のように構成されており、該当ホルダ判定手段２２８と、該当ホルダ登録情報表示手段２２９とを含むことにより、表面分析装置は、現在の分析位置がどの試料ホルダに含まれているかを判定することが可能となり、現在の分析位置を含む該当ホルダの構造情報を容易に得ることが可能になる。
【００５１】
次に、図１３のフローチャートを用いて、本発明の第２の実施の形態に係るステージマップ図の表示方法の一例について説明する。
【００５２】
（イ）第１の実施の形態と同様に、表面分析装置の使用者が、ステップＳ２０１において、被測定試料を、例えば、図１４に示す試料ホルダ１１１〜１１６にそれぞれ固定する。試料ステージ１９をホルダベース交換位置まで移動し、ロードロック機構等を利用して、鏡筒に接続されたロードロック室（試料準備室）に、鏡筒からホルダベース４４を移動し、ロードロック室の内部を大気開放して、ホルダベース４４を試料室から取り出す。ステップＳ２０２において、試料ホルダ１１１〜１１６を、図１４に示すようにホルダベース４４に装着する。
【００５３】
（ロ）次に、分析者は、ステップＳ２２１において、ホルダベース種類の識別情報、試料ホルダの種類の識別情報、及びホルダ装着位置に関する情報を、コントローラ２ｂの入力装置２４を介して入力する。ロードロック室のドアを閉めて、ロードロック室を真空排気し、ロードロック室の内部が予め規定した到達圧力に到達するまで待機する。ロードロック室の内部が到達圧力に到達したら、ロードロック機構等を利用して、ステップＳ２０３で、ホルダベース４４を鏡筒の試料ステージ１９上に移動する。ステップＳ２３１において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのマップ表示情報生成手段２３１は、入力装置２４を介して入力されたホルダベース種類の識別情報、試料ホルダの種類の識別情報、及びホルダ装着位置に関する情報を取得する。マップ表示情報生成手段２３１は、取得した情報を基に、装着位置座標記憶装置２８から、取得したホルダベースの識別情報に対応するホルダベース４４を検索し、試料ステージ１９に搭載されている現在のホルダベース４４のホルダ装着位置座標を読み出す。加えて、マップ表示情報生成手段２３１は、形状記憶装置２９から、取得した試料ホルダの種類の識別情報に対応して試料ホルダの形状情報をそれぞれ読み出し、マップ表示情報（図４参照。）を生成し、マップ表示情報記憶装置３３に格納する。次に、ステップＳ２３２において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのホルダ配置情報生成手段２２２は、マップ表示情報記憶装置３３から、ホルダベース、ホルダベースの装着位置、及び試料ホルダの形状情報をそれぞれ読み出し、データ（数字）としての試料ホルダの配置情報を生成する。次に、ステップＳ２３３において、ホルダ配置図生成手段２２３は、データ（数字）としての試料ホルダの配置情報からホルダ配置図を画像として生成し、ステージマップ表示手段２２６に送信する。
【００５４】
（ハ）次に、ステップＳ２２２において、分析者が電子顕微鏡の倍率や測定領域の大きさ等を考慮して、コントローラ２ｂの入力装置２４を介して、適切なマトリクスサイズのステージマップ図を選択する。ステップＳ２３４で、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージマップ図切換手段２２１は、入力装置２４を介して選択されたステージマップ図の識別情報を取得する。ステップＳ２３５において、ステージマップ図切換手段２２１は、取得したステージマップ図の識別情報を基に、ステージマップ図記憶装置２７から選択されたステージマップ図を読み出し、ステージマップ表示手段２２６に送信する（なお、必要に応じて、この段階でステージマップ表示手段２２６が、受信したステージマップ図を、表示装置２６の画面において表示させるようにしてもよい）。
【００５５】
（ニ）次に、ステップＳ２２３ａにおいて、分析者が、コントローラ２ｂの入力装置２４を介して、マップ座標（マップウィンドウ）を指定すると、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのマップ座標/ステージ座標変換手段２２４は、入力されたマップ座標を、マッピングにより走査される範囲（領域）のステージ座標に変換し、ステージ制御手段２２７に送信する。又は、ステップＳ２２３ｂにおいて、分析者が、マップ座標を用いずに、コントローラ２ｂの入力装置２４を介して、移動先ステージ座標を直接入力すれば、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ制御手段２２７は、入力された移動先ステージ座標を直接取得する。ステップＳ２３６において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ制御手段２２７は取得した移動先ステージ座標を、移動先ステージ座標記憶装置３９に格納する。
【００５６】
（ホ）鏡筒の試料室の内部が規定の到達圧力に到達したら、測定手段１２の電子銃を起動し、所望の加速電圧に設定する。次に、ステップＳ２３７において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ制御手段２２７は、ステージ駆動プログラムに従い、移動先ステージ座標記憶装置３９から、最初に移動する移動先ステージ座標を読み出し、読み出した移動先ステージ座標と共に、ステージの移動命令（ステージ駆動信号）を測定ユニット１のステージ駆動手段１１に送信する。測定ユニット１では、ステップＳ２０４において、ステージ駆動手段１１が、コントローラ２ｂのステージ制御手段２２７から送信される移動先ステージ座標と、この移動先ステージ座標への移動命令に基づいて、試料ステージ１９を移動先ステージ座標ヘ移動する。その後、ステップＳ２０５において、ステージ駆動手段１１が移動した試料ステージ１９の移動先ステージ座標を分析位置として、測定手段１２が試料ホルダに収納された被測定試料に対して電子ビームを走査し、測定（マッピング分析）を実施する。
【００５７】
（ヘ）この測定と同時、もしくは対象としたマップ座標の測定の終了後に、ステップＳ２３８において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ座標/マップ座標変換手段２２５は、ステップＳ２０５での測定に対応する現在のステージ座標（分析位置）をマップ座標へと変換する。更に、ステップＳ２３８では、ステージマップ表示手段２２６が、ステージマップ図切換手段２２１から送信されたステージマップ図と、ホルダ配置図生成手段２２３から送信されたホルダ配置図とを合成し、更に、現在の測定領域に対し、現在位置のマーカーをステージマップ図上で合成する。その後、ステップＳ２３９において、ステージマップ表示手段２２６は、合成したステージマップ図を表示装置２６の画面に表示させる。この際、表面形状像や元素分析像等の２次元画像とステージマップ図とを重ね合わせて表示装置２６に表示してもよく、測定された２次元画像とステージマップ図とを、上下、又は左右に並べて表示してもよい。
【００５８】
（ト）更に、ステップＳ２４０において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂの該当ホルダ判定手段２２８は、移動先ステージ座標記憶装置３９から、測定領域の現在のステージ座標（分析位置）を読み出し、ステップＳ２３２でホルダ配置情報生成手段２２２が生成したデータ（数字）としての試料ホルダの配置情報と比較することにより、現在のステージ座標（分析位置）を内包する該当ホルダが存在するか否かを判定する。現在のステージ座標（分析位置）を内包する該当ホルダが存在する場合は、ステップＳ２４１において、該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、該当ホルダの構造情報を、表示装置２６の画面に表示する。ステップＳ２４０において、該当ホルダ判定手段２２８が、複数の分析位置を含む大型試料ホルダが存在すると判定した場合、ステップＳ２４１において、該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、複数の分析位置を含む大型試料ホルダの構造情報を、ホルダ配置情報記憶装置３０から読み出し、表示装置２６の画面に該当ホルダの情報として表示する。その後、ステップＳ２４２において、分析者は、指定されたすべてのステージ座標で測定が実行されたかどうかを確認し、すべてのステージ座標で測定が実行されていなければ、ステップＳ２３７に戻り、次の移動先ステージ座標に移動して、ステップＳ２３７〜Ｓ２４２までの処理手順を繰り返す。
【００５９】
図１４では、１１箇所のホルダ装着位置ｒ１１〜ｒ２１を有するホルダベース４４上において、矩形の試料ホルダ１１２と１１３は、ホルダ装着位置ｒ13とｒ17にそれぞれ固定されており、円形の試料ホルダ１１４，１１５，１１６は、ホルダ装着位置ｒ19，ｒ20，ｒ21にそれぞれ固定され、ホルダ装着位置ｒ18には試料ホルダは装着されていない。
【００６０】
本発明の第２の実施の形態に係る表面分析装置及びステージマップ図の表示方法によれば、図１４に示すように、円形の大型試料ホルダ１１１が、５箇所のホルダ装着位置ｒ11，ｒ12，ｒ14，ｒ15，ｒ16を内包した状態で固定されていることが示され、大きさが異なる試料ホルダを同じホルダベース上に装着した場合であっても、試料ホルダの配置情報を認識し、複数の分析位置を含む大型試料ホルダを該当ホルダとして表示することが可能となる。又、ステージマップ図を切り換えることにより、現在測定中の試料ホルダの拡大図や、被測定試料の拡大図を得ることも可能である。
【００６１】
上記のように、本発明の第２の実施の形態に係る表面分析装置及びステージマップ図の表示方法によれば、現在のホルダ装着位置の座標を含む（即ち、現在の分析位置を含む）該当ホルダの存在を検知して、この該当ホルダの構造情報を表示することが可能であるので、分析者は、ホルダベース上における異なる種類の複数の試料ホルダの大きさ及び構造を含めた、被測定試料の配置情報が表示されたステージマップ図を得ることができ、それぞれの試料ホルダの現在位置、形状、大きさ、構造、分析の進行状況等の、第１の実施の形態に比し、より複雑な情報に関しても、画面上で把握することが容易になる。
【００６２】
（第３の実施の形態）
第２の実施の形態に係る表面分析装置においては、現在の分析位置を内包する該当ホルダが存在する場合、その該当ホルダの構造を示す構造情報を表示する例を説明した。本発明の第３の実施の形態に係る表面分析装置においては、試料ホルダの単なる構造情報だけでなく、試料ホルダに収納された被測定試料の固有情報までを含む、その試料ホルダが関与する包括的な固有情報であるホルダ登録情報を表示する場合を説明する。
【００６３】
図１５（ａ）には、複数の分析位置を含む大型試料ホルダの形状（構造情報）の一例として、ホルダベース４４への装着部位である押しネジ１２６を備える矩形の大型試料ホルダ１２１の上に、大型試料ホルダ１２１と比較してサイズの小さい４つの矩形の試料ホルダ１２２〜１２５が、均等に装着された２重構造をしている複数の分析位置を含む大型試料ホルダを示している。ここで、押しネジ１２６の中心部分は、中心位置座標（１５，１５）と設定されている。矩形の大型試料ホルダ１２１上の試料ホルダ１２２〜１２５の取付け座標は、中心位置座標（１５，１５）からの距離で定義される。例えば、矩形の試料ホルダ１２２の取付け位置（８，８）は、中心位置座標（１５，１５）からの距離で取付け座標（−７，−７）と示される。
【００６４】
図１５（ｃ）には、矩形の試料ホルダ１２２〜１２５の内、例として、試料ホルダ１２２の形状を示している。試料ホルダ１２２は、縦１０ｍｍ、横１０ｍｍの正方形の形状をとっている。又、その他の試料ホルダ１２３〜１２５も試料ホルダ１２２と同様の形状をとる。
【００６５】
図１５（ｂ）は、図１５（ａ）に示した大型試料ホルダ１２１のホルダ登録情報の一例を示す。図１５（ｂ）の最上欄には、ホルダ登録情報の一つとしてのホルダタイプ名をサンプルホルダ１０−Ｂとして表示している。又、４つの矩形の試料ホルダ１２２〜１２５に固定されているサンプル（被測定試料）に関する情報もそれぞれホルダ登録情報として表示している。矩形の試料ホルダ１２２のホルダ登録情報は、サンプル名として未設定（左上）、サンプル形状として矩形、取付け座標Ｘとして”−７”、取付け座標Ｙとして”−７”、サンプルの横幅として”１０”、サンプルの縦幅として”１０”をそれぞれ表示している。矩形の試料ホルダ１２３のホルダ登録情報は、サンプル名として未設定（右上）、サンプル形状として矩形、取付座標Ｘとして”７”、取付座標Ｙとして”−７”、サンプルの横幅として”１０”、サンプルの縦幅として”１０”をそれぞれ表示している。矩形の試料ホルダ１２４のホルダ登録情報は、サンプル名として未設定（左下）、サンプル形状として矩形、取付座標Ｘとして”−７”、取付座標Ｙとして”７”、サンプルの横幅として”１０”、サンプルの縦幅として”１０”をそれぞれ表示している。矩形の試料ホルダ１２５のホルダ登録情報は、サンプル名として未設定（右下）、サンプル形状として矩形、取付座標Ｘとして”７”、取付座標Ｙとして”７”、サンプルの横幅として”１０”、サンプルの縦幅として”１０”をそれぞれ表示している。
【００６６】
本発明の第３の実施の形態に係る表面分析装置は、図１６に示すように、電子線を試料ホルダに収納された被測定試料に照射して、被測定試料の表面分析を実施する測定ユニット１と測定ユニット１に接続され、測定ユニット１を制御し、且つ分析結果やステージマップ図等の必要な情報を表示させる演算処理を実行するコントローラ２ｃとを備える。ここで、測定ユニット１に関しては第１及び第２の実施の形態と同様であるので、重複した記載を省略する。
【００６７】
コントローラ２ｃは、分析者がデータや必要な指示を入力する入力装置２４と、分析結果やステージマップ図等を出力する出力装置２５及び分析結果やステージマップ図等を表示する表示装置２６と、コントローラ２ｃと測定ユニット１との間のデータのやりとりを仲介する入出力インターフェース２１と、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂと、ステージマップ図を記憶するステージマップ図記憶装置２７と、ホルダの装着位置座標を記憶する装着位置座標記憶装置２８と、ホルダの形状を記憶する形状記憶装置２９と、試料ホルダの配置情報を記憶するホルダ配置情報記憶装置３０と、マップ表示情報を記憶するマップ表示情報記憶装置３３と、移動先のステージ座標を記憶する移動先ステージ座標記憶装置３９と、入力装置２４、出力装置２５及び表示装置２６が、それぞれ演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂとデータの送受信をする際に仲介する入出力インターフェース２３とを備える点では第２の実施の形態とほぼ同様である。
