【課題】加圧成形試料からの破片や粉体による汚染を簡単な作業で十分に抑制できる試料ホルダを提供する。
【解決手段】加圧成形試料１を保持する試料ホルダ２であって、底部３ａ付きの円筒形であって通気部３ｃを有する本体３と、本体３の上部を覆うように着脱自在に取り付けられ、加圧成形試料１の分析面１ａを露出させる開口４ａを有し、下方から加圧成形試料１が当接される蓋体４と、加圧成形試料１が載置される受け皿５と、本体３の底部３ａと受け皿５との間に配置され、受け皿５を介して加圧成形試料１を蓋体４に押圧する内側ばね６と、加圧成形試料１を非接触で囲うように配置されるリング部７ａおよびそのリング部７ａから垂下する多孔性膜である袋部７ｂからなるトラップ７と、底部３ａとリング部７ａとの間に配置され、リング部７ａを蓋体４に押圧する外側ばね８とを備える。 （もっと読む）

【課題】照射範囲の広いX線照射装置を用いて、試料を電子回路基板等に実装したままで、分析対象部分にのみX線を照射して分析する。
【解決手段】X線照射位置決めフィルタ２０Ａが電子回路基板６０上の部品６１Ａの近傍に配置されている。X線照射位置決めフィルタ２０ＡにはX線を通す窓が開いている。窓の形状は、部品６１Ａにおける分析対象部分の形状に合わされている。窓を除く表面はX線を遮断する。蛍光X線分析装置１Ａは、X線管１０で発生する一次X線１１を部品６１Ａに照射する。窓を通過した一次X線１１によって部品６１Ａにおける分析対象部分を構成する物質の分子が励起され、蛍光X線１２が発生する。蛍光X線分析装置１Ａは、その蛍光X線１２を検出器３０で検出し、分析器４０で部品６１Ａを構成する物質に含有される成分を分析する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査装置において、検査対象領域を広くしつつ、対象物を確実に保持できるようにする。
【解決手段】Ｘ線検査装置において、クランプ５０は上方から基板１０を支持する。クランプ５０の上記端面は傾斜を有する。これにより、クランプ５０に確実に基板１０を支持させつつ、Ｘ線源２から放射されるＸ線（符号ＸＲで示されている）の基板１０による透過光がクランプ５０によって遮蔽されることを極力回避できる。 （もっと読む）

【課題】水素吸蔵材料の中性子回折に使用することができる中性子による散乱が無い、若しくは散乱が少ない耐水素性及び耐圧性の中性子回折測定用セル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】水素吸蔵材料を中性子回折測定する際の試料として保持するセルであって、中性子散乱の無い金属若しくは中性子散乱の少ない金属の内面に、水素吸蔵性の無い材料又は水素吸蔵性の小さい材料からなる耐水素性の層を設けたことを特徴とする。この耐水素性の層の厚さは、０．１μ〜１００μｍがより好ましい。 （もっと読む）

【課題】試料識別標記や特異元素で構成されたマスクや試料ホルダを要せず、試料を試料ホルダに搬送する前に試料ホルダを短時間で自動識別する分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の分析装置は、カセット２１の種類を識別するカセット部２０と、試料Ｓが挿入される挿入口８３、および、試料が載置される輪状の台座８２を有する試料ホルダ８と、カセット２１から試料ホルダ８へ試料Ｓを搬送する搬送手段２３と、試料ホルダの挿入口の径方向端８４または輪状の台座の内径方向端８５を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段３５と、カセット識別信号および試料ホルダ識別信号に基づいて、カセット２１に収納されるべき試料の直径と試料ホルダ８の台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを判定する判定手段４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】止め代なしで平坦に薄片状の試料を固定することができる試料固定方法、蛍光Ｘ線検出方法、試料固定具及び蛍光Ｘ線検出装置を提供する。
【解決手段】筒状部材１１の開口端にＸ線透過シート１４を張設してオーリング（第１の嵌合部材）１２で固定し、Ｘ線透過シート１４に薄片状の試料Ｓを重ねて配置する。更に、Ｘ線透過シート１５を、試料Ｓ及びＸ線透過シート１４に重ねて筒状部材１１の開口端に張設し、オーリング（第２の嵌合部材）１３で固定する。試料Ｓは、Ｘ線透過シート１４及びＸ線透過シート１５の間に挟まれて固定される。止め代なしで平坦に試料Ｓが固定され、Ｘ線透過シート以外に支持物は無い。Ｘ線透過シート１５を透過してＸ線が試料Ｓへ照射され、試料Ｓで発生した蛍光Ｘ線が検出される。 （もっと読む）

【課題】試料の先端部分が破損し難く、且つ、（メッシュが搭載される試料ホルダの窪み（凹部）形状を専用形にすることが不要な）汎用性の高い、試料保持用のメッシュ、及び元素分析方法を提供する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡に用いられるリング状平板形状を有する試料保持用メッシュ１４において、前記リング状平板の上面に設けられた溝２２により、前記リング状平板を第１および第２の半リング状平板形状に２分して形成された第１および第２のメッシュと、を有し、前記第１および前記第２のメッシュからなる前記リング状平板形状の前記第１のメッシュ上に試料を搭載した状態で、前記第２のメッシュを前記溝から前記リング状平板の下面方向に折り曲げて、前記第１のメッシュの下面側に折りたたむことができる。 （もっと読む）

