ゲートバルブ
【課題】 電気や圧縮空気による動力を必要とせず、小型、軽量で操作性に優れたゲートバルブを提供すること。
【解決手段】 弁座に囲まれた開口部(8)を有する壁体(10)と、弁座(6)に当接/離反することにより、開口部(8)を閉弁/開弁するための弁体(12)と、開口部(8)に略平行な方向に前進、後退可能な基体(5)と、弁体(12)と基体(5)を互いに変位可能に接続する接続機構(20)と、弁体を開弁状態に位置させる付勢力を付与するための付勢力付与部材(26)と、基体進行方向への弁体の移動を規制するストッパ(28)と、基体(5)を壁体(10)に対して相対的に変位しない第2の壁体(30)に固定する固定手段(32)とを備えたゲートバルブ。
【解決手段】 弁座に囲まれた開口部(8)を有する壁体(10)と、弁座(6)に当接/離反することにより、開口部(8)を閉弁/開弁するための弁体(12)と、開口部(8)に略平行な方向に前進、後退可能な基体(5)と、弁体(12)と基体(5)を互いに変位可能に接続する接続機構(20)と、弁体を開弁状態に位置させる付勢力を付与するための付勢力付与部材(26)と、基体進行方向への弁体の移動を規制するストッパ(28)と、基体(5)を壁体(10)に対して相対的に変位しない第2の壁体(30)に固定する固定手段(32)とを備えたゲートバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本件発明は、高真空系の各種分析装置や半導体処理装置において用いられるゲートバルブに関する。
【背景技術】
【0002】
電子顕微鏡やイオン顕微鏡などの各種分析装置や半導体処理装置では、高真空の処理室や搬送室を区切るためにゲートバルブが用いられる。従来のゲートバルブとして、リンク機構を用いたものが多く知られている(例えば特許文献1〜3)。
【0003】
図13は、従来の代表的なゲートバルブを示す断面図である(特許文献1、図7参照)。図13に示す例では、ゲートバルブ100は、真空処理室PC1の壁部PC1bに形成された開口部PC1aを弁体112によって気密封止する。弁体112は、リンク機構116によって弁体フレーム114に接続されている。弁体フレーム114は、昇降するシャフト120に接続されており、シャフト120は空圧シリンダ(図示せず)によって昇降運動する。
【0004】
弁体112は、所定距離上昇すると壁面122に当接して、その方向への運動が制限される。制限された動力は、リンク機構116を介して弁体112を開口部PC1a方向に移動させる動力に変換される。そして、弁体112は、開口部PC1aを気密に封止する。また、開口部PC1aを開放する場合には、空圧シリンダを収縮させてシャフト120を下降させることにより、逆順の動作が行われる。そして、ばね131の収縮力により、弁体112は、開口部PC1aから離れ、弁体フレーム114と共に下降する。
【0005】
【特許文献1】特開2001−324032号公報
【特許文献2】特開平10−110834号公報
【特許文献3】WO00/75542号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、上記ゲートバルブにおいて、弁体112によって開口部PC1aを気密封止するためには、弁体112を開口部PC1a方向に押圧して開口部PC1aの周囲に敷設したOリング124を潰さなければならない。弁体112を押圧する力は、シャフト120を支点としたリンク機構116によって伝達される。従って、シャフト120の剛性を高めなければ、Oリングがつぶれる前にシャフト120が逃げてしまい、気密封止ができない。また、開口部PC1aの気密状態を保持するためには、空圧等で恒久的な駆動力を弁体120に加え続けなければならない。
【0007】
従って、従来のゲートバルブでは、高剛性のシャフトや、恒久的な駆動力を付与する構成が必要であり、ゲートバルブの小型化、軽量化が困難であった。そこで本件発明は、電気や圧縮空気による動力を必要とせず、小型、軽量で操作性に優れたゲートバルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記課題を解決するために、本件発明に係るゲートバルブは、弁座に囲まれた開口部を有する壁体と、前記弁座に当接/離反することにより、前記開口部を閉弁/開弁するための弁体と、前記開口部に略平行な方向に前進、後退可能な基体と、前記弁体と前記基体を互いに変位可能に接続する接続機構と、前記弁体を開弁状態に位置させる付勢力を付与するための付勢力付与部材と、前記基体進行方向への前記弁体の移動を規制するストッパと、前記基体を、前記壁体に対して相対的に変位しない第2の壁体に固定する固定手段と、を備えたゲートバルブであって、
前記接続機構は、前記弁体が前記基体の進行方向と逆方向に変位すると同時に前記基体から離反するように、前記弁体と前記基体を接続しており、
前記基体の進行により前記弁体が前記ストッパに当接するまで移動された後、さらに前記基体が進行することにより、前記弁体が前記基体から離反しながら前記弁座に当接して閉弁し、当該閉弁状態において前記基体が前記第2の壁体に固定されることを特徴とする。
【0009】
本件発明に係るゲートバルブによれば、基体が第2の壁体に固定されるため、基体の逃げを防止して、気密性の高いシールが可能となる。すなわち、弁体が弁座に着座してOリングを潰す際に基体に対する曲げ応力が加わるが、基体が第2の壁体に固定されているため、基体が逃げない。従って、基体の剛性がそれ程高くなくても、弁体を弁座に強い力で押圧し、Oリングを完全に潰して、気密性の高いシールを行うことができる。また、閉弁状態において、基体が第2の壁体に固定されているため、電気や空気圧による駆動力を与えなくても閉弁状態が維持できる。従って、基体の操作を手動で行えば、基体を駆動するためのアクチュエータや空気シリンダが不要になる。このように本発明のゲートバルブによれば、基体の剛性を高めなくても気密性の高いシールが可能であり、閉弁状態を維持するための駆動力が不要であるため、極めて小型、軽量のゲートバルブとすることができる。
【0010】
本件発明において、前記固定手段が、前記弁体が前記弁座に当接すると略同時に又は当接する前から前記基体を把持することが好ましい。弁体が弁座に当接すると同時に基体に対する曲げ応力が加わり始めるので、それと同時、又はその前から基体を壁体に固定することにより、基体の逃げをより効果的に抑制できる。また、基体がたわみ始める前に基体を把持しておくことにより、固定部材による基体の把持動作を確実に行うことができる。また、前記固定手段が、前記基体進行方向にある基体先端を固定すれば、基体のたわみを一層効果的に防止できる。
【0011】
さらに、前記固定手段が前記基体進行方向に螺子切された雄又は雌螺子であり、前記基体が進行しながら前記固定手段に螺合されることが好ましい。基体が前進しながら第2の壁体に螺合されることにより、弁体の着座前からの基体の把持と閉弁後の固定を容易に行うことができる。また、付勢力付与部材の付勢力に抗して行う閉弁作業も容易となる。
【0012】
前記接続機構は、例えば、リンク機構にすることができる。この場合、前記付勢力付与部材として、弁体の基体後方への変位に抵抗するネジリコイルバネを用いれば、弁体の変位機構を小型化することができる。
【0013】
また、前記接続機構は、前記基体と前記弁体とを摺動面を介して接続し、前記摺動面を前記基体進行方向から斜めに傾斜させたものでも良い。例えば、前記接続機構として、前記基体側にある第1の傾斜面と、前記弁体側にある第2の傾斜面とを有し、前記第1の傾斜面と前記第2の傾斜面を互いに摺動可能に接続すれば良い。このとき、前記第1の傾斜面と前記第2の傾斜面をクロスローラ方式によって摺動可能に接続すれば、高剛性かつ低摩擦の摺動面となるため、気密性の高い閉弁が可能になると共に、閉弁動作が円滑となる。また、付勢力付与部材として、弁体の基体後方への変位に抵抗する圧縮バネを用いても良い。
【0014】
さらに、前記接続機構は、前記基体又は前記弁体の一方に固定された案内溝と、その他方に固定された被案内部材とを備え、前記被案内部材が、前記基体進行方向に対して斜めに移動可能となるように前記案内溝に係合していても良い。このとき、前記付勢力付与部材としては、例えば、前記弁体と前記基体を接続する引っ張りバネを用いることができる。
【0015】
また、本件発明は、試料を観察又は加工するための真空対応のメインチャンバと、前記メインチャンバに試料を導入するためのサブチャンバとを備えた真空装置であって、前記メインチャンバとサブチャンバの間に本件発明のゲートバルブを備えた真空装置でもある。この真空装置では、本件発明に係るゲートバルブを採用することで、低剛性の軽量シャフトを採用することができ、また、空圧シリンダやアクチュエータが不要となるため、極めて小型、軽量で、操作性に優れた真空装置とすることができる。
【0016】
例えば、本件発明の真空装置を用いて電子顕微鏡を構成すれば、小型、軽量で、操作性に優れた電子顕微鏡とすることができる。その場合、真空対応のメインチャンバを試料観察用の鏡筒とし、サブチャンバを鏡筒に試料を導入するための試料交換室とすれば良い。
【発明の効果】
【0017】
