【課題】本発明の目的は、異なる帯電が混在するが故に、正確な検査，測定が困難になる可能性がある点に鑑み、異なる帯電現象が含まれていたとしても、高精度な検査，測定を可能ならしめる方法、及び装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子線走査個所の表面電位の電位計測結果から、当該走査個所より広い領域の電位分布に基づいて得られる電位を減算する装置、及び方法を提案する。このような構成によれば、特性の異なる帯電現象が混在するような場合であっても、走査荷電粒子線装置による正確な検査，測定を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】異物の場所を電子顕微鏡画像の中で素早く、効率的に特定できる試料固定台及びそれを備えた電子顕微鏡、並びに、その異物の位置特定方法を提供する。
【解決手段】本発明による試料固定台は、荷電粒子線装置に備え付けられる試料固定台であって、試料固定台上にマーキングが設けられ、外部イメージング装置によって撮像された試料固定台の画像が正常位置から位置ずれしている場合に、マーキングの画像に位置ずれに応じた形状（画像における見え方に）変化が生じる。このマーキング（例えばクロスマーク）は、相対的位置関係が分かるように複数（例えば２つ）設けられている。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置を用いて、ガス雰囲気下における試料を観察する方法として、微量のガスを使い、例えば試料を加熱して反応中の変化を観察しようとすると、ガスの流れる方向によって試料ドリフトや振動の影響を受け、原子レベルでの観察が不可能であるという問題があった。また、大気中に暴露せずにかつ、試料の付け替え無しに試料を搬送する場合、真空装置を備えた大掛かりな装置が必要であった。
本発明の目的は、従来法では観察が困難であった試料のガス雰囲気での状態観察を原子レベルで観察可能な荷電粒子線装置および荷電粒子線装置用試料保持装置を提供することにある。
【解決手段】観察する試料に局所的にガスを噴射する機構を備えた荷電粒子線装置および荷電粒子線装置用試料保持装置において、観察する試料に近接し、試料に対し対向した微小ガス噴出部を設けたことにより達成される。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で試料の断面を広範囲に観察することができる試料観察方法及び試料観察装置を提供する。
【解決手段】微細パターンが形成されたウエハである平板状の試料Ｓに対して、グロー放電によって表面から深さ方向に掘削し、試料Ｓの表面から深さ方向に掘削断面を形成する。形成した掘削断面に電子線を照射し、ＳＥＭによって試料Ｓの掘削断面の観察を行う。グロー放電によって、試料Ｓの特定の位置に掘削断面を形成することができ、また試料Ｓの表面を広範囲に短時間で掘削することができる。従って、ウエハに形成された微細パターンの欠損の検査を、簡便に短時間で広範囲に実行することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 試料中の構成物を選択して効率的に試料検査を行うことができるとともに、当該試料検査を良好に行うことのできる試料保持体、試料検査方法及び試料検査装置並びに試料検査システムを提供する。
【解決手段】 電子線が透過する膜１１と該膜に対向するベース１２との間に設けられた試料保持空間５５と、該試料保持空間５５に試料を供給するための供給路５４とを有する試料保持体において、該供給路５４及び該試料保持空間５５のうちの少なくとも一方に試料中の構成物を分別するフィルター構造を備える。また、電子線が透過する対向配置された２つの膜の間に設けられた試料保持空間と、該試料保持空間に試料を供給するための供給路とを有する試料保持体において、該供給路及び該試料保持空間のうちの少なくとも一方に試料中の構成物を分別するフィルター構造を備える。 （もっと読む）

【課題】 ステージ移動機構の動作異常を検出する。
【解決手段】 電子銃１からのビームが照射される試料４を載置したステージ６、ステージ６を移動させるステージ移動機構、高さ検出器２１、ステージ駆動装置１０によりステージ６を移動させた時に高さ検出器２１が検出した試料表面の異なった箇所の高さ間の差分を算出する差分算出回路３３、基準値設定器３４からの基準値と差分算出回路３３からの各差分を順次比較し、基準値を越えた時にステージ移動機構の動作異常信号を発生する比較回路３５を備えた。 （もっと読む）

