【課題】エネルギー線照射システムにおいて、異なる寸法のワークに効率的にエネルギー線を照射できるコンパクトで低コストの搬送機構を実現する。
【解決手段】異なる寸法のワークＷ１、Ｗ２がそれぞれ搭載される第１、第２ワークホルダ３１ａ、３２ａと、各々のワークホルダを各々のワーク授受領域とエネルギー線照射領域ＡＲ１との間で進退移動させる進退機構３３と、互いに異なる位置に設けられた第１及び第２ワーク収容部２１ａ、２２ａと、第１のワーク授受領域にある第１ワークホルダ３１ａと第１ワーク収容部２１ａとの間でワークＷ１を搬送する第１搬送アームと、第２のワーク授受領域にある第２ワークホルダ３２ａと第２ワーク収容部２２ａとの間でワークを搬送する第２搬送アームとを設けた。 （もっと読む）

【課題】
一次電子による帯電を抑制し、観察標体から明瞭なエッジコントラストを得て、試料の表面形状を高精度に計測する。
【解決手段】
試料上のイオン液体を含む液状媒体が薄膜状または網膜状である観察標体を用いる。また、この観察標体を用いる電子顕微法において、試料上のイオン液体を含む液状媒体の膜厚を計測する工程と、前記イオン液体を含む液状媒体の膜厚に基づき一次電子の照射条件を制御する工程と、前記一次電子の照射条件で一次電子を照射し前記試料の形態を画像化する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
したがって、本発明の目的は、像への影響を低減する試料ホルダー先端部を提供することにある。
【解決手段】
【００７０】
本発明の試料ホルダー先端部は、試料と、前記試料を搭載する先端部とを有する試料ホルダー先端部であって、前記先端部の回転軸と、前記試料の回転軸とが略一致することを特徴とする。本発明の試料ホルダー先端部の製造方法は、試料を切りだす工程と、試料ホルダー先端部の試料搭載部分へ、前記切りだした試料を取り付ける工程と、前記試料搭載部分の回転軸に合わせて、前記試料を加工して、前記試料を回転軸を中心とした柱状にする工程とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、蓋を容易に取付け取外すことができ、かつ、試料を空気にさらすことなく試料室内に導入することを可能にする試料ホルダーを提供する。
【解決手段】開口部を有し内部で試料３９を保持する試料台３７と、試料台３７の開口部を閉塞する蓋３６と、試料台３７に設けられた蓋押さえ３８と、蓋押さえ３８に設けられた第一の突合せ部と、前記第一の突合せ部との嵌合により、試料台３７に蓋３６を押し付け、蓋３６と試料台３７で囲まれた空間を密閉する蓋３６に設けられた第二の突合せ部と、備える試料ホルダー１００を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で静電チャックの吸着面に対するウェハの載置状態を判定する。
【解決手段】試料に対して一次荷電粒子線を照射する機能を備えた荷電粒子線装置において、試料を吸着させる静電チャックに、斜孔或いは切り欠きを設ける。また、当該斜孔或いは切り欠きを斜光した光軸が通過するように一対の投光器および受光器を配置する。さらに、受光器の出力信号を用いて静電チャックに対する試料の載置状態を判定する制御部を設ける。制御部は、試料が昇降部により下降し、光軸を試料が遮光した時の受光器の出力信号を用いて、試料の載置状態を判定する。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットによってウェハの出し入れを行う際の駆動範囲が制限される。
【解決手段】Ｚステージ装置に以下の構造を設ける。(1) 試料を保持する保持面を有するＺテーブル、(2) ＺテーブルをＺ方向に可動可能に収容する空洞部と、当該空洞部と外側面の一つとを連結する開口部とを有するＺフレーム、(3) 空洞部へ水平に延出し、Ｚテーブルが退避位置まで降下した際に、試料を一時的に下方から保持する一時保持部材、(4) Ｚテーブルの上面には、一時保持部材を収容可能な凹部が形成され、Ｚテーブルが可動範囲の最高位置に位置するとき、当該上面が一時保持部材の上面より高い位置に位置決め可能である。 （もっと読む）

【課題】環境制御型透過型電子顕微鏡（ETEM）において、活性雰囲気下でサンプルを評価研究する際に、発生するサンプルのドリフトが取得画像の解像度の制限因子とならないようにする。
【解決手段】ドリフトを避けるため、または抑制するため、サンプルを所望の温度で不活性ガスに暴露し、その後不活性ガスを活性ガスに置換する。光、X線、または走査型プローブ顕微鏡に適用できる。 （もっと読む）