本件発明によれば、小型、軽量で操作性に優れたゲートバルブを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0018】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。尚、本件明細書で「前方」、「後方」といった場合、特に説明のない限り、基体の前進方向、基体の後退方向を指す。
【0019】
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係るゲートバルブ1を示す斜視図である。また、図2は、ゲートバルブ1の開弁状態を示す断面図であり、図3は、ゲートバルブ1の閉弁状態を示す断面図である。真空対応のメインチャンバ2と試料導入用のサブチャンバ(又はロードロックチャンバ)4は隔壁10で隔てられており、その隔壁10に形成された開口部8にゲートバルブ1が配設されている。開口部8を包囲する隔壁10に枠状の弁座6が設けられ、その弁座6に略矩形の板状体である弁体12が当接/離反することにより、開口部8が閉弁/開弁される。弁体12の着座面には、その外縁に沿ってOリング14が敷設されている。弁体12が弁座6に当接した際に弁体12と弁座6の間でOリング14がつぶれることにより、開口部8が気密封止される。弁座6は、Oリング14と密着性の良い材料からなる枠状部材としても良いし、単に隔壁10自身であっても良い。
【0020】
弁体12はリンク機構20を介して開口部8に平行な方向に前進、後退可能な基体5に取り付けられている。弁体12は、第1支持部材22に固定されており、その第1支持部材22の両面に上下2本、計4本のリンク20が回動可能に取付けられている。4本のリンク20の他端は、基体5(具体的には、基体5中の第2支持部材18)に回動可能に固定されている。
【0021】
一方、基体5は、開口部8に平行な方向に前進、後退可能に配設されたシャフト16と、シャフト16に環装された第2支持部材18と、Eリング24と、螺子切されたシャフトの先端17と、から構成されている。螺子切された先端17は、シャフト16自身の先端であったも、シャフト16に固定されてシャフト16と共に回転、前後する別部材であっても良い。一方、第2支持部材18は、シャフト16が回転自在となるようにシャフト16に環装されている。また、第2支持部材18がシャフト軸方向にずれないようにするための固定部材として、第2支持部材18の前後を挟むようにEリング24がシャフト16に嵌着されている。Eリング24は、図5に示すような内周に爪状の突起を有する半円環状の部材であり、図6に示すように、シャフト16に形成された環状溝16aに嵌入されている。さらに、リンク20には、図4に示すようなねじりコイルバネ26が取付けられており、弁体12がシャフト16に対して前方に変位した状態を保持するよう付勢力を与えている。
【0022】
このように接続された弁体12は、基体5の進行方向に平行に変位可能になると共に、弁体12が基体5を基準として後方に変位すると基体5から離反するようになる。
【0023】
また、図2及び図3に示すように、シャフト16は隔壁10に直交するサブチャンバ4の内壁30aに設けられた貫通孔31に挿通されており、シャフト16の側面と貫通孔31の内周の間にOリング34が配設されている。これによってシャフト16をサブチャンバ4の外側から軸方向に前進、後退させることが可能になると共に、サブチャンバ4の気密性が保持される。また、隔壁10に直交する、もう一方の内壁30bには、シャフト16の先端17を挿入可能なシャフト受孔32が形成されている。受孔32の内周面に雌ネジが螺刻され、シャフトの先端17には雄ネジが螺刻されている。シャフトの先端17と受孔32が互いに螺合することによって、基体5が内壁30bに固定される。また、開口部8に隣接する位置に、弁体12の移動を規制するためのストッパ28が形成されている。図1に示す例では、隔壁10と内壁30bの交差部に角柱形のストッパ28が設けられている。
【0024】
次に、このゲートバルブ1の動作について説明する。
まず、図2は、ゲートバルブの開弁状態を示す。図2に示すように、基体5は内壁30aの方向に後退している。また、ねじりコイルバネ26の付勢力により、弁体12は、リンク20の可動範囲内で基体5を基準として前方に変位した状態に保持されている。その結果、弁体12は、隔壁10から離間した位置にある。
【0025】
この位置から基体5が前進すると、弁体12が開口部8に隣接して設けられたストッパ28に当接し、弁体12の基体5の進行方向への移動が規制される。そこから、ねじりコイルバネ26の付勢力に抗して基体5をさらに前進させると、リンク20が回動し、弁体12が基体5から離反しながら開口部8の方向に向かって移動する。
【0026】
弁体12が開口部8を包囲する弁座6に着座すると略同時、又はその前に、シャフト16の先端17が内壁30bに設けられた受孔32に到達し、受孔32と係合するようにする。そこからシャフト先端17の螺刻方向にシャフト16を回転させると、図3に示すように、シャフト先端17と受孔32が螺合しながら、基体5がさらに前進する。基体5の前進に伴い、弁体12が弁座16に向かって押し付けられ、Oリング14が潰れて開口部8が気密封止される。
【0027】
ここで弁体12が弁座6に着座すると略同時、又はその前に、シャフト先端17が受孔32と係合することにより、基体5の逃げを防止して、気密性の高いシールが可能となる。すなわち、弁体12が弁座6に着座してOリング14を潰す際に基体5に対する曲げ応力が加わるが、そのときはシャフト先端17が既に内壁30の受孔32と係合しているため、基体5が逃げない。従って、基体5中のシャフト16の剛性がそれ程高くなくても、弁体12を弁座6に強い力で押圧し、Oリング14を完全に潰して、気密性の高いシールを行うことができる。
【0028】
また、閉弁状態において、シャフト先端17と受孔32との螺合によって基体5が内壁30bに固定されているため、電気や空気圧による駆動力を与えなくても閉弁状態が維持できる。従って、基体5の操作を手動で行えば、基体5を駆動するためのアクチュエータや空気シリンダが全く不要になる。
【0029】
このように本実施の形態におけるゲートバルブによれば、基体中のシャフトの剛性を高めなくても気密性の高いシールが可能であり、閉弁状態を維持するための駆動力が不要であるため、極めて小型、軽量のゲートバルブとすることができる。
【0030】
尚、シャフト先端17を内壁30bに固定する手段は、雄螺子と雌螺子による螺合には限定されない。基体5の逃げを抑えながら基体5を前進させ、所定量だけ基体5が前進した状態で基体5を固定できる接続機構であれば良い。基体5の固定、解除は、シャフト16の回転により行えば、接続機構が簡易になり好ましい。
【0031】
例えば、図7に示すような接続機構を用いても良い。図7に示すように、シャフト先端17の周面に略平行な2つの平坦面19を形成すると共に、平坦面19を除くシャフト先端17の周面に周期的な環状突起21aを形成する。一方、内壁30bの受孔32の内周にも略平行な2つの平坦面29を形成すると共に、平坦面29を除く受孔27の内周面に環状突起21aと噛合する環状溝21bを形成する。平坦面29は、シャフト先端17が挿入可能となるように、周方向に曲率をもった凹面となっている。シャフト先端17の平坦面19の組と受孔32の平坦面29の組とが互いに直交する状態では、環状突起21aと環状溝21bが噛合しないため、シャフト先端17をスライドにより受孔32に挿入することが可能である。一方、シャフト先端17を受孔32に挿入した状態で、シャフト16を90°回転させれば、環状突起21aと環状溝21bが噛合してシャフト先端17が内壁30に固定される。尚、平坦面19及び29は、環状突起21や環状溝21bと噛合する突起や溝が形成されていない面であれば良く、曲率や段差がついていても構わない。また、図7に示した具体例に限らず、シャフト16の回転によって、基体5の固定、解除を行うことができれば、図7の具体例と同様の機能を発揮することができる。また、シリンダ16が回転する代わりに、受孔32が回転することにより、固定、解除ができるものでも良い。
【0032】
尚、図1〜3の例のように、雄螺子と雌螺子の螺合によってシャフト先端17を内壁30bに固定すれば、閉弁動作が容易かつ円滑になる効果がある。すなわち、基体5を前進させてシャフト先端17を内壁30bに固定するには、その間ネジリコイルばねの付勢力に対抗してシャフト16を押し続けなければならない。しかし、雄螺子と雌螺子の螺合によってシャフト先端17を内壁30bに固定すれば、雄螺子を雌螺子が少しでも係合した後は、ネジリコイルばね26の付勢力を螺子によって支えることができる。従って、閉弁動作の途中でシャフト16に加える力を解除しても、シャフト16がバネの力で後退することがない。また、弁体12が着座した後は基体5に曲げ応力が加わった状態で基体5を前進させることになる。従って、シャフト先端17を支える部分に大きな摩擦抵抗が生じ、シャフト16の前進に大きな力が必要となる。雄螺子と雌螺子の螺合によってシャフト先端17を内壁30bに固定すれば、シャフト16を回転させながら基体5を前進させることができるため、摩擦抵抗に抗して基体5を前進させ易くなる。
【0033】
尚、本実施の形態では、4本のリンク20で弁体12とシャフト16を接続する例について説明したが、リンクの数は4本に限らない。必要な剛性が得られれば、リンク20が2本或いは1本であっても良い。
【0034】
実施の形態2.