【課題】試料が軽量な小片である場合でも外部から伝わる振動による試料の移動を防止し、試料の蛍光Ｘ線分析を精度良く行うことができる試料ホルダ及び試料分析方法を提供する。
【解決手段】上側チャンバ４１と下側チャンバ３１とを上下に仕切るベース板３２に形成された照射窓３６を塞ぐように２枚のフィルム１１ｂを載置するとともに、Ｘ線管３３により励磁Ｘ線が照射される試料１００を２枚のフィルム１１ｂで挟持した。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線強度が弱い場合でも、正確に磁性層厚さが測定できる層厚測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 蛍光Ｘ線分析法を用いて非磁性支持体上に少なくとも磁性層を設けた磁気記録媒体の磁性層厚さを測定する層厚測定装置であって、該層厚測定装置は、Ｘ線の発生源であるＸ線管と、磁気記録媒体に照射されたＸ線により発生した蛍光Ｘ線を受ける検出器と、これらを含んで外気と遮断し、前記Ｘ線と前記蛍光Ｘ線を透過させるＸ線窓を有する密閉箱と、を含み、該密閉箱内は空気よりも密度の小さい気体で置換されており、前記Ｘ線窓と前記磁性層との距離が１〜５０ｍｍであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
デバイス等の不良原因となる１μmほどの微小絶縁物試料等の分析前処理として、帯電の支障を少なくし、周辺の基材を混合することなく目的物のみをサンプリングすることを目的とする。
【解決手段】
試料の観察、サンプリング領域に電位制御が可能で導電性により形成された端子を接触させる機構を考案した。本機構は前記観察、サンプリング領域の周囲に接触する導電性の端子とこの端子の移動を精密に制御する動作機構と端子に電圧を印加するための電位制御機構と端子をアースおよび電位制御機構に接続する機構とから成り、前記端子を試料の近傍に接触させることにより観察、サンプリングの過程で生じる電荷をアース線を通して逃がすものである。 （もっと読む）

【課題】試料の内部構造を破壊することなく分析する。
【解決手段】干渉性Ｘ線が発せられるＸ線源と、前記Ｘ線源からのＸ線をコリメートするＸ線コリメータと、Ｘ線を吸収又は反射する材料により形成されており、前記Ｘ線の可干渉となる位置に設けられた参照穴及びＸ線透過窓とを有し、前記コリメートされたＸ線が照射されるＸ線吸収部と、前記Ｘ線透過窓を透過したＸ線が照射される位置に設置される試料と、前記試料により生じる散乱Ｘ線と、前記参照穴を通過したＸ線との干渉により生じたホログラムを検出する検出器と、前記検出器により得られた前記ホログラムに基づき前記試料の内部構造のイメージ画像を得るためフーリエ変換を行う処理部と、を有し、前記試料は、前記Ｘ線吸収部に対し相対的に移動させることができるものであることを特徴とするＸ線分析装置により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】内部の圧力が上昇した場合であっても、蛍光Ｘ線が透過するシートの膨張を防止することにより、正確な元素分析を可能にする蛍光Ｘ線分析用試料セルを提供する。
【解決手段】液体燃料等の試料を収容した上でＸ線透過シート１０２で密閉した試料セル（蛍光Ｘ線分析用試料セル）１は、内部の圧力が上昇した場合に、窓部となるＸ線透過シート１０２が膨張する前に、試料セル１内の容積が増大するようにカップ端面が変形する。カップ端面は、膜状材を畳み込んで形成しており、試料セル１内の圧力が上昇した場合は、試料セル１の外側に向かって広がり、試料セル１内の容積が増大する。容積の増大によって圧力の上昇が緩和され、Ｘ線透過シート１０２の膨張が防止される。従って、試料と蛍光Ｘ線の検出器との距離が変動することが無く、高精度な蛍光Ｘ線分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】試料の上下方向の搬送振れを減少させることで、放射線源とシート状試料の間隔を一定に保ちながら厚さ測定、欠陥検査をし、一定の透過線量を試料に透過する検査装置を提供する。
【解決手段】搬送手段によって搬送されるシート状試料と、該シート状試料を挟んで対向して配置され、前記シート状試料の物理的特性を測定する放射線源およびラインセンサと、該ラインセンサの少なくとも一方の側面に近接して配置され、前記シート状試料の張力によって発生する上下方向の搬送振れを軽減し、エアーベアリングとして機能するための気体噴出手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】被検査物の搬送装置上への供給の仕方を変更することなく、従来のこの種の検査装置に比して被検査物の重なりの影響を可及的に少なくすることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１とＸ線ラインセンサ２を収容するＸ線防護箱３の入口３ａに配置され、被検査物Ｗの通過により押し上げられて搬送経路を開くＸ線遮蔽部材７ａ〜７ｃを、その自重により、搬送装置４上で重なった被検査物Ｗを均すように構成することで、被検査物Ｗが重なった状態で搬送されてきても、これをＸ線源１とＸ線ラインセンサ２の手前で自動的に解消し、Ｘ線透視画像上に、被検査物が重なった像が存在することをなくし、正確な異物判定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】電子線マイクロアナライザ分析用の試料ホルダであって試料の着脱が容易で且つチャージアップが発生しない試料ホルダを備えた電子線マイクロアナライザを提供する。
【解決手段】包埋試料を収納する空間を形成するＵ字形保持枠を有し、枠の底部に設置したコイルバネにて包埋試料を力が作用した状態で保持し、しかも上面には試料マスクを載置してホルダと試料間の導電系を保持させつつ保持するものである。したがってチャージアップは生起しない。 （もっと読む）