【課題】既存のリターディング機能を備えた荷電粒子線装置の大幅な構造変更を極力抑えた経済的かつシンプルな構成及びシステムで、観察試料が試料室内の構造部に接触して観察試料又は試料室内の構造部が破損してしまうのを防止する。
【解決手段】リターディング機能のための直流電圧に対し、観察試料５０の試料室内の構成部に対する接触検知のためには交流電圧を用い、この観察試料５０の接触検知のための交流電圧をリターディング機能のための直流電圧に重畳して、試料室５内の試料台８に載置された観察試料５０に一緒に印加する一方、試料室内の構成部に対する観察試料５０の接触検知のためには、試料台８に印加されている印加電圧から直流電圧成分を取り除いた交流電圧成分を取り出して監視する。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子線装置における制御対象デバイスの設定値の変更スピード（単位時間あたりの変更量）を動的に制御することにより、最適な設定値を探索するときの操作性を向上させること。
【解決手段】
グラフィックユーザーインターフェース３２は、ユーザーがその位置を移動操作可能なように設けられたマーカーを有するスライダーを備える。マーカーの基準位置からの変位量に応じてデバイス設定値の変更スピードが変化する。ユーザーがスライダー上のマーカー位置の移動操作をアクティブにすると、取得したマーカーの基準位置からの変位量を変換手段３５により変更スピードの値に換算する。この換算値に基づいたコマンドをタイマー３７で設定した一定時間間隔でデバイス３１に送信する。マーカー位置の移動操作がアクティブな間、再取得されたマーカーの基準位置からの変位量に基づいて更新したコマンドをデバイス３１送信する処理を継続する。 （もっと読む）

【課題】試料の角度調整を容易かつ正確に行うことができる走査電子顕微鏡用試料台およびその角度調整方法を提供する。
【解決手段】試料台２５は、試料を貼り付ける試料貼り付け板３０と、試料貼り付け板３０を３点で傾動自在に支持する３個の角度調整ネジ３１と、角度調整ネジ３１が螺入される本体３３と、本体３３に一体形成された接続ネジ３２に接続される台座３７とから構成される。角度調整ネジ３１は、螺入量が回転に応じて一定に変化するものであり、ユーザは、各角度調整ネジ３１を回転操作することにより、試料の角度を容易かつ正確に調整することができる。この角度調整は、実体顕微鏡によって試料の側面方向から試料台２５を観察しながら行う。なお、実体顕微鏡の観察視野内には、グリッド線が等間隔に平行に表示されており、このグリッド線を参照しながら角度調整を行う。 （もっと読む）

【課題】試料を機械研磨装置で研磨した後にイオンビームエッチング装置でエッチングする際の作業効率を向上する。
【解決手段】試料１５をイオンビームエッチング装置用の専用試料台１６に接着部材により固着した状態で専用試料台１６を研磨用試料台１１に機械的に着脱自在に固定し、研磨用試料台１１を機械研磨装置の試料取付台１８に機械的に着脱自在に固定して試料１５を機械研磨装置により機械研磨し、機械研磨の後に専用試料台１６を研磨用試料台１１から取り外してイオンビームエッチング装置内に入れ、専用試料台１６に固着されている試料のイオンビームエッチングを行う。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭを観察手段として用いるプロービング装置において、電子線照射により生じる測定試料への電荷の蓄積を抑制することのできる技術を提供する。
【解決手段】操作画面に映し出されるＳＥＭ像を観察しながら複数本のプローブ１０を操作して、その先端を試料８の各パターンに接触させた後、チャンバ５外に設置された光源部３および光学系４から試料８に紫外線を照射することにより、ＳＥＭ像を観察する際の電子線照射により発生した電荷を中和して、試料８への電荷の蓄積を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 プローブ先端の３次元的座標を迅速に把握する。
【解決手段】 第１の荷電粒子顕微鏡による顕微鏡画像３５及び第２の荷電粒子顕微鏡による顕微鏡画像３６を同時に又は切り替えて表示する画像表示手段と、第１の荷電粒子顕微鏡、第２の荷電粒子顕微鏡、ステージ制御系及びプローブ駆動機構を制御する計算処理部とを有し、計算処理部は、試料上の目標位置２３とプローブ６の先端とが入った第１の荷電粒子顕微鏡の顕微鏡画像と、試料上の目標位置とプローブの先端とが入った第２の荷電粒子顕微鏡の顕微鏡画像とから、目標位置に対するプローブの先端の３次元的な相対位置を求める。 （もっと読む）

【課題】 微細構造を持つデバイスの局所的な電気特性を測定し、不良を検出する。
【解決手段】 走査型電子顕微鏡で観察しながら、探針移動制御回路１８による制御で、
探針移動機構１４、１５、１６、１７により、鋭利な先端を有する複数の探針１、２、３
、４を、それぞれ試料電極５、６、７、８に接触電流が飽和するまで接近させ、確実に接
触させる。測定に用いるすべての探針の接触が完了したら、電気特性測定回路１９により
探針間の電流電圧特性を測定し、素子の局所的電気特性を得る。
【効果】 素子の局所的位置を直接探針であたることができるため、不良位置同定が容易
となる。 （もっと読む）