図8は、実施の形態2に係るゲートバルブを示す断面図である。本実施の形態においては、リンク機構に代えて、傾斜した摺動面を介して弁体12と基体5が接続されている。その他の点は実施の形態1と同様である。
【0035】
図8に示すように、実施の形態1と同様、基体5は、開口部8に平行な方向に前進、後退可能に配設されたシャフト16と、シャフト16に環装された支持部材18と、Eリング24と、螺子切されたシャフトの先端17と、から構成されている。螺子切された先端17は、シャフト16自身の先端であったも、シャフト16に固定されてシャフト16と共に回転、前後する別部材であっても良い。支持部材18は、シャフト16が回転自在となるようにシャフト16に環装されている。また、Eリング24は、支持部材18がシャフト軸方向のずれないようにするための固定部材として、支持部材18の前後を挟むようにシャフト16に嵌着されている。
【0036】
弁体12は、1組の摺動面を有する摺動ユニット40を介して、基体5の支持部材18に接続されている。摺動ユニット40は、弁体12に固定された第1摺動部材38と、支持部材18に接続された第2摺動部材39から成る。第1摺動部材38と第2摺動部材39は、各々、第1摺動面38a及び第2摺動面39aを有し、互いに摺動可能に接触している。また、第1摺動面38aと第2摺動面39aは、弁体12のシール面に対して所定角度(図8の例では約6°)傾斜するように設けられている。これによって支持部材18と弁体12は、互いに変位可能に接続される。第1及び第2摺動面38a及び39bの傾斜方向は、弁体12が基体5を基準として後方に変位すると基体5から離反するように設定されている。
【0037】
また、弁体12が基体5を基準に前方に変位した状態を保持する付勢力を与えるため、圧縮バネ40が支持部材18と弁体12の間に挿入されている。すなわち、支持部材18に固定された第2摺動部材39の前後に前側枠部材36a及び後側枠部材36bが固着されている。弁体12は、前側枠部材36aと後側枠部材36bの間に挟まれており、弁体12と後側枠部材36bの間に圧縮バネ40が挿入されている。尚、これに代えて、前側枠部材36aと弁体12の間に引っ張りバネを挿入しても良い。
【0038】
次に、このゲートバルブ1の動作について説明する。
基体5が前進すると、弁体12が開口部8に隣接して設けられたストッパ28に当接し、弁体12の基体進行方向への移動が規制される。そこから、圧縮バネ40の付勢力に抗して基体5をさらに前進させると、摺動ユニット40が斜めに摺動し始め、弁体12がシャフト16から離反しながら開口部8の方向に向かって移動する。
【0039】
弁体12が開口部8を包囲する弁座6に着座すると略同時、又はその前に、シャフトの先端17が内壁30bに設けられたシャフト受孔32に到達し、受孔32と係合するようにする。シャフト先端17の螺刻方向にシャフト16を回転させことにより、シャフト先端17と受孔32が螺合しながら、基体5がさらに前進する。そして、基体5の前進に伴い、弁体12が弁座16に向かって押し付けられ、Oリング14が潰れて開口部8が気密封止される。
【0040】
このゲートバルブによっても、実施の形態1と同様に、シャフト16の逃げを防止して、気密性の高いシールが可能となる。また、閉弁状態において、シャフト先端17と受孔32との螺合によって基体5が内壁30bに固定されているため、電気や空気圧による駆動力を与えなくても閉弁状態が維持できる。従って、極めて小型、軽量のゲートバルブとすることができる。
【0041】
尚、本実施の形態において、基体5に対する曲げ応力が摺動ユニット40にも加わる。従って、摺動ユニット40は、高剛性で、摺動面の摩擦抵抗が少ないものとすることが好ましい。例えば、摺動ユニット40の第1摺動部材38と第2摺動部材39をクロスローラ方式で接続することが好ましい。クロスローラ方式では、摺動面に設けられたV溝レールに円筒ローラが交互に直交配列されており、ローラとV溝が線接触となるため高剛性であり、しかも摩擦抵抗が極めて小さい。従って、気密性の高いシールが可能になると共に、比較的小さな力で閉弁動作が行えるようになる。
【0042】
実施の形態3.
本実施の形態のゲートバルブは、傾斜した摺動面を介して弁体12と基体5が接続されている点は実施の形態2と同様であるが、摺動面が、弁体の裏面に固定された軸(=被案内部材)と支持部材18に固定されたU字状の軸受部材(=案内部材)で構成される点が異なる。また、シャフト先端の固定部における螺子の雄雌を反転させ、シャフト16を回転させる代わりに、内壁30に埋設した回転部材50の回転させることによって基体5の固定を行う。その他の点は、実施の形態2と同様である。
【0043】
図9は、本実施の形態に係るゲートバルブ1を示す断面図である。基体5は、シャフト16と、シャフト16に環装された支持部材18と、雌に螺子切されたシャフトの先端27と、から構成されている。雌に螺子切された先端27は、シャフト16自身の先端であったも、シャフト16に固定されてシャフト16と共に回転、前後する別部材であっても良い。シャフト16に環装された支持部材18に、U字溝43を形成した軸受部材42が固着されている。軸受部材42は、支持部材18の両面に上下2本ずつ、計4本固着されている。一方、弁体12のシール面と反対の面には、シャフト16に直交する軸44を形成した軸台座46が上下2カ所に固着されている。支持部材18の両面に固着された軸受部材42は、2本が一組となって、各々1本の軸44を支持している。
【0044】
ここで軸受部材42に設けられたU字溝は、図10の部分拡大図に示すように、全体が下方(シャフトの後方側)に向かってやや斜めに傾斜しており、U字溝中を軸44が斜め下方に摺動可能になっている。一方、U字溝の上側末端43aは鉤状になっており、軸44の上方(シャフトの前方側)への移動を規制している。これによって、支持部材18と弁体12は、互いに変位可能に接続される。また、U字溝43の傾斜方向は、弁体12が基体5を基準として後方に変位すると基体5から離反するように設定されている。また、弁体12が基体5に対して前方に変位した状態を保持する付勢力を与えるため、引っ張りバネ48が、支持部材18と弁体12に接続されている。
【0045】
尚、本実施の形態では、シャフト先端27の固定部における螺子の雄雌を反転させ、シャフト16を回転させる代わりに、内壁30に埋設した回転部材50を回転させることによって基体5の固定を行う。従って、支持部材18内でシャフト16を回転させる必要がなく、支持部材18をシャフト16に単純に固着すれば良い。図11は、シャフト先端27の固定部分を示す部分拡大断面図である。サブチャンバ4の内壁30に、先端に雄螺子54を形成した回転部材50が埋設されている。回転部材50は、断面が略T字状の円筒形であり、T字傘部分の下側周面にベアリング56が配設されており、シャフト16の中心軸回りに回転可能になっている。また、回転部材50の側面と内壁30の間にOリング34が配設されており、回転部材50と内壁30の間が気密封止されている。一方、シャフト先端27には、回転部材50の先端54と螺合可能な雌螺子が螺刻されている。回転部材50をサブチャンバ4の外側から回転させることにより、回転部材の先端54をシャフト先端27と螺合させ、基体5の固定を行うことができる。
【0046】
次に、このゲートバルブ1の動作について説明する。
図9に示すように、基体5が前進すると、弁体12が開口部8に隣接して設けられたストッパ28に当接し、弁体12の基体進行方向への移動が規制される。そこから、引っ張りバネ48の付勢力に抗して基体5をさらに前進させると、U字溝43中を軸44が斜め下方に摺動し、弁体12が基体5から離反しながら開口部8の方向に向かって移動する。
【0047】
弁体12が開口部8を包囲する弁座6に着座すると略同時、又はその前に、シャフト16の先端27が内壁30bに設けられた回転部材50の先端54と係合するようにする。回転部材の先端54の螺刻方向に回転部材50を回転させことにより、シャフト先端27と回転部材50が螺合しながら、基体5がさらに前進する。そして、基体5の前進に伴い、弁体12が弁座16に向かって押し付けられ、Oリング14が潰れて開口部8が気密封止される。
【0048】
本実施の形態においても、実施の形態1及び2と同様に、基体5の逃げを防止して、気密性の高いシールが可能となる。また、閉弁状態において、シャフト先端27と回転部材50との螺合によって基体5が内壁30bに固定されているため、電気や空気圧による駆動力を与えなくても閉弁状態が維持できる。従って、極めて小型、軽量のゲートバルブとすることができる。
【0049】
実施の形態4.