【００６８】
しかし、本発明の第３の実施の形態に係る表面分析装置は、図１６に示すように、コントローラ２ｃにおいて、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂが、論理構造として、ホルダベース４４上での試料ホルダの配置情報と、測定領域のステージ座標に基づいて、現在の分析位置を内包する試料ホルダが存在するか否かを判定する該当ホルダ判定手段２２８と、現在の分析位置を内包する該当ホルダがある場合に、現在の分析位置を内包する該当ホルダのホルダ登録情報を表示する該当ホルダ登録情報表示手段２２９とを含む点で第１の実施の形態に係る表面分析装置と異なる。更に、それに加えて、試料ホルダの固有情報と、試料ホルダに収納されている被測定試料の名前等の被測定試料の固有情報を含むホルダ登録情報を記憶しているホルダ登録情報記憶装置３１を含んでいる点で、第２の実施の形態に係る表面分析装置とも異なる。
【００６９】
該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、現在の分析位置を内包する該当ホルダのホルダ登録情報を表示する際に、現在の分析位置を内包する該当ホルダに固定されている被測定試料の固有情報もホルダ登録情報の一部としてホルダ登録情報記憶装置３１から読み出して、表示装置２６の画面において表示する。該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、ホルダ登録情報を分析実行時に生成される分析データの情報の一部に自動的に取り込む機能を有するようにしてもよい。なお、第１及び第２の実施の形態に係る表面分析装置で説明したのと同様に、図１６は、論理的な構成を示すブロック図であるので、ステージマップ図記憶装置２７、装着位置座標記憶装置２８、形状記憶装置２９、ホルダ配置情報記憶装置３０、マップ表示情報記憶装置３３、移動先ステージ座標記憶装置３９、ホルダ登録情報記憶装置３１は、物理的には演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂの内部に内蔵されていても、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂの外部に接続されていても構わない。他は、第１及び第２の実施の形態と実質的に同様であるので、重複した記載を省略する。
【００７０】
本発明の第３の実施の形態に係る表面分析装置は、上記のように構成されており、該当ホルダ判定手段２２８と、該当ホルダ登録情報表示手段２２９とを含むことにより、表面分析装置は、現在の分析位置が試料ホルダに含まれているかを判定することが可能となり、測定領域座標から、分析位置に配置されているホルダの登録情報を容易に得ることが可能になる。更に、それに加えて、ホルダ登録情報記憶装置３１を含むことにより、試料ホルダに収納されている被測定試料の名前等の被測定試料の固有情報をも、ホルダ登録情報の一部として容易に得ることが可能となる。
【００７１】
次に、図１７のフローチャートを用いて、本発明の第３の実施の形態に係るステージマップ図の表示方法の一例について説明する。
【００７２】
（イ）第１及び第２の実施の形態と同様に、表面分析装置の使用者が、ステップＳ３０１において、被測定試料を、例えば、図１５，１８〜２３に示す試料ホルダ１２１，１４１，１５１，１６１，１７１，１８１，１９１の内の一つあるいは複数に固定する。試料ステージ１９をホルダベース交換位置まで移動し、ロードロック機構等を利用して、鏡筒に接続されたロードロック室（試料準備室）にホルダベース４４を移動し、ロードロック室の内部を大気開放して、ホルダベース４４を試料室から取り出す。ステップＳ３０２において、試料ホルダ１２１，１４１，１５１，１６１，１７１，１８１，１９１の内の一つあるいは複数を、ホルダベース４４に装着する。
【００７３】
（ロ）次に、分析者は、ステップＳ３２１において、ホルダベース種類の識別情報、試料ホルダの種類の識別情報、及びホルダ装着位置に関する情報を、コントローラ２ｃの入力装置２４を介して入力する。ロードロック室のドアを閉めて、ロードロック室を真空排気し、予め規定した到達圧力に到達するまで待機する。到達圧力に到達したら、ロードロック機構等を利用して、ステップＳ３０３で、ホルダベース４４を鏡筒の試料ステージ１９上に移動する。ステップＳ３３１において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのマップ表示情報生成手段２３１は、入力装置２４を介して入力されたホルダベース種類の識別情報、試料ホルダの種類の識別情報、及びホルダ装着位置に関する情報を取得する。マップ表示情報生成手段２３１は、取得した情報を基に、装着位置座標記憶装置２８から、取得したホルダベースの識別情報に対応するホルダベース４４を検索し、試料ステージ１９に搭載されている現在のホルダベース４４のホルダ装着位置座標を読み出す。加えて、マップ表示情報生成手段２３１は、形状記憶装置２９から、取得した試料ホルダの種類の識別情報に対応して試料ホルダの形状情報をそれぞれ読み出し、マップ表示情報（図４参照。）を生成し、マップ表示情報記憶装置３３に格納する。次に、ステップＳ３３２において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのホルダ配置情報生成手段２２２は、マップ表示情報記憶装置３３から、ホルダベース、ホルダベースの装着位置、及び試料ホルダの形状情報をそれぞれ読み出し、データ（数字）としての試料ホルダの配置情報を生成する。次に、ステップＳ３３３において、ホルダ配置図生成手段２２３は、データ（数字）としての試料ホルダの配置情報からホルダ配置図を画像として生成し、ステージマップ表示手段２２６に送信する。
【００７４】
（ハ）次に、ステップＳ３２２において、分析者が、電子顕微鏡の倍率や測定領域の大きさ等を考慮して、コントローラ２ｃの入力装置２４を介して、適切なマトリクスサイズのステージマップ図を選択する。ステップＳ３３４で、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージマップ図切換手段２２１は、入力装置２４を介して選択されたステージマップ図の識別情報を取得する。ステップＳ３３５において、ステージマップ図切換手段２２１は、取得したステージマップ図の識別情報を基に、ステージマップ図記憶装置２７から選択されたステージマップ図を読み出し、ステージマップ表示手段２２６に送信する（なお、必要に応じて、この段階でステージマップ表示手段２２６が、受信したステージマップ図を、表示装置２６の画面において表示させるようにしてもよい）。
【００７５】
（ニ）次に、ステップＳ３２３ａにおいて、分析者が、コントローラ２ｃの入力装置２４を介して、マップ座標（マップウィンドウ）を指定すると、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのマップ座標/ステージ座標変換手段２２４は、入力されたマップ座標を、マッピングにより走査される範囲（領域）のステージ座標に変換し、ステージ制御手段２２７に送信する。又は、ステップＳ３２３ｂにおいて、分析者が、マップ座標を用いずに、コントローラ２ｃの入力装置２４を介して、移動先ステージ座標を直接入力すれば、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ制御手段２２７は、入力された移動先ステージ座標を直接取得する。ステップＳ３３６において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ制御手段２２７は取得した移動先ステージ座標を、移動先ステージ座標記憶装置３９に格納する。
【００７６】
（ホ）鏡筒の試料室の内部が規定の到達圧力に到達したら、測定手段１２の電子銃を起動し、所望の加速電圧に設定する。次に、ステップＳ３３７において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ制御手段２２７は、ステージ駆動プログラムに従い、移動先ステージ座標記憶装置３９から、最初に移動する移動先ステージ座標を読み出し、読み出した移動先ステージ座標と共に、ステージの移動命令（ステージ駆動信号）を測定ユニット１のステージ駆動手段１１に送信する。測定ユニット１では、ステップＳ３０４において、ステージ駆動手段１１が、コントローラ２ｃのステージ制御手段２２７から送信される移動先ステージ座標と、この移動先ステージ座標への移動命令に基づいて、試料ステージ１９を移動先ステージ座標ヘ移動する。その後、ステップＳ３０５において、ステージ駆動手段１１が移動した試料ステージ１９の移動先ステージ座標を分析位置として、測定手段１２が試料ホルダに収納された被測定試料に対して電子ビームを走査し、測定（マッピング分析）を実施する。
【００７７】
（ヘ）この測定と同時、もしくは対象としたマップ座標の測定の終了後に、ステップＳ３３８において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ座標/マップ座標変換手段２２５は、ステップＳ３０５での測定に対応する現在のステージ座標（分析位置）をマップ座標へと変換する。更に、ステップＳ３３８では、ステージマップ表示手段２２６が、ステージマップ図切換手段２２１から送信されたステージマップ図と、ホルダ配置図生成手段２２３から送信されたホルダ配置図とを合成し、更に、現在の測定領域に対し現在位置のマーカーをステージマップ図上で合成する。その後、ステップＳ３３９において、ステージマップ表示手段２２６は、合成したステージマップ図を表示装置２６の画面に表示させる。この際、表面形状像や元素分析像等の２次元画像とステージマップ図とを重ね合わせて表示装置２６に表示してもよく、測定された２次元画像とステージマップ図とを、上下、又は左右に並べて表示してもよい。
【００７８】
（ト）更に、ステップＳ３４０において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂの該当ホルダ判定手段２２８は、移動先ステージ座標記憶装置３９から、測定領域の現在のステージ座標（分析位置）を読み出し、ステップＳ３３２でホルダ配置情報生成手段２２２が生成したデータ（数字）としての試料ホルダの配置情報と比較することにより、現在の分析位置を内包する該当ホルダが存在するかどうかを判定する。現在の分析位置を内包する該当ホルダが存在する場合は、ステップＳ３４１において、該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、現在の分析位置を内包する該当ホルダのホルダ登録情報を、表示装置２６の画面に表示する。更に、ステップＳ３４２において、該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、現在の分析位置を内包する該当ホルダに収納されている被測定試料の固有情報を、ホルダ登録情報の一部としてホルダ登録情報記憶装置３１から読み出し、被測定試料の固有情報も表示装置２６の画面に合わせて表示する。このとき、該当ホルダ登録情報表示手段２２９が、分析実行時に生成される分析データの情報の一部に、ホルダ登録情報を自動的に取り込むようにしてもよい。その後、ステップＳ３４３において、分析者は、指定されたすべてのステージ座標で測定が実行されたかどうかを確認し、すべてのステージ座標で測定が実行されていなければ、ステップＳ３３７に戻り、次の移動先ステージ座標に移動して、ステップＳ３３７〜Ｓ３４３までの処理手順を繰り返す。
【００７９】
図１８〜図２３には、図１８（ａ）〜図２３（ａ）に試料ホルダの形状の一例を示しており、図１８（ｂ）〜図２３（ｂ）に、ホルダ登録情報として、図１８（ａ）〜図２３（ａ）に示した試料ホルダのホルダタイプ名、試料ホルダに固定されている被測定試料（サンプル）名、試料（サンプル）形状、試料ホルダの取付座標Ｘ及びＹ、被測定試料（サンプル）の横幅及び縦幅等のホルダ登録情報の一例をそれぞれ示している。又、前述したように、図１５（ｂ）にも、図１５（ａ）に示している大型試料ホルダ１２１に関するサンプル名等のホルダ登録情報を示している。
【００８０】
図１８（ａ）には、ホルダベース４４への装着部位である押しネジ１２６を備える、円形の試料ホルダ１４１の構造が示されている。図１８（ｂ）には、試料ホルダ１４１固有のホルダ登録情報が、ホルダタイプ名として包埋用ホルダ２５、サンプル名として未設定、サンプル形状として円形、取付座標Ｘとして"０"、取付座標Ｙとして"０"、サンプルの横幅として"１８"、サンプルの縦幅として"１８"がそれぞれ表示されている。
【００８１】
図１９（ａ）には、ホルダベースへの装着部位である押しネジ１２６を備える、円形の試料ホルダ１５１の構造が示されている。図１９（ｂ）には、試料ホルダ１５１固有のホルダ登録情報が、ホルダタイプ名としてサンプルホルダ２５、サンプル名として未設定、サンプル形状として円形、取付座標Ｘとして"０"、取付座標Ｙとして"０"、サンプルの横幅として"２６"、サンプルの縦幅として"２６"がそれぞれ表示されている。
【００８２】
図２０（ａ）には、ホルダベースへの装着部位である押しネジ１２６を備える、円形の試料ホルダ１６１の構造が示されている。図２０（ｂ）には、試料ホルダ１６１固有のホルダ登録情報が、ホルダタイプ名としてサンプルホルダ３２、サンプル名として未設定、サンプル形状として円形、取付座標Ｘとして"０"、取付座標Ｙとして"０"、サンプルの横幅として"３２．５"、サンプルの縦幅として"３２．５"がそれぞれ表示されている。
【００８３】
図２１（ａ）には、ホルダベースへの装着部位である押しネジ１２６を備える、円形の試料ホルダ１７１の構造が示されている。図２１（ｂ）には、試料ホルダ１７１固有のホルダ登録情報が、ホルダタイプ名としてサンプルホルダ３８、サンプル名として未設定、サンプル形状として円形、取付座標Ｘとして"０"、取付座標Ｙとして"０"、サンプルの横幅として"３９"、サンプルの縦幅として"３９"がそれぞれ表示されている。
【００８４】
図２２（ａ）には、ホルダベースへの装着部位である押しネジ１２６を備える、円形の試料ホルダ１８１の構造が示されている。図２２（ｂ）には、試料ホルダ１８１固有のホルダ登録情報が、ホルダタイプ名としてサンプルホルダ４０、サンプル名として未設定、サンプル形状として円形、取付座標Ｘとして"０"、取付座標Ｙとして"０"、サンプルの横幅として"４１"、サンプルの縦幅として"４１"がそれぞれ表示されている。
【００８５】
