【課題】電子顕微鏡で試料の加熱時のガスとの反応過程をリアルタイムで観察する際に起こる、ガスによる鏡体内の真空の悪化や、加熱によるヒーターの伸びからくる試料ドリフトを解決し、高分解能観察を可能にする。
【解決手段】試料へのガス供給手段に対向してガス排気手段を設け、真空低下を最短時間にとどめた。また、試料を付着させたヒーターをガス導入管内に設け、ガスの鏡体への流出を抑制した。ヒーターの伸びの低減策として、電子線装置用試料ホルダーもしくは電子線装置に、ヒーターの張力調整手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】試料の全体の帯電（グローバル帯電）と１次荷電粒子線を照射する局所領域の帯電（ローカル帯電）両方を除去し、高分解能な試料画像を取得する。
【解決手段】本発明による電極ユニットは荷電粒子線装置に用いられるものであり、対物レンズと絶縁物試料の間に試料に対向して配置される平板電極を備える電極ユニットであって、試料上のローカル帯電を除去するための第１の荷電粒子線を発する第１の帯電中和用荷電粒子線源と、試料上のグローバル帯電を除去するための第２の荷電粒子線を発する第２の帯電中和用荷電粒子線源と、を備える。また、平板電極には、一次荷電粒子線が通過する第１の孔と、第２の荷電粒子線が出射するための第２の孔とが設けられ、第１及び第２の帯電中和用荷電粒子線源は、互いに干渉しないような位置に配置される。そして、第１の帯電中和用荷電粒子線源から発せられた荷電粒子線は、第１の孔付近に導入される。 （もっと読む）

【課題】 電子ビーム照射装置から電子と共に光が放射されると、電子ビーム照射部分が明るくなり不都合な場合がある。
【解決手段】 電子ビーム照射装置内に電子ビームの偏向手段を設け、電子ビームと光を分離すると同時に、電子ビーム照射装置内で光を反射しないように、構成部材に黒色処理又は、構成部材を黒色材料で構成した。 （もっと読む）

【課題】試料を変形させずに試料そのものの形状を観察することのできる手段を提供する。
【解決手段】開口部を有する試料保持部材（例えば、マイクログリッドやメッシュ等）にイオン液体を保持し、そこに試料を投入することによってイオン液体中に試料を浮かして観察する。さらに、試料保持部材の近傍に、イオン液体を注入する機構（イオン液体導入機構）及び／又は電極を設けている。電極に電圧を印加すると、試料がイオン液体中で移動・変形でき、移動したり変形したりする様子を観察することができるようになる。また、試料保持部材の近傍に、蒸着装置を設けて蒸着しながらイオン液体内に試料を投入できるようにする。さらに、試料保持部材の近傍に、マイクロキャピラリーを設け、液体状の試料をイオン液体内に投入できるようにする。また、試料保持部材は回転できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】
可動テーブルの重量を増加させることなく、ステージ停止時における十分な制動力を発生するブレーキ機構を有するステージ装置を構成する。
【解決手段】
ステージ機構１は、Ｘベース１２０の上に固定されるＸ方向の案内機構としてのＸガイド１２１と、これに拘束されてＸ方向に移動可能なＸテーブル１２２と、これに可動部を固定されたＸアクチュエータ１２３と、Ｘベース１２０の上に固定されたＸテーブル１２２の制動機構であるＸブレーキ１２４などから構成される。制御装置２は、ステージ停止時にＸブレーキ１２４をＸテーブル１２２の下面に押し付けて制動力を発生させ、ステージ停止後にはＸアクチュエータをサーボ制御をオフにする位置決め制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 本発明はたとえば電子顕微鏡で使用される環境セルに関する。
【解決手段】 当該環境セルは、前記電子顕微鏡によって生成されたビームを、当該環境セル内部に設けられた試料にまで通過させるアパーチャ(15)を有する。本発明による環境セルは、当該環境セルの一部分(14)が、たとえば後方散乱電子又はX線のような2次放射線に対して透明であることを特徴とする。これにより、当該環境セルの外部に設けられた検出器によってこの放射線を検出することが可能となる。前記検出器が当該環境セルの外部に設けられることによって、当該セルの構成をはるかに単純にすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】試料とマスクとの遮蔽位置の調整を行うに際して、手間取らずに簡便且つ精度の良い遮蔽位置調整が可能なイオンミリング装置及びイオンミリング方法を提供する。
【解決手段】真空チャンバに取り付けられ、試料にイオンビームを照射するイオンビーム源と、試料を固定する試料ホルダ、試料ホルダに固定された試料の一部を遮蔽するマスク、試料ホルダを回転する試料回転機構及びマスクと試料との遮蔽位置関係を調整するマスク位置調整部から構成される試料マスクユニットと、イオンビームと垂直な面内で試料マスクユニットを移動させる試料マスクユニット微動機構と、試料マスクユニット微動機構を真空チャンバ内で設置できる試料微動ベースと、マスクと試料との遮蔽位置関係を観測する顕微鏡をと備えたイオンミリング装置において、試料マスクユニットは、前記マスクから突出する試料の量を調整するためのマイクロメータを搭載する。 （もっと読む）