本実施の形態では、実施の形態1で説明したゲートバルブを用いて真空装置を構成した例について説明する。図12は、そのような真空装置を示す模式図である。試料の処理を行うための真空対応のメインチャンバ2と、メインチャンバ2に試料を導入するためのサブチャンバ4が、隔壁8を介して接続されている。隔壁8には開口部8が設けられ、さらに開口部8を開閉するために実施の形態1のゲートバルブ1が配設されている。また、サブチャンバ4の側壁30には試料搬送装置7が配設されており、その先端に載置した試料9は開口部8を通じてメインチャンバ2内に移送することができる。
【0050】
この真空装置は、例えば以下のようにして操作することができる。まず、サブチャンバ4の扉(図示せず)を開け、試料9を試料搬送装置7の先端に載置する。このときゲートバルブ1は、シャフト16の先端が側壁30に固定されて、閉弁した状態にある。次に、サブチャンバ4の扉を閉め、サブチャンバ4内を真空ポンプ(図示せず)で荒引きする。サブチャンバ4内が所定の真空度に達すると、ゲートバルブ1を操作して、開口部8を開く。すなわち、ゲートバルブ1のシャフト16を手動で回し、側壁30に螺合されたシャフト16の先端を外す。そして、シャフト16を後退させると、弁座12が開口部8から離反して、開口部8が開放される。そして、試料搬送装置7を操作して、試料9をメインチャンバ2に搬送する。それが終了すると、シャフト16を前進させ、シャフト先端が側壁30の受孔(図示せず)と係合したところでシャフト16を回転させる。シャフト16の回転により、シャフト16の先端が側壁30に螺合され、それと同時に弁体12が開口部8の向かって押しつけられて閉弁する。
【0051】
本実施の形態の真空装置では、本件発明に係るゲートバルブを採用することで、
空圧シリンダやアクチュエータが不要となり、極めて小型、軽量で、操作性に優
れた装置とすることが出来る。また、本実施の形態の真空装置は、走査型電子顕
微鏡、透過型電子顕微鏡、走査型FIB(フォーカスイオンビーム)顕微鏡等の
検査装置、電子線描画装置、FIBリペア装置等の加工装置に応用することがで
きる。また、種々のプラズマを用いるエッチング装置、コーティング装置、アッ
シング装置等にも応用することができる。なお、本実施の形態の真空装置を電子
線顕微鏡に応用する場合、上記メインチャンバ2を鏡筒と連結された試料を観察
する為の試料室とし、サブチャンバ4を試料室に試料を導入する為の試料交換室
とすれば良い。
【図面の簡単な説明】
【0052】
【図1】図1は、本発明の実施の形態1に係るゲートバルブを示す斜視図である。
【図2】図2は、図1に示すゲートバルブが開弁状態にある様子を示す断面図である。
【図3】図3は、図1に示すゲートバルブが閉弁状態にある様子を示す断面図である。
【図4】図4は、実施の形態1で用いるネジリコイルばねを示す模式図である。
【図5】図5は、Eリングの一例を示す平面図である。
【図6】図6は、Eリングをシャフトに装着した様子を示す模式図である。
【図7】図7は、シャフト先端の固定方法の別形態を示す斜視図である。
【図8】図8は、本発明の実施の形態2に係るゲートバルブを示す断面図である。
【図9】図9は、本発明の実施の形態3に係るゲートバルブを示す断面図である。
【図10】図10は、9に示すゲートバルブの接続機構を示す部分拡大図である。
【図11】図11は、図9に示すゲートバルブのシャフト先端部分を示す部分拡大図である。
【図12】図12は、本発明の実施の形態4に係る高真空装置を示す模式断面図である。
【図13】図13は、従来のゲートバルブの一例を示す断面図である。
【符号の説明】
【0053】
2 メインチャンバ、4 サブチャンバ、5 基体、6 弁座、7 試料搬送装置、8 開口部、9 試料、10 隔壁、12 弁体、14、34及び35 Oリング、16 シャフト(基体)、18及び22 支持部材、20 リンク機構、24 Eリング、26 ネジリコイルばね、28 ストッパ、30 側壁、38 第1摺動部材、39 第2摺動部材、40 摺動ユニット、42 軸受部材、46 軸台座、50 回転部材
【技術分野】
【0001】
本件発明は、高真空系の各種分析装置や半導体処理装置において用いられるゲートバルブに関する。
【背景技術】
【0002】
電子顕微鏡やイオン顕微鏡などの各種分析装置や半導体処理装置では、高真空の処理室や搬送室を区切るためにゲートバルブが用いられる。従来のゲートバルブとして、リンク機構を用いたものが多く知られている(例えば特許文献1〜3)。
【0003】
図13は、従来の代表的なゲートバルブを示す断面図である(特許文献1、図7参照)。図13に示す例では、ゲートバルブ100は、真空処理室PC1の壁部PC1bに形成された開口部PC1aを弁体112によって気密封止する。弁体112は、リンク機構116によって弁体フレーム114に接続されている。弁体フレーム114は、昇降するシャフト120に接続されており、シャフト120は空圧シリンダ(図示せず)によって昇降運動する。
【0004】
弁体112は、所定距離上昇すると壁面122に当接して、その方向への運動が制限される。制限された動力は、リンク機構116を介して弁体112を開口部PC1a方向に移動させる動力に変換される。そして、弁体112は、開口部PC1aを気密に封止する。また、開口部PC1aを開放する場合には、空圧シリンダを収縮させてシャフト120を下降させることにより、逆順の動作が行われる。そして、ばね131の収縮力により、弁体112は、開口部PC1aから離れ、弁体フレーム114と共に下降する。
【0005】
【特許文献1】特開2001−324032号公報
【特許文献2】特開平10−110834号公報
【特許文献3】WO00/75542号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、上記ゲートバルブにおいて、弁体112によって開口部PC1aを気密封止するためには、弁体112を開口部PC1a方向に押圧して開口部PC1aの周囲に敷設したOリング124を潰さなければならない。弁体112を押圧する力は、シャフト120を支点としたリンク機構116によって伝達される。従って、シャフト120の剛性を高めなければ、Oリングがつぶれる前にシャフト120が逃げてしまい、気密封止ができない。また、開口部PC1aの気密状態を保持するためには、空圧等で恒久的な駆動力を弁体120に加え続けなければならない。
【0007】
従って、従来のゲートバルブでは、高剛性のシャフトや、恒久的な駆動力を付与する構成が必要であり、ゲートバルブの小型化、軽量化が困難であった。そこで本件発明は、電気や圧縮空気による動力を必要とせず、小型、軽量で操作性に優れたゲートバルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記課題を解決するために、本件発明に係るゲートバルブは、弁座に囲まれた開口部を有する壁体と、前記弁座に当接/離反することにより、前記開口部を閉弁/開弁するための弁体と、前記開口部に略平行な方向に前進、後退可能な基体と、前記弁体と前記基体を互いに変位可能に接続する接続機構と、前記弁体を開弁状態に位置させる付勢力を付与するための付勢力付与部材と、前記基体進行方向への前記弁体の移動を規制するストッパと、前記基体を、前記壁体に対して相対的に変位しない第2の壁体に固定する固定手段と、を備えたゲートバルブであって、
前記接続機構は、前記弁体が前記基体の進行方向と逆方向に変位すると同時に前記基体から離反するように、前記弁体と前記基体を接続しており、
前記基体の進行により前記弁体が前記ストッパに当接するまで移動された後、さらに前記基体が進行することにより、前記弁体が前記基体から離反しながら前記弁座に当接して閉弁し、当該閉弁状態において前記基体が前記第2の壁体に固定されることを特徴とする。
【0009】
本件発明に係るゲートバルブによれば、基体が第2の壁体に固定されるため、基体の逃げを防止して、気密性の高いシールが可能となる。すなわち、弁体が弁座に着座してOリングを潰す際に基体に対する曲げ応力が加わるが、基体が第2の壁体に固定されているため、基体が逃げない。従って、基体の剛性がそれ程高くなくても、弁体を弁座に強い力で押圧し、Oリングを完全に潰して、気密性の高いシールを行うことができる。また、閉弁状態において、基体が第2の壁体に固定されているため、電気や空気圧による駆動力を与えなくても閉弁状態が維持できる。従って、基体の操作を手動で行えば、基体を駆動するためのアクチュエータや空気シリンダが不要になる。このように本発明のゲートバルブによれば、基体の剛性を高めなくても気密性の高いシールが可能であり、閉弁状態を維持するための駆動力が不要であるため、極めて小型、軽量のゲートバルブとすることができる。