図２３（ａ）には、ホルダベースへの装着部位である押しネジ１２６を備える、矩形の試料ホルダ１９１の構造が示されている。図２３（ｂ）には、試料ホルダ１９１固有のホルダ登録情報が、ホルダタイプ名としてサンプルホルダ１０−Ａ、サンプル名として未設定、サンプル形状として矩形、取付座標Ｘとして"０"、取付座標Ｙとして"０"、サンプルの横幅として"１０．５"、サンプルの縦幅として"１０．５"がそれぞれ表示されている。
【００８６】
上記のように、本発明の第３の実施の形態に係る表面分析装置及びステージマップ図の表示方法によれば、分析者は、ホルダベース上における異なる種類の複数の試料ホルダの現在位置、形状、大きさ、構造、分析の進行状況等の情報を容易に得られるのに加えて、図１８（ｂ）〜図２３（ｂ）あるいは図１５（ｂ）に示すように、試料ホルダに固定されている被測定試料の固有情報に関しても、容易に得ることが可能となる。図１８（ｂ）〜図２３（ｂ）、図１５（ｂ）に示すホルダ登録情報は、分析実行時に生成される分析データの情報の一部として、自動的に取り込むようにすれば、分析データに関する情報の入力作業を簡略化することができる。
【００８７】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明は第１〜第３の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００８８】
既に述べた実施の形態の説明において、定量分析等をする際に用いられる標準試料に関しても、被測定試料と同様にステージマップ図に表示することが可能である。この場合、実施の形態に係る表面分析装置は、図２４に示すように、第３の実施の形態に係る表面分析装置に加えて、コントローラ２ｄが、標準試料の配置情報を記憶する標準試料配置情報記憶装置３２を備え、コントローラ２ｄにおける演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｃが、標準試料の配置情報を表示する標準試料配置情報表示手段２３０を更に備える。分析者は、被測定試料を測定する際と同様の方法で、使用する標準試料を試料ホルダに固定し、試料ホルダに固定した標準試料の配置情報をコントローラ２ｄの入力装置２４に入力する。入力された標準試料の配置情報は、標準試料配置情報記憶装置３２に収納され、その後、標準試料配置情報表示手段２３０によって標準試料配置情報記憶装置３２から読み出され、表示装置２６にステージマップ図として表示される。
【００８９】
図２５には、標準試料のステージマップ図における表示の一例を示している。図２５では、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の標準試料４０７及び４０８を、被測定試料４０１〜４０６及び４０９と同じホルダベース上に装着された試料ホルダにそれぞれ固定し、測定する場合のステージマップ図の一例である。図２５に示されるような場合は、標準試料配置情報記憶装置３２に収納される内容をホルダ登録情報記憶装置３１に記憶させ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の標準試料４０７及び４０８の固有情報を、被測定試料４０１〜４０６及び４０９の固有情報と同様に、ホルダ登録情報の一部としてホルダ登録情報記憶装置３１から読み出し、標準試料名及び被測定試料名を表示装置２６の画面に表示するようにしてもよく、標準試料４０７及び４０８の固有情報は、標準試料配置情報記憶装置３２から読み出し、被測定試料４０１〜４０６及び４０９の固有情報をホルダ登録情報記憶装置３１から読み出し、標準試料名及び被測定試料名を表示装置２６の画面に表示するようにしてもよい。
【００９０】
又、図２６には、標準試料３０１〜３０９をホルダベース上のすべての試料ホルダにそれぞれ固定し、標準試料のみをまとめて測定する場合のステージマップ図の一例を示している。
【００９１】
ここで、標準試料が固定されるホルダの形状、ホルダの装着位置座標、ホルダベースの種類を含む試料ホルダの配置情報は、図２５及び図２６に表示している試料ホルダの配置情報のみに限定されるものではない。更に、一つのホルダ内に複数の標準試料を固定し、ホルダ登録情報の一部として標準試料名を表示するようにして、ステージマップ図上で表示することも可能である。
【００９２】
又、第１〜第３の実施の形態においては、鏡筒の試料室にゲートバルブを介してロードロック室（試料準備室）が接続された場合を例示的に説明したが、試料交換の時間等を問題としない場合であれば、ロードロック機構は省略可能である。この場合、図２のフローチャートのステップＳ１０１において、被測定試料を試料ホルダ８１、８３に固定した後、試料ステージ１９を鏡筒内の試料交換位置まで移動し、鏡筒の試料室の内部を大気開放して、ホルダベース４４を試料室から直接取り出すことになる。そして、ステップＳ１０２において、試料ホルダ８１、８３を、ホルダベース４４に装着し、ステップＳ１０３において、ホルダベース４４を試料ステージ１９上に搭載し、試料室のドアを閉めて、試料室を真空排気し、予め規定した到達圧力に到達するまで待機する手順となることは勿論である。
【００９３】
更に、本発明の測定システムとしては、ＥＰＭＡ、電子顕微鏡、電子分光装置等の種々の表面分析装置に適用可能である。
【００９４】
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【符号の説明】
【００９５】
１…測定ユニット
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ…コントローラ
１１…ステージ駆動手段
１２…測定手段
１９…試料ステージ
２１，２３…入出力インターフェース
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ…演算制御装置（ＣＰＵ）
２４…入力装置
２５…出力装置
２６…表示装置
２７…ステージマップ図記憶装置
２８…装着位置座標記憶装置
２９…形状記憶装置
３０…ホルダ配置情報記憶装置
３１…ホルダ登録情報記憶装置
３２…標準試料配置情報記憶装置
３３…マップ表示情報記憶装置
３９…移動先ステージ座標記憶装置
４１…ステージ基準位置（原点）
４２…試料交換位置
４４…標準ホルダベース
４９…ホルダベース基準位置
６１…円形の試料ホルダ側面
６２，７２，１２６…押しネジ
６３…円形の試料ホルダ底面
７１…矩形の試料ホルダ側面
７３…矩形の試料ホルダ底面
７８，４０１，４０２，４０３，４０４，４０５，４０６，４０９…試料
８１，８２，８４，８５，１１１，１１４，１１５，１１６，１４１，１５１，１６１，１７１，１８１…円形の試料ホルダ
８３，８６，１１２，１１３，１２１，１２２，１２３，１２４，１２５，１９１…矩形の試料ホルダ
２０１，２０２，２０３，２０４，２０５，２０６，２０７，２０８，２０９…試料ホルダ
２２１…ステージマップ図切換手段
２２２…ホルダ配置情報生成手段
２２３…ホルダ配置図生成手段
２２４…マップ座標/ステージ座標変換手段
２２５…ステージ座標/マップ座標変換手段
２２６…ステージマップ表示手段
２２７…ステージ制御手段
２２８…該当ホルダ判定手段
２２９…該当ホルダ登録情報表示手段
２３０…標準試料配置情報表示手段
２３１…マップ表示情報生成手段
３０１，３０２，３０３，３０４，３０５，３０６，３０７，３０８，３０９，４０７，４０８…標準試料
ｇ11〜ｇ28…試料ホルダ装着位置番号
ｍ11〜ｍ21，ｎ11〜ｎ15，ｑ11〜ｑ21，ｒ11〜ｒ21…試料ホルダ装着位置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）や電子顕微鏡等の表面分析装置に係り、特に分析の際に用いる試料ホルダの配置を示すステージマップ図の生成・表示技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＥＰＭＡや電子顕微鏡等の表面分析装置は、測定ユニットを構成する鏡筒の内部に収容された被測定試料（分析試料）に電子ビームなどの励起源を照射し、励起源により照射された被測定試料から放出される二次電子線、反射電子線、特性Ｘ線等を検出し、この検出信号によって画像を形成し、被測定試料の表面分析や元素分析を行う。
【０００３】
一般に、表面分析装置において表面分析を行う場合、被測定試料を固定した試料ホルダをホルダベースに装着し、ホルダベースを真空排気可能な鏡筒の内部の試料ステージ上に搭載し、ステージ座標を制御することにより、被測定試料上の目的位置を測定ユニットの分析位置に移動して、この分析位置において検出信号を取り出し、表面分析を行う。そのため、表面分析の際、被測定試料上の目的位置を、測定ユニットの内部の分析位置に正確に反映させる手法が待望されている。
【０００４】
このため、同一形状・同一寸法の複数の試料穴を備えた多試料ホルダに、ホルダ種類を表すホルダ端子を固定することにより、試料ステージに取付られた試料ホルダの種類を判定し、ホルダ形状データを画像として自動的に表示する発明が提案されている（特許文献１参照）。特許文献１に記載の発明によれば、これまで分析者がマニュアル操作で行っていた、試料穴の数等によって異なる試料ホルダの形状を識別するホルダ種類の入力等の操作を省略することができるため、人為的なミス無く、表面分析装置の表示装置の画面上に搭載試料ホルダの図形が表示されるため、表示された図形を用いて試料分析が正確且つ迅速に行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−７６６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の発明は、単一の多試料ホルダを試料ステージに搭載するタイプの表面分析装置に関するものであり、試料ホルダに同一形状・同一寸法の複数の試料穴を設けて、形状を揃えた複数の被測定試料を、試料ホルダの試料穴に試料取付台等を介してそれぞれ固定し、被測定試料の分析位置を表示装置の画面で表示しているに過ぎない。即ち、大きさや形状が異なる被測定試料を試料ホルダに固定する場合や、異なる形状や寸法の複数の試料ホルダを試料ステージに搭載する場合の技術を提案するものではない。
【０００７】
このように、従来の表面分析装置では、大きさや形状の異なる複数の被測定試料を種々の試料ホルダに固定する場合において、それらの大きさや形状の異なる複数の試料ホルダをステージマップ上で表示することは難しく、そのため、ステージマップ上で被測定試料の目的の位置を分析位置として表示することが困難であるという不具合がある。
【０００８】
本発明は、上述した従来技術の欠点を除くためになされたものであって、大きさや形状の異なる複数の試料ホルダをホルダベースを介して試料ステージに搭載した場合において、多様な試料ホルダの形状や搭載状態及び被測定試料の現在位置を、ステージマップ上に表示し、表面分析の進行を容易にする表面分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の態様は、（イ）複数の試料ホルダをホルダベースを介して搭載可能な試料ステージ、この試料ステージを駆動するステージ駆動手段、複数の試料ホルダにそれぞれ収納された試料に対して、逐次測定をする測定手段を有する測定ユニットと、（ロ）ホルダベース、複数の試料ホルダ、複数の試料ホルダのそれぞれの装着位置座標、複数の試料ホルダのそれぞれの形状の表示情報を生成するマップ表示情報生成手段、ホルダベース上の複数の試料ホルダのそれぞれの装着位置及び複数の試料ホルダのそれぞれの種類の情報を含む配置情報を生成するホルダ配置情報生成手段、配置情報からホルダ配置図を生成するホルダ配置図生成手段、ホルダ配置図をステージマップ図に合成するステージマップ表示手段を有する演算処理装置と、（ハ）ステージマップ図を表示する表示装置とを備える表面分析装置であることを要旨とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、大きさや形状の異なる複数の試料ホルダをホルダベースを介して試料ステージに搭載した場合において、多様な試料ホルダの形状や搭載状態及び被測定試料の現在位置を、ステージマップ上に表示し、表面分析の進行を容易にする表面分析装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る表面分析装置の論理構成の一例を表す概略ブロック図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るステージマップ図の表示方法の一例を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係るホルダ装着位置情報の一例である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係るステージマップ表示情報の一例である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係るホルダベース上におけるホルダの選択方法の一例を説明するためのフローチャートである。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係るホルダ配置情報の一例である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係るホルダベースID情報の表示の一例である。
【図８】本発明の第１の実施の形態に係るホルダ装着位置情報の他の例である。
【図９】本発明の第１の実施の形態に係るホルダ形状情報の一例として円形の試料ホルダを示す模式図である。
【図１０】本発明の第１の実施の形態に係るホルダ形状情報の一例として矩形の試料ホルダを示す模式図である。
【図１１】本発明の第１の実施の形態に係るホルダ配置図の一例である。
【図１２】本発明の第２の実施の形態に係る表面分析装置の論理構成の一例を表す概略ブロック図である。
【図１３】本発明の第２の実施の形態に係るステージマップ図の表示方法の一例を説明するためのフローチャートである。
【図１４】本発明の第２の実施の形態に係るホルダ配置図の一例である。
【図１５】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である。
【図１６】本発明の第３の実施の形態に係る表面分析装置の論理構成の一例を表す概略ブロック図である。
【図１７】本発明の第３の実施の形態に係るステージマップ図の表示方法の一例を説明するためのフローチャートである。
【図１８】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である（その１）。
【図１９】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である（その２）。