【課題】搬送中の商品の揺れを抑制して、安定したＸ線検出画像を得ることによって、従来よりも検査精度が向上したＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置はガイド部材１８を有したコンベアを備えている。ガイド部材１８は、一対の曲面支持部１８ａ、１８ｂと、曲面支持部１８ａの搬送方向上流側に設けられた水平支持部１８ｃと、水平支持部１８ｃと同様のものであって、曲面支持部１８ｂの搬送方向下流側に設けられた水平支持部１８ｅと、曲面支持部１８ａと同構成の曲面支持部１８ｂとの間に設けられた切り目１８ｄと、を有しているものである。曲面支持部１８ａは、搬送ベルト１２ｅを幅方向に湾曲させつつ支持する曲面を有した第１支持部１８ａ_１と、第１支持部１８ａ_１の搬送方向上流側に設けられている第２支持部１８ａ_２とを有しているものである。 （もっと読む）

【課題】装置内部の空気を置換ガスに効率よく置換することが可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】筺体１の上面中央の開口部にセルホルダ２を装着させることによって、筺体１で囲まれた分析室１ａが密閉される。また、試料セル５のＸ線透過窓材５４の破損によって試料がこぼれ出た場合に、こぼれ出た試料がＸ線管３及びＸ線検出器４等に付着することを防止するために、セルホルダ２がＸ線透過窓材２３を挟持する。蛍光Ｘ線の分析処理を行なう場合、分析室１ａ内の空気と、試料セル５のＸ線透過窓材５４及びセルホルダ２が挟持するＸ線透過窓材２３の間の窓材間空間内の空気とを置換ガスに置換する。即ち、カバー７で覆われた試料室内の空気を置換ガスに置換する必要はない。 （もっと読む）

【課題】試料セルに設けられたＸ線透過窓材の撓みによる誤差の発生を防止し、流動試料に対する高精度な分析を行うことができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】セルホルダ２のセルホルダ内枠２１に設けられた開口部２１ｃの周縁に支持部２４を突設し、支持部２４の突端部に設けた円環状の平面が試料セル５の底部の開口５２ｄの内側に設けられたＸ線透過窓材５４に当接して試料セル５を支持する。また、試料セル５のＸ線透過窓材５４、セルホルダ２の支持部２４及びＸ線透過窓材２３にて囲まれた略密閉空間と、筐体１内とにヘリウムガスなどの気体を注入し、Ｘ線管３から試料セル５まで及び試料セル５からＸ線検出器４までの空間をヘリウムガスなどの気体で充填した後に、Ｘ線の照射及び蛍光Ｘ線の検出を行って試料の分析を行う。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線を高い効率で「水の窓」領域を含む０．６〜６ｎｍの波長領域の軟Ｘ線に変換すること及び荷電粒子線の試料内での拡散範囲を狭く抑えて試料へのダメージを抑制すること。
【解決手段】
本発明の試料支持部材（１１）は、窒化シリコン膜またはカーボン膜の試料支持膜（１１ａ）の一方主面に、電子線照射により０．６〜６．０ｎｍの波長領域の特性Ｘ線を放射する金属膜（１１ｂ）が設けられている。これは、電子線の照射を受けた金属膜（１１ｂ）から軟Ｘ領域の特性Ｘ線を高効率（高強度）で放射させるためであり、このような高強度の特性Ｘ線を試料（１０）に照射させることにより、観察画像のＳＮ比を向上させることができる。また、金属膜（１１ｂ）には、試料支持膜（１１ａ）内での電子の拡散範囲を抑制するという効果もあるため、入射電子線の加速電圧を高めることが可能となり、ＳＮ比の向上のみならず分解能の向上にも効果がある。 （もっと読む）

【課題】高温測定が可能であり且つ繰り返して使用することができる試料ホルダを提供することを課題とする。
【解決手段】図（ａ）に示すように、ヒータ収納凹部２１へヒータ１５を入れ、下蓋１４を被せ、第２ボルト３５で固定する。これで、（ｂ）に示す形態のヒータ付き試料ホルダ１０が完成する。
【効果】Ｘ線透過部材３１は金属であるため、皺が寄ったり劣化する心配が無く、繰り返し使用することができると共に高温にも耐える。したがって、本発明によれば、普通のＸ線回析計測装置を用いるにも拘わらず高温測定が可能であり且つ繰り返して使用することができる試料ホルダが提供される。 （もっと読む）