【課題】冷媒により試料を冷却しながら、冷媒を散逸することなく、顕微鏡内で試料を３６０度自在に回転させることができる透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーを提供する。また、試料表面への霜の付着を抑制する試料冷却ホルダーを提供する。
【解決手段】本発明の透過型電子顕微鏡用の試料冷却ホルダーは、冷媒槽と、冷媒槽を貫通し、内壁が円筒状の空洞を有する冷却部と、冷却部の空洞内に、空洞の内壁との間に熱良導性材料層を挟んで移動自在に嵌合する熱伝導棒とを有する。また、この試料冷却ホルダーは、熱伝導棒を内部に収容するパイプ部を備え、熱伝導棒は、先端に、試料を装着する試料装着部を有する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビームリソグラフィシステム、及びターゲットの荷電粒子ビーム露光のために最適化されたターゲット位置決め装置を使用する動作方法を提供する。
【解決手段】ターゲット３上に荷電粒子ビーム２を投影するための真空チャンバ５０に配置され、荷電粒子ビーム２を偏向方向に偏向させるための偏向手段を有する荷電粒子光学カラム４と、ターゲット３を保持するためのキャリア及び偏向方向とは異なる第１の方向に沿ってキャリアを保持し移動させるためのステージ５２を有するターゲット位置決め装置５と、を具備し、このターゲット位置決め装置５は、荷電粒子光学カラム４に対する第１の方向にステージ５２を移動させるための第１のアクチュエータ５３を有し、キャリアは、ステージ５２に移動可能に配置されており、ターゲット位置決め装置５は、第１の相対位置にステージ５２に対してキャリアを保持するための保持手段を有する。 （もっと読む）

【課題】所定雰囲気ガス圧状態での試料観察を行うことを可能にする。
【解決手段】
電子光学軸上に電子ビーム通過孔が開けられており、その内部にガス供給系からガスが供給されるガス雰囲気容器２１と、先端部に試料を保持し，該試料を真空外から前記ガス雰囲気容器２１内に導入する試料ホルダ１８とを備えた電子顕微鏡における試料観察方法であって、前記試料ホルダ１８を前記ガス雰囲気容器２１内に導入する前に、圧力測定用素子３１が取付られた圧力測定用ホルダ３０を該ガス雰囲気容器２１内に導入し、該圧力測定用素子３１が検出する該ガス雰囲気容器２１内の圧力が所定の圧力に成る様に該ガス雰囲気容器２１内を前記ガス供給系により調整し、次に、前記圧力測定用ホルダ３０に代えて前記試料ホルダ１８を前記ガス雰囲気容器２１内に導入し、電子ビーム発生手段からの電子ビームを前記試料Ｓに照射し、該試料Ｓを透過した電子ビームに基づく試料像を観察する。 （もっと読む）

【課題】試料箱を再び開いて試料に必要な気体又は液体を導入し、試料の動的変化を観察する時間を延ばすことが可能なガイド孔及びプラグを有する電子顕微鏡用試料箱を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡用試料箱は、第１の基板１１、第２の基板１２及び金属密着層１３を備える。第１の基板１１は、第１の表面１１１、第２の表面１１２、第１の凹溝１１３及び少なくとも１つの第１のガイド孔１１４を有する。第１の凹溝１１３は、第２の表面１１２に設けられる。第１の表面１１１上には、第１の凹溝１１３に対応した第１の薄膜１１５が形成される。第１のガイド孔１１４が、第１の凹溝１１３の外周に設けられるとともに第１の基板１１に穿設される。第２の基板１２は、第３の表面１２１、第４の表面１２２及び第２の凹溝１２３を有する。 （もっと読む）

【課題】分析時におけるバックグラウンドノイズを大幅に低減することが可能な微小試料台を提供すること。
【解決手段】微小試料台１００は、半導体基板よりなる微小試料台基部１０の一面に成膜により一体化された微小試料搭載用薄膜２０を有する。微小試料台基部１０はＶ字形状の溝１１を有し、微小試料搭載用薄膜２０は溝１１の上面と溝１１の最深部との間に設けられた上端面２１を有する。Ｖ字形状の溝の両側面は（１１１）面である。微小試料台基部１０の上面１３と微小試料搭載用薄膜２０の上端面２１との間の部分が微小試料７０のガード部となる。 （もっと読む）

【課題】超高真空化が不要で、試料表面の破壊を引き起こすことなく、試料表面のコンタミを安定して防止できる電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー、およびそれを用いた試料加熱方法を提供する。
【解決手段】発熱体として、正温度計数(PTC)サーミスタを備えることを特徴とする、観察・分析中のカーボンコンタミネーションの成長と熱ドリフトの抑制能力に優れた、電子線を用いた顕微鏡あるいは分析装置用の試料加熱ホルダー。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡において、広い範囲の観察が可能な試料ホルダーを提供する。
【解決手段】透過電子顕微鏡１００は、試料支持部１０が設けられた軸部２０と、試料室における試料支持部１０の位置を変える第１試料支持部移動機構３０と、を含み、ステージ移動機構は、試料室における電子線の進行方向に対して交差する第１方向に試料支持部１０を移動させ、ステージ移動機構による試料支持部１０の第１方向の移動可能範囲は、第１距離であり、第１試料支持部移動機構３０は、試料支持部１０を、第１方向に、第１距離以下ずつ移動させ、第１試料支持部移動機構３０による試料支持部１０の第１方向の移動可能範囲は、第２距離であり、試料支持部１０は、試料室において電子線を通過させるための開口部１１を有し、開口部１１の第１方向の大きさは、第１距離と第２距離との和以上である。 （もっと読む）