【図２０】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である（その３）。
【図２１】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である（その４）。
【図２２】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である（その５）。
【図２３】本発明の第３の実施の形態に係る試料ホルダの構造及びホルダ登録情報の一例である（その６）。
【図２４】本発明のその他の実施の形態に係る表面分析装置の論理構成の一例を表す概略ブロック図である。
【図２５】本発明のその他の実施の形態に係る標準試料配置情報を示すステージマップ図の一例である（その１）。
【図２６】本発明のその他の実施の形態に係る標準試料配置情報を示すステージマップ図の一例である（その２）。
【図２７】従来のホルダ配置図の一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
次に、図面を参照して、本発明の第１〜第３の実施の形態を説明する。以下の図面において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。但し、図面は模式的なものであり、縦横の比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。又、図面相互間においても互いの比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１３】
又、以下に示す第１〜第３の実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の技術的思想は、構成物品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の技術的思想は、特許請求の範囲において種々の変更を加えることができる。
【００１４】
（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態に係る表面分析装置は、図１に示すように、測定ユニット１と、測定ユニット１に接続され、測定ユニット１を制御し、且つ分析結果やステージマップ図等の必要な情報を表示させる演算処理を実行するコントローラ２ａとを備える。測定ユニット１は、真空排気可能な鏡筒（図示省略）と、この鏡筒の試料室の内部に配置された、複数の試料ホルダをホルダベースを介して搭載可能な試料ステージ１９、試料ステージ１９を駆動するステージ駆動手段１１及び複数の試料ホルダにそれぞれ収納された被測定試料に対して、逐次測定をする測定手段１２等を備える。図示を省略しているが、鏡筒の試料室には、ゲートバルブを介してロードロック室（試料準備室）が接続され、ロードロック機構を構成している。
【００１５】
ステージ駆動手段１１は、コントローラ２ａから送信されてくる測定領域座標の情報（ステージ駆動信号）を受信し、座標情報に基づいて試料ステージ１９をモータドライブ等により、例えば、水平移動（Ｘ，Ｙ）、上下運動（Ｚ）、傾斜（Ｔ）、回転（Ｒ）の５軸に沿って駆動する。測定手段１２は、電子線を発生する電子銃と、電子線を試料ホルダに収納された被測定試料に照射するように調整する電子レンズと、電子線を試料表面に走査させる偏向器と、試料から放出される二次電子線、反射電子線、特性Ｘ線等を検出する検出器等を備える。ステージ駆動手段１１が、試料ステージ１９を予め定めた分析位置の座標まで移動すると、測定手段１２が分析位置において、試料ホルダに収納された被測定試料を測定する。
【００１６】
一方、コントローラ２ａは、表面分析装置の使用者（分析者）がデータや必要な指示を入力する入力装置２４と、分析結果やステージマップ図等を出力する出力装置２５及び分析結果やステージマップ図等を表示する表示装置２６と、コントローラ２ａと測定ユニット１との間のデータのやりとりを仲介する入出力インターフェース２１と、マイクロプロセッサ等の演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａと、ステージマップ図を記憶するステージマップ図記憶装置２７と、試料ホルダの装着位置座標を記憶する装着位置座標記憶装置２８と、試料ホルダの形状を記憶する形状記憶装置２９と、試料ホルダの配置情報を記憶するホルダ配置情報記憶装置３０と、マップ表示情報を記憶するマップ表示情報記憶装置３３と、移動先のステージ座標を記憶する移動先ステージ座標記憶装置３９とを備える。更に、コントローラ２ａは、入力装置２４、出力装置２５及び表示装置２６が、それぞれ演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａとデータの送受信をする際に仲介する入出力インターフェース２３等を備えてノイマン型コンピュータシステムと同様な構造をなす。
【００１７】
コントローラ２ａの一部をなす演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａは、論理構造として、ステージマップ図切換手段２２１、ホルダ配置情報生成手段２２２、ホルダ配置図生成手段２２３、マップ座標/ステージ座標変換手段２２４、ステージ座標/マップ座標変換手段２２５、ステージマップ表示手段２２６、ステージ制御手段２２７、マップ表示情報生成手段２３１とを有する。物理的には、ＣＰＵ２２ａは演算をする演算論理装置（ＡＬＵ）、データを一時記憶するレジスタ（置数器）やバッファ（緩衝用記憶装置）、データや命令等の情報を伝達するバス（情報運搬路）、外部記憶装置（メモリ）や周辺機器との入出力を行うインターフェース、ＣＰＵ全体を制御する制御部分、この制御に必要なクロック信号を生成するクロック（時計）回路などで構成される中央処理装置であることは周知のコンピュータシステムと同様である。
【００１８】
ＣＰＵ２２ａの一部をなすステージマップ図切換手段２２１は、分析者が測定条件等を考慮して、入力装置２４を介して選択したステージマップ図選択条件を取得し、取得した選択条件に対応するステージマップ図を、ステージマップ図記憶装置２７から読み出し、ステージマップ表示手段２２６に送信する。ＣＰＵ２２ａの一部をなすマップ表示情報生成手段２３１は、入力装置２４を介して入力されたホルダベース種類の識別情報と、試料ホルダの種類の識別情報と、ホルダ装着位置情報とを取得する。更に、マップ表示情報生成手段２３１は、取得した情報を基に、ホルダベース種類毎にファイルされたホルダ装着位置座標情報を記憶している装着位置座標記憶装置２８から、入力されたホルダベースの識別情報に対応するホルダ装着位置座標を読み出し、試料ホルダの種類毎の形状情報を記憶している形状記憶装置２９から、入力された試料ホルダの種類の識別情報に対応する試料ホルダの形状を読み出し、試料ホルダの配置情報をそれぞれ読み出すことにより、マップ表示情報（図４参照。）を生成した後、マップ表示情報記憶装置３３に格納する。ＣＰＵ２２ａの一部をなすホルダ配置情報生成手段２２２は、ホルダベースの装着位置及び試料ホルダの形状に関する情報をそれぞれ読み出すことにより、ホルダベース上の試料ホルダの配置情報をデータ（数字）としての試料ホルダの配置情報として生成し、ホルダ配置情報記憶装置３０に格納する。
【００１９】
ＣＰＵ２２ａの一部をなすホルダ配置図生成手段２２３は、ホルダ配置情報生成手段２２２が生成した試料ホルダの配置情報に基づいてホルダ配置図を画像として生成し、ステージマップ表示手段２２６に送信する。又、マップ座標/ステージ座標変換手段２２４は、分析者が入力装置２４に、移動先ステージ座標をマップ座標（マップウィンドウ）指定により入力する場合に、入力されたマップ座標をステージ座標に変換し、ステージ制御手段２２７に送信する。ステージ座標/マップ座標変換手段２２５は、測定領域のステージ座標をマップ座標へと変換し、現在位置のマーカーをマップ座標のデータに変換する。ＣＰＵ２２ａの一部をなすステージマップ表示手段２２６は、ステージマップ図切換手段２２１から送信されるステージマップ図と、ホルダ配置図生成手段２２３から送信されるホルダ配置図と、ステージ座標/マップ座標変換手段２２５から送信される現在位置のマーカーが表現されたマップ座標とをそれぞれ受信して合成し、合成されたステージマップ図を表示装置２６の画面において表示する。
【００２０】
又、ＣＰＵ２２ａの一部をなすステージ制御手段２２７は、移動先ステージ座標記憶装置３９から、ステージ駆動プログラムに従い、移動先ステージ座標を読み出し、入出力インターフェース２１を介して、測定ユニット１のステージ駆動手段１１に、移動先のステージ座標と共に、移動先のステージ座標への移動命令（ステージ駆動信号）を送信する。なお、図１は論理的な構成を示すブロック図であるので、ステージマップ図記憶装置２７、装着位置座標記憶装置２８、形状記憶装置２９、ホルダ配置情報記憶装置３０、マップ表示情報記憶装置３３及び移動先ステージ座標記憶装置３９は、物理的には演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａの内部に内蔵されていても、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａの外部に接続されていても構わない。又、ステージマップ図記憶装置２７、装着位置座標記憶装置２８、形状記憶装置２９、ホルダ配置情報記憶装置３０、マップ表示情報記憶装置３３及び移動先ステージ座標記憶装置３９は、ハードウェア資源として個別にそれぞれ存在してもよく、単一ハードウェア資源の内部のセグメントをそれぞれ利用したファイルとして存在してもよい。
【００２１】
本発明の第１の実施の形態に係る表面分析装置は、上記のように構成されており、ホルダ配置情報生成手段２２２と、ホルダ配置図生成手段２２３と、ステージマップ表示手段２２６と、マップ表示情報生成手段２３１と、装着位置座標記憶装置２８と、形状記憶装置２９と、ホルダ配置情報記憶装置３０と、マップ表示情報記憶装置３３とを含むことにより、測定時に試料ホルダの形状を含めて、試料ホルダのホルダベース上における搭載状態をステージマップに表示させることができるので、それぞれの被測定試料の現在位置、試料ホルダの形状、分析の進行状況等を簡単に画面上で把握することが可能となる。
【００２２】
次に、図２のフローチャートを用いて、本発明の第１の実施の形態に係るステージマップ図の表示方法の一例について説明する。
【００２３】
（イ）まず、分析者が、ステップＳ１０１において、被測定試料を、例えば、図９、１０に示す試料ホルダ８１、８３に固定する。試料ステージ１９をホルダベース交換位置まで移動し、鏡筒（図示省略）の真空状態と鏡筒に接続されたロードロック室（試料準備室）の真空状態とを分離するゲートバルブを介して、ホルダベース４４を鏡筒からロードロック室に移動する。鏡筒の試料室からロードロック室へのホルダベース４４の移動は、例えば、鏡筒の試料室及びロードロック室に、それぞれ設けられた２本のレール等を介して行うことが可能である。その後、ゲートバルブを閉じ、ロードロック室の内部を大気開放して、ホルダベース４４をロードロック室から取り出す。ステップＳ１０２において、試料ホルダ８１、８３を、ホルダベース４４に装着する。
【００２４】
（ロ）次に、分析者は、ステップＳ１２１において、ホルダベース種類の識別情報、試料ホルダの種類の識別情報及びホルダ装着位置に関する情報を、コントローラ２ａの入力装置２４を介して入力する。ロードロック室のドアを閉めて、ロードロック室を真空排気し、ロードロック室の内部が予め規定した到達圧力に到達するまで待機する。ロードロック室の内部が到達圧力に到達したら、ステップＳ１０３において、ゲートバルブを開け、ホルダベース４４を鏡筒の試料室の試料ステージ１９上に、ロードロック室から移動する。ステップＳ１３１において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのマップ表示情報生成手段２３１は、入力装置２４を介して入力されたホルダベース種類の識別情報、試料ホルダの種類の識別情報及びホルダ装着位置に関する情報を取得する。マップ表示情報生成手段２３１は、取得した情報を基に、装着位置座標記憶装置２８から、取得したホルダベースの識別情報に対応するホルダベース４４を検索し、試料ステージ１９に搭載されている現在のホルダベース４４のホルダ装着位置座標を読み出す。加えて、マップ表示情報生成手段２３１は、形状記憶装置２９から、取得した試料ホルダの種類の識別情報に対応した試料ホルダの形状情報をそれぞれ読み出し、マップ表示情報（図４参照。）を生成した後、マップ表示情報記憶装置３３に格納する。次に、ステップＳ１３２において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのホルダ配置情報生成手段２２２は、マップ表示情報記憶装置３３から、ホルダベース、ホルダベースの装着位置及び試料ホルダの形状情報をそれぞれ読み出し、データ（数字）としての試料ホルダの配置情報を生成する。例えば図３（ｃ）に示すように、試料ホルダの装着位置ｇ11であれば、ネジ穴座標Ｘ＝２０，Ｙ＝２０から、ステージ座標Ｘ'＝２０−５＝１５，Ｙ'＝２０−５＝１５となる。次に、ステップＳ１３３において、ホルダ配置図生成手段２２３は、データ（数字）としての試料ホルダの配置情報からホルダ配置図を画像として生成し、ステージマップ表示手段２２６に送信する。
【００２５】
（ハ）次に、ステップＳ１２２において、分析者が電子顕微鏡の倍率や測定領域の大きさ等を考慮して、コントローラ２ａの入力装置２４を介して、適切なマトリクスサイズのステージマップ図を選択する。ステップＳ１３４で、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのステージマップ図切換手段２２１は、入力装置２４を介して選択されたステージマップ図の識別情報を取得する。ステップＳ１３５において、ステージマップ図切換手段２２１は、取得したステージマップ図の識別情報を基に、ステージマップ図記憶装置２７から選択されたステージマップ図を読み出し、ステージマップ表示手段２２６に送信する（なお、必要に応じて、この段階でステージマップ表示手段２２６が、受信したステージマップ図を、表示装置２６の画面において表示させるようにしてもよい）。
【００２６】