【0010】
本件発明において、前記固定手段が、前記弁体が前記弁座に当接すると略同時に又は当接する前から前記基体を把持することが好ましい。弁体が弁座に当接すると同時に基体に対する曲げ応力が加わり始めるので、それと同時、又はその前から基体を壁体に固定することにより、基体の逃げをより効果的に抑制できる。また、基体がたわみ始める前に基体を把持しておくことにより、固定部材による基体の把持動作を確実に行うことができる。また、前記固定手段が、前記基体進行方向にある基体先端を固定すれば、基体のたわみを一層効果的に防止できる。
【0011】
さらに、前記固定手段が前記基体進行方向に螺子切された雄又は雌螺子であり、前記基体が進行しながら前記固定手段に螺合されることが好ましい。基体が前進しながら第2の壁体に螺合されることにより、弁体の着座前からの基体の把持と閉弁後の固定を容易に行うことができる。また、付勢力付与部材の付勢力に抗して行う閉弁作業も容易となる。
【0012】
前記接続機構は、例えば、リンク機構にすることができる。この場合、前記付勢力付与部材として、弁体の基体後方への変位に抵抗するネジリコイルバネを用いれば、弁体の変位機構を小型化することができる。
【0013】
また、前記接続機構は、前記基体と前記弁体とを摺動面を介して接続し、前記摺動面を前記基体進行方向から斜めに傾斜させたものでも良い。例えば、前記接続機構として、前記基体側にある第1の傾斜面と、前記弁体側にある第2の傾斜面とを有し、前記第1の傾斜面と前記第2の傾斜面を互いに摺動可能に接続すれば良い。このとき、前記第1の傾斜面と前記第2の傾斜面をクロスローラ方式によって摺動可能に接続すれば、高剛性かつ低摩擦の摺動面となるため、気密性の高い閉弁が可能になると共に、閉弁動作が円滑となる。また、付勢力付与部材として、弁体の基体後方への変位に抵抗する圧縮バネを用いても良い。
【0014】
さらに、前記接続機構は、前記基体又は前記弁体の一方に固定された案内溝と、その他方に固定された被案内部材とを備え、前記被案内部材が、前記基体進行方向に対して斜めに移動可能となるように前記案内溝に係合していても良い。このとき、前記付勢力付与部材としては、例えば、前記弁体と前記基体を接続する引っ張りバネを用いることができる。
【0015】
また、本件発明は、試料を観察又は加工するための真空対応のメインチャンバと、前記メインチャンバに試料を導入するためのサブチャンバとを備えた真空装置であって、前記メインチャンバとサブチャンバの間に本件発明のゲートバルブを備えた真空装置でもある。この真空装置では、本件発明に係るゲートバルブを採用することで、低剛性の軽量シャフトを採用することができ、また、空圧シリンダやアクチュエータが不要となるため、極めて小型、軽量で、操作性に優れた真空装置とすることができる。
【0016】
例えば、本件発明の真空装置を用いて電子顕微鏡を構成すれば、小型、軽量で、操作性に優れた電子顕微鏡とすることができる。その場合、真空対応のメインチャンバを試料観察用の鏡筒とし、サブチャンバを鏡筒に試料を導入するための試料交換室とすれば良い。
【発明の効果】
【0017】
本件発明によれば、小型、軽量で操作性に優れたゲートバルブを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0018】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。尚、本件明細書で「前方」、「後方」といった場合、特に説明のない限り、基体の前進方向、基体の後退方向を指す。
【0019】
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1に係るゲートバルブ1を示す斜視図である。また、図2は、ゲートバルブ1の開弁状態を示す断面図であり、図3は、ゲートバルブ1の閉弁状態を示す断面図である。真空対応のメインチャンバ2と試料導入用のサブチャンバ(又はロードロックチャンバ)4は隔壁10で隔てられており、その隔壁10に形成された開口部8にゲートバルブ1が配設されている。開口部8を包囲する隔壁10に枠状の弁座6が設けられ、その弁座6に略矩形の板状体である弁体12が当接/離反することにより、開口部8が閉弁/開弁される。弁体12の着座面には、その外縁に沿ってOリング14が敷設されている。弁体12が弁座6に当接した際に弁体12と弁座6の間でOリング14がつぶれることにより、開口部8が気密封止される。弁座6は、Oリング14と密着性の良い材料からなる枠状部材としても良いし、単に隔壁10自身であっても良い。
【0020】
弁体12はリンク機構20を介して開口部8に平行な方向に前進、後退可能な基体5に取り付けられている。弁体12は、第1支持部材22に固定されており、その第1支持部材22の両面に上下2本、計4本のリンク20が回動可能に取付けられている。4本のリンク20の他端は、基体5(具体的には、基体5中の第2支持部材18)に回動可能に固定されている。
【0021】
一方、基体5は、開口部8に平行な方向に前進、後退可能に配設されたシャフト16と、シャフト16に環装された第2支持部材18と、Eリング24と、螺子切されたシャフトの先端17と、から構成されている。螺子切された先端17は、シャフト16自身の先端であったも、シャフト16に固定されてシャフト16と共に回転、前後する別部材であっても良い。一方、第2支持部材18は、シャフト16が回転自在となるようにシャフト16に環装されている。また、第2支持部材18がシャフト軸方向にずれないようにするための固定部材として、第2支持部材18の前後を挟むようにEリング24がシャフト16に嵌着されている。Eリング24は、図5に示すような内周に爪状の突起を有する半円環状の部材であり、図6に示すように、シャフト16に形成された環状溝16aに嵌入されている。さらに、リンク20には、図4に示すようなねじりコイルバネ26が取付けられており、弁体12がシャフト16に対して前方に変位した状態を保持するよう付勢力を与えている。
【0022】
このように接続された弁体12は、基体5の進行方向に平行に変位可能になると共に、弁体12が基体5を基準として後方に変位すると基体5から離反するようになる。
【0023】
また、図2及び図3に示すように、シャフト16は隔壁10に直交するサブチャンバ4の内壁30aに設けられた貫通孔31に挿通されており、シャフト16の側面と貫通孔31の内周の間にOリング34が配設されている。これによってシャフト16をサブチャンバ4の外側から軸方向に前進、後退させることが可能になると共に、サブチャンバ4の気密性が保持される。また、隔壁10に直交する、もう一方の内壁30bには、シャフト16の先端17を挿入可能なシャフト受孔32が形成されている。受孔32の内周面に雌ネジが螺刻され、シャフトの先端17には雄ネジが螺刻されている。シャフトの先端17と受孔32が互いに螺合することによって、基体5が内壁30bに固定される。また、開口部8に隣接する位置に、弁体12の移動を規制するためのストッパ28が形成されている。図1に示す例では、隔壁10と内壁30bの交差部に角柱形のストッパ28が設けられている。
【0024】
次に、このゲートバルブ1の動作について説明する。
まず、図2は、ゲートバルブの開弁状態を示す。図2に示すように、基体5は内壁30aの方向に後退している。また、ねじりコイルバネ26の付勢力により、弁体12は、リンク20の可動範囲内で基体5を基準として前方に変位した状態に保持されている。その結果、弁体12は、隔壁10から離間した位置にある。
【0025】
この位置から基体5が前進すると、弁体12が開口部8に隣接して設けられたストッパ28に当接し、弁体12の基体5の進行方向への移動が規制される。そこから、ねじりコイルバネ26の付勢力に抗して基体5をさらに前進させると、リンク20が回動し、弁体12が基体5から離反しながら開口部8の方向に向かって移動する。
【0026】
弁体12が開口部8を包囲する弁座6に着座すると略同時、又はその前に、シャフト16の先端17が内壁30bに設けられた受孔32に到達し、受孔32と係合するようにする。そこからシャフト先端17の螺刻方向にシャフト16を回転させると、図3に示すように、シャフト先端17と受孔32が螺合しながら、基体5がさらに前進する。基体5の前進に伴い、弁体12が弁座16に向かって押し付けられ、Oリング14が潰れて開口部8が気密封止される。