【課題】
絶縁物を含む試料表面での帯電を抑制するための経験や熟練技能工程を排除した、信頼性の高い帯電制御技術を提供し、総合的に分析や試料作製効率の良い荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
荷電粒子源（１）と、前記荷電粒子源から放出される荷電粒子線（１１）を集束し偏向せしめるための荷電粒子光学系（５、６）と、荷電粒子線を試料（８）に照射して試料からの２次粒子を検出するための検出器（９）と、試料を搭載する試料台（７）とを備えた荷電粒子線装置において、試料台の表面に対して移動可能に設けた中和用電極（２０）と、中和用電極に印加する電圧および移動を制御する中和用電極制御装置（１０）とを有し、荷電粒子線を照射して帯電した試料上の照射領域と中和用電極との間で電荷交換または電流を発生せしめて、帯電を中和制御するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、スループットの低下要因である温度変化に伴う像ドリフトを抑制しつつ、高い分解能を維持した状態にて、炭化水素系の分子等の除去が可能な荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子線装置の試料室内に配置されるコールドトラップ板を、試料ステージ及び試料の移動範囲外の空間であり、且つ前記試料表面の移動軌跡に一致する平面と、当該移動軌道に平行であって、対物レンズの試料側端部に接する面との間に形成される空間を除く空間に、配置することを提案する。更に、トラップ板を試料室内壁から離間して配置すること、或いはトラップ板を、試料室内壁の一部に、当該試料室内壁とは、温度的に隔絶されるように配置すること、を併せて提案する。 （もっと読む）

【課題】１０μｍ〜１００μｍオーダーの平滑な断面形成に適し、作業者の熟練の技術を必要とせず、かつ加工位置精度に優れ、所望の特定位置に正確に断面を形成できる、走査電子顕微鏡による断面観察用サンプルの作製方法を提供する。
【解決手段】試料の被観察部を通る粗断面を形成するとともに、イオンビームによる加工深さ以下の厚さの透明な基板を、前記被観察部を覆うように試料に固定した後、前記試料を、イオンビームを試料に照射する装置の試料ホルダーに設置して、前記被観察部と前記装置のイオンビーム照射位置との位置合わせを行い、その後、被観察部にある粗断面をイオンビーム照射により加工することを特徴とする走査電子顕微鏡による断面観察用サンプルの作製方法。 （もっと読む）