（ニ）次に、ステップＳ１２３ａにおいて、分析者が、コントローラ２ａの入力装置２４を介して、マップ座標（マップウィンドウ）を指定すると、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのマップ座標/ステージ座標変換手段２２４は、入力されたマップ座標を、マッピングにより走査される範囲（領域）のステージ座標に変換し、ステージ制御手段２２７に送信する。又は、ステップＳ１２３ｂにおいて、分析者が、マップ座標を用いずに、コントローラ２ａの入力装置２４を介して、移動先ステージ座標を直接入力すれば、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのステージ制御手段２２７は、入力された移動先ステージ座標を直接取得する。ステップＳ１３６において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのステージ制御手段２２７は取得した移動先ステージ座標を、移動先ステージ座標記憶装置３９に格納する。
【００２７】
（ホ）鏡筒の試料室の内部が規定の到達圧力に到達したら、測定手段１２の電子銃を起動し、所望の加速電圧に設定する。次に、ステップＳ１３７において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのステージ制御手段２２７は、ステージ駆動プログラムに従い、移動先ステージ座標記憶装置３９から、最初に移動する移動先ステージ座標を読み出し、読み出した移動先ステージ座標と共に、ステージの移動命令（ステージ駆動信号）を測定ユニット１のステージ駆動手段１１に送信する。測定ユニット１では、ステップＳ１０４において、ステージ駆動手段１１が、コントローラ２ａのステージ制御手段２２７から送信される移動先ステージ座標と、この移動先ステージ座標への移動命令に基づいて、試料ステージ１９を移動先ステージ座標ヘ移動する。この後、ステップＳ１０５において、ステージ駆動手段１１が移動した試料ステージ１９の移動先ステージ座標を分析位置として、測定手段１２が試料ホルダに収納された被測定試料に対して電子ビームを走査し、測定（マッピング分析）を実施する。
【００２８】
（ヘ）この測定と同時、もしくは対象としたマップ座標の測定の終了後に、ステップＳ１３８において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのステージ座標/マップ座標変換手段２２５は、ステップＳ１０５での測定に対応する現在のステージ座標をマップ座標へと変換する。更に、ステップＳ１３８では、ステージマップ表示手段２２６が、ステージマップ図切換手段２２１から送信されたステージマップ図と、ホルダ配置図生成手段２２３から送信されたホルダ配置図とを合成し、更に、現在の測定領域に対し現在位置のマーカーを、ステージマップ図上で合成する。その後、ステップＳ１３９において、ステージマップ表示手段２２６は、合成したステージマップ図を表示装置２６の画面に表示させる。この際、表面形状像や元素分析像等の２次元画像とステージマップ図とを重ね合わせて表示装置２６に表示してもよく、測定された２次元画像とステージマップ図とを、上下、又は左右に並べて表示してもよい。その後、ステップＳ１４０において、分析者は、指定されたすべてのステージ座標で測定が実行されたかどうかを確認し、すべてのステージ座標で測定が実行されていなければ、ステップＳ１３７に戻り、次の移動先ステージ座標に移動して、ステップＳ１３７〜Ｓ１４０までの処理手順を繰り返す。
【００２９】
図３に、ホルダ装着位置情報の一例を示す。図３（ａ）は、破線（かくれ線）で示した試料ステージ１９の上にホルダベース４４を搭載した状態を示している。試料ステージ１９は、ステージ基準位置（原点）（ｘ＝０，ｙ＝０）４１から、試料交換位置（ｘ＝９０，ｙ＝０付近）４２まで、Ｘ軸方向に９０ｍｍ、及び図３（ａ）に示したＹ軸方向に９０ｍｍ移動可能である。図３（ａ）に示した例では、ホルダベース４４上に１８個の試料ホルダの装着位置ｇ11〜ｇ28が割り振ってある。
【００３０】
図３（ｂ）には、図３（ａ）に示したホルダベース４４の情報として、ホルダベース名（ホルダベース種類の識別情報）、ホルダベースサイズＸ、ホルダベースサイズＹ、原点座標Ｘ及び原点座標Ｙが示されている。即ち、図３（ａ）で用いられているホルダベース４３のホルダベース名（ホルダベース種類の識別情報）は、標準ホルダベースであり、ホルダベースサイズはＸ＝１００ｍｍ、Ｙ＝１００ｍｍで、又、ステージ基準位置（原点）４１に対するホルダベース基準位置４９の座標はＸ＝−５、Ｙ＝−５であることが示されている。
【００３１】
加えて、図３（ｃ）には、図３（ａ）で示しているホルダの装着位置ｇ11〜ｇ28のネジ穴座標（装着位置座標）に対応したステージ座標値が表で示してあり、分析位置がマトリクス上にそれぞれ定義されている。例えば、装着位置ｇ11のネジ穴座標（装着位置座標）（Ｘ＝２０，Ｙ＝２０）は、ステージ座標（Ｘ'＝１５，Ｙ'＝１５）に対応することが分かる。同様に、装着位置ｇ12〜ｇ28のネジ穴座標（装着位置座標）の値から、Ｘ座標、Ｙ座標ともに５ずつ差し引いた値がステージ座標となる。図３（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すホルダ装着位置情報は、ホルダベースの種類毎に装着位置座標記憶装置２８に格納されており、対象となるホルダベースの識別情報（ホルダベース名）を入力すれば、表示装置２６に表示させることができる。
【００３２】
図４に、ステージマップ表示情報の一例を示す。図４（ａ）には、図３（ｂ）においても示したように、ホルダベースの情報として、ホルダベース名（ホルダベース種類の識別情報）、ホルダベースサイズＸ、ホルダベースサイズＹ、原点座標Ｘ及び原点座標Ｙに関する情報が表示されている。即ち、ホルダベースのホルダベース名（ホルダベース種類の識別情報）が、標準ホルダベースであり、ホルダベースサイズがＸ＝１００ｍｍ、Ｙ＝１００ｍｍで、又、ステージ基準位置（原点）４１に対するホルダベース基準位置４９の座標がＸ＝−５、Ｙ＝−５である。又、図４（ｂ）には、試料ホルダの装着位置情報として、装着位置ｇ11における試料ホルダの種類（ＩＤ）、ネジ穴座標（装着位置座標）（Ｘ，Ｙ）、ステージ座標（Ｘ’，Ｙ’）の情報がそれぞれ表示されている。図４（ｃ）には、図４（ｂ）で示した試料ホルダに固定されている被測定試料の名前（サンプル名）や形状等に関する情報が表示されている。図４（ｄ）は、ホルダの装着位置情報として、装着位置ｇ12において試料ホルダが装着されていないことを示している。即ち、この場合は、”ホルダなし”と表示され、ネジ穴座標及びステージ座標は表示されない。図４（ｅ）には、試料ホルダの装着位置情報として、装着位置ｇ13における試料ホルダの種類（ＩＤ）、ネジ穴座標（装着位置座標）（Ｘ，Ｙ）、ステージ座標（Ｘ’，Ｙ’）の情報がそれぞれ表示されている。図４（ｆ）には、図４（ｅ）で示した試料ホルダに固定されている被測定試料の名前や形状等に関する情報が表示されている。
【００３３】
次に、図５のフローチャートを用いて、ホルダベース上におけるホルダの選択方法の一例を説明する。
【００３４】
（イ）まず、分析者は、ステップＳ１１において、ホルダベースとして、例えば図３（ｂ），（ｃ）に示した標準ホルダベースを選択する。
【００３５】
（ロ）次に、分析者は、ステップＳ１２において、ホルダベースの装着位置として、例えば、図３（ａ），（ｃ）に示した装着位置ｇ11を選択する。
【００３６】
（ハ）更に、分析者は、ステップＳ１３において、選択されたホルダベースに装着するホルダとして、例えばサンプルホルダ１０−Ｂを選択（図６参照。）し、その後は、図２に示したステップＳ１３１へと進む。
【００３７】
図６には、図５で示した方法によって表示されるホルダ配置情報の一例を示している。ホルダベース名として標準ホルダベースが示され、装着位置として、装着位置ｇ11，ｇ12，ｇ13…が示されている。更に、各装着位置ｇ11，ｇ12，ｇ13において、装着位置ｇ11，ｇ13にはサンプルホルダ１０−Ｂ，サンプルホルダ３２がそれぞれ装着されていて、装着位置ｇ12にはホルダが装着されていないことが示されている。
【００３８】
図７には、ホルダベースにおける各装着位置ｇ11，ｇ12，ｇ13…でのホルダ装着状態の有無を表記する方法の一例を示している。ホルダベースの種類（ＩＤ）毎に、各装着位置でのホルダ装着状態の有無を一覧として表示することができる。
【００３９】
図８（ａ），（ｂ）は、横軸をＸ、縦軸をＹとしたときの、ホルダ装着位置情報の他の例を示し、このホルダ装着位置情報を基礎に、ホルダベース４４にどの試料ホルダをどこの装着位置座標に装着しているのかを示す試料ホルダの配置情報が作成される。図８（ａ）に示すホルダ装着位置情報おいては、ホルダベース４４はｍ11〜ｍ21の１１箇所のホルダ装着位置に、試料ホルダが配置可能であることが示されている。ｍ11，ｍ12，ｍ13は、等間隔で順番に並んでおり、Ｘ軸に対して並行である。同様に、ｍ15，ｍ16，ｍ17も、等間隔で順番に並んでおり、Ｘ軸に対して並行である。又、ｍ19，ｍ20，ｍ21も同様の条件で並んでいる。加えて、ｍ11とｍ15とｍ19はＹ軸方向にも順番に並んでおり、ｍ12とｍ16とｍ20、及びｍ13とｍ17とｍ21もそれぞれ同様の条件で並んでいる。更に、ｍ14は、ｍ11とｍ16を直線で結び、ｍ12とｍ15を直線で結んだときにできる直線と直線の交点の付近に位置している。又、同様に、ｍ18も、ｍ16とｍ17を直線で結び、ｍ20とｍ21を直線で結んだときの直線と直線の交点の付近に位置している。
【００４０】
図８（ｂ）に示すホルダ装着位置情報においては、ホルダベース４４はｎ11〜ｎ15の５箇所のホルダ装着位置に試料ホルダが配置可能であることが示されている。ｎ11とｎ12はＸ軸と並行に順番に並んでおり、同様にｎ14とｎ15もＸ軸と並行に順番に並んでいる。加えて、ｎ11とｎ14はＹ軸方向に順番に並んでおり、同様に、ｎ12とｎ15もＹ軸方向に順番に並んでいる。又、ｎ13は、ｎ11とｎ15を結んだ直線と、ｎ12とｎ14を結んだ直線との交点付近に位置している。図８（ａ），（ｂ）に示すホルダ装着位置情報は、ホルダベースの種類毎に分類して装着位置座標記憶装置２８に格納されており、対象となるホルダベースの識別情報を入力すれば、表示装置２６に表示させることができる。又、表示装置２６上で画面をクリックして選択することも可能である。
【００４１】
図９は、試料ホルダの種類毎の形状情報の一例として、円形の試料ホルダ８１を示す。図９（ａ）は、試料ホルダ８１の斜視図であり、図９（ｂ）は試料ホルダ８１の上面図である。試料ホルダ８１は、円形の底面６３と、内側に被測定試料を収納できる空間を形成する円筒形状の側壁６１と、ホルダベースに試料ホルダを固定するための押しネジ６２等を備える。
【００４２】
図１０は、試料ホルダの種類毎の形状情報の他の例として、矩形の試料ホルダ８３を示す。図１０（ａ）は試料ホルダ８３の斜視図であり、図１０（ｂ）は試料ホルダ８３の上面図である。試料ホルダ８３は、四角形の底面７３と、内側に被測定試料７８を固定できる空間を形成する１対の側壁７１とによりコの字形状をなし、底面７３にホルダベースに試料ホルダを固定するための押しネジ７２等を備える。
【００４３】
図１１においては、ホルダ配置図の表示例の一例を示している。１１箇所のホルダ装着位置ｑ11〜ｑ21を有するホルダベース４４上において、ホルダ装着位置ｑ11，ｑ12，ｑ15及びｑ16に、円形の試料ホルダ８１，８２，８４及び８５がそれぞれ固定されており、ホルダ装着位置ｑ13とｑ17には、矩形の試料ホルダ８３と８６がそれぞれ固定されている。又、他のホルダ装着位置ｑ14，ｑ18，ｑ19，ｑ20，ｑ21には試料ホルダは装着されていないことも確認できる。図２７に示した従来のホルダ配置図では、形状が不明の試料ホルダ２０１〜２０９が、マトリクス状に分割されたステージマップ内において均等に表示されているのみであるが、図１１では、ホルダ装着位置、固定されている試料ホルダの位置及び形状等を示す試料ホルダの配置情報（ホルダ配置図）が、ステージマップ図上においてより詳しく表示されていることが分かる。又、ステージマップ図を切り換えることにより、現在測定中の試料ホルダの拡大図や、被測定試料の拡大図を得ることも可能である。
【００４４】
上記のように、本発明の第１の実施の形態に係る表面分析装置及びステージマップ図の表示方法によれば、分析者は、ホルダベース上における異なる種類の複数の試料ホルダの形状を含めた、被測定試料の配置状態が表示されたステージマップ図を得ることができるので、従来の方法に比べて、それぞれの被測定試料の現在位置、試料ホルダの形状、分析の進行状況等を簡単に画面上で把握することが容易になる。
【００４５】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態に係る表面分析装置の基本構成は、概略としては第１の実施の形態と基本的に同様であり、図１２に示すように、電子線を試料ホルダに収納された被測定試料に照射して、被測定試料の表面分析を実施する測定ユニット１と、測定ユニット１に接続され、測定ユニット１を制御し、且つ分析結果やステージマップ図等の必要な情報を表示させる演算処理を実行するコントローラ２ｂとを備える。ここで、測定ユニット１に関しては第１の実施の形態と実質的に同様であるので、重複した記載を省略する。
【００４６】
コントローラ２ｂは、分析者がデータや必要な指示を入力する入力装置２４と、分析結果やステージマップ図等を出力する出力装置２５及び分析結果やステージマップ図等を表示する表示装置２６と、コントローラ２ｂと測定ユニット１との間のデータのやりとりを仲介する入出力インターフェース２１と、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂと、ステージマップ図を記憶するステージマップ図記憶装置２７と、試料ホルダの装着位置座標を記憶する装着位置座標記憶装置２８と、試料ホルダの形状を記憶する形状記憶装置２９と、試料ホルダの配置情報を記憶するホルダ配置情報記憶装置３０と、マップ表示情報を記憶するマップ表示情報記憶装置３３と、移動先のステージ座標を記憶する移動先ステージ座標記憶装置３９と、入力装置２４、出力装置２５及び表示装置２６が、それぞれ演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂとデータの送受信をする際に仲介する入出力インターフェース２３とを備える点では第１の実施の形態とほぼ同様である。
【００４７】
しかし、本発明の第２の実施の形態に係る表面分析装置は、図１２に示すように、コントローラ２ｂにおいて、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂが、論理構造として、現在のステージ座標と配置情報に基づいて、現在のステージ座標を内包する該当ホルダが存在するか否かを判定する該当ホルダ判定手段２２８と、現在のステージ座標を内包する該当ホルダが存在すると判定された場合、該当ホルダのホルダ登録情報をホルダ配置情報記憶装置３０から読み出し、表示装置２６に表示させる該当ホルダ登録情報表示手段２２９とを含んでいる点で、第１の実施の形態に係る表面分析装置とは異なる。