【0027】
ここで弁体12が弁座6に着座すると略同時、又はその前に、シャフト先端17が受孔32と係合することにより、基体5の逃げを防止して、気密性の高いシールが可能となる。すなわち、弁体12が弁座6に着座してOリング14を潰す際に基体5に対する曲げ応力が加わるが、そのときはシャフト先端17が既に内壁30の受孔32と係合しているため、基体5が逃げない。従って、基体5中のシャフト16の剛性がそれ程高くなくても、弁体12を弁座6に強い力で押圧し、Oリング14を完全に潰して、気密性の高いシールを行うことができる。
【0028】
また、閉弁状態において、シャフト先端17と受孔32との螺合によって基体5が内壁30bに固定されているため、電気や空気圧による駆動力を与えなくても閉弁状態が維持できる。従って、基体5の操作を手動で行えば、基体5を駆動するためのアクチュエータや空気シリンダが全く不要になる。
【0029】
このように本実施の形態におけるゲートバルブによれば、基体中のシャフトの剛性を高めなくても気密性の高いシールが可能であり、閉弁状態を維持するための駆動力が不要であるため、極めて小型、軽量のゲートバルブとすることができる。
【0030】
尚、シャフト先端17を内壁30bに固定する手段は、雄螺子と雌螺子による螺合には限定されない。基体5の逃げを抑えながら基体5を前進させ、所定量だけ基体5が前進した状態で基体5を固定できる接続機構であれば良い。基体5の固定、解除は、シャフト16の回転により行えば、接続機構が簡易になり好ましい。
【0031】
例えば、図7に示すような接続機構を用いても良い。図7に示すように、シャフト先端17の周面に略平行な2つの平坦面19を形成すると共に、平坦面19を除くシャフト先端17の周面に周期的な環状突起21aを形成する。一方、内壁30bの受孔32の内周にも略平行な2つの平坦面29を形成すると共に、平坦面29を除く受孔27の内周面に環状突起21aと噛合する環状溝21bを形成する。平坦面29は、シャフト先端17が挿入可能となるように、周方向に曲率をもった凹面となっている。シャフト先端17の平坦面19の組と受孔32の平坦面29の組とが互いに直交する状態では、環状突起21aと環状溝21bが噛合しないため、シャフト先端17をスライドにより受孔32に挿入することが可能である。一方、シャフト先端17を受孔32に挿入した状態で、シャフト16を90°回転させれば、環状突起21aと環状溝21bが噛合してシャフト先端17が内壁30に固定される。尚、平坦面19及び29は、環状突起21や環状溝21bと噛合する突起や溝が形成されていない面であれば良く、曲率や段差がついていても構わない。また、図7に示した具体例に限らず、シャフト16の回転によって、基体5の固定、解除を行うことができれば、図7の具体例と同様の機能を発揮することができる。また、シリンダ16が回転する代わりに、受孔32が回転することにより、固定、解除ができるものでも良い。
【0032】
尚、図1〜3の例のように、雄螺子と雌螺子の螺合によってシャフト先端17を内壁30bに固定すれば、閉弁動作が容易かつ円滑になる効果がある。すなわち、基体5を前進させてシャフト先端17を内壁30bに固定するには、その間ネジリコイルばねの付勢力に対抗してシャフト16を押し続けなければならない。しかし、雄螺子と雌螺子の螺合によってシャフト先端17を内壁30bに固定すれば、雄螺子を雌螺子が少しでも係合した後は、ネジリコイルばね26の付勢力を螺子によって支えることができる。従って、閉弁動作の途中でシャフト16に加える力を解除しても、シャフト16がバネの力で後退することがない。また、弁体12が着座した後は基体5に曲げ応力が加わった状態で基体5を前進させることになる。従って、シャフト先端17を支える部分に大きな摩擦抵抗が生じ、シャフト16の前進に大きな力が必要となる。雄螺子と雌螺子の螺合によってシャフト先端17を内壁30bに固定すれば、シャフト16を回転させながら基体5を前進させることができるため、摩擦抵抗に抗して基体5を前進させ易くなる。
【0033】
尚、本実施の形態では、4本のリンク20で弁体12とシャフト16を接続する例について説明したが、リンクの数は4本に限らない。必要な剛性が得られれば、リンク20が2本或いは1本であっても良い。
【0034】
実施の形態2.
図8は、実施の形態2に係るゲートバルブを示す断面図である。本実施の形態においては、リンク機構に代えて、傾斜した摺動面を介して弁体12と基体5が接続されている。その他の点は実施の形態1と同様である。
【0035】
図8に示すように、実施の形態1と同様、基体5は、開口部8に平行な方向に前進、後退可能に配設されたシャフト16と、シャフト16に環装された支持部材18と、Eリング24と、螺子切されたシャフトの先端17と、から構成されている。螺子切された先端17は、シャフト16自身の先端であったも、シャフト16に固定されてシャフト16と共に回転、前後する別部材であっても良い。支持部材18は、シャフト16が回転自在となるようにシャフト16に環装されている。また、Eリング24は、支持部材18がシャフト軸方向のずれないようにするための固定部材として、支持部材18の前後を挟むようにシャフト16に嵌着されている。
【0036】
弁体12は、1組の摺動面を有する摺動ユニット40を介して、基体5の支持部材18に接続されている。摺動ユニット40は、弁体12に固定された第1摺動部材38と、支持部材18に接続された第2摺動部材39から成る。第1摺動部材38と第2摺動部材39は、各々、第1摺動面38a及び第2摺動面39aを有し、互いに摺動可能に接触している。また、第1摺動面38aと第2摺動面39aは、弁体12のシール面に対して所定角度(図8の例では約6°)傾斜するように設けられている。これによって支持部材18と弁体12は、互いに変位可能に接続される。第1及び第2摺動面38a及び39bの傾斜方向は、弁体12が基体5を基準として後方に変位すると基体5から離反するように設定されている。
【0037】
また、弁体12が基体5を基準に前方に変位した状態を保持する付勢力を与えるため、圧縮バネ40が支持部材18と弁体12の間に挿入されている。すなわち、支持部材18に固定された第2摺動部材39の前後に前側枠部材36a及び後側枠部材36bが固着されている。弁体12は、前側枠部材36aと後側枠部材36bの間に挟まれており、弁体12と後側枠部材36bの間に圧縮バネ40が挿入されている。尚、これに代えて、前側枠部材36aと弁体12の間に引っ張りバネを挿入しても良い。
【0038】
次に、このゲートバルブ1の動作について説明する。
基体5が前進すると、弁体12が開口部8に隣接して設けられたストッパ28に当接し、弁体12の基体進行方向への移動が規制される。そこから、圧縮バネ40の付勢力に抗して基体5をさらに前進させると、摺動ユニット40が斜めに摺動し始め、弁体12がシャフト16から離反しながら開口部8の方向に向かって移動する。
【0039】
弁体12が開口部8を包囲する弁座6に着座すると略同時、又はその前に、シャフトの先端17が内壁30bに設けられたシャフト受孔32に到達し、受孔32と係合するようにする。シャフト先端17の螺刻方向にシャフト16を回転させことにより、シャフト先端17と受孔32が螺合しながら、基体5がさらに前進する。そして、基体5の前進に伴い、弁体12が弁座16に向かって押し付けられ、Oリング14が潰れて開口部8が気密封止される。
【0040】
このゲートバルブによっても、実施の形態1と同様に、シャフト16の逃げを防止して、気密性の高いシールが可能となる。また、閉弁状態において、シャフト先端17と受孔32との螺合によって基体5が内壁30bに固定されているため、電気や空気圧による駆動力を与えなくても閉弁状態が維持できる。従って、極めて小型、軽量のゲートバルブとすることができる。
【0041】
尚、本実施の形態において、基体5に対する曲げ応力が摺動ユニット40にも加わる。従って、摺動ユニット40は、高剛性で、摺動面の摩擦抵抗が少ないものとすることが好ましい。例えば、摺動ユニット40の第1摺動部材38と第2摺動部材39をクロスローラ方式で接続することが好ましい。クロスローラ方式では、摺動面に設けられたV溝レールに円筒ローラが交互に直交配列されており、ローラとV溝が線接触となるため高剛性であり、しかも摩擦抵抗が極めて小さい。従って、気密性の高いシールが可能になると共に、比較的小さな力で閉弁動作が行えるようになる。
【0042】
実施の形態3.