【課題】走査型電子顕微鏡で表示された観察画面に設けられた仮想点を中心に試料を回転させるローテーションユーセントリック動作において、回転誤差を補正し、画面上の回転中心の位置変動を低減させるステージ装置を実現する。
【解決手段】試料もしくは試料ホルダもしくは回転テーブルに位置と方向が測定可能なマーカーを設け、所定の動作パターンに従ってステージの回転・並進移動を行いそのときのマーカーの位置と方向とを測定し、その結果から回転テーブルの回転中心を同定し、かつ、回転誤差を補正する回転角補正量と回転中心の位置変動を補正する並進補正量とを求め回転角に対する補正量テーブルを作成し、入力された回転角指令値もしくは実回転角に対応した補正量を補正量テーブルから取得して入力された回転・並進指令値もしくは検出された回転角・並進位置を補正してステージを制御する。 （もっと読む）

【課題】非破壊的方法により基板の表面上の絶縁層を介して電気的に基板を接地する。
【解決手段】基板の表面上の絶縁層を介して、導電経路を形成する装置に関する。第１の放射線源は、絶縁層の第１の領域へ放射線を放出するように構成され、且つ、第１の電気接点は、第１の領域へ第１のバイアス電圧を印加するように構成される。第２の放射線源は、絶縁層の第２の領域へ放射線を放出するように構成され、且つ、第２の電気接点は、第２の領域へ第２のバイアス電圧を印加するように構成される。領域の伝導性は、伝導経路がそれらの領域で絶縁層を介して形成されるように、放射によって増加する。一実施態様において、装置は、電子ビーム装置において使用され得る。別の実施形態は、絶縁層を介して導電経路を形成する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】状況に応じた印加電圧とすることで装置の信頼性を向上させる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】前記課題を解決するために、本発明の荷電粒子線装置１は、試料ステージ２５に静電チャック３０によって保持された試料２４に電子線１６を照射し、試料２４の画像を生成する荷電粒子線装置１であって、試料２４を保持する際に、静電チャック３０のチャック電極２６に予め設定した初期電圧を印加するとともに、試料２４が静電チャック３０に正常に吸着したか否かを判定し、試料２４が静電チャック３０に正常に吸着していないと判定した場合は、試料２４が静電チャック３０に正常に吸着したと判定するまで、チャック電極２６に印加する電圧を上昇させる静電チャック制御部１３を備える。 （もっと読む）

【課題】試料を加熱しながらガス雰囲気を吹き付けて、ガスとの反応過程を観察する機能を有し、一度吹き付けたガスが再び試料に戻らずに、一定の温度と濃度のガス雰囲気で試料の反応過程を観察できる電子顕微鏡用の試料ホルダを提供する。
【解決手段】
電子ビームを通過させるための開口４３が形成された試料支持フレーム４２と、前記開口４３のほぼ中央を横切るように張架された試料支持ワイヤ１６と、前記試料支持ワイヤ１６の両端に接続された接続線３３，３４と、前記試料支持ワイヤ１６にガスを吹き付ける試料支持フレーム４２に前記試料支持ワイヤ１６に対向するように取り付けられた導管１７Ａを備え、前記導管１７先端のノズル１７Ｂから発生し前記試料支持ワイヤ１６を通過したガスを受ける連結フレーム４２Ｃの面に、前記ガスの進行方向に対して後退する斜面と共に平行な複数の溝を設けたことを特徴とする電子線装置及び電子顕微鏡用ガス反応試料ホルダ。 （もっと読む）

【課題】 微小検体を基台に移す際、静電気による吸着力、原子間力または分子間力等に打ち克って確実に基台上に固定する。
【解決手段】 上面１１が親水性を有する基台１０上に、開口部３１を有する撥水膜３０を形成する。加熱冷却ステージ２０を冷却モードにして基台３０を冷却すると開口部３１内に水滴１１０が結露する。微小検体１１２を水滴１１０の近傍に移動すると、メニスカス力により微小検体１１２が水滴１１０に取り込まれる。この後は、加熱冷却ステージ２０を加熱モードに切り換え、水滴１１０を揮発させると、水滴１１０の凝集力により微小検体１１２が基台１上に固定される。 （もっと読む）