【００４８】
該当ホルダ判定手段２２８は、現在のステージ座標と配置情報に基づいて、現在のステージ座標（分析位置）を内包する該当ホルダが存在するか否かを判定し、その結果を該当ホルダ登録情報表示手段２２９に送信する。該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、現在のステージ座標（分析位置）を内包する該当ホルダが存在すると判定された場合、該当ホルダのホルダ登録情報をホルダ配置情報記憶装置３０から読み出し、表示装置２６の画面において表示する。該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、ホルダ登録情報を分析実行時に生成される分析データの情報の一部に自動的に取り込む機能を有するようにしてもよい。なお、該当ホルダ判定手段２２８が、ホルダ配置情報生成手段２２２が生成したデータ（数字）としての試料ホルダの配置情報と、移動先ステージ座標記憶装置３９から読み出した移動先のステージ座標とを基に、それぞれの試料ホルダの占有する領域が、複数の分析位置を含む大きさを有する大型試料ホルダの存在を判定した場合、該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、複数の分析位置を含む大型試料ホルダを該当ホルダとして表示装置２６の画面に表示する。
【００４９】
なお、第１の実施の形態に係る表面分析装置で説明したのと同様に、図１２は、論理的な構成を示すブロック図であるので、ステージマップ図記憶装置２７、装着位置座標記憶装置２８、形状記憶装置２９、ホルダ配置情報記憶装置３０、マップ表示情報記憶装置３３、移動先ステージ座標記憶装置３９は、物理的には演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂの内部に内蔵されていても、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂの外部に接続されていても構わない。他は、第１の実施の形態と実質的に同様であるので、重複した記載を省略する。
【００５０】
本発明の第２の実施の形態に係る表面分析装置は、上記のように構成されており、該当ホルダ判定手段２２８と、該当ホルダ登録情報表示手段２２９とを含むことにより、表面分析装置は、現在の分析位置がどの試料ホルダに含まれているかを判定することが可能となり、現在の分析位置を含む該当ホルダの構造情報を容易に得ることが可能になる。
【００５１】
次に、図１３のフローチャートを用いて、本発明の第２の実施の形態に係るステージマップ図の表示方法の一例について説明する。
【００５２】
（イ）第１の実施の形態と同様に、表面分析装置の使用者が、ステップＳ２０１において、被測定試料を、例えば、図１４に示す試料ホルダ１１１〜１１６にそれぞれ固定する。試料ステージ１９をホルダベース交換位置まで移動し、ロードロック機構等を利用して、鏡筒に接続されたロードロック室（試料準備室）に、鏡筒からホルダベース４４を移動し、ロードロック室の内部を大気開放して、ホルダベース４４を試料室から取り出す。ステップＳ２０２において、試料ホルダ１１１〜１１６を、図１４に示すようにホルダベース４４に装着する。
【００５３】
（ロ）次に、分析者は、ステップＳ２２１において、ホルダベース種類の識別情報、試料ホルダの種類の識別情報、及びホルダ装着位置に関する情報を、コントローラ２ｂの入力装置２４を介して入力する。ロードロック室のドアを閉めて、ロードロック室を真空排気し、ロードロック室の内部が予め規定した到達圧力に到達するまで待機する。ロードロック室の内部が到達圧力に到達したら、ロードロック機構等を利用して、ステップＳ２０３で、ホルダベース４４を鏡筒の試料ステージ１９上に移動する。ステップＳ２３１において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのマップ表示情報生成手段２３１は、入力装置２４を介して入力されたホルダベース種類の識別情報、試料ホルダの種類の識別情報、及びホルダ装着位置に関する情報を取得する。マップ表示情報生成手段２３１は、取得した情報を基に、装着位置座標記憶装置２８から、取得したホルダベースの識別情報に対応するホルダベース４４を検索し、試料ステージ１９に搭載されている現在のホルダベース４４のホルダ装着位置座標を読み出す。加えて、マップ表示情報生成手段２３１は、形状記憶装置２９から、取得した試料ホルダの種類の識別情報に対応して試料ホルダの形状情報をそれぞれ読み出し、マップ表示情報（図４参照。）を生成し、マップ表示情報記憶装置３３に格納する。次に、ステップＳ２３２において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのホルダ配置情報生成手段２２２は、マップ表示情報記憶装置３３から、ホルダベース、ホルダベースの装着位置、及び試料ホルダの形状情報をそれぞれ読み出し、データ（数字）としての試料ホルダの配置情報を生成する。次に、ステップＳ２３３において、ホルダ配置図生成手段２２３は、データ（数字）としての試料ホルダの配置情報からホルダ配置図を画像として生成し、ステージマップ表示手段２２６に送信する。
【００５４】
（ハ）次に、ステップＳ２２２において、分析者が電子顕微鏡の倍率や測定領域の大きさ等を考慮して、コントローラ２ｂの入力装置２４を介して、適切なマトリクスサイズのステージマップ図を選択する。ステップＳ２３４で、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージマップ図切換手段２２１は、入力装置２４を介して選択されたステージマップ図の識別情報を取得する。ステップＳ２３５において、ステージマップ図切換手段２２１は、取得したステージマップ図の識別情報を基に、ステージマップ図記憶装置２７から選択されたステージマップ図を読み出し、ステージマップ表示手段２２６に送信する（なお、必要に応じて、この段階でステージマップ表示手段２２６が、受信したステージマップ図を、表示装置２６の画面において表示させるようにしてもよい）。
【００５５】
（ニ）次に、ステップＳ２２３ａにおいて、分析者が、コントローラ２ｂの入力装置２４を介して、マップ座標（マップウィンドウ）を指定すると、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのマップ座標/ステージ座標変換手段２２４は、入力されたマップ座標を、マッピングにより走査される範囲（領域）のステージ座標に変換し、ステージ制御手段２２７に送信する。又は、ステップＳ２２３ｂにおいて、分析者が、マップ座標を用いずに、コントローラ２ｂの入力装置２４を介して、移動先ステージ座標を直接入力すれば、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ制御手段２２７は、入力された移動先ステージ座標を直接取得する。ステップＳ２３６において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ制御手段２２７は取得した移動先ステージ座標を、移動先ステージ座標記憶装置３９に格納する。
【００５６】
（ホ）鏡筒の試料室の内部が規定の到達圧力に到達したら、測定手段１２の電子銃を起動し、所望の加速電圧に設定する。次に、ステップＳ２３７において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ制御手段２２７は、ステージ駆動プログラムに従い、移動先ステージ座標記憶装置３９から、最初に移動する移動先ステージ座標を読み出し、読み出した移動先ステージ座標と共に、ステージの移動命令（ステージ駆動信号）を測定ユニット１のステージ駆動手段１１に送信する。測定ユニット１では、ステップＳ２０４において、ステージ駆動手段１１が、コントローラ２ｂのステージ制御手段２２７から送信される移動先ステージ座標と、この移動先ステージ座標への移動命令に基づいて、試料ステージ１９を移動先ステージ座標ヘ移動する。その後、ステップＳ２０５において、ステージ駆動手段１１が移動した試料ステージ１９の移動先ステージ座標を分析位置として、測定手段１２が試料ホルダに収納された被測定試料に対して電子ビームを走査し、測定（マッピング分析）を実施する。
【００５７】
（ヘ）この測定と同時、もしくは対象としたマップ座標の測定の終了後に、ステップＳ２３８において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ座標/マップ座標変換手段２２５は、ステップＳ２０５での測定に対応する現在のステージ座標（分析位置）をマップ座標へと変換する。更に、ステップＳ２３８では、ステージマップ表示手段２２６が、ステージマップ図切換手段２２１から送信されたステージマップ図と、ホルダ配置図生成手段２２３から送信されたホルダ配置図とを合成し、更に、現在の測定領域に対し、現在位置のマーカーをステージマップ図上で合成する。その後、ステップＳ２３９において、ステージマップ表示手段２２６は、合成したステージマップ図を表示装置２６の画面に表示させる。この際、表面形状像や元素分析像等の２次元画像とステージマップ図とを重ね合わせて表示装置２６に表示してもよく、測定された２次元画像とステージマップ図とを、上下、又は左右に並べて表示してもよい。
【００５８】
（ト）更に、ステップＳ２４０において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂの該当ホルダ判定手段２２８は、移動先ステージ座標記憶装置３９から、測定領域の現在のステージ座標（分析位置）を読み出し、ステップＳ２３２でホルダ配置情報生成手段２２２が生成したデータ（数字）としての試料ホルダの配置情報と比較することにより、現在のステージ座標（分析位置）を内包する該当ホルダが存在するか否かを判定する。現在のステージ座標（分析位置）を内包する該当ホルダが存在する場合は、ステップＳ２４１において、該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、該当ホルダの構造情報を、表示装置２６の画面に表示する。ステップＳ２４０において、該当ホルダ判定手段２２８が、複数の分析位置を含む大型試料ホルダが存在すると判定した場合、ステップＳ２４１において、該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、複数の分析位置を含む大型試料ホルダの構造情報を、ホルダ配置情報記憶装置３０から読み出し、表示装置２６の画面に該当ホルダの情報として表示する。その後、ステップＳ２４２において、分析者は、指定されたすべてのステージ座標で測定が実行されたかどうかを確認し、すべてのステージ座標で測定が実行されていなければ、ステップＳ２３７に戻り、次の移動先ステージ座標に移動して、ステップＳ２３７〜Ｓ２４２までの処理手順を繰り返す。
【００５９】
図１４では、１１箇所のホルダ装着位置ｒ１１〜ｒ２１を有するホルダベース４４上において、矩形の試料ホルダ１１２と１１３は、ホルダ装着位置ｒ13とｒ17にそれぞれ固定されており、円形の試料ホルダ１１４，１１５，１１６は、ホルダ装着位置ｒ19，ｒ20，ｒ21にそれぞれ固定され、ホルダ装着位置ｒ18には試料ホルダは装着されていない。
【００６０】
本発明の第２の実施の形態に係る表面分析装置及びステージマップ図の表示方法によれば、図１４に示すように、円形の大型試料ホルダ１１１が、５箇所のホルダ装着位置ｒ11，ｒ12，ｒ14，ｒ15，ｒ16を内包した状態で固定されていることが示され、大きさが異なる試料ホルダを同じホルダベース上に装着した場合であっても、試料ホルダの配置情報を認識し、複数の分析位置を含む大型試料ホルダを該当ホルダとして表示することが可能となる。又、ステージマップ図を切り換えることにより、現在測定中の試料ホルダの拡大図や、被測定試料の拡大図を得ることも可能である。
【００６１】
上記のように、本発明の第２の実施の形態に係る表面分析装置及びステージマップ図の表示方法によれば、現在のホルダ装着位置の座標を含む（即ち、現在の分析位置を含む）該当ホルダの存在を検知して、この該当ホルダの構造情報を表示することが可能であるので、分析者は、ホルダベース上における異なる種類の複数の試料ホルダの大きさ及び構造を含めた、被測定試料の配置情報が表示されたステージマップ図を得ることができ、それぞれの試料ホルダの現在位置、形状、大きさ、構造、分析の進行状況等の、第１の実施の形態に比し、より複雑な情報に関しても、画面上で把握することが容易になる。
【００６２】
（第３の実施の形態）
第２の実施の形態に係る表面分析装置においては、現在の分析位置を内包する該当ホルダが存在する場合、その該当ホルダの構造を示す構造情報を表示する例を説明した。本発明の第３の実施の形態に係る表面分析装置においては、試料ホルダの単なる構造情報だけでなく、試料ホルダに収納された被測定試料の固有情報までを含む、その試料ホルダが関与する包括的な固有情報であるホルダ登録情報を表示する場合を説明する。
【００６３】
図１５（ａ）には、複数の分析位置を含む大型試料ホルダの形状（構造情報）の一例として、ホルダベース４４への装着部位である押しネジ１２６を備える矩形の大型試料ホルダ１２１の上に、大型試料ホルダ１２１と比較してサイズの小さい４つの矩形の試料ホルダ１２２〜１２５が、均等に装着された２重構造をしている複数の分析位置を含む大型試料ホルダを示している。ここで、押しネジ１２６の中心部分は、中心位置座標（１５，１５）と設定されている。矩形の大型試料ホルダ１２１上の試料ホルダ１２２〜１２５の取付け座標は、中心位置座標（１５，１５）からの距離で定義される。例えば、矩形の試料ホルダ１２２の取付け位置（８，８）は、中心位置座標（１５，１５）からの距離で取付け座標（−７，−７）と示される。
【００６４】
図１５（ｃ）には、矩形の試料ホルダ１２２〜１２５の内、例として、試料ホルダ１２２の形状を示している。試料ホルダ１２２は、縦１０ｍｍ、横１０ｍｍの正方形の形状をとっている。又、その他の試料ホルダ１２３〜１２５も試料ホルダ１２２と同様の形状をとる。
【００６５】