本実施の形態のゲートバルブは、傾斜した摺動面を介して弁体12と基体5が接続されている点は実施の形態2と同様であるが、摺動面が、弁体の裏面に固定された軸(=被案内部材)と支持部材18に固定されたU字状の軸受部材(=案内部材)で構成される点が異なる。また、シャフト先端の固定部における螺子の雄雌を反転させ、シャフト16を回転させる代わりに、内壁30に埋設した回転部材50の回転させることによって基体5の固定を行う。その他の点は、実施の形態2と同様である。
【0043】
図9は、本実施の形態に係るゲートバルブ1を示す断面図である。基体5は、シャフト16と、シャフト16に環装された支持部材18と、雌に螺子切されたシャフトの先端27と、から構成されている。雌に螺子切された先端27は、シャフト16自身の先端であったも、シャフト16に固定されてシャフト16と共に回転、前後する別部材であっても良い。シャフト16に環装された支持部材18に、U字溝43を形成した軸受部材42が固着されている。軸受部材42は、支持部材18の両面に上下2本ずつ、計4本固着されている。一方、弁体12のシール面と反対の面には、シャフト16に直交する軸44を形成した軸台座46が上下2カ所に固着されている。支持部材18の両面に固着された軸受部材42は、2本が一組となって、各々1本の軸44を支持している。
【0044】
ここで軸受部材42に設けられたU字溝は、図10の部分拡大図に示すように、全体が下方(シャフトの後方側)に向かってやや斜めに傾斜しており、U字溝中を軸44が斜め下方に摺動可能になっている。一方、U字溝の上側末端43aは鉤状になっており、軸44の上方(シャフトの前方側)への移動を規制している。これによって、支持部材18と弁体12は、互いに変位可能に接続される。また、U字溝43の傾斜方向は、弁体12が基体5を基準として後方に変位すると基体5から離反するように設定されている。また、弁体12が基体5に対して前方に変位した状態を保持する付勢力を与えるため、引っ張りバネ48が、支持部材18と弁体12に接続されている。
【0045】
尚、本実施の形態では、シャフト先端27の固定部における螺子の雄雌を反転させ、シャフト16を回転させる代わりに、内壁30に埋設した回転部材50を回転させることによって基体5の固定を行う。従って、支持部材18内でシャフト16を回転させる必要がなく、支持部材18をシャフト16に単純に固着すれば良い。図11は、シャフト先端27の固定部分を示す部分拡大断面図である。サブチャンバ4の内壁30に、先端に雄螺子54を形成した回転部材50が埋設されている。回転部材50は、断面が略T字状の円筒形であり、T字傘部分の下側周面にベアリング56が配設されており、シャフト16の中心軸回りに回転可能になっている。また、回転部材50の側面と内壁30の間にOリング34が配設されており、回転部材50と内壁30の間が気密封止されている。一方、シャフト先端27には、回転部材50の先端54と螺合可能な雌螺子が螺刻されている。回転部材50をサブチャンバ4の外側から回転させることにより、回転部材の先端54をシャフト先端27と螺合させ、基体5の固定を行うことができる。
【0046】
次に、このゲートバルブ1の動作について説明する。
図9に示すように、基体5が前進すると、弁体12が開口部8に隣接して設けられたストッパ28に当接し、弁体12の基体進行方向への移動が規制される。そこから、引っ張りバネ48の付勢力に抗して基体5をさらに前進させると、U字溝43中を軸44が斜め下方に摺動し、弁体12が基体5から離反しながら開口部8の方向に向かって移動する。
【0047】
弁体12が開口部8を包囲する弁座6に着座すると略同時、又はその前に、シャフト16の先端27が内壁30bに設けられた回転部材50の先端54と係合するようにする。回転部材の先端54の螺刻方向に回転部材50を回転させことにより、シャフト先端27と回転部材50が螺合しながら、基体5がさらに前進する。そして、基体5の前進に伴い、弁体12が弁座16に向かって押し付けられ、Oリング14が潰れて開口部8が気密封止される。
【0048】
本実施の形態においても、実施の形態1及び2と同様に、基体5の逃げを防止して、気密性の高いシールが可能となる。また、閉弁状態において、シャフト先端27と回転部材50との螺合によって基体5が内壁30bに固定されているため、電気や空気圧による駆動力を与えなくても閉弁状態が維持できる。従って、極めて小型、軽量のゲートバルブとすることができる。
【0049】
実施の形態4.
本実施の形態では、実施の形態1で説明したゲートバルブを用いて真空装置を構成した例について説明する。図12は、そのような真空装置を示す模式図である。試料の処理を行うための真空対応のメインチャンバ2と、メインチャンバ2に試料を導入するためのサブチャンバ4が、隔壁8を介して接続されている。隔壁8には開口部8が設けられ、さらに開口部8を開閉するために実施の形態1のゲートバルブ1が配設されている。また、サブチャンバ4の側壁30には試料搬送装置7が配設されており、その先端に載置した試料9は開口部8を通じてメインチャンバ2内に移送することができる。
【0050】
この真空装置は、例えば以下のようにして操作することができる。まず、サブチャンバ4の扉(図示せず)を開け、試料9を試料搬送装置7の先端に載置する。このときゲートバルブ1は、シャフト16の先端が側壁30に固定されて、閉弁した状態にある。次に、サブチャンバ4の扉を閉め、サブチャンバ4内を真空ポンプ(図示せず)で荒引きする。サブチャンバ4内が所定の真空度に達すると、ゲートバルブ1を操作して、開口部8を開く。すなわち、ゲートバルブ1のシャフト16を手動で回し、側壁30に螺合されたシャフト16の先端を外す。そして、シャフト16を後退させると、弁座12が開口部8から離反して、開口部8が開放される。そして、試料搬送装置7を操作して、試料9をメインチャンバ2に搬送する。それが終了すると、シャフト16を前進させ、シャフト先端が側壁30の受孔(図示せず)と係合したところでシャフト16を回転させる。シャフト16の回転により、シャフト16の先端が側壁30に螺合され、それと同時に弁体12が開口部8の向かって押しつけられて閉弁する。
【0051】
本実施の形態の真空装置では、本件発明に係るゲートバルブを採用することで、
空圧シリンダやアクチュエータが不要となり、極めて小型、軽量で、操作性に優
れた装置とすることが出来る。また、本実施の形態の真空装置は、走査型電子顕
微鏡、透過型電子顕微鏡、走査型FIB(フォーカスイオンビーム)顕微鏡等の
検査装置、電子線描画装置、FIBリペア装置等の加工装置に応用することがで
きる。また、種々のプラズマを用いるエッチング装置、コーティング装置、アッ
シング装置等にも応用することができる。なお、本実施の形態の真空装置を電子
線顕微鏡に応用する場合、上記メインチャンバ2を鏡筒と連結された試料を観察
する為の試料室とし、サブチャンバ4を試料室に試料を導入する為の試料交換室
とすれば良い。
【図面の簡単な説明】
【0052】
【図1】図1は、本発明の実施の形態1に係るゲートバルブを示す斜視図である。
【図2】図2は、図1に示すゲートバルブが開弁状態にある様子を示す断面図である。
【図3】図3は、図1に示すゲートバルブが閉弁状態にある様子を示す断面図である。
【図4】図4は、実施の形態1で用いるネジリコイルばねを示す模式図である。
【図5】図5は、Eリングの一例を示す平面図である。
【図6】図6は、Eリングをシャフトに装着した様子を示す模式図である。
【図7】図7は、シャフト先端の固定方法の別形態を示す斜視図である。
【図8】図8は、本発明の実施の形態2に係るゲートバルブを示す断面図である。
【図9】図9は、本発明の実施の形態3に係るゲートバルブを示す断面図である。
【図10】図10は、9に示すゲートバルブの接続機構を示す部分拡大図である。
【図11】図11は、図9に示すゲートバルブのシャフト先端部分を示す部分拡大図である。
【図12】図12は、本発明の実施の形態4に係る高真空装置を示す模式断面図である。
【図13】図13は、従来のゲートバルブの一例を示す断面図である。
【符号の説明】
【0053】
2 メインチャンバ、4 サブチャンバ、5 基体、6 弁座、7 試料搬送装置、8 開口部、9 試料、10 隔壁、12 弁体、14、34及び35 Oリング、16 シャフト(基体)、18及び22 支持部材、20 リンク機構、24 Eリング、26 ネジリコイルばね、28 ストッパ、30 側壁、38 第1摺動部材、39 第2摺動部材、40 摺動ユニット、42 軸受部材、46 軸台座、50 回転部材
【特許請求の範囲】
【請求項1】
弁座に囲まれた開口部を有する壁体と、
前記弁座に当接/離反することにより、前記開口部を閉弁/開弁するための弁体と、
前記開口部に略平行な方向に進行、後退可能な基体と、
前記弁体と前記基体を互いに変位可能に接続する接続機構と、
前記弁体を開弁状態に位置させる付勢力を付与するための付勢力付与部材と、