【課題】 電気や圧縮空気による動力を必要とせず、小型、軽量で操作性に優れたゲートバルブを提供すること。
【解決手段】 弁座に囲まれた開口部（８）を有する壁体（１０）と、弁座（６）に当接／離反することにより、開口部（８）を閉弁／開弁するための弁体（１２）と、開口部（８）に略平行な方向に前進、後退可能な基体（５）と、弁体（１２）と基体（５）を互いに変位可能に接続する接続機構（２０）と、弁体を開弁状態に位置させる付勢力を付与するための付勢力付与部材（２６）と、基体進行方向への弁体の移動を規制するストッパ（２８）と、基体（５）を壁体（１０）に対して相対的に変位しない第２の壁体（３０）に固定する固定手段（３２）とを備えたゲートバルブ。 （もっと読む）

【課題】 パーティクルを発生させることなく、簡単な構造で短時間に、かつ注入状態においても、ホルダとイオンビームとの間の角度を高精度で計測することができる装置を提供する。
【解決手段】 この角度計測装置５０は、イオンビーム２が残留ガスと衝突することによって生成され発光するビームプラズマ（図はイオンビーム２で代表）をカメラ２１、２２でビーム進行方向Ｚの２箇所で計測することによってイオンビーム２の角度を計測し、かつホルダ６に線状光源２６を設けておいてその光をカメラ２３で計測することによってホルダ６の角度を計測し、それによってイオンビーム２とホルダ６との間の角度を計測するよう構成されている。 （もっと読む）

高精度、高信頼性及び高スループットで試料上のパターンの欠陥を検査することができる装置及び該装置を用いた半導体製造方法が提供される。電子ビーム装置は、一次電子ビームを試料に照射し、試料から放出された反射電子の画像を検出器に形成することにより、試料の表面を観察し又は評価するための写像投影型電子ビーム装置である。電子衝撃型ＣＣＤ又は電子衝撃型ＴＤＩのような電子衝撃型検出器を、反射電子を検出するための検出器として用いる。反射電子は、試料から放出される二次電子と反射電子とのエネルギ差から選択的に検出される。一次電子ビームの照射によって試料表面に生じるチャージアップを除去するため、試料の表面は試料上に配置されたカバーで覆われ、カバーで覆われた試料上の空間にガスが供給される。ガスは試料表面と接触し、試料表面上のチャージアップを低減する。
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【課題】ミラー電子を使った電子線式検査装置においては、ウェハ上で予備帯電された領域の境界が像となって現れてしまい、正しい検査ができなかった。また、予備帯電は検査と同時に行われるため、照射時間を長くする必要がある場合、ステージの移動速度を遅くせざるを得ず、検査速度が遅くなってしまっていた。
【解決手段】予備照射のビーム源とウェハとの間に、そのサイズが可変な開口を設け、その大きさの一辺をウェハのチップ列の幅と等しくなるように設定し、かつ、チップ列と垂直方向へのウェハの動きに合わせて、開口も移動するように制御する。また、ステージの移動速度を遅くすること無く、ウェハの検査時のステージ移動途中に十分なビーム照射ができるように、その開口をチップ列と平行な方向に大きくするよう設定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】高精度な描画位置補正を行なうことのできる電子ビーム描画装置、偏向アンプ、電子ビーム描画方法、半導体装置の製造方法、及び電子ビーム描画プログラムを提供すること。
【解決手段】少なくとも１段の偏向アンプ及び偏向器（５，９）と、描画時のショット数を記憶する第１の記憶手段（３１）と、ショット数と前記偏向アンプの出力電圧との関係を示す補正テーブルを記憶する第２の記憶手段（３２）と、前記第２の記憶手段に記憶された補正テーブルと、前記第１の記憶手段に記憶されたショット数に基づいて、前記偏向アンプの出力を調整する調整手段（３３，３４）と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 変質のない良好な透過電子顕微鏡用観察試料の作成方法を提供すること。
【解決手段】 試料１を銅リング３に接着する際、試料１の向きを従来のそれに対して９０°回転させることでＦＩＢ加工面をダイシング加工面１ｂ方向にする。試料１のダイシング加工面１ｂ側からトレンチ１ｃを含む領域をＦＩＢ加工する。ＦＩＢ加工方向をこのように変更することで、埋め込みトレンチ１ｃを側面方向から薄片化できるため、加工深さはトレンチ幅（５μｍ）程度で済み、観察部位の非結晶化等は発生せず、良質なＴＥＭ用観察試料を作製可能である。 （もっと読む）