図１５（ｂ）は、図１５（ａ）に示した大型試料ホルダ１２１のホルダ登録情報の一例を示す。図１５（ｂ）の最上欄には、ホルダ登録情報の一つとしてのホルダタイプ名をサンプルホルダ１０−Ｂとして表示している。又、４つの矩形の試料ホルダ１２２〜１２５に固定されているサンプル（被測定試料）に関する情報もそれぞれホルダ登録情報として表示している。矩形の試料ホルダ１２２のホルダ登録情報は、サンプル名として未設定（左上）、サンプル形状として矩形、取付け座標Ｘとして”−７”、取付け座標Ｙとして”−７”、サンプルの横幅として”１０”、サンプルの縦幅として”１０”をそれぞれ表示している。矩形の試料ホルダ１２３のホルダ登録情報は、サンプル名として未設定（右上）、サンプル形状として矩形、取付座標Ｘとして”７”、取付座標Ｙとして”−７”、サンプルの横幅として”１０”、サンプルの縦幅として”１０”をそれぞれ表示している。矩形の試料ホルダ１２４のホルダ登録情報は、サンプル名として未設定（左下）、サンプル形状として矩形、取付座標Ｘとして”−７”、取付座標Ｙとして”７”、サンプルの横幅として”１０”、サンプルの縦幅として”１０”をそれぞれ表示している。矩形の試料ホルダ１２５のホルダ登録情報は、サンプル名として未設定（右下）、サンプル形状として矩形、取付座標Ｘとして”７”、取付座標Ｙとして”７”、サンプルの横幅として”１０”、サンプルの縦幅として”１０”をそれぞれ表示している。
【００６６】
本発明の第３の実施の形態に係る表面分析装置は、図１６に示すように、電子線を試料ホルダに収納された被測定試料に照射して、被測定試料の表面分析を実施する測定ユニット１と測定ユニット１に接続され、測定ユニット１を制御し、且つ分析結果やステージマップ図等の必要な情報を表示させる演算処理を実行するコントローラ２ｃとを備える。ここで、測定ユニット１に関しては第１及び第２の実施の形態と同様であるので、重複した記載を省略する。
【００６７】
コントローラ２ｃは、分析者がデータや必要な指示を入力する入力装置２４と、分析結果やステージマップ図等を出力する出力装置２５及び分析結果やステージマップ図等を表示する表示装置２６と、コントローラ２ｃと測定ユニット１との間のデータのやりとりを仲介する入出力インターフェース２１と、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂと、ステージマップ図を記憶するステージマップ図記憶装置２７と、ホルダの装着位置座標を記憶する装着位置座標記憶装置２８と、ホルダの形状を記憶する形状記憶装置２９と、試料ホルダの配置情報を記憶するホルダ配置情報記憶装置３０と、マップ表示情報を記憶するマップ表示情報記憶装置３３と、移動先のステージ座標を記憶する移動先ステージ座標記憶装置３９と、入力装置２４、出力装置２５及び表示装置２６が、それぞれ演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂとデータの送受信をする際に仲介する入出力インターフェース２３とを備える点では第２の実施の形態とほぼ同様である。
【００６８】
しかし、本発明の第３の実施の形態に係る表面分析装置は、図１６に示すように、コントローラ２ｃにおいて、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂが、論理構造として、ホルダベース４４上での試料ホルダの配置情報と、測定領域のステージ座標に基づいて、現在の分析位置を内包する試料ホルダが存在するか否かを判定する該当ホルダ判定手段２２８と、現在の分析位置を内包する該当ホルダがある場合に、現在の分析位置を内包する該当ホルダのホルダ登録情報を表示する該当ホルダ登録情報表示手段２２９とを含む点で第１の実施の形態に係る表面分析装置と異なる。更に、それに加えて、試料ホルダの固有情報と、試料ホルダに収納されている被測定試料の名前等の被測定試料の固有情報を含むホルダ登録情報を記憶しているホルダ登録情報記憶装置３１を含んでいる点で、第２の実施の形態に係る表面分析装置とも異なる。
【００６９】
該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、現在の分析位置を内包する該当ホルダのホルダ登録情報を表示する際に、現在の分析位置を内包する該当ホルダに固定されている被測定試料の固有情報もホルダ登録情報の一部としてホルダ登録情報記憶装置３１から読み出して、表示装置２６の画面において表示する。該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、ホルダ登録情報を分析実行時に生成される分析データの情報の一部に自動的に取り込む機能を有するようにしてもよい。なお、第１及び第２の実施の形態に係る表面分析装置で説明したのと同様に、図１６は、論理的な構成を示すブロック図であるので、ステージマップ図記憶装置２７、装着位置座標記憶装置２８、形状記憶装置２９、ホルダ配置情報記憶装置３０、マップ表示情報記憶装置３３、移動先ステージ座標記憶装置３９、ホルダ登録情報記憶装置３１は、物理的には演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂの内部に内蔵されていても、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂの外部に接続されていても構わない。他は、第１及び第２の実施の形態と実質的に同様であるので、重複した記載を省略する。
【００７０】
本発明の第３の実施の形態に係る表面分析装置は、上記のように構成されており、該当ホルダ判定手段２２８と、該当ホルダ登録情報表示手段２２９とを含むことにより、表面分析装置は、現在の分析位置が試料ホルダに含まれているかを判定することが可能となり、測定領域座標から、分析位置に配置されているホルダの登録情報を容易に得ることが可能になる。更に、それに加えて、ホルダ登録情報記憶装置３１を含むことにより、試料ホルダに収納されている被測定試料の名前等の被測定試料の固有情報をも、ホルダ登録情報の一部として容易に得ることが可能となる。
【００７１】
次に、図１７のフローチャートを用いて、本発明の第３の実施の形態に係るステージマップ図の表示方法の一例について説明する。
【００７２】
（イ）第１及び第２の実施の形態と同様に、表面分析装置の使用者が、ステップＳ３０１において、被測定試料を、例えば、図１５，１８〜２３に示す試料ホルダ１２１，１４１，１５１，１６１，１７１，１８１，１９１の内の一つあるいは複数に固定する。試料ステージ１９をホルダベース交換位置まで移動し、ロードロック機構等を利用して、鏡筒に接続されたロードロック室（試料準備室）にホルダベース４４を移動し、ロードロック室の内部を大気開放して、ホルダベース４４を試料室から取り出す。ステップＳ３０２において、試料ホルダ１２１，１４１，１５１，１６１，１７１，１８１，１９１の内の一つあるいは複数を、ホルダベース４４に装着する。
【００７３】
（ロ）次に、分析者は、ステップＳ３２１において、ホルダベース種類の識別情報、試料ホルダの種類の識別情報、及びホルダ装着位置に関する情報を、コントローラ２ｃの入力装置２４を介して入力する。ロードロック室のドアを閉めて、ロードロック室を真空排気し、予め規定した到達圧力に到達するまで待機する。到達圧力に到達したら、ロードロック機構等を利用して、ステップＳ３０３で、ホルダベース４４を鏡筒の試料ステージ１９上に移動する。ステップＳ３３１において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ａのマップ表示情報生成手段２３１は、入力装置２４を介して入力されたホルダベース種類の識別情報、試料ホルダの種類の識別情報、及びホルダ装着位置に関する情報を取得する。マップ表示情報生成手段２３１は、取得した情報を基に、装着位置座標記憶装置２８から、取得したホルダベースの識別情報に対応するホルダベース４４を検索し、試料ステージ１９に搭載されている現在のホルダベース４４のホルダ装着位置座標を読み出す。加えて、マップ表示情報生成手段２３１は、形状記憶装置２９から、取得した試料ホルダの種類の識別情報に対応して試料ホルダの形状情報をそれぞれ読み出し、マップ表示情報（図４参照。）を生成し、マップ表示情報記憶装置３３に格納する。次に、ステップＳ３３２において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのホルダ配置情報生成手段２２２は、マップ表示情報記憶装置３３から、ホルダベース、ホルダベースの装着位置、及び試料ホルダの形状情報をそれぞれ読み出し、データ（数字）としての試料ホルダの配置情報を生成する。次に、ステップＳ３３３において、ホルダ配置図生成手段２２３は、データ（数字）としての試料ホルダの配置情報からホルダ配置図を画像として生成し、ステージマップ表示手段２２６に送信する。
【００７４】
（ハ）次に、ステップＳ３２２において、分析者が、電子顕微鏡の倍率や測定領域の大きさ等を考慮して、コントローラ２ｃの入力装置２４を介して、適切なマトリクスサイズのステージマップ図を選択する。ステップＳ３３４で、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージマップ図切換手段２２１は、入力装置２４を介して選択されたステージマップ図の識別情報を取得する。ステップＳ３３５において、ステージマップ図切換手段２２１は、取得したステージマップ図の識別情報を基に、ステージマップ図記憶装置２７から選択されたステージマップ図を読み出し、ステージマップ表示手段２２６に送信する（なお、必要に応じて、この段階でステージマップ表示手段２２６が、受信したステージマップ図を、表示装置２６の画面において表示させるようにしてもよい）。
【００７５】
（ニ）次に、ステップＳ３２３ａにおいて、分析者が、コントローラ２ｃの入力装置２４を介して、マップ座標（マップウィンドウ）を指定すると、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのマップ座標/ステージ座標変換手段２２４は、入力されたマップ座標を、マッピングにより走査される範囲（領域）のステージ座標に変換し、ステージ制御手段２２７に送信する。又は、ステップＳ３２３ｂにおいて、分析者が、マップ座標を用いずに、コントローラ２ｃの入力装置２４を介して、移動先ステージ座標を直接入力すれば、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ制御手段２２７は、入力された移動先ステージ座標を直接取得する。ステップＳ３３６において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ制御手段２２７は取得した移動先ステージ座標を、移動先ステージ座標記憶装置３９に格納する。
【００７６】
（ホ）鏡筒の試料室の内部が規定の到達圧力に到達したら、測定手段１２の電子銃を起動し、所望の加速電圧に設定する。次に、ステップＳ３３７において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ制御手段２２７は、ステージ駆動プログラムに従い、移動先ステージ座標記憶装置３９から、最初に移動する移動先ステージ座標を読み出し、読み出した移動先ステージ座標と共に、ステージの移動命令（ステージ駆動信号）を測定ユニット１のステージ駆動手段１１に送信する。測定ユニット１では、ステップＳ３０４において、ステージ駆動手段１１が、コントローラ２ｃのステージ制御手段２２７から送信される移動先ステージ座標と、この移動先ステージ座標への移動命令に基づいて、試料ステージ１９を移動先ステージ座標ヘ移動する。その後、ステップＳ３０５において、ステージ駆動手段１１が移動した試料ステージ１９の移動先ステージ座標を分析位置として、測定手段１２が試料ホルダに収納された被測定試料に対して電子ビームを走査し、測定（マッピング分析）を実施する。
【００７７】
（ヘ）この測定と同時、もしくは対象としたマップ座標の測定の終了後に、ステップＳ３３８において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂのステージ座標/マップ座標変換手段２２５は、ステップＳ３０５での測定に対応する現在のステージ座標（分析位置）をマップ座標へと変換する。更に、ステップＳ３３８では、ステージマップ表示手段２２６が、ステージマップ図切換手段２２１から送信されたステージマップ図と、ホルダ配置図生成手段２２３から送信されたホルダ配置図とを合成し、更に、現在の測定領域に対し現在位置のマーカーをステージマップ図上で合成する。その後、ステップＳ３３９において、ステージマップ表示手段２２６は、合成したステージマップ図を表示装置２６の画面に表示させる。この際、表面形状像や元素分析像等の２次元画像とステージマップ図とを重ね合わせて表示装置２６に表示してもよく、測定された２次元画像とステージマップ図とを、上下、又は左右に並べて表示してもよい。
【００７８】
（ト）更に、ステップＳ３４０において、演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｂの該当ホルダ判定手段２２８は、移動先ステージ座標記憶装置３９から、測定領域の現在のステージ座標（分析位置）を読み出し、ステップＳ３３２でホルダ配置情報生成手段２２２が生成したデータ（数字）としての試料ホルダの配置情報と比較することにより、現在の分析位置を内包する該当ホルダが存在するかどうかを判定する。現在の分析位置を内包する該当ホルダが存在する場合は、ステップＳ３４１において、該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、現在の分析位置を内包する該当ホルダのホルダ登録情報を、表示装置２６の画面に表示する。更に、ステップＳ３４２において、該当ホルダ登録情報表示手段２２９は、現在の分析位置を内包する該当ホルダに収納されている被測定試料の固有情報を、ホルダ登録情報の一部としてホルダ登録情報記憶装置３１から読み出し、被測定試料の固有情報も表示装置２６の画面に合わせて表示する。このとき、該当ホルダ登録情報表示手段２２９が、分析実行時に生成される分析データの情報の一部に、ホルダ登録情報を自動的に取り込むようにしてもよい。その後、ステップＳ３４３において、分析者は、指定されたすべてのステージ座標で測定が実行されたかどうかを確認し、すべてのステージ座標で測定が実行されていなければ、ステップＳ３３７に戻り、次の移動先ステージ座標に移動して、ステップＳ３３７〜Ｓ３４３までの処理手順を繰り返す。
【００７９】
図１８〜図２３には、図１８（ａ）〜図２３（ａ）に試料ホルダの形状の一例を示しており、図１８（ｂ）〜図２３（ｂ）に、ホルダ登録情報として、図１８（ａ）〜図２３（ａ）に示した試料ホルダのホルダタイプ名、試料ホルダに固定されている被測定試料（サンプル）名、試料（サンプル）形状、試料ホルダの取付座標Ｘ及びＹ、被測定試料（サンプル）の横幅及び縦幅等のホルダ登録情報の一例をそれぞれ示している。又、前述したように、図１５（ｂ）にも、図１５（ａ）に示している大型試料ホルダ１２１に関するサンプル名等のホルダ登録情報を示している。
【００８０】