前記基体進行方向への前記弁体の移動を規制するストッパと、
前記基体を、前記壁体に対して相対的に変位しない第2の壁体に固定する固定手段と、を備えたゲートバルブであって、
前記接続機構は、前記弁体が前記基体の進行方向と逆方向に変位すると同時に前記基体から離反するように、前記弁体と前記基体を接続しており、
前記基体の進行により前記弁体が前記ストッパに当接するまで移動された後、さらに前記基体が進行することにより、前記弁体が前記基体から離反しながら前記弁座に当接して閉弁し、当該閉弁状態において前記基体が前記第2の壁体に固定されることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項2】
前記固定手段が、前記弁体が前記弁座に当接すると略同時に又は当接する前から前記基体を把持することを特徴とする請求項1記載のゲートバルブ。
【請求項3】
前記固定手段が、前記基体進行方向にある前記基体先端を固定することを特徴とする請求項1又は2記載のゲートバルブ。
【請求項4】
前記固定手段が前記基体進行方向に螺子切された雄又は雌螺子であり、前記基体が進行しながら前記固定手段に螺合されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のゲートバルブ
【請求項5】
前記接続機構が、リンク機構であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のゲートバルブ。
【請求項6】
前記付勢力付与部材が、前記弁体の基体進行方向と逆方向への変位に抵抗するネジリコイルバネであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のゲートバルブ。
【請求項7】
前記接続機構は、前記基体と前記弁体とを摺動面を介して接続し、前記摺動面が前記基体進行方向から斜めに傾斜していることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のゲートバルブ。
【請求項8】
前記接続機構は、前記基体側にある第1の傾斜面と、前記弁体側にある第2の傾斜面とを有し、前記第1の傾斜面と前記第2の傾斜面が互いに摺動可能に接続されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のゲートバルブ。
【請求項9】
前記第1の傾斜面と前記第2の傾斜面が、クロスローラガイド方式によって摺動可能に接続されていることを特徴とする請求項8記載のゲートバルブ。
【請求項10】
前記付勢力付与部材が、前記弁体の基体進行方向と逆方向への変位に抵抗する圧縮バネであることを特徴とする請求項8又は9に記載のゲートバルブ。
【請求項11】
前記接続機構は、前記基体又は前記弁体の一方に固定された案内溝と、その他方に固定された被案内部材とを備え、前記被案内部材は、前記基体進行方向に対して斜めに移動可能となるように前記案内溝に係合していることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のゲートバルブ。
【請求項12】
前記付勢力付与部材が、前記弁体と前記基体を接続する引っ張りバネであることを特徴とする請求項11に記載のゲートバルブ。
【請求項13】
試料を観察又は加工するための真空対応のメインチャンバと、前記メインチャンバに試料を導入するためのサブチャンバとを備えた真空装置であって、
前記メインチャンバとサブチャンバの間に請求項1乃至12のいずれかに記載のゲートバルブを備えた真空装置。
【請求項14】
試料を観察するための鏡筒と、前記鏡筒に試料を導入するための試料交換室とを備えた電子顕微鏡であって、
前記鏡筒と前記試料交換室との間に請求項1乃至13のいずれかに記載のゲートバルブを備えた電子顕微鏡。
【請求項1】
弁座に囲まれた開口部を有する壁体と、
前記弁座に当接/離反することにより、前記開口部を閉弁/開弁するための弁体と、
前記開口部に略平行な方向に進行、後退可能な基体と、
前記弁体と前記基体を互いに変位可能に接続する接続機構と、
前記弁体を開弁状態に位置させる付勢力を付与するための付勢力付与部材と、
前記基体進行方向への前記弁体の移動を規制するストッパと、
前記基体を、前記壁体に対して相対的に変位しない第2の壁体に固定する固定手段と、を備えたゲートバルブであって、
前記接続機構は、前記弁体が前記基体の進行方向と逆方向に変位すると同時に前記基体から離反するように、前記弁体と前記基体を接続しており、
前記基体の進行により前記弁体が前記ストッパに当接するまで移動された後、さらに前記基体が進行することにより、前記弁体が前記基体から離反しながら前記弁座に当接して閉弁し、当該閉弁状態において前記基体が前記第2の壁体に固定されることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項2】
前記固定手段が、前記弁体が前記弁座に当接すると略同時に又は当接する前から前記基体を把持することを特徴とする請求項1記載のゲートバルブ。
【請求項3】
前記固定手段が、前記基体進行方向にある前記基体先端を固定することを特徴とする請求項1又は2記載のゲートバルブ。
【請求項4】
前記固定手段が前記基体進行方向に螺子切された雄又は雌螺子であり、前記基体が進行しながら前記固定手段に螺合されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のゲートバルブ
【請求項5】
前記接続機構が、リンク機構であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のゲートバルブ。
【請求項6】
前記付勢力付与部材が、前記弁体の基体進行方向と逆方向への変位に抵抗するネジリコイルバネであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のゲートバルブ。
【請求項7】
前記接続機構は、前記基体と前記弁体とを摺動面を介して接続し、前記摺動面が前記基体進行方向から斜めに傾斜していることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のゲートバルブ。
【請求項8】
前記接続機構は、前記基体側にある第1の傾斜面と、前記弁体側にある第2の傾斜面とを有し、前記第1の傾斜面と前記第2の傾斜面が互いに摺動可能に接続されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のゲートバルブ。
【請求項9】
前記第1の傾斜面と前記第2の傾斜面が、クロスローラガイド方式によって摺動可能に接続されていることを特徴とする請求項8記載のゲートバルブ。
【請求項10】
前記付勢力付与部材が、前記弁体の基体進行方向と逆方向への変位に抵抗する圧縮バネであることを特徴とする請求項8又は9に記載のゲートバルブ。
【請求項11】
前記接続機構は、前記基体又は前記弁体の一方に固定された案内溝と、その他方に固定された被案内部材とを備え、前記被案内部材は、前記基体進行方向に対して斜めに移動可能となるように前記案内溝に係合していることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のゲートバルブ。
【請求項12】
前記付勢力付与部材が、前記弁体と前記基体を接続する引っ張りバネであることを特徴とする請求項11に記載のゲートバルブ。
【請求項13】
試料を観察又は加工するための真空対応のメインチャンバと、前記メインチャンバに試料を導入するためのサブチャンバとを備えた真空装置であって、
前記メインチャンバとサブチャンバの間に請求項1乃至12のいずれかに記載のゲートバルブを備えた真空装置。
【請求項14】
試料を観察するための鏡筒と、前記鏡筒に試料を導入するための試料交換室とを備えた電子顕微鏡であって、
前記鏡筒と前記試料交換室との間に請求項1乃至13のいずれかに記載のゲートバルブを備えた電子顕微鏡。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【公開番号】特開2006−200709(P2006−200709A)
【公開日】平成18年8月3日(2006.8.3)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2005−15735(P2005−15735)
【出願日】平成17年1月24日(2005.1.24)
【出願人】(000006633)京セラ株式会社 (13,660)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成18年8月3日(2006.8.3)
【国際特許分類】
【出願日】平成17年1月24日(2005.1.24)
【出願人】(000006633)京セラ株式会社 (13,660)
【Fターム(参考)】
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