【課題】
ステージに起因する異常を早期に発見して、迅速な対応をとることができる荷電粒子線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
ステージに配置された被検査基板を連続的に移動させながら荷電粒子線を照射し、発生した二次信号に基づいて画像を生成する荷電粒子線検査装置であって、ステージの連続的な移動の位置を計測する位置モニタ測長器と、計測された位置から速度を算出する制御回路と、計測された位置と算出された速度の時間的な変化を表示するディスプレイとを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明はビーム位置ドリフト抑制方法に関し、ビーム位置ドリフトを速く収束させることを目的としている。
【解決手段】描画時又は装置較正時に発生するビーム位置ドリフトの収束値ｄ_cを、過去のビーム位置ドリフト対ビーム電流の関係から決定する手段と、ビーム電流ｉ（ｔ）を、ビーム位置ドリフトの収束値ｄ_c、ビーム位置ドリフトの測定値ｄ_m、ゲイン定数ｇ及び単位ビーム電流当たりのビーム位置ドリフト収束値ｃの関数として、
ｉ（ｔ）＝｛（１＋ｇ）・ｄ_c−ｇ・ｄ_m（ｔ）｝／ｃ
として求める手段と、前記ビーム電流ｉ（ｔ）のゲイン定数ｇをｇ＞０としてｄ_mとｄ_cに関して、εを判断基準となる正の数として、ｄ_mがｄ_cに近づき、
│ｄ_m−ｄ_c│＜ε
となるかどうかをチェックする手段と、を具備し、│ｄ_m−ｄ_c│＜εとなったら、制御を停止し、較正又は描画を行なうように構成する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、ホトマスクのような試料を測定対象とする荷電粒子線装置において、試料裏面に帯電が付着していたとしても、高精度に装置条件の調整を行い得る荷電粒子線の提供を目的とするものである。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、試料の搬送過程において、試料裏面の電位分布を測定し、その測定に基づいて、試料の除電の程度を制御、又は試料ホルダ等に試料を配置したときの試料表面の電位分布を推定、或いは計算する装置を提案する。当該態様によれば、ホトマスクのようなパターン面とは異なる面に大きな帯電が付着する試料であっても、高精度且つ高速に測定、或いは検査を行うことができる荷電粒子線装置を提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】オフされているグリッドからのビームの漏洩を抑制し、更にニュートラライザが良好な中和効果を有する荷電粒子照射装置、これを用いた周波数調整装置及び荷電粒子制御方法を提供する。
【解決手段】イオンガン１１は、ガス導入部１１４よりＡｒガスを本体１１１内に導入し、フィラメント１１３とアノード１１２との間で直流熱陰極放電をおこし、Ａｒのプラズマを生成する。次に、２つ分割された構成を有する、分割加速グリッド１１６ａ、１１６ｂに、イオンを射出する方向に電圧勾配を与えて、イオンを射出させる。イオンビームをオフする側の分割加速グリッドに正電圧を印加し、更に減速グリッド１１７に負電圧を印加する。これにより、停止している側のグリッドからのイオンビームの漏洩を抑制し、更にニュートラライザの中和効果を良好とすることができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、簡易な構成で、ブレーキ等によってもたらされる摩擦熱による位置変動を抑制する試料ステージの提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するための一態様として、押圧部材によって押圧される押圧部と、当該押圧部によって押圧される被摺動面を備えた試料ステージであって、試料ステージが停止するときに、上記押圧部が接する被摺動面の一部、及び／又はその一部に隣接する部分、或いは押圧部を加熱するように制御する試料ステージを提供する。このように被摺動面の一部等を加熱することによって、上述のような温度勾配を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子ビームを試料に照射し、試料から二次的に発生する信号を検出して画像を得る荷電粒子ビーム装置、及び試料の表面の帯電状態を知る方法において、試料の表面電位の計測を可能とし、試料の表面を一定電位に制御して、試料の状態を変化させずに安定した試料像を取得することができる荷電粒子ビーム装置、及び試料の表面の帯電状態を知る方法を提供する。
【解決手段】
荷電粒子ビームを対物レンズにより集束させて試料に照射し、試料から二次的に発生する信号を検出して画像を得る荷電粒子ビーム装置において、試料と対物レンズとの間を横切る軌跡を有する第二の荷電粒子ビームを発生させる電子源と、第二の荷電粒子ビームを検出する検出器と、検出器で検出された第二の荷電粒子ビームの軌跡に基づいて、試料の表面の帯電状態を計算する計算部とを備える。 （もっと読む）

【課題】高い精度を有し、安価に構成することが可能である、真空ステージ装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバー１内に、ステージ１１と、このステージ１１を回転させるエアースピンドル４と、このエアースピンドル４が収納されたボックス２０とを有し、ステージ１１を一軸方向に移動させる、断面円形状のスライド軸３が真空チャンバー１の内部から外部に延びて配置され、スライド軸３がボックス２０から両側に真空チャンバー１の外部へ一直線上に延びた単位構成が１個のみ設けられている真空ステージ装置を構成する。そして、この真空ステージ装置のスライド軸３に対して、その回転を規制すると共に、床面に対して静圧で浮上する構成を有している回転規制機構４０を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子顕微鏡内で熱電効果を発生させ、それに伴う発生磁場を可視化することにより、ナノレベルの熱電材料組織と熱電特性を同時に評価できる装置およびそれを用いた熱電材料を観察する方法の提供を目的とする。
【解決手段】磁場解析が可能な透過型電子顕微鏡用の試料ホルダであって、in-situで熱傾斜をかけることができる試料ホルダ。 （もっと読む）

【課題】 ＳＥＭ又はＴＥＭにおいて、より高分解能の観察・検査を行う。
【解決手段】 枠状部材１５０ａの開口１５０ｂが膜１５０ｃにより覆われており、膜１５０ｃの第１の面に試料３１５を保持するための試料保持体１５０において、膜１５０ｃの厚みＤと、膜１５０ｃにおいて枠状部材１５０ａの開口１５０ｂを覆っている部分の周囲長Ｌとの関係が、Ｌ／Ｄ＜２０００００となっている。 （もっと読む）

【解決手段】試料を電子顕微鏡内で直接ｉｎ‐ｓｉｔｕ操作、実験、及び分析することを可能にする装置、取付け台、ステージ、インターフェース、及びシステム。 （もっと読む）