図１８（ａ）には、ホルダベース４４への装着部位である押しネジ１２６を備える、円形の試料ホルダ１４１の構造が示されている。図１８（ｂ）には、試料ホルダ１４１固有のホルダ登録情報が、ホルダタイプ名として包埋用ホルダ２５、サンプル名として未設定、サンプル形状として円形、取付座標Ｘとして"０"、取付座標Ｙとして"０"、サンプルの横幅として"１８"、サンプルの縦幅として"１８"がそれぞれ表示されている。
【００８１】
図１９（ａ）には、ホルダベースへの装着部位である押しネジ１２６を備える、円形の試料ホルダ１５１の構造が示されている。図１９（ｂ）には、試料ホルダ１５１固有のホルダ登録情報が、ホルダタイプ名としてサンプルホルダ２５、サンプル名として未設定、サンプル形状として円形、取付座標Ｘとして"０"、取付座標Ｙとして"０"、サンプルの横幅として"２６"、サンプルの縦幅として"２６"がそれぞれ表示されている。
【００８２】
図２０（ａ）には、ホルダベースへの装着部位である押しネジ１２６を備える、円形の試料ホルダ１６１の構造が示されている。図２０（ｂ）には、試料ホルダ１６１固有のホルダ登録情報が、ホルダタイプ名としてサンプルホルダ３２、サンプル名として未設定、サンプル形状として円形、取付座標Ｘとして"０"、取付座標Ｙとして"０"、サンプルの横幅として"３２．５"、サンプルの縦幅として"３２．５"がそれぞれ表示されている。
【００８３】
図２１（ａ）には、ホルダベースへの装着部位である押しネジ１２６を備える、円形の試料ホルダ１７１の構造が示されている。図２１（ｂ）には、試料ホルダ１７１固有のホルダ登録情報が、ホルダタイプ名としてサンプルホルダ３８、サンプル名として未設定、サンプル形状として円形、取付座標Ｘとして"０"、取付座標Ｙとして"０"、サンプルの横幅として"３９"、サンプルの縦幅として"３９"がそれぞれ表示されている。
【００８４】
図２２（ａ）には、ホルダベースへの装着部位である押しネジ１２６を備える、円形の試料ホルダ１８１の構造が示されている。図２２（ｂ）には、試料ホルダ１８１固有のホルダ登録情報が、ホルダタイプ名としてサンプルホルダ４０、サンプル名として未設定、サンプル形状として円形、取付座標Ｘとして"０"、取付座標Ｙとして"０"、サンプルの横幅として"４１"、サンプルの縦幅として"４１"がそれぞれ表示されている。
【００８５】
図２３（ａ）には、ホルダベースへの装着部位である押しネジ１２６を備える、矩形の試料ホルダ１９１の構造が示されている。図２３（ｂ）には、試料ホルダ１９１固有のホルダ登録情報が、ホルダタイプ名としてサンプルホルダ１０−Ａ、サンプル名として未設定、サンプル形状として矩形、取付座標Ｘとして"０"、取付座標Ｙとして"０"、サンプルの横幅として"１０．５"、サンプルの縦幅として"１０．５"がそれぞれ表示されている。
【００８６】
上記のように、本発明の第３の実施の形態に係る表面分析装置及びステージマップ図の表示方法によれば、分析者は、ホルダベース上における異なる種類の複数の試料ホルダの現在位置、形状、大きさ、構造、分析の進行状況等の情報を容易に得られるのに加えて、図１８（ｂ）〜図２３（ｂ）あるいは図１５（ｂ）に示すように、試料ホルダに固定されている被測定試料の固有情報に関しても、容易に得ることが可能となる。図１８（ｂ）〜図２３（ｂ）、図１５（ｂ）に示すホルダ登録情報は、分析実行時に生成される分析データの情報の一部として、自動的に取り込むようにすれば、分析データに関する情報の入力作業を簡略化することができる。
【００８７】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明は第１〜第３の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００８８】
既に述べた実施の形態の説明において、定量分析等をする際に用いられる標準試料に関しても、被測定試料と同様にステージマップ図に表示することが可能である。この場合、実施の形態に係る表面分析装置は、図２４に示すように、第３の実施の形態に係る表面分析装置に加えて、コントローラ２ｄが、標準試料の配置情報を記憶する標準試料配置情報記憶装置３２を備え、コントローラ２ｄにおける演算制御装置（ＣＰＵ）２２ｃが、標準試料の配置情報を表示する標準試料配置情報表示手段２３０を更に備える。分析者は、被測定試料を測定する際と同様の方法で、使用する標準試料を試料ホルダに固定し、試料ホルダに固定した標準試料の配置情報をコントローラ２ｄの入力装置２４に入力する。入力された標準試料の配置情報は、標準試料配置情報記憶装置３２に収納され、その後、標準試料配置情報表示手段２３０によって標準試料配置情報記憶装置３２から読み出され、表示装置２６にステージマップ図として表示される。
【００８９】
図２５には、標準試料のステージマップ図における表示の一例を示している。図２５では、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の標準試料４０７及び４０８を、被測定試料４０１〜４０６及び４０９と同じホルダベース上に装着された試料ホルダにそれぞれ固定し、測定する場合のステージマップ図の一例である。図２５に示されるような場合は、標準試料配置情報記憶装置３２に収納される内容をホルダ登録情報記憶装置３１に記憶させ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の標準試料４０７及び４０８の固有情報を、被測定試料４０１〜４０６及び４０９の固有情報と同様に、ホルダ登録情報の一部としてホルダ登録情報記憶装置３１から読み出し、標準試料名及び被測定試料名を表示装置２６の画面に表示するようにしてもよく、標準試料４０７及び４０８の固有情報は、標準試料配置情報記憶装置３２から読み出し、被測定試料４０１〜４０６及び４０９の固有情報をホルダ登録情報記憶装置３１から読み出し、標準試料名及び被測定試料名を表示装置２６の画面に表示するようにしてもよい。
【００９０】
又、図２６には、標準試料３０１〜３０９をホルダベース上のすべての試料ホルダにそれぞれ固定し、標準試料のみをまとめて測定する場合のステージマップ図の一例を示している。
【００９１】
ここで、標準試料が固定されるホルダの形状、ホルダの装着位置座標、ホルダベースの種類を含む試料ホルダの配置情報は、図２５及び図２６に表示している試料ホルダの配置情報のみに限定されるものではない。更に、一つのホルダ内に複数の標準試料を固定し、ホルダ登録情報の一部として標準試料名を表示するようにして、ステージマップ図上で表示することも可能である。
【００９２】
又、第１〜第３の実施の形態においては、鏡筒の試料室にゲートバルブを介してロードロック室（試料準備室）が接続された場合を例示的に説明したが、試料交換の時間等を問題としない場合であれば、ロードロック機構は省略可能である。この場合、図２のフローチャートのステップＳ１０１において、被測定試料を試料ホルダ８１、８３に固定した後、試料ステージ１９を鏡筒内の試料交換位置まで移動し、鏡筒の試料室の内部を大気開放して、ホルダベース４４を試料室から直接取り出すことになる。そして、ステップＳ１０２において、試料ホルダ８１、８３を、ホルダベース４４に装着し、ステップＳ１０３において、ホルダベース４４を試料ステージ１９上に搭載し、試料室のドアを閉めて、試料室を真空排気し、予め規定した到達圧力に到達するまで待機する手順となることは勿論である。
【００９３】
更に、本発明の測定システムとしては、ＥＰＭＡ、電子顕微鏡、電子分光装置等の種々の表面分析装置に適用可能である。
【００９４】
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【符号の説明】
【００９５】
１…測定ユニット
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ…コントローラ
１１…ステージ駆動手段
１２…測定手段
１９…試料ステージ
２１，２３…入出力インターフェース
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ…演算制御装置（ＣＰＵ）
２４…入力装置
２５…出力装置
２６…表示装置
２７…ステージマップ図記憶装置
２８…装着位置座標記憶装置
２９…形状記憶装置
３０…ホルダ配置情報記憶装置
３１…ホルダ登録情報記憶装置
３２…標準試料配置情報記憶装置
３３…マップ表示情報記憶装置
３９…移動先ステージ座標記憶装置
４１…ステージ基準位置（原点）
４２…試料交換位置
４４…標準ホルダベース
４９…ホルダベース基準位置
６１…円形の試料ホルダ側面
６２，７２，１２６…押しネジ
６３…円形の試料ホルダ底面
７１…矩形の試料ホルダ側面
７３…矩形の試料ホルダ底面
７８，４０１，４０２，４０３，４０４，４０５，４０６，４０９…試料
８１，８２，８４，８５，１１１，１１４，１１５，１１６，１４１，１５１，１６１，１７１，１８１…円形の試料ホルダ
８３，８６，１１２，１１３，１２１，１２２，１２３，１２４，１２５，１９１…矩形の試料ホルダ
２０１，２０２，２０３，２０４，２０５，２０６，２０７，２０８，２０９…試料ホルダ
２２１…ステージマップ図切換手段
２２２…ホルダ配置情報生成手段
２２３…ホルダ配置図生成手段
２２４…マップ座標/ステージ座標変換手段
２２５…ステージ座標/マップ座標変換手段
２２６…ステージマップ表示手段
２２７…ステージ制御手段
２２８…該当ホルダ判定手段
２２９…該当ホルダ登録情報表示手段
２３０…標準試料配置情報表示手段
２３１…マップ表示情報生成手段
３０１，３０２，３０３，３０４，３０５，３０６，３０７，３０８，３０９，４０７，４０８…標準試料
ｇ11〜ｇ28…試料ホルダ装着位置番号
ｍ11〜ｍ21，ｎ11〜ｎ15，ｑ11〜ｑ21，ｒ11〜ｒ21…試料ホルダ装着位置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の試料ホルダをホルダベースを介して搭載可能な試料ステージ、該試料ステージを駆動するステージ駆動手段、前記複数の試料ホルダにそれぞれ収納された被測定試料に対して、逐次測定をする測定手段を有する測定ユニットと、
前記ホルダベース、前記複数の試料ホルダ、前記複数の試料ホルダのそれぞれの装着位置座標、前記複数の試料ホルダのそれぞれの形状の表示情報を生成するマップ表示情報生成手段、前記ホルダベース上の前記複数の試料ホルダのそれぞれの装着位置及び前記複数の試料ホルダのそれぞれの種類の情報を含む配置情報を生成するホルダ配置情報生成手段、前記配置情報からホルダ配置図を生成するホルダ配置図生成手段、前記ホルダ配置図をステージマップ図に合成するステージマップ表示手段を有する演算処理装置と、
前記ステージマップ図を表示する表示装置
とを備えることを特徴とする表面分析装置。
【請求項２】
前記演算処理装置が、現在のステージ座標と前記配置情報に基づいて、現在のステージ座標を内包する該当ホルダが存在するか否かを判定する該当ホルダ判定手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の表面分析装置。
【請求項３】
試料ホルダの固有情報と、該試料ホルダに収納されている被測定試料の固有情報を含む試料ホルダのホルダ登録情報を記憶するホルダ登録情報記憶装置を更に備えることを特徴とする請求項２に記載の表面分析装置。
【請求項４】
現在のステージ座標を内包する該当ホルダが存在すると判定された場合、前記該当ホルダのホルダ登録情報をホルダ登録情報記憶装置から読み出し、前記表示装置に表示させる該当ホルダ登録情報表示手段を、前記演算処理装置が更に備えることを特徴とする請求項３に記載の表面分析装置。
【請求項５】
前記該当ホルダ登録情報表示手段が、前記ホルダ登録情報を分析実行時に生成される分析データの情報の一部に自動的に取り込むことを特徴とする請求項４に記載の表面分析装置。
【請求項１】
複数の試料ホルダをホルダベースを介して搭載可能な試料ステージ、該試料ステージを駆動するステージ駆動手段、前記複数の試料ホルダにそれぞれ収納された被測定試料に対して、逐次測定をする測定手段を有する測定ユニットと、
前記ホルダベース、前記複数の試料ホルダ、前記複数の試料ホルダのそれぞれの装着位置座標、前記複数の試料ホルダのそれぞれの形状の表示情報を生成するマップ表示情報生成手段、前記ホルダベース上の前記複数の試料ホルダのそれぞれの装着位置及び前記複数の試料ホルダのそれぞれの種類の情報を含む配置情報を生成するホルダ配置情報生成手段、前記配置情報からホルダ配置図を生成するホルダ配置図生成手段、前記ホルダ配置図をステージマップ図に合成するステージマップ表示手段を有する演算処理装置と、
前記ステージマップ図を表示する表示装置
とを備えることを特徴とする表面分析装置。
【請求項２】
前記演算処理装置が、現在のステージ座標と前記配置情報に基づいて、現在のステージ座標を内包する該当ホルダが存在するか否かを判定する該当ホルダ判定手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の表面分析装置。
【請求項３】
試料ホルダの固有情報と、該試料ホルダに収納されている被測定試料の固有情報を含む試料ホルダのホルダ登録情報を記憶するホルダ登録情報記憶装置を更に備えることを特徴とする請求項２に記載の表面分析装置。
【請求項４】
現在のステージ座標を内包する該当ホルダが存在すると判定された場合、前記該当ホルダのホルダ登録情報をホルダ登録情報記憶装置から読み出し、前記表示装置に表示させる該当ホルダ登録情報表示手段を、前記演算処理装置が更に備えることを特徴とする請求項３に記載の表面分析装置。
【請求項５】
前記該当ホルダ登録情報表示手段が、前記ホルダ登録情報を分析実行時に生成される分析データの情報の一部に自動的に取り込むことを特徴とする請求項４に記載の表面分析装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【公開番号】特開２０１０−２６７４５６（Ｐ２０１０−２６７４５６Ａ）
【公開日】平成２２年１１月２５日（２０１０．１１．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１１６９９５（Ｐ２００９−１１６９９５）
【出願日】平成２１年５月１３日（２００９．５．１３）
【出願人】（０００００１９９３）株式会社島津製作所 (3,708)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１１月２５日（２０１０．１１．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年５月１３日（２００９．５．１３）
【出願人】（０００００１９９３）株式会社島津製作所 (3,708)
【Ｆターム（参考）】
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